特許 6571324 清浄空間維持装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6571324

(24)【登録日】2019年8月16日

(45)【発行日】2019年9月4日

(54)【発明の名称】清浄空間維持装置

(51)【国際特許分類】

   F24F 7/06 20060101AFI20190826BHJP

   F24F 7/00 20060101ALI20190826BHJP

   F24F 13/28 20060101ALI20190826BHJP

   F24F 13/068 20060101ALI20190826BHJP

【ＦＩ】

   F24F7/06 C

   F24F7/00 A

   F24F13/28

   F24F13/068 A

【請求項の数】17

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2014-212380(P2014-212380)

(22)【出願日】2014年10月17日

(65)【公開番号】特開2015-111031(P2015-111031A)

(43)【公開日】2015年6月18日

【審査請求日】2017年8月31日

(31)【優先権主張番号】特願2013-232652(P2013-232652)

(32)【優先日】2013年11月11日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】391038475

【氏名又は名称】株式会社ＴＲＩＮＣ

(74)【代理人】

【識別番号】100079832

【弁理士】

【氏名又は名称】山本 誠

(72)【発明者】

【氏名】高柳 真

【審査官】 安島 智也

(56)【参考文献】

【文献】 特開昭６３−２５１７４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−１９３９４８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−１４４４５４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−０８５７２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−１５７４７６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−２２６４７２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開昭５９−０２０８８８（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 米国特許出願公開第２００５／００２２４８６（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｆ２４Ｆ ７／０６

Ｆ２４Ｆ ７／００

Ｆ２４Ｆ １３／０６８

Ｆ２４Ｆ １３／２８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

机上に配置されて清浄空気を吹き出す吹出しユニットと、机上に配置されて、吹出しユニットから吹き出した空気を回収する吸入ユニットと、を有し、両ユニット間に机上面にほぼ平行な風を吹かせて両ユニット間に清浄空気を維持する清浄空間維持装置であって、
前記吹出しユニットと前記吸入ユニットとはある角度をなすように配置されており、
前記両ユニット間を結ぶ背後の壁面が設けられ、前記壁面が清浄空間内部に向かって凸に設けられていることを特徴とする清浄空間維持装置。

【請求項2】

請求項１記載の清浄空間維持装置において、吹出しユニットと吸入ユニットが別体になっていることを特徴とする清浄空間維持装置。

【請求項3】

請求項１または２記載の清浄空間維持装置において、空気を送出／回収する空気源ユニットが吹出しユニットおよび吸入ユニットと別体になっていることを特徴とする清浄空間維持装置。

【請求項4】

請求項１または２記載の清浄空間維持装置において、吹出しユニットと吸入ユニットはフィルタを有することを特徴とする清浄空間維持装置。

【請求項5】

請求項１または２記載の清浄空間維持装置において、吹出しユニットの吹出し面と吸入ユニットの吸入面の大きさが異なることを特徴とする清浄空間維持装置。

【請求項6】

請求項１または２記載の清浄空間維持装置において、吹出しユニットの吹出し空気量分布と吸入ユニットの空気吸入量分布において、外周側が内周側より大きいことを特徴とする清浄空間維持装置。

【請求項7】

請求項４記載の清浄空間維持装置において、吹出しユニットと吸入ユニットのフィルタは前面（作業者側）から着脱、交換ができることを特徴とする清浄空間維持装置。

【請求項8】

請求項１記載の清浄空間維持装置において、吹出しユニットと吸入ユニットの間にエアブロワを有し、該エアブロワによってワークに付着した異物を除去する除塵機能を清浄維持と併せて有することを特徴とする清浄空間維持装置。

【請求項9】

請求項１または２記載の清浄空間維持装置において、吸入ユニットの前面側に張り出したフェンスを持つことを特徴とする清浄空間維持装置。

【請求項10】

請求項１または２記載の清浄空間維持装置において、頂部は庇として前面に（作業者側に）張り出していることを特徴とする清浄空間維持装置。

【請求項11】

机上に配置されて清浄空気を吹き出す吹出しユニットと、机上に配置されて、吹出しユニットから吹き出した空気を回収する吸入ユニットと、を有し、両ユニット間に机上面にほぼ平行な風を吹かせて両ユニット間に清浄空気を維持する清浄空間維持装置であって、
前記吹出しユニットと前記吸入ユニットとはある角度をなすように配置されており、
頂部が庇として前面に（作業者側に）張り出し、前記頂部の庇の張り出し率が吹出しユニット側より吸入ユニット側が大きいことを特徴とする清浄空間維持装置。

【請求項12】

机上に配置されて清浄空気を吹き出す吹出しユニットと、机上に配置されて、吹出しユニットから吹き出した空気を回収する吸入ユニットと、を有し、両ユニット間に机上面にほぼ平行な風を吹かせて両ユニット間に清浄空気を維持する清浄空間維持装置であって、
前記吹出しユニットと前記吸入ユニットは別体になっており、かつ、前記吹出しユニットと前記吸入ユニットとはある角度をなすように配置されており、
頂部が庇として前面に（作業者側に）張り出し、前記頂部の庇の張り出し率が吹出しユニット側より吸入ユニット側が大きいことを特徴とする清浄空間維持装置。

【請求項13】

請求項１または２記載の清浄空間維持装置において、頂部はシートまたは板で透明または半透明であり外部の照明光を内部に導入することを特徴とする清浄空間維持装置。

【請求項14】

請求項１または２記載の清浄空間維持装置において、机上には粘着シートを配置することを特徴とする清浄空間維持装置。

【請求項15】

請求項１または２記載の清浄空間維持装置において、背後の壁面には粘着シートを配置することを特徴とする清浄空間維持装置。

【請求項16】

請求項１または２記載の清浄空間維持装置において、頂部の面に粘着シートを配置することを特徴とする清浄空間維持装置。

【請求項17】

請求項１または２記載の清浄空間維持装置において、吹出しユニットの吹出し面と吸入ユニットの吸入面の間の角度θが可変であることを特徴とする清浄空間維持装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、清浄空間を作り維持する清浄空間維持装置、さらに清浄空間内での作業中ワークに付着した異物を除去した際の異物の飛散を防止する空間を作る清浄空間維持装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来はクリーンベンチやクリーンブースと呼ばれる清浄環境維持装置で清浄環境を維持していた。また従来は、除塵ＢＯＸなどと呼ばれる除塵専用装置内でワークに付着した異物をエアブローして除去していた。

【発明の開示】

【発明が解決しようとする課題】

【0003】

このため、従来例ではクリーンベンチなどの清浄環境維持装置と除塵ＢＯＸなどの異物エアブロー装置の兼用はできなく両方の設備が必要であった。

【0004】

また、これらの装置は箱型の独立した装置であり、作業机などと一体になっていないため、該装置を置く別の机を用意したり、別の置きスペースを用意しなければならなかった。

【0005】

また、従来例の清浄空間維持装置は空間の側壁が作業者に対し直角に配置され、かつ奥行が深いため、ワークの出し入れ時に側壁に当たり、ワークを痛めるなど不便であった。作業しやすいように、側壁を一部切欠いて形成した箱型の清浄空間維持装置の従来例を図１３を参照して説明する。図１３において、箱型の清浄空間維持装置（以下、単に装置という場合もある）１０は上部、下部、背後に互いに連通するスペース１２、１４、１６を有するように構成されており、背後スペース１６に配置されたファン（送風機）１８によって、上部スペース１２から上部フィルタ２４を通して箱内の作業空間に矢印で示すようにエアを吹出して、作業空間から下部フィルタ２６を通して下部スペース１４にエアを吸引し、背後スペース１６を通して、再び上部スペース１２にエアを循環させている。このため、上部、下部、背後スペースのエアは清浄に保たれ、作業空間の一部でもエアは清浄に保たれる。

【0006】

この従来例の装置１０では、図１３に示すように、側壁２０、２２は作業者側に当たる前方が切欠かれている。このため、上部スペースから吹出されたエアは前方および側壁の切欠き部分を通して、外方に吹出すことになる。この結果、箱型の装置内の作業者側の空間では陽圧が維持できず、特に、下方では、エアの吸引があるので、塵（異物）５０が作業者側の箱内に入り込み、作業しているワーク（図示せず）に塵が付着する恐れがある。

【0007】

このように、この従来例の清浄空間維持装置は濾過した清浄空気が一部空間外に溢れ出し、また外部の不浄な空気を一部空間内に引き込む現象が発生して、完全な清浄空間を維持するのか難しかった。

【0008】

さらに、他の従来例の装置１０を図１４を参照して説明する。この図１４の従来例の箱型の装置１０は、図１３の従来例とは、側壁２０、２２に切欠きが設けられていない点で異なる。しかし、この従来例の装置１０においても、エア（空気）が作業者に当たる前方側に吹出し、この結果、箱型の装置内の作業者側の空間では陽圧が維持できず、特に、下方では、エアの吸引があるので、塵５０が作業者側の箱内に入り込み、作業しているワーク（図示せず）に塵が付着する恐れがある。

【0009】

また、従来例の除塵ＢＯＸでは作業者（図示せず）が発するホコリを清浄空間内に吸入し清浄空間を汚していた。この従来例の除塵ＢＯＸを図１５を参照して説明する。図１５において、除塵ＢＯＸ３０は、箱型の装置として形成されており、上部壁に塵をワーク４０から取り除くために、作業者が手に持ったワーク４０にエアを噴出させるようにエアブロワ３２が配置されており、箱の下部には除去した塵をファン３４によってフィルタ３６を通して背後に排出していた。しかし、作業者（図示せず）の衣服等に付着している塵５０がファン３４によって吸引され、そのため、塵が室内に吸引され、室内の清浄空間を汚していた。また、作業者がいる前面から汚れた空気を装置内部に吸引するため、折角きれいに除塵したワーク４０に新たに異物を付着させてしまっていた。

【0010】

したがって、本発明の目的は、机上に清浄空気を吹き出す吹出しユニットとこれから吹き出した空気を回収する空気吸入ユニットとを配置して、両ユニット間に机上面に平行な風を吹かせ清浄空間を維持する清浄空間維持装置を提供することにある。

【0011】

また、本発明の他の目的は、前述の清浄空間維持装置の構成において、前記両ユニット間に作った清浄空間内に配置したエアブローでワークに付着した塵（異物）を除去し、除去した異物を吸入ユニットで回収し、ワークに付着した異物を除去する除塵機能を同時に兼ね備えた清浄空間維持装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0012】

本発明の清浄空間維持装置は、机上に清浄空気を吹き出す吹出しユニットとこれから吹き出した空気を回収する空気吸入ユニットとを配置して、両ユニット間に机上面に平行な風を吹かせ清浄空間を維持することを特徴とする。

【0013】

また、本発明の清浄空間維持装置は、前述の清浄空間維持装置の構成において、前記両ユニット間に作った清浄空間内に配置したエアブローでワークに付着した塵（異物）を除去し、除去した異物を吸入ユニットで回収し、ワークに付着した異物を除去する除塵機能を同時に兼ね備えたことを特徴とする。

【0014】

前述の清浄空間維持装置は、以下の構成であることが好ましい。
（１）吹出しユニットと吸入ユニットが別体になっている。
（２）空気を送出／回収する空気源ユニットが吹出しユニットおよび吸入ユニットと別体になっている。
（３）吹出しユニットと吸入ユニットは空気濾過装置（フィルタ）を有する。
（４）吹出しユニットと吸入ユニットのフィルタは前面（作業者側）から着脱、交換ができる。
（５）前記両ユニット間に作った清浄空間内でワークをエアブローして付着した異物を除去し、除去した異物を吸入ユニットで回収することで、清浄空間を作ると同時に、ワークに付着した異物を除去する。
（６）両ユニット間を結ぶ背後の壁面が清浄空間内部に向かって凸に配置されている。
（７）天井のシートは庇として前面に（作業者側に）張り出している。
（８）天井はシートまたは板で透明または半透明であり外部の照明光を内部に導入できる。
（９）机上には粘着シートを配置し、背後の壁面には粘着シートを配置し、天井の面に粘着シートを配置する。
（１０）吹出しユニットの吹出し面と吸入ユニットの吸入面の間の角度θが可変である。
（１１）複数の独立した清浄空間維持装置を並置した場合、隣接する清浄空間を接続するための接続用清浄空間を設ける。

【発明の効果】

【0015】

本発明によれば、机上を容易に清浄空間にでき、この清浄空間中でワークについた異物をエアブローでき、飛ばした異物は回収して外部環境を汚さないようにすることに寄与できる。

【発明を実施するための最良の形態】

【0016】

作業机に本発明の清浄空間維持装置を配置して机上の作業域を制限することなく清浄空間を作る。またワークに異物を発見した場合には、その清浄空間でエアブローして異物を除去し、除去した異物は即本装置が回収して、環境を汚さないようにする。また除塵専用装置として用いる場合は、作業に邪魔にならない作業域の隅（作業机のコーナー）に本装置を置き、除塵する時だけ手を伸ばし本装置内でエアブローし除去した異物は即座に装置で回収して、環境を汚さないようにする。

【実施例1】

【0017】

実施例１を図１を参照して説明する。図１は本発明の清浄空間維持装置（以下、単に、装置という場合がある）を清浄環境維持装置（クリーンベンチなど）として使用している図である。図１において、作業机１１２上に装置１００の吹出しユニット１０２と吸入ユニット１０４を（この実施例ではある角度をなすように）置き、作業者１１４は装置が作り出す清浄環境内で、ワーク１１０に対して清浄度を要求される作業をする。作業領域外に空気源ユニット（ファン、送風機）１０６を配置し、吹出しユニット１０２および吸入ユニット１０４と空気源ユニット１０６の間をダクト１０８で連結して、装置の吹出しユニット１０２に空気を送り、また吸入ユニット１０４から使用済み空気を回収する。吹出しユニット１０２と吸入ユニット１０４には空気中の異物をろ過するフィルタ（図示せず）が入っているのが好ましい。なお、吹出しユニット１０２と吸入ユニット１０４の頂部上には庇１１８が配置されている。

【実施例2】

【0018】

実施例２を図２を参照して説明する。図２は装置に除塵機能を付加してワークからの異物を除去する異物除去装置として使用している図である。実施例２では、作業机１１２の隅に吹出しユニット１０２および吸入ユニット１０４を（この実施例ではある角度をなすように）置き、吹出しユニット１０２および吸入ユニット１０４の作業領域内にエアブロワ１１６を配置し、作業者１１４は装置が作り出す清浄環境内で、ワーク１１０に付着した異物をエアブロワ１１６でエアブローして除去する。作業領域外に空気源ユニット１０６を配置し、装置の吹出しユニット１０２に空気を送り、また吸入ユニット１０４から使用済み空気を回収する。吹出しユニット１０２と吸入ユニット１０４には空気中の異物をろ過するフィルタが入っているのが好ましい。なお、吹出しユニット１０２と吸入ユニット１０４の頂部上には庇１１８が配置されている。

【実施例3】

【0019】

実施例３を図３を参照して説明する。実施例３は吹出しユニット１０２の吹出し面の大きさが吸入ユニット１０４の吸入面の大きさより小さい点で、実施例１および実施例２（吹出しユニット１０２の吹出し面の大きさが吸入ユニット１０４の吸入面の大きさと同一）とは異なる。この場合、一部の風は床面と平行には吹かない。なお、図３においては、吹出しユニット１０２と吸入ユニット１０４の配置が図１、図２とは反対に表示されている。ここで、符号１２０は吹出しユニット１０２と吸入ユニット１０４の後部側同士を連結する部材を示している。

【実施例4】

【0020】

実施例４を図４を参照して説明する。図４に示す装置では、吹出しユニット１０２の吹き出し空気量分布と吸入ユニット１０４の空気吸入量分布において、外周側が内周側より大きい。ここで吹き出しユニットの風量をＶｏとし、内側の風量をＶｏｉ、外側の風量をＶｏｏとし、吸入ユニットの風量をＶｉとし、内側の風量をＶｉｉ、外側の風量をＶｉｏとすると、
Ｖｏｏ＞ＶｏｉおよびＶｉｏ＞Ｖｉｉの方程式が成り立つことが好ましい。これにより清浄空間内の風を広範囲にわたり均一かつ安定に保つことができる。

【実施例5】

【0021】

実施例５を図５を参照して説明する。実施例５では、吹出しユニット１０２と吸入ユニット１０４は平行に配置されている。吹出しユニット１０２と吸入ユニット１０４の頂部において、これらの間には、吹出しユニット１０２と吸入ユニット１０４の前部を結ぶ境界面より張り出した（好ましくは円弧状に張り出した）庇１１８が設けられている。吹出しユニット１０２と吸入ユニット１０４の底部には底板１２２が設けられてもよく、またはなにも設けないで、底板１２２の代わりに、作業机（図示せず）の机上面を利用してもよい。作業領域外に空気源ユニット（図示せず）を配置し、装置の吹出しユニット１０２に空気を送り、また吸入ユニット１０４から使用済み空気を回収する。吹出しユニット１０２と吸入ユニット１０４には空気中の異物をろ過するフィルタ（図示せず）が入っているのが好ましい。

【0022】

吹出しユニット１０２から出た陽圧の清浄空気は拡散しつつ前進して吸入ユニット１０４が作る負圧に吸引され遂に吸引ユニット１０４内に吸い込まれる。この時、前端部に近い一部の空気は陽圧により外部に押し出される。しかし、頂部に庇１１８があるため、上から押えられて上部には拡散できず、前側に押し出されてくる。一方、吸入ユニット１０４は負圧を作り吸引するが、やはり頂部の庇１１８により阻まれて、上部からは空気を吸引できないため、前端部から吸引する。陽圧により前方に出てきた清浄風は負圧により吸引されて回収される。こうして清浄空間は清浄度を維持できる。

【0023】

仮に、この庇１１８が無ければ陽圧は上側と前側に拡散してしまい、負圧で回収しきれない。負圧側は回収できなかった分量と同量の汚れた空気を外部から清浄空間内に吸引する。こうして内部の清浄度が維持できなくなる。このように前に突き出た庇の意味（役割）は非常に大きい。本発明のもう一つの特徴は作業机の机上面を底板代わりに用いて、無限大に近い底面を得ていることである。

【実施例6】

【0024】

実施例６を図６を参照して説明する。実施例６では、吹出しユニット１０２と吸入ユニット１０４はある角度θを持って配置されている。背後の壁面には粘着シート（図示せず）を有するのが好ましい。吹出しユニット１０２と吸入ユニット１０４の頂部には、吹出しユニット１０２と吸入ユニット１０４の前部を結ぶ境界面より張り出した（好ましくは円弧状に張り出した）庇１１８が設けられている。頂部の下面には粘着シート（図示せず）を有するのが好ましい。また、底板を設けてもよく、底板の代わりに、机上面を利用してもよい。底部机上面には粘着シートを有するのが好ましい。作業領域外に空気源ユニットを配置し、装置の吹出しユニット１０２に空気を送り、また吸入ユニット１０４から使用済み空気を回収する。吹出しユニット１０２と吸入ユニット１０４には空気中の異物をろ過するフィルタが入っているのが好ましい。

【0025】

実施例６では、吹出しユニット１０２と吸入ユニット１０４はある角度θを持って配置されて間口が開いており、また清浄領域が作業者側に大きく突き出ているため、作業者はワーク（図示せず）の出し入れが容易である上に、広い清浄領域で大型ワークにも対応できる。

【0026】

吹出しユニット１０２から出た陽圧の清浄空気は拡散しつつ前進して吸入ユニット１０４が作る負圧に吸引され遂に吸引ユニット内に吸い込まれる。この時、前端部に近い一部の空気は陽圧により外部に押し出される。しかし、頂部に庇１１８があるため、上から押えられて上部には拡散できず、前側に押し出されてくる。一方、吸入ユニット１０４は負圧を作り吸引するが、やはり頂部の庇１１８により阻まれて、上部からは空気を吸引できないため、前端部から吸引する。陽圧により前方に出てきた清浄風は負圧により吸引されて回収される。こうして清浄空間は清浄度を維持できる。

【0027】

仮に、この庇が無ければ陽圧は上側と前側に拡散してしまい、負圧で回収しきれない。負圧側は回収できなかった分量と同量の汚れた空気を外部から清浄空間内に吸引する。こうして内部の清浄度が維持できなくなる。このように前に突き出た庇の意味（役割）は非常に大きい。本発明のもう一つの特徴は作業机の机上面を底板代わりに用いて、無限大に近い底面を得ていることである。

【実施例7】

【0028】

実施例７を図７を用いて説明する。実施例７では、清浄空間維持装置を除塵機能を有する装置として用いる形態を示す。好ましくは装置を作業机１１２の隅に置く。吹出しユニット１０２と吸入ユニット１０４はある角度θを持って配置する（好ましくは90度）。頂部には庇１１８を設ける。底部は作業机の机上面を利用する。作業領域外に空気源ユニットを配置し装置の吹出しユニット１０２に空気を送り、また吸入ユニット１０４から使用済み空気を回収する。吹出しユニット１０２と吸入ユニット１０４には空気中の異物をろ過するフィルタが入っているのが好ましい。エアブロワ１１６を有し、ワークの異物をエアブローする。

【0029】

装置では、吹出しユニット１０２と吸入ユニット１０４はある角度θ（好ましくは90度）を持って配置されて間口が開いており、また清浄領域が作業者側に大きく突き出ているため、作業者はワークの出し入れが容易である上に、広い清浄領域で大型ワークにも対応できる。

【0030】

吹出しユニット１０２から出た陽圧の清浄空気は拡散しつつ前進して吸入ユニット１０４が作る負圧に吸引され遂に吸引ユニット内に吸い込まれる。この時、前端部に近い一部の空気は陽圧により外部に押し出される。しかし、頂部に庇１１８があるため、上から押えられて上部には拡散できず、前側に押し出されてくる。一方、吸入ユニット１０４は負圧を作り吸引するが、やはり頂部の庇により阻まれて、上部からは空気を吸引できないため、前端部から吸引する。陽圧により前方に出てきた清浄風は負圧により吸引されて回収される。こうして清浄空間は清浄度を維持できる。

【0031】

仮に、この庇が無ければ陽圧は上側と前側に拡散してしまい、負圧で回収しきれない。負圧側は回収できなかった分量と同量の汚れた空気を外部から清浄空間内に吸引する。こうして内部の清浄度が維持できなくなる。このように前に突き出た庇の意味（役割）は非常に大きい。本発明のもう一つの特徴は作業机の机上面を底板代わりに用いて、無限大に近い底面を得ていることである。エアアブローにより導入された分量と同量の清浄空気が装置外に溢れるが、清浄空気であるため、外部環境を汚すこともなく問題にならない。

【0032】

以上に述べた実施例７の装置の三面図を図８に示す。図８ａは平面図（断面図）で、図８ｂは右側側面図で、図８ｃは正面図で、図８ｄは右斜め側面図である。除塵機能を持たせるときには、作業領域内にエアブロワ１１６が配置されている。そして、好ましくは頂部、背後の壁面、底部には粘着シート１３０が設けられている。吹出しユニット１０２と吸入ユニット１０４はダクト１０８で空気源ユニット（ファン）１０６と連結されている。

【実施例8】

【0033】

実施例８を図９を用いて説明する。図９は装置の庇の形状を示す。庇の形状は前に張り出しているが、さらに吸入ユニット１０４側の張り出し率が吹出しユニット１０２側のそれより大きい方が好ましい。数式で表すと以下のようになる。

ここで、張り出し率は以下の式で定義する。
吹出しユニットの奥行をＷｏ、庇の奥行をＷｏ＋ａ
吸入ユニットの奥行をＷｉ、庇の奥行をＷｉ＋ｂ
とすると
吹出しユニット側の庇の張り出し率Ａｏ＝（Ｗｏ＋ａ）／Ｗｏ
吸入ユニット側の庇の張り出し率Ａｉ＝（Ｗｉ＋ｂ）／Ｗｉ
となる。
この時、
Ａｏ≦Ａｉ
であるのが好ましい。

【実施例9】

【0034】

実施例９を図１０、図１１を参照して説明する。図１０は実施例９の装置を示す斜視図であり、図１１ａはフェンスを用いないときを説明する平面図であり、図１１ｂはフェンスを用いたときの平面図である。フェンス１０４ａは作業者側に張り出すように吸入ユニットの前面側に取り付けられる。フェンス１０４ａがない場合には、外気が吸入ユニット１０４に吸い込まれるが、フェンス１０４ａがある場合には外気はフェンスに邪魔されて吸入ユニットに吸い込まれない。このため、外部からの塵が入り込まず、清浄度を高く保てる。

【実施例10】

【0035】

実施例１０を図１２を用いて説明する。図１２は清浄空間維持装置と除塵装置を示し、図１２ａは斜視図で、図１２ｂは側面図（断面図）で、図１２ｃは正面図である。この清浄空間維持装置は上部に吹出しユニット１０２を有し、かつ下部に吸入ユニット１０４を有し、上部と下部の中間部に清浄空間を有する箱型の装置（例えばクリーンベンチなど）である。左右の側壁１３２の前端部が前方に迫り出していて、吹出しユニット１０２から吹出した空気は全て吸入ユニット１０４に回収される。外部から汚れた空気を吸い込むことがないため、清浄空間を維持できる。左右の側壁の形状は、吸入ユニット１０４側でより前に張り出しているのが好ましい。

【0036】

この清浄空間維持装置はエアブロワを装備すれば清浄空間を作る装置であると共にワークに付着した異物を除去する除塵装置として機能する。

【実施例11】

【0037】

実施例１１を図１７を参照して説明するが、比較例として図１６を参照して最初に説明する。実際の作業現場では、複数の（この説明では、２台の例に挙げる）清浄空間維持装置１００，１００を並置して作業者が流れ作業をする場合がある。その場合、工程内を清浄空間にして、さらに工程間でワークの受け渡しを行うときには受け渡し空間も清浄空間にする必要がある。図１６は単に清浄空間維持装置を２台、前工程と後工程に並べた状態を示す。空気源ユニット（風力エンジン）１０６、吹出し１０２、吸引ユニット１０４を流れる風量はすべてＶｏで同量である。前工程の作業が終わりワークを後工程に渡すとき、前後工程間の不浄空間を通過する。このとき、異物がワークに付着する。なお、符号は左図のみに付し、右図では省略している。符号１１０、１１４は、それぞれ、ワーク、作業者を示す。

【0038】

図１７に示す実施例１１は、図１６の比較例の前述の欠点を解消する構成を示す。例えば、２台の清浄空気維持装置１００、１００の間に連結壁１４４を設け、物体センサ（好ましくは、受け渡し領域直前でワークを感知する）（図示せず）を設け、吸入ユニット１０４に、または空気源ユニット１０６の吸入ユニット１０４側のダクト１０８にまたは、空気源ユニット１０６の吸入側に外気取込用蓋１４０を設ける（この実施例では吸入ユニット１０４に外気取込用蓋を設けている）。物体センサがワークを感知したとき、外気取込用蓋１４０が開かれ、吸引ユニット１０４内に外気を取り込む。このときの取り込む外気の量をＶｅとすると、空気源ユニット（風力エンジン）を流れる風量は（Ｖｏ＋Ｖｅ）であり、清浄空間を流れる風量も（Ｖｏ＋Ｖｅ）である。吸引ユニット１０４はＶｏのみを吸引するから、結局、Ｖｅが溢れ、前後の清浄空間維持装置間に流れる。こうして、清浄空間維持装置間の清浄空間（拡張清浄域）１４２が創生される。この清浄空間１４２を通ってワークが後工程に渡されるので、異物のワークへの付着が回避される。

【図面の簡単な説明】

【0039】

【図1】本発明の実施例１の装置を示す平面図である。

【図2】本発明の実施例２の装置を示す平面図である。

【図3】本発明の実施例３の装置を示す斜視図である。

【図4】本発明の実施例４の装置を示す平面図である。

【図5】本発明の実施例５の装置を示す斜視図である。

【図6】本発明の実施例６の装置を示す斜視図である。

【図7】本発明の実施例７の装置を示す斜視図である。

【図8】本発明の実施例７の装置を３面図で示す図である。

【図9】本発明の実施例８の装置を示す平面図である。

【図10】本発明の実施例９の装置を示す斜視図である。

【図11】本発明の実施例９を説明するための平面図である。

【図12】本発明の実施例１０の装置を示す斜視図、側面図、正面図である。

【図13】従来例の１つを示す斜視図、側面図、正面図である。

【図14】従来例の他の１つを示す斜視図、側面図、正面図である。

【図15】従来例のさらに他の１つを示す斜視図、側面図、正面図である。

【図16】本発明の実施例１１の装置を説明するための比較の構成を示す平面図である。

【図17】本発明の実施例１１の装置を示す平面図である。

【符号の説明】

【0040】

１００ 清浄空間維持装置
１０２ 吹出しユニット
１０４ 吸引ユニット
１０６ ファン（送風機）
１０８ ダクト
１１０ ワーク
１１６ エアブロワ
１４０ 外気取込用蓋
１４２ 拡張清浄域
１４４ 連結壁

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】