特許 6569069 検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】6569069

(24)【登録日】2019年8月16日

(45)【発行日】2019年9月4日

(54)【発明の名称】検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 23/04 20180101AFI20190826BHJP

【ＦＩ】

   G01N23/04

【請求項の数】11

【全頁数】37

(21)【出願番号】特願2018-47039(P2018-47039)

(22)【出願日】2018年3月14日

【審査請求日】2018年12月18日

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】598105802

【氏名又は名称】株式会社 システムスクエア

(74)【代理人】

【識別番号】100166545

【弁理士】

【氏名又は名称】折坂 茂樹

(72)【発明者】

【氏名】森山 淳児

【審査官】 越柴 洋哉

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１１−１４５２５３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０６−０２７２４９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２００９−５２３２２８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−１８０７１９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１５−２０６７７３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１５−１９０９４０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１５−２３０２４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００７／０２３７２９３（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｎ ２３／００−２３／２２７６

Ｇ０１Ｎ ２１／８４−２１／９５８

Ａ６１Ｂ ６／００− ６／１４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

搬送面に載置された検査対象物を所定の搬送方向に搬送する搬送手段と、
前記検査対象物に電磁波を照射する電磁波照射手段と、
前記所定の搬送方向に略直交して配置されたラインセンサを、前記所定の搬送方向にＭ列（Ｍは２以上の整数）有し、前記搬送手段により搬送されている前記検査対象物の略同一の領域を透過してきた電磁波を前記Ｍ列のラインセンサのそれぞれが順次検出して、検出した電磁波に基づく、前記Ｍ列のラインセンサのそれぞれに対応する検出データを出力する検出手段と、
前記検査対象物の略同一の領域を透過してきた電磁波が前記Ｍ列のラインセンサにより順次検出される検出タイミングの都度、前記検出手段が出力した複数の前記検出データの中に含まれる前記検査対象物の略同一の領域を透過してきた電磁波の検出データを足し合わせる制御を行う加算手段と、
を備える検査装置。

【請求項2】

前記検出手段は、前記検査対象物の略同一の領域を透過してきた電磁波が前記Ｍ列のラインセンサにより順次検出される検出タイミングで、前記Ｍ列のラインセンサのそれぞれが電磁波を周期的に検出して、検出した電磁波に基づく、前記Ｍ列のラインセンサのそれぞれに対応する検出データを出力することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。

【請求項3】

前記検出データは、離散化された数値であることを特徴とする請求項１又は２に記載の検査装置。

【請求項4】

前記Ｍ列のラインセンサのそれぞれに対応する検出データが、検出タイミングごとに、所定の記憶方法により記憶される記憶手段を更に備え、
前記加算手段は、前記検査対象物の略同一の領域を透過してきた電磁波が前記Ｍ列のラインセンサにより順次検出される検出タイミングの都度、前記記憶手段に記憶された検出データの中から、前記検査対象物の略同一の領域を透過してきた電磁波の検出データを、前記所定の記憶方法に応じた抽出方法により抽出して足し合わせる制御を行う
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の検査装置。

【請求項5】

前記加算手段は、前記記憶手段に記憶された検出データの中から、前記検査対象物の略同一の領域を透過してきた電磁波の前記Ｍ列のラインセンサのそれぞれに対応する検出データを、前記所定の記憶方法に応じた抽出方法により抽出して足し合わせる制御を行う
ことを特徴とする請求項４に記載の検査装置。

【請求項6】

前記記憶手段は、第１記憶領域と第２記憶領域を備え、
前記第１記憶領域は、前記Ｍ列のラインセンサによる（Ｍ＋１）検出周期分の前記検出データを記憶するＭ行（Ｍ＋１）列に論理的に区切られた領域であり、
前記検出手段は、前記検出タイミングごとに出力する検出データを前記第１記憶領域の１列目から（Ｍ＋１）列目に順次記憶させ、以後（Ｍ＋１）検出周期で１列目から（Ｍ＋１）列目に上書き記憶させ、
前記加算手段は、前記検査対象物の略同一の領域を透過してきた電磁波の前記Ｍ列のラインセンサのそれぞれに対応するＭ個の検出データが前記第１記憶領域に書き終えられた次の検出周期に、前記Ｍ個の検出データを足し合わせて前記第２記憶領域に記憶させる制御を行う
ことを特徴とする請求項５に記載の検査装置。

【請求項7】

記憶手段を更に備え、
前記加算手段は、検出タイミングごとの、前記Ｍ列のラインセンサのそれぞれに対応する検出データを、前記検査対象物の略同一の領域を透過してきた電磁波の前記Ｍ列のラインセンサのそれぞれに対応する検出データが順次足し合わされていくように、前記記憶手段に順次記憶させる制御を行う
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の検査装置。

【請求項8】

前記検出手段は、前記検査対象物を透過してきた電磁波が前記Ｍ列のラインセンサにより検出される都度、前記Ｍ列のラインセンサのそれぞれに対応する検出データを前記記憶手段に記憶させ、
前記加算手段は、前記検出手段が前記検出データを前記記憶手段に記憶させるに際し、前記検査対象物の略同一の領域を透過してきた電磁波の前記Ｍ列のラインセンサのそれぞれに対応するＭ個の検出データが順次足し合わされるように制御を行う
ことを特徴とする請求項７に記載の検査装置。

【請求項9】

前記搬送手段は、前記検査対象物の略同一の領域を透過してきた電磁波が１列目からＭ列目までのそれぞれのラインセンサに順次検出される正方向に前記検査対象物を搬送し、
前記加算手段において足し合わせの対象とする、前記検査対象物の略同一の領域を透過してきた電磁波のｎ列目（ｎ＝１、２、・・・、Ｍ）のラインセンサに対応する検出データは、当該領域のｎ周期目の検出タイミングにおける、前記Ｍ列のラインセンサのそれぞれに対応する検出データのうち、ｎ列目の検出データである
ことを特徴とする請求項５から８のいずれか１項に記載の検査装置。

【請求項10】

前記搬送手段は、前記検査対象物の略同一の領域を透過してきた電磁波がＭ列目から１列目までのそれぞれのラインセンサに順次検出される逆方向に搬送方向を反転させることが可能であり、
前記搬送手段による搬送方向が反転しているときに、前記加算手段において足し合わせの対象とする、前記検査対象物の略同一の領域を透過してきた電磁波の（Ｍ＋１−ｎ）列目（ｎ＝１、２、・・・、Ｍ）のラインセンサに対応する検出データは、当該領域のｎ周期目の検出タイミングにおける、前記Ｍ列のラインセンサのそれぞれに対応する検出データのうち、（Ｍ＋１−ｎ）列目の検出データである
ことを特徴とする請求項５から８のいずれか１項に記載の検査装置。

【請求項11】

前記検出データに所定の補正を施した上で足し合わせを行うことを特徴とする請求項１から１０のいずれか１項に記載の検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、検査対象物にＸ線などの電磁波を照射して非破壊で異物等の検査を行う検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

一般に、製品の製造から梱包、出荷に至るまでの各工程では、検査対象となる製品や混入しうる異物の種類（材料、大きさなど）に適した検査方法によって、製品や梱包内に異物等が混入していないか検査が行われる。

【0003】

例えば、電磁波を用いる非破壊検査では、検査対象物にＸ線などの電磁波を照射し、透過した電磁波を検出する。このとき、検査対象物内の異物の有無や異物の材質等により電磁波の透過の程度に相違が生じる。そのため、検出された透過電磁波の強度の分布が濃淡などにより表現された二次元画像を生成することで、外観からは知りえない検査対象物内部の状況を検査することができる。

【0004】

具体的には例えば、検査対象物の搬送方向に略直交する方向に延伸されて配置されたラインセンサにより、検査対象物を透過してきた電磁波を、検査対象物を移動させつつスキャンして、直線状の電磁波透過画像を次々に生成する。そして、これらをスキャン方向に順次配列することで検査対象物の二次元画像を生成する。

【0005】

しかし、１本のラインセンサで検査対象物を単にスキャンするだけでは露光時間が十分にとれず、二次元画像が暗くなってしまう。

【0006】

この問題の解決に資する検出方式のひとつとして、特許文献１に示されるＴＤＩ(Time Delay Integration：時間遅延積分)方式が挙げられる。ＴＤＩ方式は、元々はＣＣＤの電荷転送原理を利用し、検査対象物の搬送速度とＣＣＤの電荷転送タイミングとを同期させることで、ＣＣＤの特定の画素に同じ画像を積分露光する検出方式である。ＴＤＩ方式を採用することで、採用しない場合より明るく且つＳ／Ｎの高い（解像度の高い）二次元画像を生成することができる。

【0007】

しかし、ＣＣＤは専用のプロセスで製造する必要があり、構造も複雑である。また、消費電力も大きい。更に、ピクセルの大きさ、蓄積できる電荷量、電荷の転送速度などに制限があり、高速で搬送される検査物から微小な異物を検出することは難しい。これらのことから、非破壊検査装置ではＣＭＯＳセンサを採用することが多い。

【0008】

ＣＭＯＳセンサを用いてＴＤＩを実現するには、例えば、検査対象物の搬送速度と、検査対象物の搬送方向に直線状に複数段配列された検出素子が順次検出を行うタイミングとを同期させ、各検出素子で検出された信号の大きさを順次加算することで、ＣＣＤによる場合と同様に特定の画素に積分露光することができる。信号の大きさの加算は、ＣＭＯＳセンサではアナログ方式による加算処理が難しいため、例えば、それぞれの信号をデジタル化した上で加算器により行う。

【0009】

特許文献２には、デジタルＴＤＩ方式の実現形態の一例として、放射線を検出する複数のセンサ部と、検出された放射線からアナログパルス信号を生成した上でデジタルパルスに変換し、積分時間中のパルスの数を計数して前段までの計数値と足し合わせる読み出し回路部と、からなるブロックを複数段備えるデジタルＴＤＩ方式検出器が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0010】

【特許文献1】特開２０１１−２４２３７４号公報

【特許文献2】特開２０１４−９３６１６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0011】

ＴＤＩ方式を実現する従来の検出器では、検出データを隣接画素に転送する回路が必要となるため、検出器が複雑化、大型化し、これを用いて構成された検査装置のコストや故障リスクの増大、装置の大型化を招く。

【0012】

本発明の目的は、ＴＤＩ方式と同様な効果をシンプルかつ小型な構成で実現可能な検査装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0013】

本発明の検査装置は、搬送面に載置された検査対象物を所定の搬送方向に搬送する搬送手段と、検査対象物に電磁波を照射する電磁波照射手段と、所定の搬送方向に略直交して配置されたラインセンサを所定の搬送方向にＭ列（Ｍは２以上の整数）有し、搬送手段により搬送されている検査対象物の略同一の領域を透過してきた電磁波をＭ列のラインセンサのそれぞれが順次検出して、検出した電磁波に基づく、当該Ｍ列のラインセンサのそれぞれに対応する検出データを出力する検出手段と、検出手段が出力した複数の検出データの中に含まれる検査対象物の略同一の領域を透過してきた電磁波の検出データを足し合わせる制御を行う加算手段と、を備える。検出手段は、検査対象物の略同一の領域を透過してきた電磁波がＭ列のラインセンサにより順次検出される検出タイミングで、Ｍ列のラインセンサのそれぞれが電磁波を周期的に検出して、検出した電磁波に基づく、Ｍ列のラインセンサのそれぞれに対応する検出データを出力するようにしてもよい。また、検出データは、離散化された数値としてもよい。

【0014】

Ｍ列のラインセンサのそれぞれに対応する検出データが、検出タイミングごとに、所定の記憶方法により記憶される記憶手段を備え、加算手段が、記憶手段に記憶された検出データの中から、検査対象物の略同一の領域を透過してきた電磁波の検出データを、所定の記憶方法に応じた抽出方法により抽出して足し合わせる制御を行うようにしてもよい。
加算手段は、記憶手段に記憶された検出データの中から、検査対象物の略同一の領域を透過してきた電磁波のＭ列のラインセンサのそれぞれに対応する検出データを、所定の記憶方法に応じた抽出方法により抽出して足し合わせる制御を行うようにしてもよい。

【0015】

また記憶手段を備え、加算手段が、検出タイミングごとの、Ｍ列のラインセンサのそれぞれに対応する検出データを、検査対象物の略同一の領域を透過してきた電磁波のＭ列のラインセンサのそれぞれに対応する検出データが順次足し合わされていくように、記憶手段に順次記憶させる制御を行うようにしてもよい。

【0016】

搬送手段が、検査対象物の略同一の領域を透過してきた電磁波が１列目からＭ列目までのそれぞれのラインセンサに順次検出される方向に検査対象物を搬送し、加算手段において足し合わせの対象とする、検査対象物の略同一の領域を透過してきた電磁波のｎ列目（ｎ＝１、２、・・・、Ｍ）のラインセンサに対応する検出データを、当該領域のｎ周期目の検出タイミングにおける、Ｍ列のラインセンサのそれぞれに対応する検出データのうち、ｎ列目の検出データとしてもよい。

【0017】

本発明では、Ｍ列のＣＭＯＳラインセンサでエリアセンサを構成し、これを検査対象物に対して１列分ずつ相対的に移動させつつ検査対象物を透過してきた電磁波を順次検出する。そして、このようにして得られたＭ個のエリアの検出データのそれぞれに含まれる、検査対象物の略同一の領域を透過してきた電磁波の検出データを足し合わせることで、従来のＴＤＩ方式検出器と同様な積分露光効果を得ることができる。また、本発明の検査装置では、従来のＴＤＩ方式検出器で必要とされるデータを隣接画素に順次転送する処理が不要であり、したがって転送用の回路を設ける必要が無い。そのため、ＴＤＩ方式と同様な効果が得られる検査装置を、従来のＴＤＩ方式検出器を用いて装置を構成する場合と比べ、シンプルかつ小型に実現することができる。

【0018】

検査対象物の略同一の領域を透過してきた電磁波がＭ列目から１列目までのそれぞれのラインセンサに順次検出されるように搬送方向を反転させることが可能な搬送手段を採用し、搬送方向が反転しているときには、加算手段において足し合わせの対象とする、検査対象物の略同一の領域を透過してきた電磁波の（Ｍ＋１−ｎ）列目（ｎ＝１、２、・・・、Ｍ）のラインセンサに対応する検出データを、当該領域のｎ周期目の検出タイミングにおける、Ｍ列のラインセンサのそれぞれに対応する検出データのうち、（Ｍ＋１−ｎ）列目の検出データとしてもよい。

【0019】

ＴＤＩ方式では、高価な特殊なセンサを採用する場合を除いては検出データの転送方向が一方向であるため、検査対象物の搬送方向が逆になると、検出手段を反転させるなどの特殊な機能を付加しない限り、適切にＴＤＩを行うことができなくなる。これに対し本発明によれば、ラインセンサへの検査対象物の搬送方向が逆になっても、加算手段による足し合わせ方法を上記のように変更することで、容易にかつ低コストにＴＤＩ方式と同様な効果を奏する検査装置を実現することができる。

【0020】

検出データの足し合わせは、検出データに所定の補正を施した上で行ってもよい。

【0021】

これにより、例えば素子故障などにより検出データの値に異常が認められる場合に、補正した値で足し合わせを行うことができるため、検査精度の低下を抑制することができる。このような補正処理は、ＴＤＩ方式を実現する従来の検査装置で行うことは不可能である。

【図面の簡単な説明】

【0022】

【図1】本発明の検査装置１００の機能ブロック図である。

【図2】４列のラインセンサで検査対象物Ｗの４つの線状の領域から透過してきた電磁波を順次検出する過程を説明する図である。

【図3】第１実施形態における、記憶手段１４０への透過電磁波の検出データの書き込み方法、及び加算手段１５０による加算処理方法の第１の具体例を説明する図（１／２）である。

【図4】第１実施形態における、記憶手段１４０への透過電磁波の検出データの書き込み方法、及び加算手段１５０による加算処理方法の第１の具体例を説明する図（２／２）である。

【図5】第１実施形態における、記憶手段１４０への透過電磁波の検出データの書き込み方法、及び加算手段１５０による加算処理方法の第１の具体例の変形例を説明する図（１／２）である。

【図6】第１実施形態における、記憶手段１４０への透過電磁波の検出データの書き込み方法、及び加算手段１５０による加算処理方法の第１の具体例の変形例を説明する図（２／２）である。

【図7】第１実施形態における、記憶手段１４０への透過電磁波の検出データの書き込み方法、及び加算手段１５０による加算処理方法の第２の具体例を説明する図（１／２）である。

【図8】第１実施形態における、記憶手段１４０への透過電磁波の検出データの書き込み方法、及び加算手段１５０による加算処理方法の第２の具体例を説明する図（２／２）である。

【図9】検査対象物Ｗの搬送方向が反転した場合において、４列のラインセンサで検査対象物Ｗの４つの線状の被検出領域から透過してきた電磁波を順次検出する過程を説明する図である。

【図10】第２実施形態における、記憶手段２４０への透過電磁波の検出データの書き込み方法、及び加算手段２５０による加算処理方法の第１の具体例を説明する図（１／２）である。

【図11】第２実施形態における、記憶手段２４０への透過電磁波の検出データの書き込み方法、及び加算手段２５０による加算処理方法の第１の具体例を説明する図（２／２）である。

【図12】第２実施形態における、記憶手段２４０への透過電磁波の検出データの書き込み方法、及び加算手段２５０による加算処理方法の第１の具体例の変形例を説明する図（１／２）である。

【図13】第２実施形態における、記憶手段２４０への透過電磁波の検出データの書き込み方法、及び加算手段２５０による加算処理方法の第１の具体例の変形例を説明する図（２／２）である。

【図14】第２実施形態における、記憶手段２４０への透過電磁波の検出データの書き込み方法、及び加算手段２５０による加算処理方法の第２の具体例を説明する図（１／２）である。

【図15】第２実施形態における、記憶手段２４０への透過電磁波の検出データの書き込み方法、及び加算手段２５０による加算処理方法の第２の具体例を説明する図（２／２）である。

【発明を実施するための形態】

【0023】

〔第１実施形態〕
図１に本発明の検査装置１００の機能ブロック図を示す。

【0024】

検査装置１００は、電磁波照射手段１１０、搬送手段１２０、検出手段１３０、記憶手段１４０、加算手段１５０、表示制御手段１６０、及び表示手段１７０を備える。

【0025】

電磁波照射手段１１０は、搬送手段１２０により所定の方向（図１ではＹ軸方向）に搬送される検査対象物ＷにＸ線、紫外線、可視光線、赤外線などの電磁波を照射する。

【0026】

搬送手段１２０は、搬送面に載置された検査対象物Ｗを所定の搬送方向に所定の搬送速度で搬送する。搬送手段１２０は、検査対象物Ｗからの透過電磁波が極力減衰せずに検出手段１３０に届くよう、電磁波透過性が高いものであることが望ましい。

【0027】

検出手段１３０は、搬送手段１２０による検査対象物Ｗの搬送方向に略直交して配置されたＣＭＯＳラインセンサが、当該搬送方向にＭ列（Ｍは２以上の整数）配列されて構成される。ＣＭＯＳラインセンサは、複数の検出素子が一列に配列されて構成される。各検出素子は、照射される電磁波を検出し、検出強度に応じた出力を発生する素子であれば種類は任意である。検査対象物Ｗに照射される電磁波がＸ線の場合を例にとると、Ｘ線をシンチレータで一旦可視光線に変換した上で、フォトダイオードで受光して出力を発生する間接変換タイプの検出素子や、Ｘ線を直接電気信号に変換して出力を発生するＣｄＴｅなどの半導体を利用した直接変換タイプの検出素子などを採用することができる。

【0028】

検出手段１３０の構成を、図１を参照して具体的に説明すると、搬送方向であるＹ軸方向に対して略直交するＸ軸方向（紙面を貫く方向）に複数の検出素子が一列に配列されて構成されたラインセンサが、Ｙ軸方向にＭ列並列に配列されて構成される。

【0029】

検出手段１３０においては、Ｍ列のラインセンサが、検査対象物Ｗの略同一の領域を透過してきた電磁波が当該Ｍ列のラインセンサにより順次検出されるように、搬送速度に応じた検出タイミングで電磁波を周期的に検出して、検出した電磁波に基づく、Ｍ列のラインセンサのそれぞれに対応する検出データを出力する。具体的には例えば、所定の速度で搬送される検査対象物Ｗの略同一の領域を透過してきた電磁波が、例えば１列目のラインセンサからＭ列目のラインセンサまで順次検出されるように検出周期が設定される。検出手段１３０が出力する検出データの形態は、加算手段１５０による加算制御に支障が無い範囲で任意である。例えば、間接変換タイプの検出素子の場合には、蓄積された電荷量に基づく電圧値、直接変換タイプの検出素子の場合には、カウントされたフォトンの数というように、離散化された数値で出力すれば加算制御が容易になる。なお、ここでＭ列のラインセンサにより順次検出されて足し合わされるそれぞれの電磁波が透過してきた検査対象物Ｗの領域について、略同一であることを許容しているのは、それぞれの電磁波が一部の領域を共通に透過してきていれば、当該一部の領域からの透過電磁波の足し合わせにより、少なくとも当該一部の領域についてＴＤＩ方式と同様な効果を得ることができるためである。すなわち、ここでいう略同一の領域を透過してきた（複数の）電磁波には、透過領域が同一である場合のほか、透過領域の一部が共通している場合が含まれる。

【0030】

図２を参照して、より具体的に説明する。図２は、検出手段１３０に対向してＹ軸方向に移動する検査対象物Ｗの、Ｘ軸方向に線状の４つの領域から透過してきた電磁波を４列のラインセンサで順次検出する過程を説明する図である。

【0031】

電磁波を照射されつつ所定の搬送速度でＹ軸方向に搬送される検査対象物Ｗの領域Ａから透過してきた電磁波は、まず図２(a)に示すように１列目のラインセンサにより検出される（領域Ａの第１検出周期）。

【0032】

所定の搬送速度で更にＹ軸方向に搬送される検査対象物Ｗの領域Ａから透過してきた電磁波は、続いて図２(b)に示すように２列目のラインセンサにより検出される（領域Ａの第２検出周期）。

【0033】

所定の搬送速度で更にＹ軸方向に搬送される検査対象物Ｗの領域Ａから透過してきた電磁波は、続いて図２(c)に示すように３列目のラインセンサにより検出される（領域Ａの第３検出周期）。

【0034】

所定の搬送速度で更にＹ軸方向に搬送される検査対象物Ｗの領域Ａから透過してきた電磁波は、続いて図２(d)に示すように４列目のラインセンサにより検出される（領域Ａの第４検出周期）。

【0035】

搬送手段１２０による検査対象物Ｗの搬送速度とＭ列のラインセンサの検出タイミングはこのように同期され、これにより検査対象物Ｗの略同一の領域である領域Ａを透過してきた電磁波が１列目のラインセンサからＭ列目のラインセンサまで順次検出される。

【0036】

なお、領域Ａの第２検出周期では、領域Ｂから透過してきた電磁波が１列目のラインセンサにより検出される（領域Ｂの第１検出周期）。

【0037】

また、領域Ａの第３検出周期では、領域Ｂから透過してきた電磁波が２列目のラインセンサにより検出され、領域Ｃから透過してきた電磁波が１列目のラインセンサにより検出される（領域Ｂの第２検出周期、領域Ｃの第１検出周期）。

【0038】

また、領域Ａの第４検出周期では、領域Ｂから透過してきた電磁波が３列目のラインセンサにより検出され、領域Ｃから透過してきた電磁波が２列目のラインセンサにより検出され、領域Ｄから透過してきた電磁波が１列目のラインセンサにより検出される（領域Ｂの第３検出周期、領域Ｃの第２検出周期、領域Ｄの第１検出周期）。

【0039】

所定の搬送速度で更にＹ軸方向に搬送される検査対象物Ｗの領域Ｂから透過してきた電磁波は、続いて図２(e)に示すように４列目のラインセンサにより検出される（領域Ｂの第４検出周期）。このとき、領域Ｃから透過してきた電磁波が３列目のラインセンサにより検出され、領域Ｄから透過してきた電磁波が２列目のラインセンサにより検出される（領域Ｃの第３検出周期、領域Ｄの第２検出周期）。

【0040】

所定の搬送速度で更にＹ軸方向に搬送される検査対象物Ｗの領域Ｃから透過してきた電磁波は、続いて図２(f)に示すように４列目のラインセンサにより検出される（領域Ｃの第４検出周期）。このとき、領域Ｄから透過してきた電磁波が４列目のラインセンサにより検出される（領域Ｄの第３検出周期）。

【0041】

所定の搬送速度で更にＹ軸方向に搬送される検査対象物Ｗの領域Ｄから透過してきた電磁波は、続いて図２(g)に示すように４列目のラインセンサにより検出される（領域Ｄの第４検出周期）。

【0042】

以上のように、７回の周期的な検出タイミングで、４列のラインセンサにより電磁波の検出を行うことで、検査対象物Ｗの４つの領域を透過してきたいずれの電磁波についても、４列のラインセンサにより検出することができる。

【0043】

なお、Ｔ個の領域のそれぞれを透過してきた電磁波を、Ｍ列の各列のラインセンサにより繰り返し検出するために必要な検出タイミングは（Ｍ＋Ｔ−１）回である。つまり、（Ｍ＋Ｔ−１）回の検出タイミングごとに、検出手段１３０のＭ列のラインセンサの１列目からＭ列目までの各列でそれぞれ検出された電磁波に基づく、各検出タイミングにおける各列のラインセンサのそれぞれに対応する検出データから、検査対象物ＷのＴ個の領域のそれぞれについて、当該領域を透過してきた電磁波のＭ列のラインセンサのそれぞれに対応する検出データを抽出することができる。

【0044】

記憶手段１４０は、任意の記憶媒体であり、検出手段１３０が出力した離散化された数値などの検出データが記憶される。

【0045】

加算手段１５０は、検査対象物Ｗの略同一の領域を透過してきた電磁波の検出データを足し合わせる制御を行う。なお、検査対象物Ｗの略同一の領域を透過してきた電磁波の検出データは、必ずしもＭ列のラインセンサのそれぞれによる検出データを全て足し合わせる必要は無いが、より多くのラインセンサによる検出データを足し合わせた方が積分露光効果が高まる。以下では、検査対象物Ｗの略同一の領域を透過してきた電磁波のＭ列のラインセンサのそれぞれによる検出データを全て足し合わせる場合を例にとって説明する。

【0046】

具体的には例えば、図２に示すように検査対象物Ｗの略同一の領域を透過してきた電磁波が１列目のラインセンサからＭ列目のラインセンサまで順次検出される正方向に検査対象物Ｗが搬送されるとき、ｎ周期目（ｎ＝１、２、・・・、Ｍ）の検出タイミングにおけるｎ列目のラインセンサに対応する検出データを、ｎ＝１、２、・・・、Ｍのそれぞれについて足し合わせるように制御する。

【0047】

領域Ａを例にとると、領域Ａの１周期目の検出タイミングにおける１列目のラインセンサに対応する検出データと、領域Ａの２周期目の検出タイミングにおける２列目のラインセンサに対応する検出データと、領域Ａの３周期目の検出タイミングにおける３列目のラインセンサに対応する検出データと、領域Ａの４周期目の検出タイミングにおける４列目のラインセンサに対応する検出データと、を足し合わせる。領域Ｂ、Ｃ及びＤについても同様の方法で検出データの足し合わせを行う。

【0048】

これにより、領域Ａ、Ｂ、Ｃ及びＤを透過してきたそれぞれの電磁波について、ラインセンサの列数分の検出データの足し合わせが実現される。このように足し合わせた検出データを、例えば異物検査などにおける自動判定に使用したり、検査データに基づき生成した二次元画像による目視検査に使用したりして、検査対象物Ｗの検査を行う。

【0049】

なお、各検出データの足し合わせは、各検出データに所定の補正処理を施した上で行ってもよい。これにより、例えば素子故障などにより検出データの値に異常が認められる場合に、補正した値で足し合わせを行うことができるため、検査精度の低下を抑制することができる。このような補正処理は、ＴＤＩ方式を実現する従来の検出器で行うことは不可能である。

【0050】

＜第１実施形態における加算処理の実現例＞
検出手段１３０のＭ列のラインセンサの各列で検出され出力された、各周期の検出データの記憶手段１４０への書き込み方法、及び、加算手段１５０が、記憶手段１４０に記憶された検出データの中から、検査対象物Ｗの略同一の領域を透過してきた電磁波のＭ列のラインセンサのそれぞれに対応する各検出データを足し合わせる制御を行う方法について、２つの具体例を図を参照しつつ説明する。

【0051】

第１の具体例を、図３及び図４を参照しつつ説明する。図３及び図４は、Ｘ軸方向に４個の検出素子が一列に配列されて構成されたラインセンサがＹ軸方向に４列並列に配列されてなる検出手段１３０に対向して検査対象物ＷがＹ軸方向に移動する場合を説明する図である。この例では、検査対象物Ｗの検出手段１３０に対向する面がＸ軸方向に線状に４分割された各領域（領域Ａ、領域Ｂ、領域Ｃ、及び領域Ｄ）から透過してきた電磁波を、それぞれ検出手段１３０の４列のラインセンサ（ラインセンサＬ_１、ラインセンサＬ_２、ラインセンサＬ_３、及びラインセンサＬ_４）により順次検出して、領域ごとに、４列のラインセンサのそれぞれに対応する各検出データの足し合わせ結果を得る。なお、ここでのラインセンサを構成する検出素子の個数及びラインセンサの列数はあくまで一例であり、任意の個数及び列数の場合において同様に実施可能である。

【0052】

記憶手段１４０は、第１記憶領域１４０ａと第２記憶領域１４０ｂとを備える。第１記憶領域１４０ａには、検出手段１３０が検出タイミングごとに出力した、各列のラインセンサのそれぞれに対応する検出データが書き込まれる。第２記憶領域１４０ｂには、加算手段１５０が、検査対象物Ｗの略同一の領域から透過してきた電磁波の各ラインセンサのそれぞれに対応する各検出データを足し合わせた結果が書き込まれる。

【0053】

加算手段１５０は、以下で説明する制御を行い、第１記憶領域１４０ａに記憶された検出データの中から、検査対象物Ｗの略同一の領域を透過してきた電磁波の各ラインセンサのそれぞれに対応する検出データを抽出し、足し合わせて第２記憶領域１４０ｂに書き込む。

【0054】

図３及び図４において、＃１から＃８はそれぞれ１周期目から８周期目までの検出タイミングである。＃１から＃８の表示の下には、それぞれの検出タイミングにおける検出手段１３０と検査対象物Ｗとの位置関係を記している。その下には、それぞれの検出タイミングにおける、第１記憶領域１４０ａへのデータの書き込み状態を記している。更にその下には、それぞれの検出タイミングにおける、第２記憶領域１４０ｂへのデータの書き込み状態を記している。

【0055】

第１記憶領域１４０ａは、ラインセンサの列数をＭ、ラインセンサを構成する検出素子の個数をＰとしたとき、少なくとも（Ｍ×Ｐ）行（Ｍ＋１）列の格子状の小記憶領域に論理的に区切られる。

【0056】

（Ｍ×Ｐ）行は、検出手段１３０全体の検出素子の個数（行数）に相当し、（Ｍ＋１）列はラインセンサの列数、すなわち足し合わせるデータの検出タイミング数に、加算処理のための１タイミングを加えたものである。

【0057】

図３及び図４に示す例では、Ｍ＝４、Ｐ＝４であることからＭ×Ｐ＝１６行である。１〜４行目には、ラインセンサＬ_１の１〜４行目の検出素子に対応する各検出データが書き込まれる。５〜８行目には、ラインセンサＬ_２の１〜４行目の検出素子に対応する各検出データが書き込まれる。９〜１２行目には、ラインセンサＬ_３の１〜４行目の検出素子に対応する各検出データが書き込まれる。１３〜１６行目には、ラインセンサＬ_４の１〜４行目の検出素子に対応する各検出データが書き込まれる。このように１６個の検出素子に対応する各検出データが、検出タイミングごとに第１記憶領域１４０ａの各列に順次書き込まれる。

【0058】

具体的にはまず、検査対象物ＷのＹ軸方向への移動により検査対象物Ｗの領域ＡがラインセンサＬ_１の２行目及び３行目の検出素子上に掛る１周期目では、ラインセンサＬ_１の２行目及び３行目の検出素子でそれぞれ検出された領域Ａからの透過電磁波に基づく各検出データが第１記憶領域１４０ａの１列目の２行目及び３行目の小記憶領域にそれぞれ書き込まれる。このとき、電磁波が検査対象物Ｗに妨げられずに直接検出される検出素子についても、検査対象物Ｗが当該検出素子上には無いことを示す検出データが当該検出素子に対応する小記憶領域に記憶される。このような小記憶領域については、図において便宜的に空欄で表記する（ラインセンサＬ_１の１行目及び４行目の検出素子に対応する第１記憶領域１４０ａの１列目の１行目及び４行目、並びにラインセンサＬ_２からラインセンサＬ_４の各検出素子に対応する第１記憶領域１４０ａの１列目の５行目から１６行目の各小記憶領域）。以下、他の検出タイミングにおいても、同様の小記憶領域については同様の表記とする。

【0059】

また、第２記憶領域１４０ｂには、当該検出タイミングのＭ周期前にラインセンサＬ_１で検出された透過電磁波に基づく検出データ、Ｍ−１周期前にラインセンサＬ_２で検出された透過電磁波に基づく検出データ、・・・、２周期前にラインセンサＬ_Ｍ−１で検出された透過電磁波に基づく検出データ、及び１周期前にラインセンサＬ_Ｍで検出された透過電磁波に基づく検出データを抽出して足し合わせた結果が書き込まれる。図３及び図４の例では、各検出タイミングでの抽出対象部分は、第１記憶領域１４０ａにおける網掛けで示す部分である。

【0060】

図３及び図４で示す例ではＭ＝４であるため、当該検出タイミングの４周期前にラインセンサＬ_１で検出された透過電磁波に基づく検出データ、３周期前にラインセンサＬ_２で検出された透過電磁波に基づく検出データ、２周期前にラインセンサＬ_３で透過電磁波に基づく検出された検出データ、及び１周期前にラインセンサＬ_４で検出された透過電磁波に基づく検出データを足し合わせた結果が書き込まれる。

【0061】

検出データの足し合わせは、各ラインセンサの同じ行の検出素子により検出された検出データについて行う。そこで、第２記憶領域１４０ｂには１列につき、ラインセンサを構成する検出素子の行数であるＰ行の小記憶領域を確保しておく。そして、当該Ｐ行の小記憶領域からなる列を検出タイミングごとに順次配列していく。そのため、検出タイミングの回数がＴであれば、第２記憶領域１４０ｂは、例えば、Ｐ行Ｔ列の格子状の小記憶領域に論理的に区切られる。

【0062】

図３及び図４で示す例ではＰ＝４であるため、検出データの足し合わせ結果は、例えば、第２記憶領域１４０ｂの１列目の１〜４行目の各小記憶領域に次のように書き込まれる。

【0063】

各ラインセンサの１行目に対応する第１記憶領域１４０ａの２列目の１行目、３列目の５行目、４列目の９行目、及び５列目の１３行目の各小記憶領域に記憶された検出データを足し合わせた結果が１行目に書き込まれる。また、各ラインセンサの２行目に対応する第１記憶領域１４０ａの２列目の２行目、３列目の６行目、４列目の１０行目、及び５列目の１４行目の各小記憶領域に記憶された検出データを足し合わせた結果が２行目に書き込まれる。また、各ラインセンサの３行目に対応する第１記憶領域１４０ａの２列目の３行目、３列目の７行目、４列目の１１行目、及び５列目の１５行目の各小記憶領域に記憶された検出データを足し合わせた結果が３行目に書き込まれる。また、各ラインセンサの４行目に対応する第１記憶領域１４０ａの２列目の４行目、３列目の８行目、４列目の１２行目、及び５列目の１６行目の各小記憶領域に記憶された検出データを足し合わせた結果が４行目に書き込まれる。

【0064】

ただし、この時点では第１記憶領域１４０ａの上記の各小記憶領域には検査対象物Ｗが不存在であることを示すデータが記憶されているにとどまるため、第２記憶領域１４０ｂの１列目の各行にも検査対象物Ｗの存在を示すデータは書き込まれない。このような書き込み状態については、図において便宜的に空欄で表記する。以下、他の検出タイミングにおいても、同様の小記憶領域については同様の表記とする。

【0065】

検査対象物Ｗが更にＹ軸方向に移動して、検査対象物Ｗの領域ＡがラインセンサＬ_２の２行目及び３行目の検出素子上に、領域ＢがラインセンサＬ_１の２行目及び３行目の検出素子上に、それぞれ掛る２周期目では、ラインセンサＬ_２の２行目及び３行目の検出素子でそれぞれ検出された領域Ａからの透過電磁波に基づく各検出データが、第１記憶領域１４０ａの２列目の６行目及び７行目の小記憶領域にそれぞれ書き込まれる。また、ラインセンサＬ_１の２行目及び３行目の検出素子でそれぞれ検出された領域Ｂからの透過電磁波に基づく各検出データが、第１記憶領域１４０ａの２列目の２行目及び３行目の小記憶領域にそれぞれ書き込まれる。

【0066】

また、第２記憶領域１４０ｂの２列目の各行には、当該検出タイミングの４周期前にラインセンサＬ_１で検出された透過電磁波に基づく検出データ、３周期前にラインセンサＬ_２で検出された透過電磁波に基づく検出データ、２周期前にラインセンサＬ_３で検出された透過電磁波に基づく検出データ、及び１周期前にラインセンサＬ_４で検出された透過電磁波に基づく検出データを足し合わせた結果が書き込まれる。ただし、この時点でも第１記憶領域１４０ａの各小記憶領域には検査対象物Ｗが不存在であることを示すデータが記憶されているにとどまるため、第２記憶領域１４０ｂの２列目の各行にも検査対象物Ｗの存在を示すデータは書き込まれない。

【0067】

続いて３周期目では、検査対象物Ｗが更にＹ軸方向に移動して、検査対象物Ｗの領域ＡがラインセンサＬ_３の２行目及び３行目の検出素子上に、領域ＢがラインセンサＬ_２の２行目及び３行目の検出素子上に、領域ＣがラインセンサＬ_１の２行目及び３行目の検出素子上に、それぞれ掛る。このとき、ラインセンサＬ_３の２行目及び３行目の検出素子でそれぞれ検出された領域Ａからの透過電磁波に基づく各検出データが、第１記憶領域１４０ａの３列目の１０行目及び１１行目の小記憶領域にそれぞれ書き込まれる。また、ラインセンサＬ_２の２行目及び３行目の検出素子でそれぞれ検出された領域Ｂからの透過電磁波に基づく各検出データが、第１記憶領域１４０ａの３列目の６行目及び７行目の小記憶領域にそれぞれ書き込まれる。また、ラインセンサＬ_１の２行目及び３行目の検出素子でそれぞれ検出された領域Ｃからの透過電磁波に基づく各検出データが、第１記憶領域１４０ａの３列目の２行目及び３行目の小記憶領域にそれぞれ書き込まれる。

【0068】

また、第２記憶領域１４０ｂの３列目の各行には、当該検出タイミングの４周期前にラインセンサＬ_１で検出された透過電磁波に基づく検出データ、３周期前にラインセンサＬ_２で検出された透過電磁波に基づく検出データ、２周期前にラインセンサＬ_３で検出された透過電磁波に基づく検出データ、及び１周期前にラインセンサＬ_４で検出された透過電磁波に基づく検出データを足し合わせた結果が書き込まれる。ただし、この時点でも第１記憶領域１４０ａの各小記憶領域には検査対象物Ｗが不存在であることを示すデータが記憶されているにとどまるため、第２記憶領域１４０ｂの３列目の各行にも検査対象物Ｗの存在を示すデータは書き込まれない。

【0069】

続いて４周期目では、検査対象物Ｗが更にＹ軸方向に移動して、検査対象物Ｗの領域ＡがラインセンサＬ_４の２行目及び３行目の検出素子上に、領域ＢがラインセンサＬ_３の２行目及び３行目の検出素子上に、領域ＣがラインセンサＬ_２の２行目及び３行目の検出素子上に、領域ＤがラインセンサＬ_１の２行目及び３行目の検出素子上に、それぞれ掛る。このとき、ラインセンサＬ_４の２行目及び３行目の検出素子でそれぞれ検出された領域Ａからの透過電磁波に基づく各検出データが、第１記憶領域１４０ａの４列目の１４行目及び１５行目の小記憶領域にそれぞれ書き込まれる。また、ラインセンサＬ_３の２行目及び３行目の検出素子でそれぞれ検出された領域Ｂからの透過電磁波に基づく各検出データが、第１記憶領域１４０ａの４列目の１０行目及び１１行目の小記憶領域にそれぞれ書き込まれる。また、ラインセンサＬ_２の２行目及び３行目の検出素子でそれぞれ検出された領域Ｃからの透過電磁波に基づく各検出データが、第１記憶領域１４０ａの４列目の６行目及び７行目の小記憶領域にそれぞれ書き込まれる。また、ラインセンサＬ_１の２行目及び３行目の検出素子でそれぞれ検出された領域Ｄからの透過電磁波に基づく各検出データが、第１記憶領域１４０ａの４列目の２行目及び３行目の小記憶領域にそれぞれ書き込まれる。

【0070】

また、第２記憶領域１４０ｂの４列目の各行には、当該検出タイミングの４周期前にラインセンサＬ_１で検出された透過電磁波に基づく検出データ、３周期前にラインセンサＬ_２で検出された透過電磁波に基づく検出データ、２周期前にラインセンサＬ_３で検出された透過電磁波に基づく検出データ、及び１周期前にラインセンサＬ_４で検出された透過電磁波に基づく検出データを足し合わせた結果が書き込まれる。ただし、この時点でも第１記憶領域１４０ａの各小記憶領域には検査対象物Ｗが不存在であることを示すデータが記憶されているにとどまるため、第２記憶領域１４０ｂの４列目の各行にも検査対象物Ｗの存在を示すデータは書き込まれない。

【0071】

続いて５周期目では、検査対象物Ｗが更にＹ軸方向に移動して、検査対象物Ｗの領域ＢがラインセンサＬ_４の２行目及び３行目の検出素子上に、領域ＣがラインセンサＬ_３の２行目及び３行目の検出素子上に、領域ＤがラインセンサＬ_２の２行目及び３行目の検出素子上に、それぞれ掛る。このとき、ラインセンサＬ_４の２行目及び３行目の検出素子でそれぞれ検出された領域Ｂからの透過電磁波に基づく各検出データが、第１記憶領域１４０ａの５列目の１４行目及び１５行目の小記憶領域にそれぞれ書き込まれる。また、ラインセンサＬ_３の２行目及び３行目の検出素子でそれぞれ検出された領域Ｃからの透過電磁波に基づく各検出データが、第１記憶領域１４０ａの５列目の１０行目及び１１行目の小記憶領域にそれぞれ書き込まれる。また、ラインセンサＬ_２の２行目及び３行目の検出素子でそれぞれ検出された領域Ｄからの透過電磁波に基づく各検出データが、第１記憶領域１４０ａの５列目の６行目及び７行目の小記憶領域にそれぞれ書き込まれる。

【0072】

また、第２記憶領域１４０ｂの５列目の各行には、当該検出タイミングの４周期前である１周期目にラインセンサＬ_１で検出された透過電磁波に基づく検出データ、３周期前である２周期目にラインセンサＬ_２で検出された透過電磁波に基づく検出データ、２周期前である３周期目にラインセンサＬ_３で検出された透過電磁波に基づく検出データ、及び１周期前である４周期目にラインセンサＬ_４で検出された透過電磁波に基づく検出データを足し合わせた結果が書き込まれる。

【0073】

これにより、検査対象物Ｗの領域Ａからの透過電磁波について、１周期目にラインセンサＬ_１の２行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、２周期目にラインセンサＬ_２の２行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、３周期目にラインセンサＬ_３の２行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、及び４周期目にラインセンサＬ_４の２行目において検出された透過電磁波に基づく検出データを足し合わせた結果が、５列目の２行目に書き込まれることになる（４Ａと表記）。また、１周期目にラインセンサＬ_１の３行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、２周期目にラインセンサＬ_２の３行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、３周期目にラインセンサＬ_３の３行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、及び４周期目にラインセンサＬ_４の３行目において検出された透過電磁波に基づく検出データを足し合わせた結果が、５列目の３行目に書き込まれることになる（４Ａと表記）。このようにして、領域Ａからの透過電磁波について、４列のラインセンサのそれぞれに対応する各検出データの足し合わせが実現される。

【0074】

なお、５周期目での加算処理により第１記憶領域１４０ａの１列目に記憶されていた１周期目の検出データが以後不要になる。そのため、１列目には６周期目の検出データが上書きされて６周期目の記憶領域として再利用される。

【0075】

続いて６周期目では、検査対象物Ｗが更にＹ軸方向に移動して、検査対象物Ｗの領域ＣがラインセンサＬ_４の２行目及び３行目の検出素子上に、領域ＤがラインセンサＬ_３の２行目及び３行目の検出素子上に、それぞれ掛る。このとき、ラインセンサＬ_４の２行目及び３行目の検出素子でそれぞれ検出された領域Ｃからの透過電磁波に基づく各検出データが、第１記憶領域１４０ａの１列目の１４行目及び１５行目の小記憶領域にそれぞれ書き込まれる。また、ラインセンサＬ_３の２行目及び３行目の検出素子でそれぞれ検出された領域Ｄからの透過電磁波に基づく各検出データが、第１記憶領域１４０ａの１列目の１０行目及び１１行目の小記憶領域にそれぞれ書き込まれる。

【0076】

また、第２記憶領域１４０ｂの６列目の各行には、当該検出タイミングの４周期前である２周期目にラインセンサＬ_１で検出された透過電磁波に基づく検出データ、３周期前である３周期目にラインセンサＬ_２で検出された透過電磁波に基づく検出データ、２周期前である４周期目にラインセンサＬ_３で検出された透過電磁波に基づく検出データ、及び１周期前である５周期目にラインセンサＬ_４で検出された透過電磁波に基づく検出データを足し合わせた結果が書き込まれる。

【0077】

これにより、検査対象物Ｗの領域Ｂからの透過電磁波について、２周期目にラインセンサＬ_１の２行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、３周期目にラインセンサＬ_２の２行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、４周期目にラインセンサＬ_３の２行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、及び５周期目にラインセンサＬ_４の２行目において検出された透過電磁波に基づく検出データを足し合わせた結果が、６列目の２行目に書き込まれることになる（４Ｂと表記）。また、２周期目にラインセンサＬ_１の３行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、３周期目にラインセンサＬ_２の３行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、４周期目にラインセンサＬ_３の３行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、及び５周期目にラインセンサＬ_４の３行目において検出された透過電磁波に基づく検出データを足し合わせた結果が、６列目の３行目に書き込まれることになる（４Ｂと表記）。このようにして、領域Ｂからの透過電磁波について、４列のラインセンサのそれぞれに対応する各検出データの足し合わせが実現される。

【0078】

また、６周期目での加算処理により、第１記憶領域１４０ａの２列目に記憶されていた２周期目の検出データが以後不要になる。そのため、２列目には７周期目の検出データが上書きされて７周期目の記憶領域として再利用される。

【0079】

続いて７周期目では、検査対象物Ｗが更にＹ軸方向に移動して、検査対象物Ｗの領域ＤがラインセンサＬ_４の２行目及び３行目の検出素子上に掛る。このとき、ラインセンサＬ_４の２行目及び３行目の検出素子でそれぞれ検出された領域Ｄからの透過電磁波に基づく各検出データが、第１記憶領域１４０ａの２列目の１４行目及び１５行目の小記憶領域にそれぞれ書き込まれる。

【0080】

また、第２記憶領域１４０ｂの７列目の各行には、当該検出タイミングの４周期前である３周期目にラインセンサＬ_１で検出された透過電磁波に基づく検出データ、３周期前である４周期目にラインセンサＬ_２で検出された透過電磁波に基づく検出データ、２周期前である５周期目にラインセンサＬ_３で検出された透過電磁波に基づく検出データ、及び１周期前である６周期目にラインセンサＬ_４で検出された透過電磁波に基づく検出データを足し合わせた結果が書き込まれる。

【0081】

これにより、検査対象物Ｗの領域Ｃからの透過電磁波について、３周期目にラインセンサＬ_１の２行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、４周期目にラインセンサＬ_２の２行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、５周期目にラインセンサＬ_３の２行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、及び６周期目にラインセンサＬ_４の２行目において検出された透過電磁波に基づく検出データを足し合わせた結果が、７列目の２行目に書き込まれることになる（４Ｃと表記）。また、３周期目にラインセンサＬ_１の３行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、４周期目にラインセンサＬ_２の３行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、５周期目にラインセンサＬ_３の３行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、及び６周期目にラインセンサＬ_４の３行目において検出された透過電磁波に基づく検出データを足し合わせた結果が、７列目の３行目に書き込まれることになる（４Ｃと表記）。このようにして、領域Ｃからの透過電磁波について、４列のラインセンサのそれぞれに対応する各検出データの足し合わせが実現される。

【0082】

また、７周期目での加算処理により、第１記憶領域１４０ａの３列目に記憶されていた３周期目の検出データが以後不要になる。そのため、３列目には８周期目の検出データが上書きされて８周期目の記憶領域として再利用される。

【0083】

続いて８周期目では、検査対象物Ｗが更にＹ軸方向に移動して、検査対象物Ｗが検出手段１３０上を全て通過する。このとき、第２記憶領域１４０ｂの８列目の各行に、当該検出タイミングの４周期前である４周期目にラインセンサＬ_１で検出された透過電磁波に基づく検出データ、３周期前である５周期目にラインセンサＬ_２で検出された透過電磁波に基づく検出データ、２周期前である６周期目にラインセンサＬ_３で検出された透過電磁波に基づく検出データ、及び１周期前である７周期目にラインセンサＬ_４で検出された透過電磁波に基づく検出データを足し合わせた結果が書き込まれる。

【0084】

これにより、検査対象物Ｗの領域Ｄからの透過電磁波について、４周期目にラインセンサＬ_１の２行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、５周期目にラインセンサＬ_２の２行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、６周期目にラインセンサＬ_３の２行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、及び７周期目にラインセンサＬ_４の２行目において検出された透過電磁波に基づく検出データを足し合わせた結果が、８列目の２行目に書き込まれることになる（４Ｄと表記）。また、４周期目にラインセンサＬ_１の３行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、５周期目にラインセンサＬ_２の３行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、６周期目にラインセンサＬ_３の３行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、及び７周期目にラインセンサＬ_４の３行目において検出された透過電磁波に基づく検出データを足し合わせた結果が、８列目の３行目に書き込まれることになる（４Ｄと表記）。このようにして、領域Ｄからの透過電磁波について、４列のラインセンサのそれぞれに対応する各検出データの足し合わせが実現される。

【0085】

以上の処理により、領域Ａ、領域Ｂ、領域Ｃ、及び領域Ｄを透過してきたそれぞれの電磁波について、ラインセンサの列数分の検出データの足し合わせが行われた結果が、第２記憶領域１４０ｂの５列目から８列目にそれぞれ記憶される。

【0086】

なお、上記の例では、検出手段１３０のＭ列のラインセンサのそれぞれに対応する検出データを検出タイミングごとに第１記憶領域１４０ａに記憶させるに際し、図３及び図４に示すように、１周期目の検出データを１列目に、２周期目の検出データを２列目に、・・・と記憶させ、Ｍ周期目の検出データをＭ列目に記憶させた後、Ｍ＋１周期目で再度１列目から順次記憶させていく記憶方法を採用したが、記憶方法はこの限りではない。

【0087】

例えば、図５及び図６に示す変形例のように、１周期目の検出データをＭ列目に、２周期目の検出データをＭ−１列目に、・・・と記憶させ、Ｍ周期目の検出データを１列目に記憶させた後、Ｍ＋１周期目で再度Ｍ列目から順次記憶させていく記憶方法を採用してもよい。

【0088】

このような記憶方法を採用した場合には、上記の例と同様な抽出方法により、検査対象物の略同一の領域を透過してきた電磁波のＭ列のラインセンサのそれぞれに対応する検出データを抽出し、足し合わせればよい。

【0089】

すなわち、或る検出タイミングでは、当該検出タイミングのＭ周期前にラインセンサＬ_１で検出された透過電磁波に基づく検出データ、Ｍ−１周期前にラインセンサＬ_２で検出された透過電磁波に基づく検出データ、・・・、２周期前にラインセンサＬ_Ｍ−１で検出された透過電磁波に基づく検出データ、及び１周期前にラインセンサＬ_Ｍで検出された透過電磁波に基づく検出データを抽出し、足し合わせた結果を第２記憶領域１４０ｂに書き込む。図５及び図６の例では、各検出タイミングでの抽出対象部分は、第１記憶領域１４０ａにおける網掛けで示す部分である。

【0090】

なお、記憶方法の相違のさせ方によっては、抽出方法についても相違させる必要が生じうる。すなわち、記憶方法を変えたときには、上記の例のように同じ抽出方法を採用できる場合と、同じ抽出方法を採用できない場合がある。言い換えれば、抽出方法は採用した記憶方法に応じて特定される。

【0091】

次に、第２の具体例を図７及び図８を参照しつつ説明する。図７及び図８についても図３及び図４と同様に、Ｘ軸方向に４個の検出素子が一列に配列されて構成されたラインセンサがＹ軸方向に４列並列に配列されてなる検出手段１３０に対向して検査対象物ＷがＹ軸方向に移動する場合を説明する図である。この例では、検査対象物Ｗの検出手段１３０に対向する面がＸ軸方向に線状に４分割された各領域（領域Ａ、領域Ｂ、領域Ｃ、及び領域Ｄ）から透過してきた電磁波を、それぞれ検出手段１３０の４列のラインセンサ（ラインセンサＬ_１、ラインセンサＬ_２、ラインセンサＬ_３、及びラインセンサＬ_４）により順次検出して、領域ごとに、４列のラインセンサのそれぞれに対応する各検出データの足し合わせ結果を得る。なお、ここでのラインセンサを構成する検出素子の個数及びラインセンサの列数はあくまで一例であり、任意の個数及び列数の場合において同様に実現可能である。

【0092】

検査対象物Ｗの略同一の領域を透過してきた電磁波のＭ列のラインセンサのそれぞれに対応する各検出データの足し合わせは、検出タイミングごとに検出手段１３０のＭ列のラインセンサの１列目からＭ列目までの各列でそれぞれ検出された電磁波に基づく、各検出タイミングにおけるＭ列のラインセンサのそれぞれに対応する検出データが、加算手段１５０による以下で説明する制御に従い記憶手段１４０に書き込まれることで実現される。

【0093】

図７及び図８において、＃１から＃７はそれぞれ１周期目から７周期目までの検出タイミングであり、＃１から＃７の表示の下には、それぞれの検出タイミングにおける検出手段１３０と検査対象物Ｗとの位置関係を記している。その下には、それぞれの検出タイミングにおける記憶手段１４０への足し合わせ結果の書き込み状態を記している。

【0094】

記憶手段１４０は、例えば、図７及び図８に示すように４行１０列の格子状の小記憶領域に論理的に区切られる。４行１０列としている理由は後述する。記憶手段１４０の各小記憶領域には初期状態では何も記憶されていない。このように区切られた記憶手段１４０の各小記憶領域に、各ラインセンサ（ラインセンサＬ_４、ラインセンサＬ_３、ラインセンサＬ_２、及びラインセンサＬ_１）の各行の検出素子で検出された電磁波に基づく検出データが順次書き込まれる。

【0095】

具体的にはまず、検査対象物ＷのＹ軸方向への移動により検査対象物Ｗの領域ＡがラインセンサＬ_１の２行目及び３行目の検出素子上に掛る１周期目では、ラインセンサＬ_１の２行目及び３行目の検出素子でそれぞれ検出された領域Ａからの透過電磁波に基づく各検出データが記憶手段１４０の４列目の２行目及び３行目の小記憶領域にそれぞれ書き込まれる。このとき、電磁波が検査対象物Ｗに妨げられずに直接検出される検出素子についても、検査対象物Ｗが当該検出素子上には無いことを示すデータが当該検出素子に対応する小記憶領域に記憶されるが、このような小記憶領域については、図において便宜的に空欄で表記する（ラインセンサＬ_１の１行目及び４行目の検出素子に対応する記憶手段１４０の４列目の１行目及び４行目、並びにラインセンサＬ_２からラインセンサＬ_４にそれぞれ対応する記憶手段１４０の３列目から１列目の各小記憶領域）。以下、他の検出タイミングにおいても同様の表記とする。

【0096】

続いて２周期目では、検査対象物Ｗが更にＹ軸方向に移動して、検査対象物Ｗの領域ＡがラインセンサＬ_２の２行目及び３行目の検出素子上に、領域ＢがラインセンサＬ_１の２行目及び３行目の検出素子上に、それぞれ掛る。このとき、ラインセンサＬ_２で検出された領域Ａからの透過電磁波に基づく検出データが、既に記憶手段１４０の４列目に記憶されている領域Ａからの検出データと足し合わされるように、ラインセンサＬ_４からラインセンサＬ_１の各行の検出素子において検出された電磁波に基づく各検出データが、記憶手段１４０の２列目から５列目の各行の小記憶領域に既に記憶されている情報にそれぞれ足し合わせて記憶される。

【0097】

これにより、記憶手段１４０の４列目の２行目に、ラインセンサＬ_１及びラインセンサＬ_２の２行目の検出素子による領域Ａからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（２Ａと表記）。また、４列目の３行目に、ラインセンサＬ_１及びラインセンサＬ_２の３行目の検出素子による領域Ａからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（２Ａと表記）。また、５列目の２行目及び３行目に、ラインセンサＬ_１の２行目及び３行目の検出素子による領域Ｂからの透過電磁波に基づく各検出データがそれぞれ記憶される。

【0098】

続いて３周期目では、検査対象物Ｗが更にＹ軸方向に移動して、検査対象物Ｗの領域ＡがラインセンサＬ_３の２行目及び３行目の検出素子上に、領域ＢがラインセンサＬ_２の２行目及び３行目の検出素子上に、領域ＣがラインセンサＬ_１の２行目及び３行目の検出素子上に、それぞれ掛る。このとき、ラインセンサＬ_３で検出された領域Ａからの透過電磁波に基づく検出データ及びラインセンサＬ_２で検出された領域Ｂからの透過電磁波に基づく検出データが、既に記憶手段１４０の４列目及び５列目にそれぞれ記憶されている領域Ａ及び領域Ｂからの透過電磁波に基づく各検出データと、それぞれ足し合わされるように、ラインセンサＬ_４からラインセンサＬ_１の各行の検出素子において検出された電磁波に基づく各検出データが、記憶手段１４０の３列目から６列目の各行の小記憶領域に既に記憶されている情報にそれぞれ足し合わせて記憶される。

【0099】

これにより、記憶手段１４０の４列目の２行目に、ラインセンサＬ_１からラインセンサＬ_３の２行目の検出素子による領域Ａからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（３Ａと表記）。また、４列目の３行目に、ラインセンサＬ_１からラインセンサＬ_３の３行目の検出素子による領域Ａからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（３Ａと表記）。また、５列目の２行目に、ラインセンサＬ_１及びラインセンサＬ_２の２行目の検出素子による領域Ｂからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（２Ｂと表記）。また、５列目の３行目に、ラインセンサＬ_１及びラインセンサＬ_２の３行目の検出素子による領域Ｂからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（２Ｂと表記）。また、６列目の２行目及び３行目に、ラインセンサＬ_１の２行目及び３行目の検出素子による領域Ｃからの透過電磁波に基づく各検出データがそれぞれ記憶される。

【0100】

続いて４周期目では、検査対象物Ｗが更にＹ軸方向に移動して、検査対象物Ｗの領域ＡがラインセンサＬ_４の２行目及び３行目の検出素子上に、領域ＢがラインセンサＬ_３の２行目及び３行目の検出素子上に、領域ＣがラインセンサＬ_２の２行目及び３行目の検出素子上に、領域ＤがラインセンサＬ_１の２行目及び３行目の検出素子上に、それぞれ掛る。このとき、ラインセンサＬ_４で検出された領域Ａからの透過電磁波に基づく検出データ、ラインセンサＬ_３で検出された領域Ｂからの透過電磁波に基づく検出データ、及びラインセンサＬ_２で検出された領域Ｃからの透過電磁波に基づく検出データが、既に記憶手段１４０の４列目から６列目にそれぞれ記憶されている領域Ａ、領域Ｂ、及び領域Ｃからの透過電磁波に基づく各検出データと、それぞれ足し合わされるように、ラインセンサＬ_４からＬ_１の各行の検出素子において検出された透過電磁波に基づく各検出データが、記憶手段１４０の４列目から７列目の各行の小記憶領域に記憶された情報にそれぞれ足し合わせて記憶される。

【0101】

これにより、記憶手段１４０の４列目の２行目に、ラインセンサＬ_１からラインセンサＬ_４の２行目の検出素子による領域Ａからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（４Ａと表記）。また、４列目の３行目に、ラインセンサＬ_１からラインセンサＬ_４の３行目の検出素子による領域Ａからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（４Ａと表記）。また、５列目の２行目に、ラインセンサＬ_１からラインセンサＬ_３の２行目の検出素子による領域Ｂからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（３Ｂと表記）。また、５列目の３行目に、ラインセンサＬ_１からラインセンサＬ_３の３行目の検出素子による領域Ｂからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（３Ｂと表記）。また、６列目の２行目に、ラインセンサＬ_１及びラインセンサＬ_２の２行目の検出素子による領域Ｃからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（２Ｃと表記）。また、６列目の３行目に、ラインセンサＬ_１及びラインセンサＬ_２の３行目の検出素子による領域Ｃからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（２Ｃと表記）。また、７列目の２行目及び３行目に、ラインセンサＬ_１の２行目及び３行目の検出素子による領域Ｄからの透過電磁波に基づく各検出データがそれぞれ記憶される。

【0102】

続いて５周期目では、検査対象物Ｗが更にＹ軸方向に移動して、検査対象物Ｗの領域ＢがラインセンサＬ_４の２行目及び３行目の検出素子上に、領域ＣがラインセンサＬ_３の２行目及び３行目の検出素子上に、領域ＤがラインセンサＬ_２の２行目及び３行目の検出素子上に、それぞれ掛る。このとき、ラインセンサＬ_４で検出された領域Ｂからの透過電磁波に基づく検出データ、ラインセンサＬ_３で検出された領域Ｃからの透過電磁波に基づく検出データ、及びラインセンサＬ_２で検出された領域Ｄからの透過電磁波に基づく検出データが、既に記憶手段１４０の５列目から７列目にそれぞれ記憶されている領域Ｂ、領域Ｃ、及び領域Ｄからの透過電磁波に基づく各検出データと、それぞれ足し合わされるように、ラインセンサＬ_４からＬ_１の各行の検出素子において検出された電磁波に基づく各検出データが、記憶手段１４０の５列目から８列目の各行の小記憶領域に記憶された情報にそれぞれ足し合わせて記憶される。

【0103】

これにより、記憶手段１４０の５列目の２行目に、ラインセンサＬ_１からラインセンサＬ_４の２行目の検出素子による領域Ｂからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（４Ｂと表記）。また、５列目の３行目に、ラインセンサＬ_１からラインセンサＬ_４の３行目の検出素子による領域Ｂからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（４Ｂと表記）。また、６列目の２行目に、ラインセンサＬ_１からラインセンサＬ_３の２行目の検出素子による領域Ｃからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（３Ｃと表記）。また、６列目の３行目に、ラインセンサＬ_１からラインセンサＬ_３の３行目の検出素子による領域Ｃからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（３Ｃと表記）。また、７列目の２行目に、ラインセンサＬ_１及びラインセンサＬ_２の２行目の検出素子による領域Ｄからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（２Ｄと表記）。また、７列目の３行目に、ラインセンサＬ_１及びラインセンサＬ_２の３行目の検出素子による領域Ｄからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（２Ｄと表記）。

【0104】

続いて６周期目では、検査対象物Ｗが更にＹ軸方向に移動して、検査対象物Ｗの領域ＣがラインセンサＬ_４の２行目及び３行目の検出素子上に、領域ＤがラインセンサＬ_３の２行目及び３行目の検出素子上に、それぞれ掛る。このとき、ラインセンサＬ_４で検出された領域Ｃからの透過電磁波に基づく検出データ及びラインセンサＬ_３で検出された領域Ｄからの透過電磁波に基づく検出データが、既に記憶手段１４０の６列目及び７列目に記憶されている領域Ｃ及び領域Ｄからの透過電磁波に基づく各検出データと、それぞれ足し合わされるように、ラインセンサＬ_４からＬ_１の各行の検出素子において検出された電磁波に基づく各検出データが、記憶手段１４０の６列目から９列目の各行の小記憶領域に記憶された情報にそれぞれ足し合わせて記憶される。

【0105】

これにより、記憶手段１４０の６列目の２行目に、ラインセンサＬ_１からラインセンサＬ_４の２行目の検出素子による領域Ｃからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（４Ｃと表記）。また、６列目の３行目に、ラインセンサＬ_１からラインセンサＬ_４の３行目の検出素子による領域Ｃからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（４Ｃと表記）。また、７列目の２行目に、ラインセンサＬ_１からラインセンサＬ_３の２行目の検出素子による領域Ｄからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（３Ｄと表記）。また、７列目の３行目に、ラインセンサＬ_１からラインセンサＬ_３の３行目の検出素子による領域Ｄからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（３Ｄと表記）。

【0106】

続いて７周期目では、検査対象物Ｗが更にＹ軸方向に移動して、検査対象物Ｗの領域ＤがラインセンサＬ_４の２行目及び３行目の検出素子上に掛る。このとき、ラインセンサＬ_４で検出された領域Ｄからの透過電磁波に基づく検出データが、既に記憶手段１４０の７列目に記憶されている領域Ｄからの透過電磁波に基づく検出データと足し合わされるように、ラインセンサＬ_４からＬ_１の各行の検出素子において検出された電磁波に基づく各検出データが、記憶手段１４０の７列目から１０列目の各行の小記憶領域に記憶された情報にそれぞれ足し合わせて記憶される。

【0107】

これにより、記憶手段１４０の７列目の２行目に、ラインセンサＬ_１からラインセンサＬ_４の２行目の検出素子による領域Ｄからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（４Ｄと表記）。また、７列目の３行目に、ラインセンサＬ_１からラインセンサＬ_４の３行目の検出素子による領域Ｄからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（４Ｄと表記）。

【0108】

そして以上の処理により、領域Ａ、領域Ｂ、領域Ｃ、及び領域Ｄを透過してきたそれぞれの電磁波について、ラインセンサの列数分の検出データの足し合わせが行われた結果が、記憶手段１４０の４列目から７列目の２行目及び３行目の小記憶領域にそれぞれ記憶される。

【0109】

上記の第２の具体例の説明は、ラインセンサを構成する検出素子の個数が４個、ラインセンサの列数が４列、各ラインセンサによる透過電磁波の検出対象となる検査対象物Ｗの線状の領域の個数が４個の場合のものである。そしてこの場合、１周期目から７周期目までの各検出タイミングにおける、各ラインセンサの各行で検出された電磁波に基づく各検出データを、記憶手段１４０の各列に既に記憶されている情報に、図７及び図８に示すように、１周期目から７周期目まで１列ずつずらしながら足し合わせていくことで、検査対象物Ｗの略同一の領域を透過してきた電磁波の、各ラインセンサのそれぞれに対応する各検出データの足し合わせを実現する。そのため、領域Ａから領域Ｄの４つの領域のそれぞれについて、ラインセンサの列数分（４列分）の検出データの足し合わせを行うためには、記憶手段１４０が少なくとも４行１０列の格子状の小記憶領域に論理的に区切られている必要がある。

【0110】

なお、ラインセンサを構成する検出素子の個数をＰ、ラインセンサの列数をＭ、各ラインセンサによる透過電磁波の検出対象となる検査対象物Ｗの線状の領域の個数をＲとして一般化すると、記憶手段１４０は、少なくともＰ行（２Ｍ＋Ｒ−２）列の格子状の小記憶領域に論理的に区切られている必要がある。

【0111】

表示制御手段１６０は、記憶手段１４０の各列の小記憶領域に記憶されている、検査対象物Ｗの略同一の領域Ａから領域Ｄをそれぞれ透過してきた電磁波の、各列のラインセンサのそれぞれに対応する各検出データの足し合わせ結果を、検査対象物Ｗにおける各領域の並び順（例えば、領域Ａ、領域Ｂ、領域Ｃ、領域Ｄ、・・・）に従い配列し、検出データの足し合わせ結果の値の大きさが濃淡で表現された電磁波透過画像を表示手段１７０に表示する。

【0112】

以上のように、本発明の検査装置１００では、Ｍ列のＣＭＯＳラインセンサでエリアセンサを構成し、これを検査対象物Ｗに対して１列分ずつ相対的に移動させつつ検査対象物Ｗを透過してきた電磁波を順次検出する。そして、このようにして得られたＭ個のエリアの検出データのそれぞれに含まれる、検査対象物Ｗの略同一の領域を透過してきた電磁波のＭ列のラインセンサのそれぞれに対応する各検出データを足し合わせることで、従来のＴＤＩ方式検出器と同様な積分露光効果を得ることができる。また、本発明の検査装置１００では、従来のＴＤＩ方式検出器で必要とされるデータを隣接画素に順次転送する処理が不要であり、したがって転送用の回路を設ける必要が無い。そのため、ＴＤＩ方式と同様な効果が得られる検査装置を、従来のＴＤＩ方式検出器を用いて装置を構成する場合と比べ、シンプルかつ小型に実現することができる。

【0113】

〔第２実施形態〕
検査対象物Ｗの略同一の領域を透過してきた電磁波が、１列目のラインセンサからＭ列目のラインセンサまで順次検出される検査対象物Ｗの搬送方向が正方向、Ｍ列目のラインセンサから１列目のラインセンサまで順次検出される検査対象物Ｗの搬送方向が逆方向であるとする。第１実施形態は、検査対象物Ｗの搬送方向が正方向の場合の実施形態であるが、以下説明する第２実施形態は、検査対象物Ｗの搬送方向が逆方向に反転した場合にも本発明の効果を得ることを可能とする実施形態である。

【0114】

図１に第２実施形態の検査装置２００の機能ブロック図を示す。なお、第１実施形態の検査装置１００と共通の機能部については同じ符号を付し、必要な場合を除き説明は省略する。

【0115】

第２実施形態の検査装置２００は、電磁波照射手段１１０、搬送手段２２０、検出手段１３０、記憶手段２４０、加算手段２５０、表示制御手段１６０、表示手段１７０、及び方向検知手段２８０を備える。すなわち、第１実施形態の機能構成に対して、搬送手段１２０が搬送手段２２０に、記憶手段１４０が記憶手段２４０に、加算手段１５０が加算手段２５０に、それぞれ置き換わった点において異なる。

【0116】

搬送手段２２０は、搬送面に載置された検査対象物Ｗを、所定の搬送方向である正方向及びその反対方向である逆方向に所定の搬送速度で搬送する。搬送方向の切替は、例えば、利用者による所定の指示入力操作により任意に可能とする。

【0117】

検査装置２００は加算処理に際して必要となる搬送方向の切替情報を、利用者による指示入力操作をもって認識するようにしてもよいし、搬送手段２２０の搬送方向を検知可能な方向検知手段２８０を設けてその検知情報として認識するようにしてもよい。

【0118】

搬送方向が正方向の場合、記憶手段２４０及び加算手段２５０は、いずれも第１実施形態の記憶手段１４０及び加算手段１５０と同様に機能して、第１実施形態と同様な方法で検査対象物の略同一の領域を透過してきた電磁波のＭ列のラインセンサのそれぞれに対応する各検出データの足し合わせを実現する。

【0119】

搬送方向が逆方向の場合、検出手段１３０では、Ｍ列のラインセンサが、検査対象物Ｗの略同一の領域を透過してきた電磁波が当該Ｍ列のラインセンサにより順次検出されるように、搬送速度に応じた検出タイミングで電磁波を周期的に検出して、検出した電磁波に基づく、Ｍ列のラインセンサのそれぞれに対応する検出データを出力する。具体的には、所定の速度で搬送される検査対象物の略同一の領域を透過してきた電磁波がＭ列目のラインセンサから１列目のラインセンサまで順次検出されるように検出周期が設定される。なお、搬送速度が正方向の場合と同じである場合には、検出周期は正方向の場合と同じでよい。

【0120】

加算手段２５０は、検査対象物Ｗの略同一の領域を透過してきた電磁波のＭ列のラインセンサのそれぞれに対応する各検出データを足し合わせる制御を行う。具体的には例えば、検査対象物Ｗの略同一の領域のｎ周期目の検出タイミングにおける（Ｍ＋１−ｎ）列目のラインセンサによる検出データを、ｎ＝１、２、・・・、Ｍのそれぞれについて足し合わせるように制御する。

【0121】

この制御を、図９を参照しつつ領域Ａを例にとって説明する。加算手段２５０は、領域Ａの１周期目の検出タイミングにおける（４＋１−１＝）４列目のラインセンサに対応する検出データ、領域Ａの２周期目の検出タイミングにおける（４＋１−２＝）３列目のラインセンサに対応する検出データ、領域Ａの３周期目の検出タイミングにおける（４＋１−３＝）２列目のラインセンサに対応する検出データ、及び領域Ａの４周期目の検出タイミングにおける（４＋１−４＝）１列目のラインセンサに対応する検出データを足し合わせる。領域Ｂ、Ｃ及びＤについても同様の方法で検出データの足し合わせを行う。

【0122】

これにより、領域Ａ、Ｂ、Ｃ及びＤを透過してきたそれぞれの電磁波ついて、ラインセンサの列数分の検出データの足し合わせが実現される。このように足し合わせた検出データを、例えば異物検査などにおける自動判定に使用したり、検査データに基づく二次元画像による目視検査に使用したりして、検査対象物Ｗの検査を行う。なお、第２実施形態においても、各検出データに対し所定の補正処理を施した上で足し合わせを行ってもよい。

【0123】

＜第２実施形態における加算制御の実現例＞
検出手段１３０のＭ列のラインセンサの各列で検出され出力された、各周期の検出データの記憶手段２４０への書き込み方法、及び、加算手段２５０が、記憶手段２４０に記憶された検出データの中から、検査対象物Ｗの略同一の領域を透過してきた電磁波のＭ列のラインセンサのそれぞれに対応する各検出データを足し合わせる制御を行う方法について、２つの具体例を図を参照しつつ説明する。

【0124】

第１の具体例を図１０及び図１１を参照しつつ説明する。図１０及び図１１は、Ｘ軸方向に４個の検出素子が一列に配列されて構成されたラインセンサがＹ軸方向に４列並列に配列されてなる検出手段１３０に対向して検査対象物ＷがＹ軸負方向に移動する場合を説明する図である。この例では、検査対象物Ｗの検出手段１３０に対向する面がＸ軸方向に線状に４分割された各領域（領域Ｄ、領域Ｃ、領域Ｂ、及び領域Ａ）から透過してきた電磁波を、それぞれ検出手段１３０の４列のラインセンサ（ラインセンサＬ_４、ラインセンサＬ_３、ラインセンサＬ_２、及びラインセンサＬ_１）により順次検出して、領域ごとに、４列のラインセンサのそれぞれに対応する各検出データの足し合わせ結果を得る。なお、ここでのラインセンサを構成する検出素子の個数及びラインセンサの列数はあくまで一例であり、任意の個数及び列数の場合においても同様に実現可能である。

【0125】

記憶手段２４０は、第１実施形態の第１の具体例と同様に、第１記憶領域２４０ａと第２記憶領域２４０ｂとを備える。第１記憶領域２４０ａには、検出手段１３０が検出タイミングごとに出力した、各列のラインセンサのそれぞれに対応する検出データが書き込まれる。第２記憶領域２４０ｂには、加算手段２５０が、検査対象物Ｗの略同一の領域から透過してきた電磁波の各ラインセンサのそれぞれに対応する各検出データを足し合わせた結果が書き込まれる。

【0126】

加算手段２５０は、以下で説明する制御を行い、第１記憶領域２４０ａに記憶された検出データの中から、検査対象物Ｗの略同一の領域を透過してきた電磁波の各ラインセンサのそれぞれに対応する検出データを抽出し、足し合わせて第２記憶領域２４０ｂに書き込む。

【0127】

図１０及び図１１において、＃１から＃８はそれぞれ１周期目から８周期目までの検出タイミングである。＃１から＃８の表示の下には、それぞれの検出タイミングにおける検出手段１３０と検査対象物Ｗとの位置関係を記している。その下には、それぞれの検出タイミングにおける、第１記憶領域２４０ａへのデータの書き込み状態を記している。更にその下には、それぞれの検出タイミングにおける、第２記憶領域２４０ｂへのデータの書き込み状態を記している。

【0128】

第１記憶領域２４０ａは、第１実施形態の第１の具体例と同様に、ラインセンサの列数をＭ、ラインセンサを構成する検出素子の個数をＰとしたとき、少なくとも（Ｍ×Ｐ）行（Ｍ＋１）列の格子状の小記憶領域に論理的に区切られたものである。

【0129】

図１０及び図１１に示す例では、Ｍ＝４、Ｐ＝４であることからＭ×Ｐ＝１６行である。１〜４行目には、ラインセンサＬ_１の１〜４行目の検出素子に対応する各検出データが書き込まれる。５〜８行目には、ラインセンサＬ_２の１〜４行目の検出素子に対応する各検出データが書き込まれる。９〜１２行目には、ラインセンサＬ_３の１〜４行目の検出素子に対応する各検出データが書き込まれる。１３〜１６行目には、ラインセンサＬ_４の１〜４行目の検出素子に対応する各検出データが書き込まれる。このように１６個の検出素子に対応する各検出データが、検出タイミングごとに第１記憶領域２４０ａの各列に順次書き込まれる。

【0130】

具体的にはまず、検査対象物ＷのＹ軸負方向への移動により検査対象物Ｗの領域ＡがラインセンサＬ_４の２行目及び３行目の検出素子上に掛る１周期目では、ラインセンサＬ_４の２行目及び３行目の検出素子でそれぞれ検出された領域Ｄからの透過電磁波に基づく各検出データが第１記憶領域２４０ａの１列目の１４行目及び１５行目の小記憶領域にそれぞれ書き込まれる。このとき、電磁波が検査対象物Ｗに妨げられずに直接検出される検出素子についても、検査対象物Ｗが当該検出素子上には無いことを示すデータが当該検出素子に対応する小記憶領域に記憶されるが、このような小記憶領域については、図において便宜的に空欄で表記する（ラインセンサＬ_４の１行目及び４行目の検出素子に対応する第１記憶領域２４０ａの１列目の１３行目及び１６行目、並びにラインセンサＬ_１からラインセンサＬ_３の各検出素子に対応する第１記憶領域２４０ａの１列目の１行目から１２行目の各小記憶領域）。以下、他の検出タイミングにおいても、同様の小記憶領域については同様の表記とする。

【0131】

また、第２記憶領域２４０ｂには、当該検出タイミングのＭ周期前にラインセンサＬ_Ｍで検出された透過電磁波に基づく検出データ、Ｍ−１周期前にラインセンサＬ_Ｍ−１で検出された透過電磁波に基づく検出データ、・・・、２周期前にラインセンサＬ_２で検出された透過電磁波に基づく検出データ、及び１周期前にラインセンサＬ_１で検出された透過電磁波に基づく検出データを抽出して足し合わせた結果が書き込まれる。図１０及び図１１の例では、各検出タイミングでの抽出対象部分は、第１記憶領域２４０ａにおける網掛けで示す部分である。

【0132】

図１０及び図１１で示す例ではＭ＝４であるため、当該検出タイミングの４周期前にラインセンサＬ_４で検出された透過電磁波に基づく検出データ、３周期前にラインセンサＬ_３で検出された透過電磁波に基づく検出データ、２周期前にラインセンサＬ_２で検出された透過電磁波に基づく検出データ、及び１周期前にラインセンサＬ_１で検出された透過電磁波に基づく検出データを足し合わせた結果が書き込まれる。

【0133】

第２記憶領域２４０ｂは、第１実施形態の第２記憶領域１４０ｂと同様に、Ｐ行Ｔ列の格子状の小記憶領域に論理的に区切られたものである。

【0134】

図１０及び図１１で示す例ではＰ＝４であるため、検出データの足し合わせ結果は、例えば、第２記憶領域２４０ｂの１列目の１〜４行目の各小記憶領域に次のように書き込まれる。

【0135】

各ラインセンサの１行目に対応する第１記憶領域２４０ａの２列目の１３行目、３列目の９行目、４列目の５行目、及び５列目の１行目の各小記憶領域に記憶された検出データを足し合わせた結果が１行目に書き込まれる。また、各ラインセンサの２行目に対応する第１記憶領域２４０ａの２列目の１４行目、３列目の１０行目、４列目の６行目、及び５列目の２行目の各小記憶領域に記憶された検出データを足し合わせた結果が２行目に書き込まれる。また、各ラインセンサの３行目に対応する第１記憶領域２４０ａの２列目の１５行目、３列目の１１行目、４列目の７行目、及び５列目の３行目の各小記憶領域に記憶された検出データを足し合わせた結果が３行目に書き込まれる。また、各ラインセンサの４行目に対応する第１記憶領域２４０ａの２列目の１６行目、３列目の１２行目、４列目の８行目、及び５列目の４行目の各小記憶領域に記憶された検出データを足し合わせた結果が４行目に書き込まれる。

【0136】

ただし、この時点では第１記憶領域２４０ａの上記の各小記憶領域には検査対象物Ｗが不存在であることを示すデータが記憶されているにとどまるため、第２記憶領域１４０ｂの１列目の各行にも検査対象物Ｗの存在を示すデータは書き込まれない。このような書き込み状態については、図において便宜的に空欄で表記する。以下、他の検出タイミングにおいても、同様の小記憶領域については同様の表記とする。

【0137】

検査対象物Ｗが更にＹ軸負方向に移動して、検査対象物Ｗの領域ＤがラインセンサＬ_３の２行目及び３行目の検出素子上に、領域ＣがラインセンサＬ_４の２行目及び３行目の検出素子上に、それぞれ掛る２周期目では、ラインセンサＬ_３の２行目及び３行目の検出素子でそれぞれ検出された領域Ｄからの透過電磁波に基づく各検出データが、第１記憶領域２４０ａの２列目の１０行目及び１１行目の小記憶領域にそれぞれ書き込まれる。また、ラインセンサＬ_４の２行目及び３行目の検出素子でそれぞれ検出された領域Ｂからの透過電磁波に基づく各検出データが、第１記憶領域２４０ａの２列目の１４行目及び１５行目の小記憶領域にそれぞれ書き込まれる。

【0138】

また、第２記憶領域２４０ｂの２列目の各行には、当該検出タイミングの４周期前にラインセンサＬ_４で検出された透過電磁波に基づく検出データ、３周期前にラインセンサＬ_３で検出された透過電磁波に基づく検出データ、２周期前にラインセンサＬ_２で検出された透過電磁波に基づく検出データ、及び１周期前にラインセンサＬ_１で検出された透過電磁波に基づく検出データを足し合わせた結果が書き込まれる。ただし、この時点でも第１記憶領域２４０ａの上記の各小記憶領域には検査対象物Ｗが不存在であることを示すデータが記憶されているにとどまるため、第２記憶領域２４０ｂの２列目の各行にも検査対象物Ｗの存在を示すデータは書き込まれない。

【0139】

続いて３周期目では、検査対象物Ｗが更にＹ軸負方向に移動して、検査対象物Ｗの領域ＤがラインセンサＬ_２の２行目及び３行目の検出素子上に、領域ＣがラインセンサＬ_３の２行目及び３行目の検出素子上に、領域ＢがラインセンサＬ_４の２行目及び３行目の検出素子上に、それぞれ掛る。このとき、ラインセンサＬ_２の２行目及び３行目の検出素子でそれぞれ検出された領域Ｄからの透過電磁波に基づく各検出データが、第１記憶領域２４０ａの３列目の６行目及び７行目の小記憶領域にそれぞれ書き込まれる。また、ラインセンサＬ_３の２行目及び３行目の検出素子でそれぞれ検出された領域Ｃからの透過電磁波に基づく各検出データが、第１記憶領域２４０ａの３列目の１０行目及び１１行目の小記憶領域にそれぞれ書き込まれる。また、ラインセンサＬ_４の２行目及び３行目の検出素子でそれぞれ検出された領域Ｂからの透過電磁波に基づく各検出データが、第１記憶領域２４０ａの３列目の１４行目及び１５行目の小記憶領域にそれぞれ書き込まれる。

【0140】

また、第２記憶領域２４０ｂの３列目の各行には、当該検出タイミングの４周期前にラインセンサＬ_４で検出された透過電磁波に基づく検出データ、３周期前にラインセンサＬ_３で検出された透過電磁波に基づく検出データ、２周期前にラインセンサＬ_２で検出された透過電磁波に基づく検出データ、及び１周期前にラインセンサＬ_１で検出された透過電磁波に基づく検出データを足し合わせた結果が書き込まれる。ただし、この時点でも第１記憶領域２４０ａの各小記憶領域には検査対象物Ｗが不存在であることを示すデータが記憶されているにとどまるため、第２記憶領域２４０ｂの３列目の各行にも検査対象物Ｗの存在を示すデータは書き込まれない。

【0141】

続いて４周期目では、検査対象物Ｗが更にＹ軸負方向に移動して、検査対象物Ｗの領域ＤがラインセンサＬ_１の２行目及び３行目の検出素子上に、領域ＣがラインセンサＬ_２の２行目及び３行目の検出素子上に、領域ＢがラインセンサＬ_３の２行目及び３行目の検出素子上に、領域ＡがラインセンサＬ_４の２行目及び３行目の検出素子上に、それぞれ掛る。このとき、ラインセンサＬ_１の２行目及び３行目の検出素子でそれぞれ検出された領域Ｄからの透過電磁波に基づく各検出データが、第１記憶領域２４０ａの４列目の２行目及び３行目の小記憶領域にそれぞれ書き込まれる。また、ラインセンサＬ_２の２行目及び３行目の検出素子でそれぞれ検出された領域Ｃからの透過電磁波に基づく各検出データが、第１記憶領域２４０ａの４列目の６行目及び７行目の小記憶領域にそれぞれ書き込まれる。また、ラインセンサＬ_３の２行目及び３行目の検出素子でそれぞれ検出された領域Ｂからの透過電磁波に基づく各検出データが、第１記憶領域２４０ａの４列目の１０行目及び１１行目の小記憶領域にそれぞれ書き込まれる。また、ラインセンサＬ_４の２行目及び３行目の検出素子でそれぞれ検出された領域Ａからの透過電磁波に基づく各検出データが、第１記憶領域２４０ａの４列目の１４行目及び１５行目の小記憶領域にそれぞれ書き込まれる。

【0142】

また、第２記憶領域２４０ｂの４列目の各行には、当該検出タイミングの４周期前にラインセンサＬ_４で検出された透過電磁波に基づく検出データ、３周期前にラインセンサＬ_３で検出された透過電磁波に基づく検出データ、２周期前にラインセンサＬ_２で検出された透過電磁波に基づく検出データ、及び１周期前にラインセンサＬ_１で検出された透過電磁波に基づく検出データを足し合わせた結果が書き込まれる。ただし、この時点でも第１記憶領域２４０ａの各小記憶領域には検査対象物Ｗが不存在であることを示すデータが記憶されているにとどまるため、第２記憶領域２４０ｂの４列目の各行にも検査対象物Ｗの存在を示すデータは書き込まれない。

【0143】

続いて５周期目では、検査対象物Ｗが更にＹ軸負方向に移動して、検査対象物Ｗの領域ＣがラインセンサＬ_１の２行目及び３行目の検出素子上に、領域ＢがラインセンサＬ_２の２行目及び３行目の検出素子上に、領域ＡがラインセンサＬ_３の２行目及び３行目の検出素子上に、それぞれ掛る。このとき、ラインセンサＬ_１の２行目及び３行目の検出素子でそれぞれ検出された領域Ｃからの透過電磁波に基づく各検出データが、第１記憶領域２４０ａの５列目の２行目及び３行目の小記憶領域にそれぞれ書き込まれる。また、ラインセンサＬ_２の２行目及び３行目の検出素子でそれぞれ検出された領域Ｂからの透過電磁波に基づく各検出データが、第１記憶領域２４０ａの５列目の６行目及び７行目の小記憶領域にそれぞれ書き込まれる。また、ラインセンサＬ_３の２行目及び３行目の検出素子でそれぞれ検出された領域Ａからの透過電磁波に基づく各検出データが、第１記憶領域２４０ａの５列目の１０行目及び１１行目の小記憶領域にそれぞれ書き込まれる。

【0144】

また、第２記憶領域２４０ｂの５列目の各行には、当該検出タイミングの４周期前である１周期目にラインセンサＬ_４で検出された透過電磁波に基づく検出データ、３周期前である２周期目にラインセンサＬ_３で検出された透過電磁波に基づく検出データ、２周期前である３周期目にラインセンサＬ_２で検出された透過電磁波に基づく検出データ、及び１周期前である４周期目にラインセンサＬ_１で検出された透過電磁波に基づく検出データを足し合わせた結果が書き込まれる。

【0145】

これにより、検査対象物Ｗの領域Ｄからの透過電磁波について、１周期目にラインセンサＬ_４の２行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、２周期目にラインセンサＬ_３の２行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、３周期目にラインセンサＬ_２の２行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、及び４周期目にラインセンサＬ_１の２行目において検出された透過電磁波に基づく検出データを足し合わせた結果が、５列目の２行目に書き込まれることになる（４Ｄと表記）。また、１周期目にラインセンサＬ_４の３行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、２周期目にラインセンサＬ_３の３行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、３周期目にラインセンサＬ_２の３行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、及び４周期目にラインセンサＬ_１の３行目において検出された透過電磁波に基づく検出データを足し合わせた結果が、５列目の３行目に書き込まれることになる（４Ｄと表記）。このようにして、領域Ｄからの透過電磁波について、４列のラインセンサのそれぞれに対応する各検出データの足し合わせが実現される。

【0146】

なお、５周期目での加算処理により第１記憶領域２４０ａの１列目に記憶されていた１周期目の検出データが以後不要になる。そのため、１列目には６周期目の検出データが上書きされて６周期目の記憶領域として再利用される。

【0147】

続いて６周期目では、検査対象物Ｗが更にＹ軸負方向に移動して、検査対象物Ｗの領域ＢがラインセンサＬ_１の２行目及び３行目の検出素子上に、領域ＡがラインセンサＬ_２の２行目及び３行目の検出素子上に、それぞれ掛る。このとき、ラインセンサＬ_１の２行目及び３行目の検出素子でそれぞれ検出された領域Ｂからの透過電磁波に基づく各検出データが、第１記憶領域２４０ａの１列目の２行目及び３行目の小記憶領域にそれぞれ書き込まれる。また、ラインセンサＬ_２の２行目及び３行目の検出素子でそれぞれ検出された領域Ａからの透過電磁波に基づく各検出データが、第１記憶領域２４０ａの１列目の６行目及び７行目の小記憶領域にそれぞれ書き込まれる。

【0148】

また、第２記憶領域２４０ｂの６列目の各行には、当該検出タイミングの４周期前である２周期目にラインセンサＬ_４で検出された透過電磁波に基づく検出データ、３周期前である３周期目にラインセンサＬ_３で検出された透過電磁波に基づく検出データ、２周期前である４周期目にラインセンサＬ_２で検出された透過電磁波に基づく検出データ、及び１周期前である５周期目にラインセンサＬ_１で検出された透過電磁波に基づく検出データを足し合わせた結果が書き込まれる。

【0149】

これにより、検査対象物Ｗの領域Ｃからの透過電磁波について、２周期目にラインセンサＬ_４の２行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、３周期目にラインセンサＬ_３の２行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、４周期目にラインセンサＬ_２の２行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、及び５周期目にラインセンサＬ_１の２行目において検出された透過電磁波に基づく検出データを足し合わせた結果が、６列目の２行目に書き込まれることになる（４Ｃと表記）。また、２周期目にラインセンサＬ_４の３行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、３周期目にラインセンサＬ_３の３行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、４周期目にラインセンサＬ_２の３行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、及び５周期目にラインセンサＬ_１の３行目において検出された透過電磁波に基づく検出データを足し合わせた結果が、６列目の３行目に書き込まれることになる（４Ｃと表記）。このようにして、領域Ｃからの透過電磁波について、４列のラインセンサのそれぞれに対応する各検出データの足し合わせが実現される。

【0150】

また、６周期目での加算処理により、第１記憶領域２４０ａの２列目に記憶されていた２周期目の検出データが以後不要になる。そのため、２列目には７周期目の検出データが上書きされて７周期目の記憶領域として再利用される。

【0151】

続いて７周期目では、検査対象物Ｗが更にＹ軸負方向に移動して、検査対象物Ｗの領域ＡがラインセンサＬ_１の２行目及び３行目の検出素子上に掛る。このとき、ラインセンサＬ_１の２行目及び３行目の検出素子でそれぞれ検出された領域Ａからの透過電磁波に基づく各検出データが、第１記憶領域２４０ａの２列目の２行目及び３行目の小記憶領域にそれぞれ書き込まれる。

【0152】

また、第２記憶領域２４０ｂの７列目の各行には、当該検出タイミングの４周期前である３周期目にラインセンサＬ_４で検出された透過電磁波に基づく検出データ、３周期前である４周期目にラインセンサＬ_３で検出された透過電磁波に基づく検出データ、２周期前である５周期目にラインセンサＬ_２で検出された透過電磁波に基づく検出データ、及び１周期前である６周期目にラインセンサＬ_１で検出された透過電磁波に基づく検出データを足し合わせた結果が書き込まれる。

【0153】

これにより、検査対象物Ｗの領域Ｂからの透過電磁波について、３周期目にラインセンサＬ_４の２行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、４周期目にラインセンサＬ_３の２行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、５周期目にラインセンサＬ_２の２行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、及び６周期目にラインセンサＬ_１の２行目において検出された透過電磁波に基づく検出データを足し合わせた結果が、７列目の２行目に書き込まれることになる（４Ｂと表記）。また、３周期目にラインセンサＬ_４の３行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、４周期目にラインセンサＬ_３の３行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、５周期目にラインセンサＬ_２の３行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、及び６周期目にラインセンサＬ_１の３行目において検出された透過電磁波に基づく検出データを足し合わせた結果が、７列目の３行目に書き込まれることになる（４Ｂと表記）。このようにして、領域Ｂからの透過電磁波について、４列のラインセンサのそれぞれに対応する各検出データの足し合わせが実現される。

【0154】

また、７周期目での加算処理により、第１記憶領域２４０ａの３列目に記憶されていた３周期目の検出データが以後不要になる。そのため、３列目には８周期目の検出データが上書きされて８周期目の記憶領域として再利用される。

【0155】

続いて８周期目では、検査対象物Ｗが更にＹ軸負方向に移動して、検査対象物Ｗが検出手段１３０上を全て通過する。このとき、第２記憶領域２４０ｂの８列目の各行に、当該検出タイミングの４周期前である４周期目にラインセンサＬ_４で検出された透過電磁波に基づく検出データ、３周期前である５周期目にラインセンサＬ_３で検出された透過電磁波に基づく検出データ、２周期前である６周期目にラインセンサＬ_２で検出された透過電磁波に基づく検出データ、及び１周期前である７周期目にラインセンサＬ_１で検出された透過電磁波に基づく検出データを足し合わせた結果が書き込まれる。

【0156】

これにより、検査対象物Ｗの領域Ａからの透過電磁波について、４周期目にラインセンサＬ_４の２行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、５周期目にラインセンサＬ_３の２行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、６周期目にラインセンサＬ_２の２行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、及び７周期目にラインセンサＬ_１の２行目において検出された透過電磁波に基づく検出データを足し合わせた結果が、８列目の２行目に書き込まれることになる（４Ａと表記）。また、４周期目にラインセンサＬ_４の３行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、５周期目にラインセンサＬ_３の３行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、６周期目にラインセンサＬ_２の３行目において検出された透過電磁波に基づく検出データ、及び７周期目にラインセンサＬ_１の３行目において検出された透過電磁波に基づく検出データを足し合わせた結果が、８列目の３行目に書き込まれることになる（４Ａと表記）。このようにして、領域Ａからの透過電磁波について、４列のラインセンサのそれぞれに対応する各検出データの足し合わせが実現される。

【0157】

以上の処理により、領域Ａ、領域Ｂ、領域Ｃ、及び領域Ｄを透過してきたそれぞれの電磁波について、ラインセンサの列数分の検出データの足し合わせが行われた結果が、第２記憶領域２４０ｂの８列目から５列目にそれぞれ記憶される。

【0158】

なお、上記の例では、検出手段１３０のＭ列のラインセンサのそれぞれに対応する検出データを検出タイミングごとに第１記憶領域２４０ａに記憶させるに際し、図１０及び図１１に示すように、１周期目の検出データを１列目に、２周期目の検出データを２列目に、・・・と記憶させ、Ｍ周期目の検出データをＭ列目に記憶させた後、Ｍ＋１周期目で再度１列目から順次記憶させていく記憶方法を採用したが、記憶方法はこの限りではない。

【0159】

例えば、図１２及び図１３に示す変形例のように、１周期目の検出データをＭ列目に、２周期目の検出データをＭ−１列目に、・・・と記憶させ、Ｍ周期目の検出データを１列目に記憶させた後、Ｍ＋１周期目で再度Ｍ列目から順次記憶させていく記憶方法を採用してもよい。

【0160】

このような記憶方法を採用した場合にも、上記の例と同様な抽出方法により、検査対象物の略同一の領域を透過してきた電磁波のＭ列のラインセンサのそれぞれに対応する検出データを抽出し、足し合わせればよい。

【0161】

すなわち、或る検出タイミングでは、当該検出タイミングのＭ周期前にラインセンサＬ_Ｍで検出された透過電磁波に基づく検出データ、Ｍ−１周期前にラインセンサＬ_Ｍ−１で検出された透過電磁波に基づく検出データ、・・・、２周期前にラインセンサＬ_２で検出された透過電磁波に基づく検出データ、及び１周期前にラインセンサＬ_１で検出された透過電磁波に基づく検出データを抽出し、足し合わせた結果を第２記憶領域２４０ｂに書き込む。図１２及び図１３の例では、各検出タイミングでの抽出対象部分は、第１記憶領域２４０ａにおける網掛けで示す部分である。

【0162】

なお、記憶方法の相違のさせ方によっては、抽出方法についても相違させる必要が生じうる。すなわち、記憶方法を変えたときには、上記の例のように同じ抽出方法を採用できる場合と、同じ抽出方法を採用できない場合がある。言い換えれば、抽出方法は採用した記憶方法に応じて特定される。

【0163】

搬送方向を逆転可能する場合における、検出手段１３０のＭ列のラインセンサのそれぞれに対応する検出データを検出タイミングごとに第１記憶領域に記憶させる所定の記憶方法に関しては、第１実施形態に示した搬送方向が正方向である場合と、第２実施形態に示した搬送方向が逆方向である場合とで、同じ記憶方法を採用しても異なる記憶方法を採用しても構わない。

【0164】

例えば、第１実施形態における加算制御の第１の具体例（図３及び図４）に示した記憶方法と、第２実施形態における加算制御の第１の具体例（図１０及び図１１）に示した記憶方法は同じである。この場合、検査対象物の略同一の領域を透過してきた電磁波のＭ列のラインセンサのそれぞれに対応する検出データを第１記憶領域から抽出するに際し、第１実施形態における加算制御の第１の具体例及び第２実施形態における加算制御の第１の具体例にそれぞれ示す、互いに異なる抽出方法を採用することで、搬送方向が正方向である場合と逆方向である場合の双方で本発明の効果を得ることができる。

【0165】

また、搬送方向が正方向の場合と逆方向の場合とで異なる記憶方法を採用した場合には、それぞれで採用した記憶方法に応じた抽出方法をそれぞれ採用すればよい。

【0166】

次に、第２の具体例を図１４及び図１５を参照しつつ説明する。図１４及び図１５についても図１０及び図１１と同様に、Ｘ軸方向に４個の検出素子が一列に配列されて構成されたラインセンサがＹ軸方向に４列並列に配列されてなる検出手段１３０に対向して検査対象物ＷがＹ軸負方向に移動する場合を説明する図である。この例では、検査対象物Ｗの検出手段１３０に対向する面がＸ軸方向に線状に４分割された各領域（領域Ｄ、領域Ｃ、領域Ｂ、及び領域Ａ）から透過してきた電磁波を、それぞれ検出手段１３０の４列のラインセンサ（ラインセンサＬ_４、ラインセンサＬ_３、ラインセンサＬ_２、及びラインセンサＬ_１）により順次検出して、領域ごとに、４列のラインセンサのそれぞれに対応する各検出データの足し合わせ結果を得る。なお、ここでのラインセンサを構成する検出素子の個数及びラインセンサの列数はあくまで一例であり、任意の個数及び列数の場合においても同様に実現可能である。

【0167】

検査対象物Ｗの略同一の領域を透過してきた電磁波の各列のラインセンサのそれぞれに対応する各検出データの足し合わせは、検出タイミングごとに検出手段１３０のＭ列のラインセンサの１列目からＭ列目までの各列でそれぞれ検出された電磁波に基づく、各検出タイミングにおけるＭ列のラインセンサのそれぞれに対応する検出データが、加算手段２５０による以下で説明する制御に従い記憶手段２４０に書き込まれることで実現される。

【0168】

図１４及び図１５において、＃１から＃７はそれぞれ１周期目から７周期目までの検出タイミングであり、＃１から＃７の表示の下には、それぞれの検出タイミングにおける検出手段１３０と検査対象物Ｗとの位置関係を記している。その下には、それぞれの検出タイミングにおける記憶手段２４０への足し合わせ結果の書き込み状態を記している。

【0169】

記憶手段２４０は、第１実施形態の第２の具体例と同様に、例えば、図１４及び図１５に示すように４行１０列の格子状の小記憶領域に論理的に区切られる。４行１０列としている理由は後述する。記憶手段２４０の各小記憶領域には初期状態では何も記憶されていない。このように区切られた記憶手段２４０の各小記憶領域に、各ラインセンサ（ラインセンサＬ_４、ラインセンサＬ_３、ラインセンサＬ_２、及びラインセンサＬ_１）の各行の検出素子で検出された電磁波に基づく検出データが順次書き込まれる。

【0170】

具体的にはまず、検査対象物ＷのＹ軸負方向への移動により検査対象物Ｗの領域ＤがラインセンサＬ_４の２行目及び３行目の検出素子上に掛る１周期目では、ラインセンサＬ_４の２行目及び３行目の検出素子でそれぞれ検出された領域Ｄからの透過電磁波に基づく各検出データが記憶手段２４０の４列目の２行目及び３行目の小記憶領域にそれぞれ書き込まれる。このとき、電磁波が検査対象物Ｗに妨げられずに直接検出される検出素子についても、検査対象物Ｗが当該検出素子上には無いことを示すデータが当該検出素子に対応する小記憶領域に記憶されるが、このような小記憶領域については、図において便宜的に空欄で表記する（ラインセンサＬ_４の１行目及び４行目の検出素子に対応する記憶手段２４０の４列目の１行目及び４行目、並びにラインセンサＬ_１からラインセンサＬ_３にそれぞれ対応する記憶手段２４０の１列目から３列目の各小記憶領域）。以下、他の検出タイミングにおいても同様の表記とする。

【0171】

続いて２周期目では、検査対象物Ｗが更にＹ軸負方向に移動して、検査対象物Ｗの領域ＤがラインセンサＬ_３の２行目及び３行目の検出素子上に、領域ＣがラインセンサＬ_４の２行目及び３行目の検出素子上に、それぞれ掛る。このとき、ラインセンサＬ_３で検出された領域Ｄからの透過電磁波に基づく検出データが、既に記憶手段２４０の４列目に記憶されている領域Ｄからの検出データと足し合わされるように、ラインセンサＬ_１からラインセンサＬ_４の各行の検出素子において検出された電磁波に基づく各検出データが、記憶手段２４０の２列目から５列目の各行の小記憶領域に既に記憶されている情報にそれぞれ足し合わせて記憶される。

【0172】

これにより、記憶手段２４０の４列目の２行目に、ラインセンサＬ_３及びラインセンサＬ_４の２行目の検出素子による領域Ｄからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（２Ｄと表記）。また、４列目の３行目に、ラインセンサＬ_３及びラインセンサＬ_４の３行目の検出素子による領域Ｄからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（２Ｄと表記）。また、５列目の２行目及び３行目に、ラインセンサＬ_４の２行目及び３行目の検出素子による領域Ｃからの透過電磁波に基づく各検出データがそれぞれ記憶される。

【0173】

続いて３周期目では、検査対象物Ｗが更にＹ軸負方向に移動して、検査対象物Ｗの領域ＤがラインセンサＬ_２の２行目及び３行目の検出素子上に、領域ＣがラインセンサＬ_３の２行目及び３行目の検出素子上に、領域ＢがラインセンサＬ_４の２行目及び３行目の検出素子上に、それぞれ掛る。このとき、ラインセンサＬ_２で検出された領域Ｄからの透過電磁波に基づく検出データ及びラインセンサＬ_３で検出された領域Ｃからの透過電磁波に基づく検出データが、既に記憶手段２４０の４列目及び５列目にそれぞれ記憶されている領域Ｄ及び領域Ｃからの透過電磁波に基づく各検出データと、それぞれ足し合わされるように、ラインセンサＬ_１からラインセンサＬ_４の各行の検出素子において検出された電磁波に基づく各検出データが、記憶手段２４０の３列目から６列目の各行の小記憶領域に既に記憶されている情報にそれぞれ足し合わせて記憶される。

【0174】

これにより、記憶手段２４０の４列目の２行目に、ラインセンサＬ_２からラインセンサＬ_４の２行目の検出素子による領域Ｄからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（３Ｄと表記）。また、４列目の３行目に、ラインセンサＬ_２からラインセンサＬ_４の３行目の検出素子による領域Ｄからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（３Ｄと表記）。また、５列目の２行目に、ラインセンサＬ_３及びラインセンサＬ_４の２行目の検出素子による領域Ｃからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（２Ｃと表記）。また、５列目の３行目に、ラインセンサＬ_３及びラインセンサＬ_４の３行目の検出素子による領域Ｃからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（２Ｃと表記）。また、６列目の２行目及び３行目に、ラインセンサＬ_４の２行目及び３行目の検出素子による領域Ｂからの透過電磁波に基づく各検出データがそれぞれ記憶される。

【0175】

続いて４周期目では、検査対象物Ｗが更にＹ軸負方向に移動して、検査対象物Ｗの領域ＤがラインセンサＬ_１の２行目及び３行目の検出素子上に、領域ＣがラインセンサＬ_２の２行目及び３行目の検出素子上に、領域ＢがラインセンサＬ_３の２行目及び３行目の検出素子上に、領域ＡがラインセンサＬ_４の２行目及び３行目の検出素子上に、それぞれ掛る。このとき、ラインセンサＬ_１で検出された領域Ｄからの透過電磁波に基づく検出データ、ラインセンサＬ_２で検出された領域Ｃからの透過電磁波に基づく検出データ、及びラインセンサＬ_３で検出された領域Ｂからの透過電磁波に基づく検出データが、既に記憶手段２４０の４列目から６列目にそれぞれ記憶されている領域Ｄ、領域Ｃ、及び領域Ｂからの透過電磁波に基づく各検出データと、それぞれ足し合わされるように、ラインセンサＬ_１からＬ_４の各行の検出素子において検出された透過電磁波に基づく各検出データが、記憶手段２４０の４列目から７列目の各行の小記憶領域に記憶された情報にそれぞれ足し合わせて記憶される。

【0176】

これにより、記憶手段２４０の４列目の２行目に、ラインセンサＬ_１からラインセンサＬ_４の２行目の検出素子による領域Ｄからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（４Ｄと表記）。また、４列目の３行目に、ラインセンサＬ_１からラインセンサＬ_４の３行目の検出素子による領域Ｄからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（４Ｄと表記）。また、５列目の２行目に、ラインセンサＬ_２からラインセンサＬ_４の２行目の検出素子による領域Ｃからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（３Ｃと表記）。また、５列目の３行目に、ラインセンサＬ_２からラインセンサＬ_４の３行目の検出素子による領域Ｃからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（３Ｃと表記）。また、６列目の２行目に、ラインセンサＬ_３及びラインセンサＬ_４の２行目の検出素子による領域Ｂからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（２Ｂと表記）。また、６列目の３行目に、ラインセンサＬ_３及びラインセンサＬ_４の３行目の検出素子による領域Ｂからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（２Ｂと表記）。また、７列目の２行目及び３行目に、ラインセンサＬ_４の２行目及び３行目の検出素子による領域Ａからの透過電磁波に基づく各検出データがそれぞれ記憶される。

【0177】

続いて５周期目では、検査対象物Ｗが更にＹ軸負方向に移動して、検査対象物Ｗの領域ＣがラインセンサＬ_１の２行目及び３行目の検出素子上に、領域ＢがラインセンサＬ_２の２行目及び３行目の検出素子上に、領域ＡがラインセンサＬ_３の２行目及び３行目の検出素子上に、それぞれ掛る。このとき、ラインセンサＬ_１で検出された領域Ｃからの透過電磁波に基づく検出データ、ラインセンサＬ_２で検出された領域Ｂからの透過電磁波に基づく検出データ、及びラインセンサＬ_３で検出された領域Ａからの透過電磁波に基づく検出データが、既に記憶手段２４０の５列目から７列目にそれぞれ記憶されている領域Ｃ、領域Ｂ、及び領域Ａからの透過電磁波に基づく各検出データと、それぞれ足し合わされるように、ラインセンサＬ_１からＬ_４の各行の検出素子において検出された電磁波に基づく各検出データが、記憶手段２４０の５列目から８列目の各行の小記憶領域に記憶された情報にそれぞれ足し合わせて記憶される。

【0178】

これにより、記憶手段２４０の５列目の２行目に、ラインセンサＬ_１からラインセンサＬ_４の２行目の検出素子による領域Ｃからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（４Ｃと表記）。また、５列目の３行目に、ラインセンサＬ_１からラインセンサＬ_４の３行目の検出素子による領域Ｃからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（４Ｃと表記）。また、６列目の２行目に、ラインセンサＬ_２からラインセンサＬ_４の２行目の検出素子による領域Ｂからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（３Ｂと表記）。また、６列目の３行目に、ラインセンサＬ_２からラインセンサＬ_４の３行目の検出素子による領域Ｂからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（３Ｂと表記）。また、７列目の２行目に、ラインセンサＬ_３及びラインセンサＬ_４の２行目の検出素子による領域Ａからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（２Ａと表記）。また、７列目の３行目に、ラインセンサＬ_３及びラインセンサＬ_４の３行目の検出素子による領域Ａからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（２Ａと表記）。

【0179】

続いて６周期目では、検査対象物Ｗが更にＹ軸負方向に移動して、検査対象物Ｗの領域ＢがラインセンサＬ_１の２行目及び３行目の検出素子上に、領域ＡがラインセンサＬ_２の２行目及び３行目の検出素子上に、それぞれ掛る。このとき、ラインセンサＬ_１で検出された領域Ｂからの透過電磁波に基づく検出データ及びラインセンサＬ_２で検出された領域Ａからの透過電磁波に基づく検出データが、既に記憶手段２４０の６列目及び７列目に記憶されている領域Ｂ及び領域Ａからの透過電磁波に基づく各検出データと、それぞれ足し合わされるように、ラインセンサＬ_１からＬ_４の各行の検出素子において検出された電磁波に基づく各検出データが、記憶手段２４０の６列目から９列目の各行の小記憶領域に記憶された情報にそれぞれ足し合わせて記憶される。

【0180】

これにより、記憶手段２４０の６列目の２行目に、ラインセンサＬ_１からラインセンサＬ_４の２行目の検出素子による領域Ｂからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（４Ｂと表記）。また、６列目の３行目に、ラインセンサＬ_１からラインセンサＬ_４の３行目の検出素子による領域Ｂからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（４Ｂと表記）。また、７列目の２行目に、ラインセンサＬ_２からラインセンサＬ_４の２行目の検出素子による領域Ａからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（３Ａと表記）。また、７列目の３行目に、ラインセンサＬ_２からラインセンサＬ_４の３行目の検出素子による領域Ａからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（３Ａと表記）。

【0181】

続いて７周期目では、検査対象物Ｗが更にＹ軸負方向に移動して、検査対象物Ｗの領域ＡがラインセンサＬ_１の２行目及び３行目の検出素子上に掛る。このとき、ラインセンサＬ_１で検出された領域Ａからの透過電磁波に基づく検出データが、既に記憶手段２４０の７列目に記憶されている領域Ａからの透過電磁波に基づく検出データと足し合わされるように、ラインセンサＬ_１からＬ_４の各行の検出素子において検出された電磁波に基づく各検出データが、記憶手段２４０の７列目から１０列目の各行の小記憶領域に記憶された情報にそれぞれ足し合わせて記憶される。

【0182】

これにより、記憶手段２４０の７列目の２行目に、ラインセンサＬ_１からラインセンサＬ_４の２行目の検出素子による領域Ａからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（４Ａと表記）。また、７列目の３行目に、ラインセンサＬ_１からラインセンサＬ_４の３行目の検出素子による領域Ａからの透過電磁波に基づく各検出データを足し合わせた結果が記憶される（４Ａと表記）。

【0183】

そして以上の処理により、領域Ａ、領域Ｂ、領域Ｃ、及び領域Ｄを透過してきたそれぞれの電磁波について、ラインセンサの列数分の検出データの足し合わせが行われた結果が、記憶手段２４０の７列目から４列目の２行目及び３行目の小記憶領域にそれぞれ記憶される。

【0184】

上記の第２の具体例の説明は、ラインセンサを構成する検出素子の個数が４個、ラインセンサの列数が４列、各ラインセンサによる透過電磁波の検出対象となる検査対象物Ｗの線状の領域の個数が４個の場合のものである。そしてこの場合、１周期目から７周期目までの各検出タイミングにおける、各ラインセンサの各行で検出された電磁波に基づく各検出データを、記憶手段２４０の各列に既に記憶されている情報に、図１４及び図１５に示すように、１周期目から７周期目まで１列ずつずらしながら足し合わせていくことで、検査対象物Ｗの略同一の領域を透過してきた電磁波の、各ラインセンサのそれぞれに対応する各検出データの足し合わせを実現する。そのため、領域Ａから領域Ｄの４つの領域のそれぞれについて、ラインセンサの列数分（４列分）の検出データの足し合わせを行うためには、記憶手段２４０が少なくとも４行１０列の格子状の小記憶領域に論理的に区切られている必要がある。

【0185】

なお、ラインセンサを構成する検出素子の個数をＰ、ラインセンサの列数をＭ、各ラインセンサによる透過電磁波の検出対象となる検査対象物Ｗの線状の領域の個数をＲとして一般化すると、記憶手段２４０は、少なくともＰ行（２Ｍ＋Ｒ−２）列の格子状の小記憶領域に論理的に区切られている必要がある。

【0186】

ＴＤＩ方式では、高価な特殊なセンサを採用する場合を除いては検出データの転送方向が一方向であるため、検査対象物Ｗの搬送方向が逆になると、検出手段を反転させるなどの特殊な機能を付加しない限り、適切にＴＤＩを行うことができなくなる。これに対し、第２実施形態の検査装置２００によれば、ラインセンサへの検査対象物Ｗの搬送方向が逆になっても、加算手段による足し合わせ処理を上記のように変更するだけで、容易にかつ低コストにＴＤＩ方式と同様な効果を実現することができる。

【0187】

なお、本発明は上記各実施形態に限定されるものではない。各実施形態は例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。すなわち、本発明において表現されている技術的思想の範囲内で適宜変更が可能であり、その様な変更や改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含む。

【符号の説明】

【0188】

１００、２００…検査装置
１１０…電磁波照射手段
１２０、２２０…搬送手段
１３０…検出手段
１４０、２４０…記憶手段
１４０ａ…第１記憶領域
１４０ｂ…第２記憶領域
１５０、２５０…加算手段
１６０…表示制御手段
１７０…表示手段
２８０…方向検知手段
Ｗ…検査対象物

【要約】

【課題】ＴＤＩ方式と同様な効果をシンプルかつ小型な構成で実現可能な検査装置を提供する。
【解決手段】搬送面に載置された検査対象物を所定の搬送方向に搬送する搬送手段と、検査対象物に電磁波を照射する電磁波照射手段と、所定の搬送方向に略直交して配置されたラインセンサを所定の搬送方向にＭ列有し、搬送手段により搬送されている検査対象物の略同一の領域を透過してきた電磁波をＭ列のラインセンサのそれぞれが順次出して、検出した電磁波に基づく、当該Ｍ列のラインセンサのそれぞれに対応する検出データを出力する検出手段と、検出手段が出力した複数の検出データの中に含まれる検査対象物の略同一の領域を透過してきた電磁波の検出データを足し合わせる制御を行う加算手段と、を備える。
【選択図】図１

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】