特許 6580921 圧電振動片および圧電振動子

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6580921

(24)【登録日】2019年9月6日

(45)【発行日】2019年9月25日

(54)【発明の名称】圧電振動片および圧電振動子

(51)【国際特許分類】

   H03H 9/19 20060101AFI20190912BHJP

   H03H 9/10 20060101ALI20190912BHJP

【ＦＩ】

   H03H9/19 D

   H03H9/10

【請求項の数】7

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2015-185770(P2015-185770)

(22)【出願日】2015年9月18日

(65)【公開番号】特開2016-111680(P2016-111680A)

(43)【公開日】2016年6月20日

【審査請求日】2018年7月3日

(31)【優先権主張番号】特願2014-240526(P2014-240526)

(32)【優先日】2014年11月27日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】713005174

【氏名又は名称】エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100142837

【弁理士】

【氏名又は名称】内野 則彰

(74)【代理人】

【識別番号】100166305

【弁理士】

【氏名又は名称】谷川 徹

(72)【発明者】

【氏名】皿田 孝史

(72)【発明者】

【氏名】大塚 才一郎

(72)【発明者】

【氏名】加藤 良和

【審査官】 石田 昌敏

(56)【参考文献】

【文献】 特開昭６２−２１９７０８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−０２１６６７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−２３６２５３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−１４０８８７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１４−１１０４８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−１１４６２０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０３Ｈ ９／００− ９／６６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

矩形板状の振動部と、前記振動部を実装するための一対のマウント部と、を有する圧電板を備え、
前記一対のマウント部は、前記圧電板の主面方向に沿って前記振動部から突出し、さらに前記圧電板の両主面から厚さ方向に突出するように形成され、
前記圧電板は両主面から突出した厚肉部を有し、
前記厚肉部と前記一対のマウント部が同じ高さである、
ことを特徴とする圧電振動片。

【請求項2】

前記一対のマウント部は、前記振動部の平面視における角部に形成されている、
ことを特徴とする請求項１に記載の圧電振動片。

【請求項3】

前記振動部は、平面視長方形状に形成され、
前記一対のマウント部は、前記振動部における長手方向の両端部に形成されている、
ことを特徴とする請求項１または２に記載の圧電振動片。

【請求項4】

前記圧電板は、ＡＴカット水晶基板により形成され、
前記圧電板の前記長手方向は、前記ＡＴカット水晶基板のＺ´軸方向に沿い、
前記一対のマウント部は、Ｚ´軸方向に沿って配置されている、
ことを特徴とする請求項３に記載の圧電振動片。

【請求項5】

請求項１から４のいずれか１項に記載の圧電振動片と、
前記圧電振動片の前記マウント部が実装されるパッケージと、を備える、
ことを特徴とする圧電振動子。

【請求項6】

前記圧電振動片の前記マウント部と前記パッケージとの間に配置され、前記マウント部を前記パッケージに実装するための実装部材を有し、
前記実装部材は、前記マウント部のみに接触している、
ことを特徴とする請求項５に記載の圧電振動子。

【請求項7】

前記実装部材は、前記マウント部の主面と前記マウント部の側面とに接触している、
ことを特徴とする請求項６に記載の圧電振動子。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、圧電振動片および圧電振動子に関するものである。

【背景技術】

【0002】

携帯電話や携帯情報端末機器、電波時計等には、時刻源や制御信号のタイミング源、リファレンス信号源等として、例えば水晶を利用した圧電振動子が用いられている。従来、圧電振動子には、圧電振動片が実装用の導電性接着剤によってパッケージに固定された状態で格納される（例えば、特許文献１参照）。
また、近年では、圧電振動子への小型化の要求が高まっており、それに伴って圧電振動片の小型化が進んでいる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１３−１９７８２６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、圧電振動片をパッケージに実装する際、導電性接着剤等の実装部材は、ディスペンサノズルから供給される。しかしながら、圧電振動片の小型化に対応して導電性接着剤の塗布面積を小さくするためにディスペンサノズルを小径化すると、実装部材の詰まり等が生じやすくなる。しかし、ディスペンサノズルの小径化は難しく、その結果として実装部材の塗布面積のさらなる縮小化が困難となっている。

【0005】

このため、圧電振動片の小型化が進むにしたがい、圧電振動片の表面における実装部材の塗布面積の占める割合が増加する。これにより実装部材の濡れ広がりに伴う、実装部材の塗布面積のばらつき増加や、実装部材の励振電極近傍への付着等が生じる。このように、塗布面積のばらつきが増加すると、これに伴い振動部の実寸法（振動部において実装部材が接触しない領域の寸法、又はすべり振動が生じる領域の寸法）がばらつくので、その結果、所望の振動特性を得ることが困難になるといった課題がある。また、振動部の励振電極近傍に実装部材が付着すると、クリスタルインピーダンス（以下、ＣＩ値）の増加や不要振動の発生等が引き起こされる。即ち、従来技術では、小型化された圧電振動片において、優れた振動特性を安定的に確保するという点で課題がある。

【0006】

そこで本発明は、優れた振動特性を備える小型な圧電振動片および圧電振動子を安定的に提供するものである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の圧電振動片は、矩形板状の振動部と、前記振動部を実装するための一対のマウント部と、を有する圧電板を備え、前記一対のマウント部は、前記圧電板の面方向に沿って前記振動部から突出している、ことを特徴とする。
本発明によれば、マウント部が振動部から突出しているため、圧電振動片を実装する際に、導電性接着剤等の実装部材が、マウント部から振動部へ濡れ広がる量を抑制できる。これにより、圧電振動片の小型化に伴って圧電振動片の表面における実装部材の塗布面積が占める割合が増加する場合であっても、塗布面積のばらつきを低減でき、圧電振動片の実寸法のばらつきを抑えることができるため、所望の振動特性を有する圧電振動片を安定的に得ることが可能になる。また、平面視においてマウント部が振動部の領域に形成されず、振動部に隣接した領域に形成されており、即ち、振動部とは独立した部分として形成されるので、濡れ広がった実装部材が励振電極近傍に付着しにくくなり、ＣＩ値の増加や不要振動の発生等を抑制できる。即ち、優れた振動特性を備える小型な圧電振動片を安定的に提供することが可能になる。

【0008】

上記の圧電振動片において、前記一対のマウント部は、前記振動部の平面視における角部に形成されている、ことを特徴とする。
本発明によれば、振動部に形成される励振電極と、マウント部との距離が長くなる。これにより、マウント部への振動の伝搬距離が長くなるため、マウント部からパッケージ側へ振動エネルギーが漏れる、所謂振動漏れを低減できる。よって、圧電振動片を小型化した場合でも、ＣＩ値を低減し、さらにはマウント部において生じる不要振動を抑制することができる。したがって、より優れた振動特性を備える小型な圧電振動片が得られる。

【0009】

上記の圧電振動片において、前記一対のマウント部と前記振動部との間に段差が形成されていることを特徴とする。
本発明によれば、圧電振動片を実装する際に、マウント部と振動部との間の段差により、実装部材がマウント部の主面から濡れ広がって振動部に付着することを防止できる。これにより、圧電振動片の振動特性のばらつきを抑制できる。したがって、より優れた振動特性を備える圧電振動片が得られる。

【0010】

上記の圧電振動片において、前記振動部は、平面視長方形状に形成され、前記一対のマウント部は、前記振動部における長手方向の両端部に形成されている、ことを特徴とする。
本発明によれば、一対のマウント部同士の間隔を広く設けることができる。これにより、それぞれのマウント部の実装部材同士が接触して短絡することを防止できるとともに、実装部材の塗布が容易になるため、圧電振動片の実装作業を効率よく行うことが可能となる。

【0011】

上記の圧電振動片において、前記圧電板は、ＡＴカット水晶基板により形成され、前記圧電板の前記長手方向は、前記ＡＴカット水晶基板のＺ´軸方向に沿い、前記一対のマウント部は、Ｚ´軸方向に沿って配置されている、ことを特徴とする。
ＡＴカット水晶基板の主振動モードである厚みすべり振動は、Ｘ軸方向に大きく変位する振動である。本発明によれば、一対のマウント部が振動部の変位が大きい方向（Ｘ軸方向）に直交する方向に沿って配置されているため、マウント部は振動部のＸ軸方向の変位を妨げない。これにより、マウント部において不要振動が発生することを抑制できる。したがって、より優れた振動特性を備える圧電振動片が得られる。

【0012】

本発明の圧電振動子は、上記の圧電振動片と、前記圧電振動片の前記マウント部が実装されるパッケージと、を備える、ことを特徴とする。
本発明によれば、上述した圧電振動片を備えているので、優れた振動特性を備える小型な圧電振動子が得られる。

【0013】

上記の圧電振動子において、前記圧電振動片の前記マウント部と前記パッケージとの間に配置され、前記マウント部を前記パッケージに実装するための実装部材を有し、前記実装部材は、前記マウント部のみに接触している、ことを特徴とする。
本発明によれば、実装部材が振動部の振動を阻害することを防止できる。このため、圧電振動子は、ＣＩ値を低減でき、より優れた振動特性が得られる。

【0014】

上記の圧電振動子において、前記実装部材は、前記マウント部の主面と前記マウント部の側面とに接触している、ことを特徴とする。
本発明によれば、圧電振動片は、実装部材により少なくとも２方向から固定されるので、圧電振動片とパッケージとの固着強度を向上させることができる。このため、実装部材による固着部において生じる不要振動を抑制でき、圧電振動片の振動を安定させることができる。したがって、より優れた振動特性を備える圧電振動子が得られる。

【発明の効果】

【0015】

本発明によれば、優れた振動特性を備える小型な圧電振動片および圧電振動子を安定的に供給することができる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】第１実施形態に係る圧電振動片の平面図である。

【図2】第１実施形態に係る圧電振動子の分解斜視図である。

【図3】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線における断面図である。

【図4】第１実施形態の変形例に係る圧電振動子の断面図である。

【図5】第２実施形態に係る圧電振動片の平面図である。

【図6】第２実施形態に係る他の圧電振動片の平面図である。

【図7】第２実施形態に係る他の圧電振動片の平面図である。

【図8】第２実施形態の変形例に係る圧電振動片の平面図である。

【図9】第３実施形態に係る圧電振動片を＋Ｘ方向から見た側面図である。

【図10】第３実施形態に係る他の圧電振動片を＋Ｘ方向から見た側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各図の構成を説明する際には、ＸＹ´Ｚ´座標系を用いる。このＸＹ´Ｚ´座標系における各軸は、後述する水晶の結晶軸と以下の関係を有している。即ち、Ｘ軸が電気軸であり、Ｚ´軸が光学軸であるＺ軸に対してＸ軸周りに３５度１５分だけ傾いた軸であり、Ｙ´軸がＸ軸およびＺ´軸に直交する軸である。また、Ｘ軸方向、Ｙ´軸方向およびＺ´軸方向は、図中矢印方向を＋方向とし、矢印とは反対の方向を−方向として説明する。

【0018】

［第１実施形態］
最初に、第１実施形態の圧電振動片および圧電振動子について説明する。
図１は、第１実施形態に係る圧電振動片の平面図である。
図１に示すように、圧電振動片１０は、圧電板１１と、マウント電極３１，３２と、励振電極３４と、を備える。
圧電板１１は、ＡＴカット水晶基板により形成されている。ここで、ＡＴカットは、人工水晶の結晶軸である電気軸（Ｘ軸）、機械軸（Ｙ軸）および光学軸（Ｚ軸）の３つの結晶軸のうち、Ｚ軸に対してＸ軸周りに３５度１５分だけ傾いた方向（Ｚ´軸方向）に切り出す加工手法である。ＡＴカットによって切り出された圧電板１１を有する圧電振動片１０は、周波数温度特性が安定しており、構造や形状が単純で加工が容易であり、ＣＩ値が低いという利点がある。圧電板１１は、Ｙ´軸方向を厚さ方向とし、一様な厚さに形成され、Ｙ´軸方向の両面に主面１１Ａ，１１Ｂを有している。

【0019】

圧電板１１は、矩形板状の振動部１２と、振動部１２を実装するための一対のマウント部１４，１５と、を有する。
振動部１２は、平面視長方形状であって、長手方向がＺ´軸方向に沿うように形成されている。振動部１２には、圧電板１１の一方主面１１Ａ上に形成された一方の励振電極３４Ａと、他方主面１１Ｂ上に形成された他方の励振電極３４Ｂと、が形成されている。一方の励振電極３４Ａは、振動部１２の平面視略中央において、矩形状に形成されている。他方の励振電極３４Ｂは、平面視において一方主面１１Ａ上に形成された一方の励振電極３４Ａと重なるように形成されている。

【0020】

一対のマウント部１４，１５は、振動部１２の長手方向（Ｚ´軸方向）の両端部において振動部１２と一体的に形成され、振動部１２から突出するように配置されている。
第１マウント部１４は、振動部１２の平面視略中央から見て＋Ｚ´方向側の端部におけるＸ方向略中央に配置されている。第１マウント部１４は、平面視矩形状に形成され、振動部１２の＋Ｚ´方向に面する側面と接するように配置されている。

【0021】

第１マウント部１４は、第１マウント電極３１Ａ，３１Ｂを有する。一方の第１マウント電極３１Ａは、一方主面１１Ａ上に形成され、一方の励振電極３４Ａに対して引き回し配線３６Ａを介して接続されている。他方の第１マウント電極３１Ｂは、他方主面１１Ｂ上に形成されている。
一方の第１マウント電極３１Ａと、他方の第１マウント電極３１Ｂとは、第１マウント部１４の側面に形成された第１側面電極３７を介して相互に接続されている。第１マウント部１４の表面は、第１マウント電極３１Ａ，３１Ｂおよび第１側面電極３７により形成されている。

【0022】

第２マウント部１５は、振動部１２の平面視略中央から見て−Ｚ´方向側の端部におけるＸ方向略中央に配置されている。第２マウント部１５は、平面視矩形状に形成され、振動部１２の−Ｚ´方向に面する側面と接するように配置されている。

【0023】

第２マウント部１５は、第２マウント電極３２Ａ，３２Ｂを有する。一方の第２マウント電極３２Ａは、一方主面１１Ａ上に形成されている。他方の第２マウント電極３２Ｂは、他方主面１１Ｂ上に形成され、他方の励振電極３４Ｂに対して引き回し配線３６Ｂを介して接続されている。
一方の第２マウント電極３２Ａと、他方の第２マウント電極３２Ｂとは、第２マウント部１５の側面に形成された第２側面電極３８を介して相互に接続されている。第２マウント部１５の表面は、第２マウント電極３２Ａ，３２Ｂおよび第２側面電極３８により形成されている。

【0024】

次いで、圧電振動片１０を備える圧電振動子１について説明する。
図２は、第１実施形態に係る圧電振動子の分解斜視図である。図３は、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線における断面図である。なお、図３では、わかりやすくするためにマウント電極３１，３２の膜厚を誇張して図示している（以下の断面図および側面図についても同様）。
図２に示すように、本実施形態の圧電振動子１は、パッケージ５のキャビティＣの内部に圧電振動片１０を収容したものである。パッケージ５は、ベース基板２とリッド基板３とを重ね合わせて形成されている。

【0025】

ベース基板２は、矩形板状に形成された底壁部２ａと、底壁部２ａの周縁部から立設された側壁部２ｂと、を備えている。底壁部２ａおよび側壁部２ｂは、セラミック材料等により形成されている。
キャビティＣの内部における底壁部２ａの表面には、一対の内部電極７が形成されている。一対の内部電極７は、所定方向に離間して形成されている。また、キャビティＣの外部における底壁部２ａの表面には、一対の外部電極（不図示）が形成されている。そして、底壁部２ａを厚さ方向に貫通する貫通電極（不図示）により、内部電極７と外部電極とが接続されている。なお、貫通電極で接続するのではなく、セラミック層の層間に形成される層間電極によって、内部電極と外部電極とを接続する構成であってもよい。
リッド基板３は、セラミック材料や金属材料等により、矩形板状に形成されている。リッド基板３の周縁部は、ベース基板２の側壁部２ｂの端面に接着されている。そして、ベース基板２の底壁部２ａおよび側壁部２ｂとリッド基板３とで囲まれた領域に、キャビティＣが形成されている。

【0026】

図３に示すように、キャビティＣの内部には、圧電振動片１０が収容されている。圧電振動片１０は、導電性接着剤等の実装部材９を介して、ベース基板２の底壁部２ａに実装される。より具体的には、ベース基板２の底壁部２ａに形成された一対の内部電極７に対して、圧電振動片１０の一対のマウント部１４，１５が有する第１マウント電極３１および第２マウント電極３２が実装部材９を介して実装される。このとき、実装部材９は、一対のマウント部１４，１５に接触する。これにより、圧電振動片１０は、パッケージ５に機械的に保持されると共に、第１マウント電極３１および第２マウント電極３２と内部電極７とがそれぞれ導通された状態となっている。

【0027】

このように、本実施形態の圧電振動片１０は、矩形板状の振動部１２と、一対のマウント部１４，１５と、を有する圧電板１１を備えている。一対のマウント部１４，１５は、圧電板１１の面方向（ＸＺ´平面方向）に沿って振動部１２から突出している。即ち、平面視で振動部１２の領域内にマウント部１４、１５が形成されているのではなく、振動部１２に隣接する領域、即ち、振動部１２とは独立した部分にマウント部１４、１５が形成されている。
この構成によれば、マウント部１４，１５が振動部１２から突出しているため、圧電振動片１０を実装する際に、例えば導電性接着剤等の実装部材９がマウント部１４，１５から振動部１２へ濡れ広がる量を抑制できる。これにより、圧電振動片１０の小型化に伴って圧電振動片１０の表面における実装部材９の塗布面積が占める割合が増加する場合であっても、塗布面積のばらつきを低減でき、圧電振動片１０の実寸法のばらつきを抑えることができるため、所望の振動特性を有する圧電振動片１０を安定的に得ることが可能になる。また、平面視においてマウント部１４，１５が振動部１２の領域に形成されず、振動部１２に隣接した領域に形成されており、即ち、振動部１２とは独立した部分として形成されるので、濡れ広がった実装部材９が励振電極３４近傍に付着しにくくなり、ＣＩ値の増加や不要振動の発生等を抑制できる。即ち、優れた振動特性を備える小型な圧電振動片１０を安定的に提供することが可能になる。

【0028】

また、一対のマウント部１４，１５は、振動部１２における長手方向（Ｚ´軸方向）の両端部に形成されているため、一対のマウント部１４，１５同士の間隔を広く設けることができる。これにより、それぞれのマウント部１４，１５の実装部材９同士が接触して短絡することを防止できるとともに、実装部材９の塗布が容易になるため、圧電振動片１０の実装作業を効率よく行うことが可能となる。

【0029】

また、圧電板１１は、ＡＴカット水晶基板により形成され、圧電板１１の長手方向は、Ｚ´軸方向に沿い、一対のマウント部１４，１５は、Ｚ´軸方向に沿って配置されている。
ここで、ＡＴカット水晶基板の主振動モードである厚みすべり振動は、Ｘ軸方向に大きく変位する振動である。このため、一対のマウント部１４，１５を振動部１２の変位が大きい方向（Ｘ軸方向）に直交する方向に沿って配置することで、マウント部１４，１５は振動部１２のＸ軸方向の変位を妨げない。これにより、圧電振動片１０では、マウント部１４，１５における不要振動の発生が抑制される。また、ＣＩ値を低下させることも可能になる。

【0030】

また、本実施形態の圧電振動子１は、圧電振動片１０と、圧電振動片１０のマウント部１４，１５が実装されるパッケージ５と、を備えているため、優れた振動特性を備える小型な圧電振動子１が得られる。
また、実装部材９は、マウント部１４，１５のみに付着しているため、実装部材９が振動部１２の振動を阻害することを防止できる。このため、圧電振動子１は、ＣＩ値を低減でき、より優れた振動特性が得られる。

【0031】

［第１実施形態の変形例］
次に、第１実施形態の変形例の圧電振動子１０１について説明する。
図４は、第１実施形態の変形例に係る圧電振動子の断面図であり、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に相当する部分における断面図である。
図３に示す第１実施形態の圧電振動子１では、実装部材９を圧電振動片１０のマウント部１４，１５の主面のみに接触させている。これに対して、図４に示す圧電振動子１０１では、実装部材９を圧電振動片１０のマウント部１４，１５の主面と側面とに接触させている点で、第１実施形態と異なっている。なお、第１実施形態と同様の構成については、同一符号を付して詳細な説明を省略する。

【0032】

図４に示すように、圧電振動子１０１は、圧電振動片１０が実装部材９を介してパッケージ５に実装されている。圧電振動子１０１では、実装部材９をマウント部１４，１５における他方主面１１Ｂ上から、マウント部１４，１５の側面１４ａ，１５ａに亘って接触している。

【0033】

このように、本変形例の圧電振動子１０１は、マウント部１４，１５における他方主面１１Ｂと、マウント部１４，１５の側面１４ａ，１５ａとに接触する実装部材９を有する。この構成によれば、圧電振動片１０は、実装部材９により少なくとも２方向から固定されるので、圧電振動片１０とパッケージ５との固着強度を向上させることができる。このため、実装部材９による固着部において生じる不要振動を抑制でき、圧電振動片１０の振動を安定させることができる。

【0034】

［第２実施形態］
次に第２実施形態の圧電振動片２１０について説明する。
図５は、第２実施形態に係る圧電振動片の平面図である。
図５に示す第２実施形態の圧電振動片２１０は、一対のマウント部２１４，２１５が振動部１２の角部に形成されている点で、第１実施形態の圧電振動片１０と異なっている。なお、第１実施形態と同様の構成については、同一符号を付して詳細な説明を省略する。

【0035】

図５に示すように、圧電振動片２１０は、振動部１２の角部に形成された１対のマウント部２１４，２１５を有する。
一対のマウント部２１４，２１５は、振動部１２の長手方向（Ｚ´軸方向）の一端部であって、短手方向（Ｘ軸方向）の両端部に形成されている。
第１マウント部２１４は、振動部１２の（＋Ｘ，＋Ｚ´）方向に位置する角部において、振動部１２の＋Ｘ方向に面する側面と接するように配置されている。第１マウント部２１４は、両主面２１１Ａ，２１１Ｂ上の第１マウント電極２３１と、側面上の第１側面電極２３７と、を有する。第１マウント部２１４の表面は、第１マウント電極２３１および第１側面電極２３７により形成されている。

【0036】

第２マウント部２１５は、振動部１２の（−Ｘ，＋Ｚ´）方向に位置する角部において、振動部１２の−Ｘ方向に面する側面と接するように配置されている。第２マウント部２１５は、両主面２１１Ａ，２１１Ｂ上の第２マウント電極２３２と、側面上の第２側面電極２３８と、を有する。第２マウント部２１５の表面は、第２マウント電極２３２および第２側面電極２３８により形成されている。

【0037】

このように、本実施形態の圧電振動片２１０は、一対のマウント部２１４，２１５が、振動部１２の平面視における角部に形成されている。
この構成によれば、振動部１２に形成される励振電極３４と、マウント部２１４，２１５との距離が長くなる。これによりマウント部２１４，２１５への振動の伝搬距離が長くなるため、マウント部２１４，２１５からパッケージ側へ振動エネルギーが漏れる、所謂振動漏れを低減できる。よって、圧電振動片２１０が小型化した場合でも、ＣＩ値を低減し、さらにはマウント部２１４，２１５において生じる不要振動を抑制することができる。

【0038】

なお、一対のマウント部２１４，２１５の形成位置は、図５に示す位置に限定されるものではない。
図６および図７は、第２実施形態に係る他の圧電振動片の平面図である。
図６に示すように、一対のマウント部２１４，２１５は、振動部１２の長手方向（Ｚ´軸方向）の一端部であって、短手方向（Ｘ軸方向）の両端部における、＋Ｚ´方向に面する側面と接するように配置されていてもよい。
また、図７に示すように、一対のマウント部２１４，２１５は、振動部１２の平面視における対角部にそれぞれ配置されていてもよい。

【0039】

［第２実施形態の変形例］
次に、第２実施形態の変形例の圧電振動片３１０について説明する。
図８は、第２実施形態の変形例に係る圧電振動片の平面図である。
図８に示す変形例では、一対のマウント部２１４，２１５が振動部１２の＋Ｘ側に配置されている点で、第２実施形態と異なっている。なお、第２実施形態と同様の構成については、同一符号を付して詳細な説明を省略する。

【0040】

図８に示すように、圧電振動片３１０は、振動部１２の＋Ｘ側であって、長手方向（Ｚ´軸方向）の両端部に形成された一対のマウント部２１４，２１５を有する。
第１マウント部２１４は、振動部１２の（＋Ｘ，＋Ｚ´）方向に位置する角部おいて、振動部１２の＋Ｘ方向に面する側面と接するように配置されている。第２マウント部２１５は、振動部１２の（＋Ｘ，−Ｚ´）方向に位置する角部において、振動部１２の＋Ｘ方向に面する側面と接するように配置されている。

【0041】

圧電板２１１をウェットエッチングにより形成すると、圧電板２１１の側面には、水晶結晶のエッチング異方性により、主面に対して９０度未満の角度で傾斜した傾斜面が形成される。さらに、圧電板２１１の＋Ｘ方向に面する側面に形成される傾斜面は、−Ｘ方向に面する側面に形成される傾斜面よりも、圧電板２１１の主面に対する傾斜角が水晶結晶の異方性により小さくなる。このため、圧電板２１１の＋Ｘ方向に面する側面は、−Ｘ方向に面する側面よりも、緩やかな傾斜で形成された断面視先細り形状となる。

【0042】

ここで、振動部１２の励振電極３４において励振され、Ｘ軸方向に伝搬した振動は、振動部１２のＸ軸方向両端部において、断面視先細り形状により減衰する。この際、断面視形状がより緩やかな傾斜で形成された振動部１２の＋Ｘ方向に面する側面のほうが、−Ｘ方向に面する側面よりも振動減衰効果が高くなる。

【0043】

振動部１２の外形形状は、マウント部２１４，２１５を一体的に形成することで、所望の形状が得られない場合がある。より具体的には、振動部１２は、その形成時において、振動部１２の周端部のうちマウント部２１４，２１５近傍の端部にエッチング残り等が発生し、凹凸状に形成される。このため、振動部１２の形状が乱れた部分において、不要振動が発生しやすくなる。
本変形例の圧電振動片３１０では、一対のマウント部２１４，２１５を振動部１２の＋Ｘ側に配置しているため、振動部１２の＋Ｘ側の端部の形状が乱れた場合でも、振動部１２から伝搬した振動を高効率で減衰でき、不要振動の発生を抑制できる。

【0044】

［第３実施形態］
次に第３実施形態の圧電振動片４１０について説明する。
図９は、第３実施形態に係る圧電振動片を＋Ｘ方向から見た側面図である。
図３に示す第１実施形態の圧電振動片１０は、マウント部１４，１５が振動部１２と同じ厚さで形成されている。これに対して、図９に示す第３実施形態の圧電振動片４１０は、マウント部４１４，４１５が振動部４１２よりも厚く形成されている点で、第１実施形態と異なっている。即ち、振動部４１２とマウント部４１４，４１５との間には段差が形成されている。なお、第１実施形態と同様の構成については、同一符号を付して詳細な説明を省略する。

【0045】

図９に示すように、圧電板４１１は、振動部４１２よりも厚く形成された第１マウント部４１４および第２マウント部４１５を有する。
第１マウント部４１４は、平面視矩形状に形成されている。第１マウント部４１４は、振動部４１２における一方主面４１１Ａよりも一段高く、かつ振動部４１２における他方主面４１１Ｂよりも一段高く形成されている。第１マウント部４１４は、両主面が振動部４１２における両主面４１１Ａ，４１１Ｂと平行に形成されている。
第１マウント部４１４の表面は、両主面に形成された第１マウント電極４３１と、側面に形成された第１側面電極４３７とにより形成されている。また、第１マウント部４１４の＋Ｙ´方向に面する主面上の第１マウント電極４３１は、一方の励振電極３４Ａに対して引き回し配線４３６Ａを介して接続されている。

【0046】

第２マウント部４１５は、平面視矩形状に形成されている。第２マウント部４１５は、第１マウント部４１４と同様に、振動部４１２における一方主面４１１Ａよりも一段高く、かつ振動部４１２における他方主面４１１Ｂよりも一段高く形成されている。第２マウント部４１５は、両主面が振動部４１２における両主面４１１Ａ，４１１Ｂと平行に形成されている。
第２マウント部４１５の表面は、両主面に形成された第２マウント電極４３２と、側面に形成された第２側面電極４３８とにより形成されている。また、第２マウント部４１５の−Ｙ´方向に面する主面上の第２マウント電極４３２は、他方の励振電極３４Ｂに対して引き回し配線４３６Ｂを介して接続されている。

【0047】

このように、本実施形態の圧電振動片４１０は、一対のマウント部４１４，４１５が、振動部４１２のうち一対のマウント部４１４，４１５の周囲における領域よりも厚く形成されている。
この構成によれば、圧電振動片４１０を実装する際に、振動部４１２の主面よりも一段高いマウント部４１４，４１５の主面に実装部材９を接触させることで、マウント部４１４，４１５と振動部４１２との間の段差により、実装部材９がマウント部４１４，４１５の主面から濡れ広がって振動部４１２に付着することを防止できる。これにより、圧電振動片４１０の振動特性のばらつきを抑制できる。

【0048】

なお、本実施形態では、圧電振動片４１０の振動部４１２が一様な厚さに形成されているが、これに限定されるものではなく、振動部のうち一対のマウント部の周囲における領域が、一対のマウント部４１４，４１５よりも薄く形成されていればよい。
図１０は、第３実施形態に係る他の圧電振動片を＋Ｘ方向から見た側面図である。
図１０に示すように、圧電振動片５１０は、振動部５１２が圧電板５１１の両主面５１１Ａ，５１１Ｂから突出した厚肉部５１２ａを有する、いわゆるメサ形状の圧電振動片であってもよい。この場合、厚肉部５１２ａおよびマウント部４１４，４１５は、それぞれが独立して圧電板５１１の両主面５１１Ａ，５１１Ｂから厚さ方向（Ｙ´方向）に突出するように形成されている。これにより圧電振動片５１０は、上記の作用効果に加えて、振動エネルギーを厚肉部５１２ａ内に閉じ込め、マウント部４１４，４１５へ振動が伝搬することを抑制できる。

【0049】

なお、図１０に示す圧電振動片５１０においては、厚肉部５１２ａおよびマウント部４１４，４１５の高さは特に限定されないが、厚肉部５１２ａおよびマウント部４１４，４１５を同じ高さとすることが好ましい。この構成によれば、厚肉部５１２ａとマウント部４１４，４１５とを、圧電板５１１の形成時に同時に形成できるため、製造工程を簡略化できる。
また、図１０に示す圧電振動片５１０では、厚肉部５１２ａの主面が圧電板５１１の両主面５１１Ａ，５１１Ｂから一段高くなるように形成されているが、厚肉部の主面は、圧電板５１１の両主面５１１Ａ，５１１Ｂから多段に高くなるように形成されてもよい。

【0050】

なお、本発明は、図面を参照して説明した上述の実施形態に限定されるものではなく、その技術的範囲において様々な変形例が考えられる。
例えば、上記実施形態においては、振動部が平板状の圧電振動片や、いわゆるメサ型の圧電振動片を用いているが、これに限定されず、例えばいわゆるベベル型やコンベックス型の圧電振動片を用いてもよい。

【0051】

また、上記実施形態の圧電振動子１，１０１では、圧電振動片１０の他方主面１１Ｂ上に実装部材９を接触させているが、これに限定されず、一方主面１１Ａ上に実装部材９を接触させてもよい。

【0052】

その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上記した実施の形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能である。

【0053】

例えば、上記実施形態では、上面視におけるマウント部の形状を矩形状として説明したが、マウント部の形状はこれに限られるものではない。例えば、上面視として平行四辺形状に形成されていてもよい。そして、平行四辺形状の先端部分において、実装部材９によって実装されていると好適である。

【0054】

また、水晶ウェハに対してエッチング技術によって圧電振動片を複数個形成し、該ウェハから各々の圧電振動片を折り取る際に、矩形状、又は平行四辺形状に形成されたマウント部の先端部分で折り取ってもよい。即ち、マウント部の先端と水晶ウェハとが接続されているように、水晶ウェハに対してエッチング加工を施してもよい。

【0055】

さらに、上記実施形態では、水晶の結晶軸のＺ´軸方向を圧電板の長手方向としていたが、水晶の結晶軸のＸ軸方向を長手方向とする構成であってもよい。この場合は、−Ｘ軸側において、＋Ｚ´軸側、−Ｚ´軸側の両端部に、圧電板の面方向に突出する矩形状又は平行四辺形状のマウント部が形成されていればよい。

【0056】

また、上述した厚肉部は、圧電板の両主面の少なくとも一方の主面に形成されていてもよい。さらに、メサ部として、複数段の厚肉部が形成される構成であってもよい。その場合、複数段の厚肉部の最下面から最上面との高さとマウント部の厚みとを同じにしてもよい。

【0057】

また、マウント部が突出部によって形成されている場合、実装部材は、マウント部の主面（裏面）のみならず、外側側面、内側側面の少なくとも一方に付着していればよい。これにより、マウント部における実装強度をさらに高めることが可能になる。

【符号の説明】

【0058】

１，１０１…圧電振動子 ５…パッケージ ９…実装部材 １０，２１０，３１０，４１０，５１０…圧電振動片 １１，２１１，４１１，５１１…圧電板 １２，４１２，５１２…振動部 １４，１５，２１４，２１５，４１４，４１５…マウント部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】