特許 6573099 イオン源、支持台、吊下機構、イオン源搬送システム及びイオン源搬送方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6573099

(24)【登録日】2019年8月23日

(45)【発行日】2019年9月11日

(54)【発明の名称】イオン源、支持台、吊下機構、イオン源搬送システム及びイオン源搬送方法

(51)【国際特許分類】

   H01J 27/02 20060101AFI20190902BHJP

   H01J 37/08 20060101ALI20190902BHJP

   H01J 3/38 20060101ALI20190902BHJP

【ＦＩ】

   H01J27/02

   H01J37/08

   H01J3/38

【請求項の数】4

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2014-246986(P2014-246986)

(22)【出願日】2014年12月5日

(65)【公開番号】特開2016-110827(P2016-110827A)

(43)【公開日】2016年6月20日

【審査請求日】2017年10月18日

(73)【特許権者】

【識別番号】302054866

【氏名又は名称】日新イオン機器株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100121441

【弁理士】

【氏名又は名称】西村 竜平

(74)【代理人】

【識別番号】100154704

【弁理士】

【氏名又は名称】齊藤 真大

(72)【発明者】

【氏名】小銭 和人

(72)【発明者】

【氏名】丹羽 雄一

(72)【発明者】

【氏名】小野田 正敏

(72)【発明者】

【氏名】立道 潤一

【審査官】 道祖土 新吾

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００９−０２３８１１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開昭６２−１９８６４９（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開平１１−２７３５８１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０８−２６４１４４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ６５Ｇ ３／００− ９／００

Ｈ０１Ｊ ３／００− ３／４０

２７／００−２７／２６

３７／０４

３７／０６−３７／０８

３７／２４８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

イオン照射装置の装置本体に所定の取付姿勢で取り付けられるイオン源であって、
イオンの引出し口が設けられた筐体と、前記引出し口からイオンを引き出す複数の電極と、前記筐体に連結されるとともに前記複数の電極を保持する電極保持部材と、前記取付姿勢にある筐体又は電極保持部材に抜脱可能に取り付けられる下側ローラ及び上側ローラとを具備し、
前記装置本体から取り外された状態の起立姿勢において、前記筐体又は前記電極保持部材に取り付けられた前記下側ローラのみが、所定の支持面に転動可能に載置される一方、
前記起立姿勢から倒伏して高さ寸法の小さくなった倒伏姿勢において、前記筐体又は前記電極保持部材に取り付けられた前記下側ローラ及び前記上側ローラの双方が、前記支持面に載置されるものであることを特徴とするイオン源。

【請求項2】

前記支持面が、平行に設けられた一対の水平レール上に形成されており、
前記下側ローラ及び前記上側ローラが、前記水平レールに対応するように各一対設けられていることを特徴とする請求項１記載のイオン源。

【請求項3】

請求項１又は２に記載されたイオン源を搬送する方法であって、
前記イオン源を前記装置本体から取り外して、前記起立姿勢で吊り下げ、
前記イオン源を前記起立姿勢を保ちながら前記支持面の上方に移動させ、
前記イオン源を下降させて、前記下側ローラを前記支持面に載置し、
前記イオン源をさらに下降させて、前記上側ローラが前記支持面に載置されるまで前記下側ローラを前記支持面上で転動させることを特徴とするイオン源搬送方法。

【請求項4】

イオン照射装置の装置本体に所定の取付姿勢で取り付けられるイオン源であって、
イオンの引出し口が設けられた筐体と、前記引出し口からイオンを引き出す複数の電極と、前記筐体に連結されるとともに前記複数の電極を保持する電極保持部材と、前記取付姿勢にある筐体又は電極保持部材に抜脱可能に取り付けられる下側ローラ及び上側ローラとを具備することを特徴とするイオン源。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、イオン源、前記イオン源を支持する支持台、前記イオン源を吊り下げる吊下機構、前記イオン源を搬送するイオン源搬送システム及び前記イオン源を搬送するイオン源搬送方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

この種のイオン源は、イオン照射装置の装置本体に所定の取付姿勢で取り付けられてイオン照射装置を構成するとともに、例えば新しいものと交換するときには、前記装置本体から取り外されることがある。

【0003】

そこで、特許文献１に示すイオン源は、筐体と、前記筐体を支持するとともに転動可能なローラが取り付けられた支持脚とを具備し、前記取付姿勢を保ったまま搬送できるように構成されている。

【0004】

ところが、上述した構成では、取付姿勢における高さ寸法が大きくなるほど、重心の位置が高くなり、イオン源を搬送する際に不安定な状態になる。
特に、近年は、基板の大型化が進んでおり、基板に合わせてイオンビームを大きくすべく、取付姿勢におけるイオン源の高さ寸法が大きくなっているところ、上述した問題がより顕著となる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】実開昭６２−１９８６４９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

そこで本発明は、上記問題点を解決すべくなされたものであって、イオン源を確実に安定な状態にして搬送できるようにすることをその主たる課題とするものである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

すなわち本発明に係るイオン源は、イオン照射装置の装置本体に所定の取付姿勢で取り付けられるイオン源であって、イオンの引出し口が設けられた筐体と、前記引出し口からイオンを引き出す複数の電極と、前記筐体に連結されるとともに前記複数の電極を保持する電極保持部材と、前記取付姿勢にある筐体又は電極保持部材に抜脱可能に取り付けられる下側ローラ及び上側ローラとを具備し、前記装置本体から取り外された状態の起立姿勢において、前記筐体又は前記電極保持部材に取り付けられた前記下側ローラのみが、所定の支持面に転動可能に載置される一方、前記起立姿勢から倒伏して高さ寸法の小さくなった倒伏姿勢において、前記筐体又は前記電極保持部材に取り付けられた前記下側ローラ及び前記上側ローラの双方が、前記支持面に載置されるものであることを特徴とするものである。

【0008】

このようなイオン源であれば、取付姿勢よりも高さ寸法の小さい倒伏姿勢で支持面に支持されているので、この倒伏姿勢を保ったまま支持台を移動させることで、重心の位置が低く安定な状態でイオン源を搬送することができる。
ここで、装置本体から取り外されたイオン源を搬送する場合を考える。この場合、イオン源を起立姿勢で支持面に降ろすことにより、下側ローラが支持面上を転動するので、この動きに伴い、イオン源は起立姿勢から徐々に倒伏して倒伏姿勢になる。
一方、イオン源を装置本体に取り付ける場合、倒伏姿勢で支持面に支持されているイオン源を持ち上げることにより、下側ローラが支持面上を転動しながら、上側ローラが支持面から離間し、イオン源は徐々に起立して起立姿勢になる。
このように、上述したイオン源であれば、安定な状態でイオン源を搬送することができるうえ、必要に応じて確実に起立姿勢又は倒伏姿勢にすることができる。

【0009】

より具体的な実施態様としては、前記支持面が、平行に設けられた一対の水平レール上に形成されたものであり、前記下側ローラ及び前記上側ローラが、前記水平レールに対応するように各一対設けられているものが挙げられる。

【0010】

また、本発明に係る支持台は、上述したイオン源が載置される水平レールを具備したことを特徴とするものである。
この支持台を用いることで、上述したイオン源を安定な状態で搬送することができるうえ、必要に応じてイオン源を確実に起立姿勢又は倒伏姿勢にすることができる。

【0011】

イオン源を所望の位置に搬送するための支持台としては、車輪を具備し、床面を移動可能に構成してあるものが良い。

【0012】

前記支持台は、前記筐体又は前記電極保持部材から取り外された前記下側ローラ又は前記上側ローラを保持するローラ保持部を有しているものが好ましい。
これならば、筐体や電極保持部材から取り外したローラをローラ保持部に保持させておくことで、ローラの紛失を防ぐことができる。

【0013】

また、本発明に係る吊下機構は、前記イオン源を吊り下げて、前記支持台と前記装置本体との間で搬送するものであり、前記装置本体から取り外された前記イオン源を前記起立姿勢で吊り下げ、前記起立姿勢を保ちながら前記イオン源を前記支持面の上方に移動させ、前記イオン源を下降させて、前記下側ローラを前記支持面に載置し、前記イオン源をさらに下降させて、前記上側ローラが前記支持面に載置されるまで前記下側ローラを前記支持面上で転動させることを特徴とするものである。
この吊下機構を用いることで、イオン源を確実に倒伏姿勢にすることができ、安定な状態で搬送することができる。

【0014】

前記支持台と前記吊下機構とを具備することを特徴とするイオン源搬送システムであれば、上述した作用効果を得ることができる。

【発明の効果】

【0015】

このように構成した本発明によれば、重心の位置を低くして安定な状態でイオン源を搬送することができるとともに、必要に応じて確実に起立姿勢又は倒伏姿勢にすることができる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】本実施形態のイオン照射装置の全体構成を模式的に示す図。

【図2】同実施形態のイオン源を模式的に示す図。

【図3】同実施形態の支持台を模式的に示す図。

【図4】同実施形態のイオン源搬送システムの動作を説明する図。

【発明を実施するための形態】

【0017】

本発明に係るイオン源の一実施形態について説明する。

【0018】

本実施形態のイオン源１０１は、イオン照射装置１００を構成するとともに、イオン源搬送システム２００によって搬送させるものである。
以下に、前記イオン照射装置１００を説明したあと、前記イオン源搬送システム２００について説明する。

【0019】

イオン照射装置１００は、例えば半導体デバイスに用いられるものであり、ここでは、図１に示すように、イオン源１０１から引き出されたイオンビームを、質量分離器１０３と分離スリット１０４を通過させて所望のイオン種を選別した後、ホルダ１０５に保持されているウエハＷに注入するものである。

【0020】

具体的にこのイオン照射装置１００は、装置本体１０２と、装置本体１０２に取り付けられたイオン源１０１とを具備してなり、ここでは、前記装置本体１０２は、上述した質量分離器１０３や分離スリット１０４の他に、いずれも図示しないが、イオンビームを整形するためのレンズやイオンビームの進行方向を補正するステアリングコイルなどから構成されている。

【0021】

前記イオン源１０１は、所定の取付姿勢で装置本体１０２（ここでは、質量分離器１０３側に配置されるとともに、イオンビームの輸送経路を構成する図示しない真空容器の端面）に取り付けられるとともに、リン、ヒ素、ボロン等の所定のイオンを含むリボン状のイオンビームを発生させて装置本体１０２へ射出するものである。
なお、本実施形態の取付姿勢は、イオン源１０１を鉛直方向に沿って起立させた姿勢である。

【0022】

具体的にこのイオン源１０１は、図２に示すように、内部で発生したイオンビームが引き出される引出し口Ｏを有する筐体１０と、前記引出し口Ｏの近傍に設けられた複数の電極からなる図示しない引出電極系と、前記筐体１０に連結されるとともに前記引出電極系を保持する電極保持部材たる筒体５０と、筐体１０に抜脱可能に取り付けられる下側ローラ２１と、筐体１０に抜脱可能に取り付けられるとともに、前記取付姿勢において前記下側ローラ２１の上方に位置する上側ローラ２２とを具備している。

【0023】

前記筐体１０は、熱電子を放出する熱陰極（図示しない）を収容するとともに、内部でプラズマが生成されるプラズマ生成容器としての機能を備えたものである。
これにより、本実施形態では、筐体１０内にホスフィン（ＰＨ_３）、アルシン（ＡｓＨ_３）、三フッ化ホウ素（ＢＦ_３）等のプロセスガスを導入しながらプラズマを生成することで、上述した所定のイオンを含むイオンビームを発生させ、該イオンビームを前記引出し口Ｏから射出させる。

【0024】

具体的にこの筐体１０は、図２に示すように、内部空間を有するとともに、取付姿勢において例えば直方体形状等の縦長形状をなすものであり、取付姿勢における側周面１１に前記引出し口Ｏが形成されている。
本実施形態では、前記側周面１１のうち、前記筒体５０を介して装置本体１０２に取り付けられる取付面１１ａに前記引出し口Ｏが形成されている。この取付面１１ａには、複数のボルト孔１３を有したフランジ部１２が形成されている。

【0025】

前記引出電極系は、例えば加速電極、引出電極、抑制電極、接地電極などから構成されており、これらの電極により、イオンビームを加速して所望のエネルギーを有するイオンビームを引き出すことができる。

【0026】

前記筒体５０は、上述した複数の電極が内部に設けられるとともに、装置本体１０２と筐体１０との間に配置されたものであり、一端側が装置本体１０２に連結されるとともに、他端側が筐体１０に連結されるように構成されている。
より具体的には、筒体５０の一端側フランジ部５１１に形成されたボルト孔５２１を介して、筒体５０と装置本体１０２とが図示しないボルトで連結される。また、筒体５０の他端側フランジ部５１２に形成されたボルト孔５２２と、上述した取付面１１ａのフランジ部１２に形成されたボルト孔１３とを連通させて、図示しないボルトによって筒体５０と筐体１０とが連結される。

【0027】

前記下側ローラ２１及び前記上側ローラ２２は、各ローラ２１、２２を転動可能に支持するローラ支持部材Ｈに固定されており、このローラ支持部材Ｈを介して前記筐体１０に取り付けられるものである。
なお、前記ローラ支持部材Ｈは、螺子などで取付姿勢における筐体１０の側周面１１に取り付けられるように構成されている。

【0028】

前記下側ローラ２１は、抜脱可能に前記側周面１１に取り付けられており、ここでは、一対の下側ローラ２１が前記引出し口Ｏを左右両側から挟むように配置されている。
より具体的に各下側ローラ２１は、前記側周面１１のうち、前記取付面１１ａとは異なる面であり、互いに対向する対向面１１ｂそれぞれに取り付けられている。また、各下側ローラ２１の取付位置は、いずれも取付姿勢における筐体１０の底面１１ｃから等しい高さであり、かつ、前記取付面１１ａから等しい距離となるように設定されている。
なお、前記各対向面１１ｂは、本実施形態では、前記取付面１１ａと直交するとともに、互いに平行な面として形成されている。

【0029】

前記上側ローラ２２は、抜脱可能に前記側周面１１に取り付けられており、ここでは、一対の上側ローラ２２が前記引出し口Ｏを左右両側から挟むように配置されている。
より具体的に各上側ローラ２２は、前記対向面１１ｂそれぞれに取り付けられており、その取付位置は、各下側ローラ２１から上方に所定距離離間した位置に設定されている。

【0030】

より詳細に本実施形態では、各対向面１１ｂにおける下側ローラ２１と上側ローラ２２との離間距離が等しく、かつ、各下側ローラ２１の離間距離と各上側ローラ２２の離間距離とが等しくなるように構成されている。

【0031】

次に、上述したイオン源１０１を搬送するイオン源搬送システム２００について、図３及び図４を参照しながら説明する。

【0032】

前記イオン源搬送システム２００は、装置本体１０２から取り外された状態の起立姿勢でイオン源１０１を吊り下げる吊下機構４０と、前記起立姿勢よりも高さが低い倒伏姿勢でイオン源１０１を支持する支持台３０とを具備してなる。

【0033】

吊下機構４０は、装置本体１０２から取り外されたイオン源１０１を起立姿勢で吊り下げるとともに、該イオン源１０１を鉛直方向及び水平方向に動かして、予め準備した支持台３０の上方に移動させるものであり、ここでは、例えば天井クレーンを利用したものである。
本実施形態の天井クレーンは、イオン照射装置１００の天井に取り付けられるとともにイオン照射装置１００の内部に位置しており、イオン源１０１が配置される場所の上方に設けられている。もちろん、このような構成に代えて装置外部に設けられた天井クレーンを使用してもよい。

【0034】

支持台３０は、起立姿勢よりも重心の位置が低い前記倒伏姿勢でイオン源１０１を支持するとともに、このイオン源１０１を所定の位置へ搬送するためのものであり、ここでは、図３に示すように、台車３１と、台車３１に設けられた一対の水平レール３２とを具備している。

【0035】

前記台車３１は、枠体３１１と、枠体３１１に取り付けられた複数の車輪３１２とを具備してなる。各車輪３１２は、枠体３１１の下面に取り付けられるとともに、例えば装置本体１０２が配置される床面やイオン源１０１を搬送するための専用の床面を転動するものである。
本実施形態の台車３１には、筐体１０から取り外したローラ２１、２２が取り付けられるとともに、これらのローラ２１、２２を保持する複数のローラ保持部３１３が設けられている。
なお、本実施形態では、筐体１０に設けられたローラ２１、２２と同数のローラ保持部３１３が設けられており、各ローラ保持部３１３は、ローラ支持部材Ｈが螺子止めされるように構成されている。

【0036】

前記一対の水平レール３２は、枠体３１１の上面に設けられており、水平方向に沿って互いに平行に延びるものである。
より具体的には、各水平レール３２の離間距離は、一対の下側ローラ２１の離間距離及び一対の上側ローラ２２の離間距離と等しく、各水平レール３２の長さは、下側ローラ２１と上側ローラ２２との離間距離よりも長くなるように設定されている。

【0037】

本実施形態では、前記水平レール３２の一端部３２ａ及び他端部３２ｂそれぞれに下側ローラ２１及び上側ローラ２２が水平レール３２から転落することを防ぐストッパ３２１が設けられている。

【0038】

前記ストッパ３２１は、水平レール３２の各端部３２ａ、３２ｂにおいて外側に向かって斜め上向きに傾斜するストッパ面３２２を有しており、ここでは、前記ストッパ面３２２が、下方に湾曲した湾曲面として形成されている。

【0039】

続いて、図４を参照しながら、上述したイオン源搬送システム２００の動作を説明する。

【0040】

始めに、装置本体１０２から取り外されたイオン源１０１を所望の位置に搬送する動作を説明する。
なお、イオン源１０１の取り外しは、例えばユーザが、装置本体１０２と筒体５０とを連結しているボルトを抜くことにより行われ、ここでは、筐体１０と筒体５０とが一体的に装置本体１０２から取り外される。

【0041】

まず、吊下機構４０は、装置本体１０２から取り外されたイオン源１０１を起立姿勢で吊り下げる。
このとき、イオン源１０１を重心又はその近傍の上方から吊り下げることで、イオン源１０１は鉛直方向に起立した姿勢又はその姿勢からやや傾いた姿勢となる。
より具体的に本実施形態の吊下機構４０は、筐体１０の上面におけるイオン源１０１の重心よりも後ろ側にワイヤ等を取り付けて、該イオン源１０１を吊り下げるようにしており、これにより、イオン源１０１は鉛直方向に起立した姿勢よりもやや前傾姿勢となる。

【0042】

次に、前記吊下機構４０は、イオン源１０１を起立姿勢で吊り下げたまま、所定角度旋回させるとともに、必要に応じて鉛直方向及び水平方向に動かして、予め準備した支持台３０の上方に移動させる。
より詳細には、前記吊下機構４０は、支持台３０に設けられた水平レール３２の例えば一端部３２ａ側の上方に、各下側ローラ２１が位置するように、イオン源１０１を移動させる（図４（ａ））。

【0043】

続いて、前記吊下機構４０は、起立姿勢を保ったままイオン源１０１を下降させ、各下側ローラ２１を水平レール３２に載置する（図４（ｂ））。
この状態において、各下側ローラ２１は、水平方向においてイオン源１０１の重心よりも後方（引出し口Ｏと反対側）に位置しており、各上側ローラ２２は、水平方向においてイオン源１０１の重心よりも前方（引出し口Ｏ側）に位置している。

【0044】

各下側ローラ２１が水平レール３２に載置されたあと、前記吊下機構４０は、イオン源１０１をさらに下降させる。これにより、各下側ローラ２１は水平レール３２上を一端部３２ａから他端部３２ｂに向かって転動し、これに伴って、各上側ローラ２２は水平レール３２に近づき、イオン源１０１は起立姿勢から徐々に傾き始める（図４（ｃ））。
このとき、筐体１０に形成された引出し口Ｏが、徐々に下方を向くように、例えば、イオン源１０１の下部に水平レール３２の一端部３２ａから他端部３２ｂに向かう力を与えても良い。
なお、各ローラ２１、２２と水平レール３２との接触面は平坦であっても良いし、湾曲していても良い。

【0045】

そして、各上側ローラ２２が水平レール３２に載置されると、下側ローラ２１及び上側ローラ２２の双方が水平レール３２に載置された状態となり、これにより、イオン源１０１は倒伏姿勢となる（図４（ｄ））。
本実施形態では、前記倒伏姿勢において、下側ローラ２１及び上側ローラ２２が、引出し口Ｏよりも上方に位置するとともに、引出し口Ｏが下方を向いた状態となる。

【0046】

この倒伏姿勢のまま、例えば、ユーザが台車３１を移動させることで、イオン源１０１を安定な状態で所望の位置に搬送させることができる。

【0047】

続いて、イオン源１０１を所定位置から例えば装置本体１０２の近傍に搬送して、装置本体１０２に取り付ける場合を説明する。

【0048】

まず、吊下機構４０は、倒伏姿勢で支持台３０に支持されているイオン源１０１を持ち上げる。
これにより、各上側ローラ２２が、水平レール３２から離間するとともに、各下側ローラ２１が、水平レール３２上を他端部３２ｂから一端部３２ａに向かって転動する。

【0049】

この状態から、前記吊下機構４０は、イオン源１０１をさらに持ち上げる。これにより、各下側ローラ２１が水平レール３２から離間して、イオン源１０１は起立姿勢になる。

【0050】

この起立姿勢のまま、前記吊下機構４０は、イオン源１０１を鉛直方向及び水平方向に動かして、装置本体１０２の近傍に移動させ、必要に応じて所定角度旋回させて、装置本体１０２に近接させる。

【0051】

そして、例えば、ユーザが、装置本体１０２と筒体５０とをボルトにより連結することにより、イオン源１０１は所定の取付姿勢で装置本体１０２に取り付けられる。

【0052】

このように構成された本実施形態に係るイオン源１０１であれば、取付姿勢よりも高さが低い倒伏姿勢で支持台３０に支持されているので、この倒伏姿勢を保ったまま支持台３０を移動させることで、重心の位置が低く安定な状態でイオン源を搬送することができる。

【0053】

また、イオン源１０１は、起立姿勢のまま水平レール３２に下ろすことで倒伏姿勢になり、倒伏姿勢で支持台に支持されている状態から持ち上げることで起立姿勢になるので、必要に応じてイオン源１０１を簡単かつ確実に倒伏姿勢又は起立姿勢にすることができる。

【0054】

さらに、倒伏姿勢において、引出し口Ｏが下方を向くので、倒伏姿勢にすることで、粉塵等が引出し口Ｏから筐体１０内に入りにくくなり、筐体１０内を汚れにくくすることができる。また、倒伏姿勢において、下側ローラ２１及び上側ローラ２２が引出し口Ｏよりも上方に位置するので、支持台３０に支持されているイオン源１０１の重心を確実に低くすることができる。

【0055】

ここで、ローラ２１、２２を支持するローラ支持部材Ｈが導電性を有する場合、このローラ支持部材Ｈに放電が発生してイオン源１０１の故障を招く恐れがある。このことから、イオン源１０１を稼働する際には、ローラ支持部材Ｈは各ローラ２１、２２とともに筐体１０から取り外される。
また、イオン源１０１を装置本体１０２に取り付けた状態において、イオン源１０１の周囲には永久磁石や永久磁石を冷却するための冷媒流路などの多くの部材が配置されている。このことからも、イオン源１０１を装置本体１０２に取り付けたあとは、各ローラ２１、２２は邪魔にならないように筐体１０から取り外されることが好ましい。
このように、イオン源１０１の稼働時には、各ローラ２１、２２が筐体１０から取り外されることがあるところ、本実施形態では、支持台３０がローラ保持部３１３を有しているので、筐体１０から取り外したローラ２１、２２をローラ保持部３１３に保持させておくことができ、ローラ２１、２２の紛失を防止することができる。

【0056】

さらに加えて、水平レール３２の両端部３２ａ、ｂにストッパ３２１が設けられているので、搬送時にイオン源１０１が水平レール３２から脱落することを防ぐことができる。
また、ストッパ３２１のストッパ面３２２が、湾曲した形状をなしているので、仮に下側ローラ２１を水平レール３２の一端部３２ａ又は他端部３２ｂに下ろしたとしても、下側ローラ２１は水平レール３２から脱落することなく、スムーズに水平レール３２上に導かれる。
さらに、仮にイオン源１０１を鉛直方向に起立した姿勢で吊り下げた場合であっても、ストッパ３２１のストッパ面３２２が湾曲面であることを利用して、この湾曲面に下側ローラ２１を載置させることにより、引出し口Ｏが下方を向くようにイオン源１０１を倒伏させることができる。

【0057】

そのうえ、引出電極系を構成する複数の電極を保持する筒体５０が筐体１０に連結されているので、イオン源１０１を装置本体１０２から取り外す際は、筐体１０と引出電極系とを一挙に取り外すことができ、イオン源１０１を装置本体１０２に取り付ける際は、筐体１０と引出電極系とを一挙に取り付けることができる。これにより、イオン源１０１の着脱時の作業性を向上させることができる。

【0058】

なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。

【0059】

例えば、前記実施形態では、下側ローラ及び上側ローラが、対向面に設けられていたが、取付面や、取付面と反対側の背面に設けられていても良い。
さらには、下側ローラは、起立姿勢における筐体の底面に設けられていても良いし、上側ローラは、起立姿勢における筐体の上面に設けられていても良い。
加えて、下側ローラ及び上側ローラは、引出電極系を保持する筒体に設けられていても良い。例えば、ローラ支持部材を筒体に直接取り付ける、或いは、筒体に取り付けられた部材にローラ支持部材を取り付けるようにして、筒体に下側ローラ及び上側ローラを設けるようにしても良い。この場合、各ローラは、降伏姿勢において、引出し口とほぼ同じ高さに位置する。

【0060】

また、前記実施形態では、倒伏姿勢において、引出し口が下方を向くようにしていたが、引出し口が上方を向くようにしても良い。
さらに、倒伏姿勢において、引出し口が左右方向又は前後方向を向くようにしても良い。この場合の具体的実施態様としては、一対の下側ローラ及び一対の上側ローラが取付面と背面とに設けられている構成が挙げられる。

【0061】

イオン源を取り外す際は、前記実施形態では、装置本体から筐体と筒体とを一体的に取り外していたが、筐体と筒体とを別々に取り外すようにしても良い。この場合、筐体と筒体との各々に下側ローラ及び上側ローラが取り付けられるように構成されていることが好ましい。

【0062】

また、吊下機構は、例えば、２台以上の天井クレーンを利用してイオン源を吊り下げるようにしても良い。さらに、ワイヤをセパレータ等で複数に分けて、これらのワイヤをイオン源に取り付けるようにしても良い。
このようにすることで、吊り下げられたイオン源をより安定して動かすことができる。

【0063】

加えて、前記実施形態では、筐体にワイヤを取り付けていたが、上側ローラを支持する各ローラ支持部材にワイヤを取り付けるようにしても良い。
例えば、２台の天井クレーンを利用して、上側ローラを支持する各ローラ支持部材に各クレーンのワイヤを取り付けるようにしておく。このようにすることで、筐体の上面にワイヤを取り付ける場合と比較して、吊上げ代を十分に確保することが可能となる。

【0064】

なお、前記実施形態では、請求項でいう支持面が、水平レール上に形成されていたが、支持面を装置本体が配置される床面としても良い。例えば、筐体１０と筒体５０とを一挙に取り外す場合、各ローラ２１、２２が固定されるローラ支持部材Ｈの端部が、筒体５０のフランジ部５１１よりも装置本体側に突出した構成となる。具体例を挙げると、ローラ支持部材Ｈはクランク状に屈曲した部材で構成されていて、一端部が筐体１０に取り付けられているとともに、各ローラ２１、２２が固定される他端部が筒体５０のフランジ部５１１よりも装置本体側に突出している。
また、台車３１に一対の水平レール３２を設ける代わりに、支持面をなす別の部材（例えば、平板等）を設けるようにしても良い。
さらに、請求項でいう支持面は、必ずしも水平である必要はなく、やや傾いた面であっても構わない。これにより、イオン源を鉛直方向に起立した姿勢で吊り下げた場合であっても、引出し口が下方を向くようにイオン源を倒伏させることができる。

【0065】

また、前記実施形態では一対の下側ローラと一対の上側ローラが設けられていたが、ローラの個数はこれに限られない。例えば、上下のローラの中間位置に一対の中間ローラを設けるようにしても良い。

【0066】

さらに、前記実施形態では筒体が引出電極系を構成する全ての電極を保持する構成としたが、筐体が引出電極系を構成する電極の一部を保持する構成としても良い。また、筐体と筒体とを一体の部材で構成しても良い。
なお、電極を保持する電極保持部材の形状は筒体に限られず、種々変更可能である。

【0067】

その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。

【符号の説明】

【0068】

１００・・・イオン照射装置
１０１・・・イオン源
１０ ・・・筐体
１１ ・・・側周面
Ｏ ・・・引出し口
２１ ・・・下側ローラ
２２ ・・・上側ローラ
１０２・・・装置本体
３０ ・・・支持台
３１ ・・・台車
３２ ・・・水平レール
５０ ・・・電極保持部材（筒体）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】