特許 6573381 研磨装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6573381

(24)【登録日】2019年8月23日

(45)【発行日】2019年9月11日

(54)【発明の名称】研磨装置

(51)【国際特許分類】

   B24B 21/04 20060101AFI20190902BHJP

【ＦＩ】

   B24B21/04

【請求項の数】5

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2015-156686(P2015-156686)

(22)【出願日】2015年8月7日

(65)【公開番号】特開2017-35742(P2017-35742A)

(43)【公開日】2017年2月16日

【審査請求日】2018年4月12日

(73)【特許権者】

【識別番号】396019631

【氏名又は名称】株式会社チップトン

(74)【代理人】

【識別番号】110000497

【氏名又は名称】特許業務法人グランダム特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】高橋 修二

【審査官】 稲葉 大紀

(56)【参考文献】

【文献】 特開平０３−００３７６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０８−２１６０００（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００１−００９６９８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０００−０９４３１６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表平１１−５０５１８１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 登録実用新案第３１６１５９８（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 米国特許出願公開第２００１／００２４８８０（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 特開昭５９−１８２０５７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ２４Ｂ ７／２４，２１／０４，３７／１０，

４７／０２，４７／１６

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

表面が研磨面となっているテープ状の研磨部材と、
前記研磨面に対しワークを押し付けた状態に保持する可動保持部材と、
前記研磨面と前記可動保持部材を一方向又は往復方向へ直線的に相対変位させることで、前記ワークに研磨処理を施す研磨用駆動機構と、
前記可動保持部材と前記ワークを、前記ワークに対して偏心した揺動軸を支点として前記研磨面に沿って揺動させる揺動用駆動機構とを備え、
前記可動保持部材の揺動方向が、前記研磨部材の長さ方向と交差する方向であり、
前記可動保持部材が揺動するときには、前記研磨部材がストッパによって固定され、
前記揺動用駆動機構によって前記ワークが揺動することで、前記ワークに対する前記研磨面の研磨処理方向が、互いに異なる２方向に切り替わることを特徴とする研磨装置。

【請求項2】

前記可動保持部材には、前記ワークを前記研磨面に弾性的に押圧する弾性部材が設けられていることを特徴とする請求項１記載の研磨装置。

【請求項3】

前記弾性部材が合成樹脂製であり、
前記弾性部材と前記ワークとの間に金属板材を介在させていることを特徴とする請求項２記載の研磨装置。

【請求項4】

前記ワークに対する研磨工程では、前記可動保持部材が、前記研磨部材の長さ方向と略平行に移動するようになっていることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の研磨装置。

【請求項5】

前記ワークに対する研磨工程で前記研磨部材の移動を規制するストッパを備えていることを特徴とする請求項４記載の研磨装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、研磨装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、直線移動する研磨ベルトと、円形のワークを研磨ベルトの研磨面に押し付けるための保持部材とを備えた研磨装置が開示されている。この研磨装置の研磨工程では、保持部材によってワークを研磨面上で固定し、その状態で、研磨ベルトを移動させることにより、ワークに対して研磨面を一方向に摺接させるようになっている。また、一定時間毎にワークの向きを９０°ずつ変えることにより、ワークに対して研磨面を略直角な２方向に摺接させるようになっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０００−０９４３１６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上記の研磨装置では、ワークの向きを変える際に、保持部材が、ワークを研磨面に押し付けたままで、ワークの中心と同心状に９０°自転するようになっている。そのため、ワークと研磨面との間の摩擦抵抗によって、保持部材とワークとが相対的に回転する虞がある。このようになった場合、ワークの転向角度が９０°に至らないため、ワークに対する研磨方向が鋭角となり、研磨不良を来すことになる。

【0005】

本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、ワークに対し所定の角度をなす２方向の研磨処理を確実に施すことを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の研磨装置は、
表面が研磨面となっているテープ状の研磨部材と、
前記研磨面に対しワークを押し付けた状態に保持する可動保持部材と、
前記研磨面と前記可動保持部材を一方向又は往復方向へ直線的に相対変位させることで、前記ワークに研磨処理を施す研磨用駆動機構と、
前記可動保持部材と前記ワークを、前記ワークに対して偏心した揺動軸を支点として前記研磨面に沿って揺動させる揺動用駆動機構とを備え、
前記可動保持部材の揺動方向が、前記研磨部材の長さ方向と交差する方向であり、
前記可動保持部材が揺動するときには、前記研磨部材がストッパによって固定され、
前記揺動用駆動機構によって前記ワークが揺動することで、前記ワークに対する前記研磨面の研磨処理方向が、互いに異なる２方向に切り替わるところに特徴を有する。

【発明の効果】

【0007】

可動保持部材を揺動させない状態で、研磨面と可動保持部材を相対変位させることにより、ワークが特定の方向に擦られて研磨される。この後、可動保持部材を、ワークから偏心した揺動軸を支点として揺動させると、ワークは、殆ど自転することなく揺動軸を支点として旋回する。ワークを旋回した後に、研磨面と可動保持部材を相対変位させると、ワークは、先の研磨工程で擦られた向きに対し所定の角度をなす向きに擦られて研磨される。したがって、ワークに対し所定の角度をなす２方向の研磨処理を確実に施すことができる。また、研磨面と可動保持部材の相対変位方向が、可動保持部材の揺動方向と交差する方向である場合には、可動保持部材を揺動してワークを旋回させたときに、そのワークを、研磨面における未使用の領域に摺接させることができる。また、研磨部材はテープ状をなしているため、可動保持部材が揺動する際には、ワークと研磨面との間の摩擦抵抗によって研磨部材がその長さ方向と交差する幅方向へ位置ずれすることが懸念される。しかし、上記構成によれば、研磨部材は、ストッパによって固定されているので、幅方向に位置ずれする虞はない。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】実施例１の研磨装置の平面図

【図2】揺動用駆動機構において可動保持部材がワークを右方へ向けている状態をあらわす平面図

【図3】揺動用駆動機構において可動保持部材がワークを左方へ向けている状態をあらわす平面図

【図4】保持機構の正面図

【図5】可動保持部材においてワークを研磨面に押し付けて保持するためのワーク保持部をあらわした拡大断面図

【図6】ストッパの構造をあらわす正面図

【図7】ワークの研磨工程において、ワークが研磨面上にセットされた状態をあらわす概略平面図

【図8】ワークの研磨工程において、研磨面上にセットされたワークを可動保持部材で保持した状態をあらわす概略平面図

【図9】ワークの研磨工程において、可動保持部材がワークを保持した状態で移動している様子をあらわす概略平面図

【図10】ワークの研磨工程において、可動保持部材がワークを保持したまま左方へ揺動した状態をあらわす概略平面図

【図11】ワークの研磨工程において、左方へ揺動した可動保持部材がワークを保持した状態で移動している様子をあらわす概略平面図

【図12】ワークの片面に対する研磨工程が終了し、可動保持部材が研磨済みのワークを研磨面上に残して退避した状態をあらわす概略平面図

【発明を実施するための形態】

【0009】

（ａ）本発明の研磨装置は、前記可動保持部材には、前記ワークを前記研磨面に弾性的に押圧する弾性部材が設けられていてもよい。
この構成によれば、弾性部材により研磨面に対するワークの傾きを矯正して、良好な研磨処理を行うことができる。

【0010】

（ｂ）本発明の研磨装置は、（ａ）において、前記弾性部材が合成樹脂製であり、前記弾性部材と前記ワークとの間に金属板材を介在させてもよい。
この構成によれば、弾性部材とワークとの間に金属板材が介在しているので、ワークに液体が付着していても、ワークが弾性部材に貼り付く虞がない。また、合成樹脂の弾性部材に貼り付き防止加工を直接施すよりも、金属板材の方が製作が容易である。

【0012】

（ｃ）本発明の研磨装置は、前記ワークに対する研磨工程では、前記可動保持部材が、前記研磨部材の長さ方向と略平行に移動するようになっていてもよい。
研磨部材はテープ状をなしているため、研磨工程で可動保持部材が研磨部材の幅方向に移動した場合は、ワークと研磨面との間の摩擦抵抗によって研磨部材の側縁部が捲れ上がることが懸念される。しかし、上記構成によれば、研磨工程では、可動保持部材は研磨部材の長さ方向と略平行に移動するようになっているので、研磨部材の側縁部が捲れ上がる虞はない。
（ｄ）本発明の研磨装置は、（ｃ）において、前記ワークに対する研磨工程で前記研磨部材の移動を規制するストッパを備えていてもよい。
この構成によれば、研磨工程ではストッパによって研磨面のずれを防止できるので、良好な研磨を行うことができる。

【0013】

＜実施例１＞
以下、本発明を具体化した実施例１を図１〜図１２を参照して説明する。以下の説明において、前後の方向については、図１〜３，７〜１２における上方を、前方と定義する。左右の方向については、図１〜３，７〜１２にあらわれる向きを、そのまま左方、右方と定義する。上下方向については、図４〜６にあらわれる向きを、そのまま上方、下方と定義する。

【0014】

＜研磨装置Ａの概要＞
本実施例の研磨装置Ａは、円形のリング状をなす薄板からなる金属製のワークＷの表裏両面に対し、夫々、略直角な２方向に研磨面１１を摺接させて研磨を行うためのものである。図１及び図７に示すように、研磨装置Ａは、上面（表面）が研磨面１１となっている左右２本の研磨テープ１０（請求項に記載の研磨部材）と、２面の研磨面１１に対し、夫々、一度に２つのワークＷを押し付けた状態に保持する２つの保持機構２０とを備えている。

【0015】

各保持機構２０は、夫々、左右一対の可動保持部材２７と、左右一対の可動保持部材２７を一体的に揺動させるための揺動用駆動機構３７とを備えている。２つの保持機構２０は、同じ構成、同じ構造である。また、研磨装置Ａは、研磨工程において左右２つの保持機構２０（可動保持部材２７）を個別に移動させるための左右２つの研磨用駆動機構４３を備えている。また、左右２つの保持機構２０（研磨テープ１０）の間には、ワークＷを表裏反転させるための反転機構４８が設けられている。

【0016】

＜研磨テープ１０＞
研磨テープ１０は、予め繰出側プーリ（図示省略）に巻き付けられており、研磨テープ１０の繰出し方向先端部は、巻取側プーリ（図示省略）に巻き付けられている。両プーリの間では、研磨テープ１０が、その研磨面１１を水平上向きとし、且つ長さ方向を前後方向に向けた状態でテーブル１２（図４を参照）の上面に載置されている。研磨テープ１０は、常には、固定されているが、ワークＷに対する研磨が所定回数行われた後、所定長さだけ繰出側プーリから繰り出されるとともに巻取側プーリに巻き取られるようになっている。ワークＷに対する研磨処理は、研磨テープ１０のうちテーブル１２に載置されている研磨領域で行われる。

【0017】

＜ストッパ１３＞
研磨領域の前方近傍位置と後方近傍位置には、夫々、ストッパ１３が設けられている。尚、図７〜１２には、便宜上、後方に位置するストッパ１３のみを図示し、前方に位置するストッパ１３については、（図示省略）を省略している。ストッパ１３は、図６に示すように、軸線を左右方向に向けて研磨テープ１０を下から支えるテーブル１２と、研磨テープ１０を挟んでテーブル１２の上方に位置する押さえバー１５と、エアシリンダからなるストッパ用駆動部材１６とを備えている。押さえバー１５の左端部は、昇降支持軸１７に連結され、押さえバー１５の右端部は、ストッパ用駆動部材１６のストッパ用ロッド１８の上端部に連結されている。

【0018】

研磨テープ１０をテーブル１２上で移動させる際には、ストッパ用ロッド１８が上昇して押さえバー１５が研磨テープ１０に対し非接触となる上方位置へ退避する。また、ワークＷに対する研磨を行う工程では、常に、ストッパ用ロッド１８が下降し、押さえバー１５が、研磨テープ１０を全幅に亘りテーブル１２との間で強固に挟み付ける。この挟み付けにより、研磨テープ１０の研磨領域は、前後方向及び左右方向への移動を規制される。

【0019】

＜保持機構２０＞
図１に示すように、保持機構２０は、研磨領域の左右両側方に配された前後方向に長い左右一対のガイドレール２１を備えている。ガイドレール２１には、図示しない駆動手段により前後方向へ移動するベース部材２２が取り付けられている。ベース部材２２には、研磨領域の左右両側方に配されて軸線を前後方向（研磨領域における研磨面１１と平行）に向けた一対のガイドバー２３が設けられている。一対のガイドバー２３には、保持機構２０を構成する水平な基板２４が、前後方向のスライド可能に取り付けられている。基板２４には、図４に示すように、左右一対の軸受部材２５が固定され、各軸受部材２５には、夫々、軸線を上下方向にむけた揺動軸２６が水平方向への揺動（回動）を可能に、且つ上下方向への相対変位を規制された状態で取り付けられている。揺動軸２６も保持機構２０を構成する。

【0020】

＜可動保持部材２７＞
各揺動軸２６の下端部（揺動軸２６のうち基板２４よりも下方の位置）には、夫々、可動保持部材２７が、揺動軸２６と一体に揺動し得るように取り付けられている。図４に示すように、可動保持部材２７は、揺動部材２８と、ワーク保持部２９とを備えている。揺動部材２８は、揺動軸２６に対し一体的に揺動し得るように固着されている。ワーク保持部２９は、揺動部材２８のうち揺動軸２６に対して水平方向後方へ偏心した位置に取り付けられている。ワーク保持部２９は、揺動部材２８から下方へ突出するように設けられ、揺動部材２８及び揺動軸２６と一体に揺動し得るようになっている。

【0021】

ワーク保持部２９は、図５に拡大して示すように、下面に開放された収容空間３０を有している。収容空間３０の天井面には、ウレタン樹脂かりなる円盤状の弾性部材３１が固着されている。弾性部材３１は、上下方向へ縮むような形態で弾性変形することができる。弾性部材３１の下面には、弾性部材３１と同心の円形をなすスチール製の金属板材３２が固着されている。弾性部材３１が弾性変形すると、金属板材３２は弾性部材３１に追従して上下の位置や姿勢を変化させるようになっている。

【0022】

収容空間３０のうち金属板材３２よりも下方の空間は、ワークＷの上端部を収容するための円形の保持空間３３となっている。保持空間３３の内径は、ワークＷの外径よりも少し大きい寸法に設定されている。保持空間３３の下面の開口は、研磨面１１に対し近接して対向するように位置する。

【0023】

図４に示すように、各揺動軸２６のうち基板２４よりも上方の領域には、夫々、上下一対の揺動板３４が、揺動軸２６と一体的に揺動し得るように、且つ基板２４に対する上下方向への相対変位を規制された状態で取り付けられている。上側の揺動板３４には、軸線を上下方向に向けたエアシリンダからなる昇降部材３５が設けられている。揺動軸２６の上端部は、昇降部材３５を構成するエアシリンダの昇降ロッド３６の下端部に、一体的に昇降し得るように連結されている。昇降部材３５は、揺動軸２６を介してワーク保持部２９を上下方向へ移動させる機能と、ワーク保持部２９で保持されているワークＷを下方へ付勢して研磨面１１に対し弾性的に押し付ける機能とを兼ね備えている。

【0024】

＜揺動用駆動機構３７＞
図１〜３に示すように、揺動用駆動機構３７は、エアシリンダからなる揺動用アクチュエータ３８を備えており、揺動板３４の前方に配されている。揺動用アクチュエータ３８を構成する揺動用ロッド３９は、軸線を左右方向に向けて配されており、揺動用ロッド３９の左端部（先端部）には、揺動用ロッド３９と略平行をなす揺動アーム４０の左端部が水平方向への相対変位を可能に連結されている。

【0025】

左側に配された上下一対の揺動板３４の前端部同士と、右側に配された上下一対の揺動板３４の前端部同士は、夫々、軸線を上下に向けた連結軸４１によって連結されている。左側の連結軸４１と右側の連結軸４１は、いずれも、揺動アーム４０に対し水平方向へ相対変位し得るように連結されている。平面視において、連結軸４１は、揺動軸２６を挟んでワーク保持部２９とは反対側に位置している。揺動用アクチュエータ３８を駆動して揺動用ロッド３９を伸縮させると、左右の可動保持部材２７が、揺動軸２６を支点として左右方向へ一体となって揺動する。そして、左右の可動保持部材２７が揺動するのに伴い、左右のワーク保持部２９も、揺動軸２６を中心として水平方向へ旋回する。

【0026】

左右両連結軸４１の軸間寸法は、左右両揺動軸２６の軸間寸法と同じ寸法に設定されている。左右両保持空間３３の中心同士の間隔も、左右両揺動軸２６の軸間寸法と同じ寸法となっている。また、揺動軸２６と連結軸４１との間の軸間寸法は、左側と右側で同じ寸法に設定されている。また、揺動軸２６と保持空間３３の中心との間隔も、左側と右側で同じ寸法に設定されている。したがって、左側と右側の可動保持部材２７が揺動する際には、左右両連結軸４１と左右両ワーク保持部２９（保持空間３３）とが、平行四辺形の頂点を構成するような位置関係を保つ。

【0027】

また、図１〜３に示すように、基板２４の上面には、左右両可動保持部材２７の揺動範囲を規定するための手段として、左右一対の揺動規制部材４２が設けられている。左方向への揺動範囲は、左側の揺動板３４が左側の揺動規制部材４２に当接することによって規定される。右方向への揺動範囲は、右側の揺動板３４が右側の揺動規制部材４２に当接することによって規定される。これにより、可動保持部材２７の最大揺動角度は、９０°に設定されている。

【0028】

＜研磨用駆動機構４３＞
図１に示すように、研磨用駆動機構４３は、ベース部材２２に取り付けられて基板２４の前方に配されたサーボモータ４４を備えている。サーボモータ４４の駆動軸４５は、軸線を左右方向に向けて配されている。一方、基板２４の前端部には、研磨用駆動機構４３を構成する連結部４６が設けられている。駆動軸４５と連結部４６は、クランク機構４７を介して連結されている。これにより、駆動軸４５の回転運動が、クランク機構４７を介して基板２４（保持機構２０）に伝達され、保持機構２０がガイドバー２３に沿って前後方向へ往復移動するようになっている。この保持機構２０の往復移動方向は、研磨面１１の研磨領域と平行である。

【0029】

＜反転機構４８＞
図７〜１２に示すように、反転機構４８は、前後一対の反転部材４９を備えている。前後両反転部材４９が前後に並んだ状態における各反転部材４９の上面は、２つのワークＷを左右に並べて保持することが可能なワーク保持面５０となっている。前側の反転部材４９は、後側の反転部材４９に対し上から重なるように反転可能であり、後側の反転部材４９も、前側の反転部材４９に対し上から重なるように反転可能である。一方の反転部材４９の反転動作により前後の反転部材４９が重なった状態では、双方のワーク保持面５０同士が、対向してワークＷを挟む状態となる。また、双方の反転部材４９が重なってワークＷを保持した状態では、双方の反転部材４９が一体となって前方又は後方へ反転することが可能となっている。

【0030】

＜ワークＷの研磨工程＞
次に、ワークＷを研磨する工程を図７〜１２を参照して説明する。尚、図７〜１２では、可動保持部材２７の形状を簡略化しており、図における斜め下方の端部がワーク保持部２９となる。研磨工程に先立ち、図７〜１２の右方において、予めワークＷが洗浄される。そして、洗浄されたワークＷは、エアブローにより簡易的に乾燥される。その後、図示しないチャックにより、左右に並んだ状態で右側の研磨面１１（研磨面１１）上に載置される。このとき、可動保持部材２７は、研磨工程における往復移動経路よりも前方の待機位置で待機している。また、全ての可動保持部材２７は、平面視において、ワーク保持部２９が揺動軸２６に対し斜め右後方に位置する向きとなっている。

【0031】

尚、図７において、後側の反転部材４９に保持されている２つのワークＷは、右側の研磨面１１において片面の研磨が済んだワークＷである。右側の研磨面１１から反転部材４９への移載も、図示しないチャックによって行われる。また、図７において、左側の研磨面１１に載置されている２つのワークＷは、図示しないチャックにより反転機構４８から移載されたものである。また、研磨テープ１０の研磨領域は、ストッパ１３で固定されることにより、前後方向及び左右方向への移動を規制されている。

【0032】

左右両研磨面１１に２つのワークＷが移載された後、図８に示すように、左右の可動保持部材２７（保持機構２０）が後方へ移動して、各ワーク保持部２９の保持空間３３内にワークＷが１つずつ個別に収容される。可動保持部材２７が後方へ移動するとき、ワーク保持部２９がワークＷと干渉しないように、可動保持部材２７は、昇降部材３５によって上方へ退避している。そして、保持空間３３がワークＷの真上に到達したところで、可動保持部材２７が下降することにより、保持空間３３内にワークＷの上端部が同心状に収容される。

【0033】

この後、研磨用駆動機構４３が起動し、左右の可動保持部材２７（保持機構２０）が図８に示す位置と図９に示す位置との間で前後方向に往復移動して、ワークＷの下面が研磨面１１に擦り付けられる。これにより、ワークＷの下面に対し研磨面１１が相対的に前後方向に摺接し、研磨処理が施される。この間、反転機構４８では、前側の反転部材４９が後側の反転部材４９の上に重なるように反転し、ワークＷが前後両反転部材４９の間で挟まれた状態に保持される。

【0034】

可動保持部材２７の往復移動回数が所定回数に達すると、研磨用駆動機構４３が停止し、可動保持部材２７が図９に示す位置で停止する。次いで、揺動用駆動機構３７が起動し、図１０に示すように、可動保持部材２７が９０°揺動する。これに伴い、斜め右後方を向いていたワーク保持部２９が、揺動軸２６を中心として左方へ９０°旋回し、斜め左後方を向いた状態となる。この旋回動作では、ワークＷがその中心と同心に自転するのではなく、ワークＷ全体が、保持空間３３の内面に当接してワーク保持部２９と一体となって公転するように左方へ移動する。したがって、ワークＷにおける研磨面１１の研磨方向は、旋回前には前後方向であったのに対し、旋回後は左右方向となる。

【0035】

この後、研磨用駆動機構４３が起動し、可動保持部材２７が、図１１に実線で示す位置と、図１１に想像線で示す位置との間で前後方向に往復移動し、ワークＷの下面が研磨面１１に擦り付けられる。これにより、ワークＷの下面に対し研磨面１１が相対的に前後方向に摺接し、研磨処理が施される。このワーク保持部２９が斜め左後方を向いた状態の研磨工程では、ワークＷが研磨面１１に対して前後方向に擦り付けられる。このとき、ワーク保持部２９が斜め右後方を向いた状態でワークＷに施された研磨の方向は、左右方向に転向している。したがって、ワークＷには、前後方向と左右方向の両方向の研磨が施されることになる。

【0036】

また、ワーク保持部２９が左方へ旋回してから、旋回後の研磨が完了するまでの間、反転機構４８では、図１０に示すように、前後両反転部材４９が、上下に重なってワークＷを保持した状態のまま、一体的に前方へ反転する。その後、図１１に示すように、後側の反転部材４９が後方へ反転する。これにより、ワークＷが、前側の反転部材４９のワーク保持面５０上に露出した状態となる。

【0037】

可動保持部材２７の往復移動回数が所定回数に達すると、研磨用駆動機構４３が停止し、可動保持部材２７が図１１に実線で示す位置で停止する。この後、可動保持部材２７がワークＷよりも上方の位置まで上昇し、次いで、可動保持部材２７が前方へ移動し、図１２に示すように待機位置に戻る。この後、左側の研磨面１１において研磨された２つのワークＷは、左側の研磨テープ１０よりも左方へ移載される。この間に、前側の反転部材４９の２つのワークＷが、左側の研磨面１１上に移載されるとともに、右側の研磨面１１で研磨された２つのワークＷが、後側の反転部材４９に移載され、図７に示す状態に戻る。この後、上述の工程が繰り返されることにより、ワークＷの表裏両面には、互いに略直角な２方向に擦られることによる研磨処理が施される。

【0038】

＜実施例１の作用及び効果＞
上述のように本実施例１の研磨装置Ａは、表面が研磨面１１となっている研磨テープ１０と、研磨面１１に対しワークＷを押し付けた状態に保持する可動保持部材２７と、研磨面１１と可動保持部材２７を往復方向へ相対変位させる研磨用駆動機構４３と、可動保持部材２７を、ワークＷ（ワーク保持部２９）に対して偏心した揺動軸２６を支点として研磨面１１に沿って概ね９０°の範囲で揺動させる揺動用駆動機構３７とを備えている。

【0039】

可動保持部材２７を揺動させない状態で、研磨面１１と可動保持部材２７を相対変位させることにより、ワークＷが特定の方向（前後方向）に擦られて研磨される。この後、可動保持部材２７を、ワークＷから偏心した揺動軸２６を支点として約９０°揺動させると、ワークＷは、殆ど自転することなく揺動軸２６を支点として旋回する。ワークＷを旋回した後に、研磨面１１と可動保持部材２７を相対変位させると、ワークＷは、先の研磨工程で擦られた向きに対し略直交する向き（所定の角度をなす向き）に擦られて研磨される。したがって、本実施例１の研磨装置Ａによれば、ワークＷに対し略直角な２方向（所定の角度をなす２方向）の研磨処理を確実に施すことができる。また、研磨面１１と可動保持部材２７の相対変位方向が、可動保持部材２７の揺動方向と交差する方向である。したがって、可動保持部材２７を揺動してワークＷを旋回させたときに、そのワークＷを、研磨面１１における未使用の領域に摺接させることができる。

【0040】

また、可動保持部材２７には、ワークＷを研磨面１１に弾性的に押圧する弾性部材３１が設けられている。この構成によれば、ワーク保持部２９や金属板材３２が研磨面１１に対して傾いていても、弾性部材３１によって研磨面１１に対するワークＷの傾きが矯正される。これにより、良好な研磨処理を行うことができる。また、弾性部材３１とワークＷとの間には金属板材３２を介在させているので、エアブローによる乾燥が不十分でワークＷに液体（洗浄液）が付着していても、ワークＷが弾性部材３１に貼り付く虞がない。また、合成樹脂の弾性部材３１に貼り付き防止加工を直接施すよりも、金属板材３２の方が製作が容易である。

【0041】

また、研磨面１１の形成母体である研磨部材は、研磨テープ１０からなる。そして、可動保持部材２７の揺動方向は、研磨テープ１０の長さ方向と交差する向き（概ね左右方向）である。そのため、可動保持部材２７が揺動する際には、ワークＷと研磨面１１との間の摩擦抵抗によって研磨テープ１０がその長さ方向と交差する幅方向へ位置ずれすることが懸念される。しかし、可動保持部材２７が揺動するときには、研磨テープ１０がストッパ１３によって固定されるようになっているので、研磨テープ１０が幅方向に位置ずれする虞はない。また、左右のワーク保持部２９（保持空間３３）の間隔がワークＷの外径以上であれば、ワークＷを旋回させた後、研磨面１１のうち未使用の領域を新たな研磨面１１として使用することができる。つまり、ワークＷを旋回する前と後で、研磨面１１の状態に大きな相違が生じない。したがって、ワークＷに対して良好な研磨を施すことができる。

【0042】

また、研磨面１１の形成母体である研磨部材は、研磨テープ１０からなる。そのため、ワークＷに対する研磨工程で可動保持部材２７が研磨テープ１０の幅方向に移動した場合は、ワークＷと研磨面１１との間の摩擦抵抗によって研磨テープ１０の側縁部が捲れ上がることが懸念される。しかし、研磨工程では、可動保持部材２７が、研磨テープ１０の長さ方向と略平行に移動するようになっているので、研磨テープ１０の側縁部が捲れ上がる虞はない。

【0043】

また、研磨工程では、ワークＷと研磨面１１との間の摩擦抵抗により、研磨テープ１０が前後方向に位置ずれし、ワークＷに対する研磨が良好に行われなくなることが懸念される。しかし、ストッパ１３は、研磨工程においても、研磨テープ１０の前後方向への移動を規制するので、研磨面１１のずれを防止して良好な研磨を行うことができる。

【0044】

＜他の実施例＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施例に限定されるものではなく、例えば次のような実施例も本発明の技術的範囲に含まれる。
（１）上記実施例では、弾性部材としてウレタン樹脂を用いたが、弾性部材は、ウレタン以外の合成樹脂や、他の材料であってもよい。
（２）上記実施例では、金属板材としてスチールを用いたが、金属板材の材料は、スチール以外の金属であってもよい。
（３）上記実施例では、可動保持部材に弾性部材を設けたが、このような弾性部材を設けない形態としてもよい。
（４）上記実施例では、１つの保持機構が２つのワークを同時に保持するようになっているが、１つの保持機構が一度に保持するワークの数は、１つだけでもよく、３つ以上でもよい。
（５）上記実施例では、研磨工程において、研磨部材（研磨面）を固定し、可動保持部材を往復移動させているが、可動保持部材を固定し、研磨部材を往復移動又は一方向へ移動させてもよい。
（６）上記実施例では、研磨工程の際に、可動保持部材を研磨部材（研磨テープ）の長さ方向と平行に移動させているが、可動保持部材は研磨部材の長さ方向と交差する方向へ移動させてもよい。
（７）上記実施例では、研磨部材（研磨テープ）が長さ方向に移動するようになっているが、研磨部材は、シート状やテーブル状の固定されたものであってもよい。
（８）上記実施例では、可動保持部材を揺動させるための揺動用駆動機構の駆動源としてエアシリンダを用いたが、揺動用駆動機構の駆動源は、油圧シリンダやモータ等であってもよい。
（９）上記実施例では、ワークが円形のリング状をなしているが、本発明は、ワークが円形のリング状以外の形状である場合にも適用できる。
（１０）上記実施例では、可動保持部材の揺動角度を概ね９０°としたが、本発明によれば、可動保持部材の揺動角度は、９０°より小さくてもよく、９０°より大きくてもよい。即ち、揺動角度は、０°〜１８０°の範囲で適宜に設定することができる。
＜参考例＞
（１）上記実施例では、可動保持部材の揺動方向が、研磨部材の長さ方向と交差する向きであるが、可動保持部材の揺動方向を、研磨部材の長さ方向に概ね沿う方向にする形態も考えられる。

【符号の説明】

【0045】

Ａ…研磨装置
Ｗ…ワーク
１０…研磨テープ（研磨部材）
１１…研磨面
１３…ストッパ
２６…揺動軸
２７…可動保持部材
３１…弾性部材
３２…金属板材
３７…揺動用駆動機構
４３…研磨用駆動機構

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】