特許第6583886号(P6583886)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6583886ホウ素−リン−シリコンの三元系化合物ナノ結晶、その製造方法及びそれを用いた中性子捕獲療法用材料
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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】6583886
(24)【登録日】2019年9月13日
(45)【発行日】2019年10月2日
(54)【発明の名称】ホウ素−リン−シリコンの三元系化合物ナノ結晶、その製造方法及びそれを用いた中性子捕獲療法用材料
(51)【国際特許分類】
   C01B 35/14 20060101AFI20190919BHJP
   A61K 33/22 20060101ALI20190919BHJP
   A61P 35/00 20060101ALI20190919BHJP
   A61K 41/00 20060101ALI20190919BHJP
【FI】
   C01B35/14
   A61K33/22
   A61P35/00
   A61K41/00
【請求項の数】10
【全頁数】13
(21)【出願番号】特願2015-210468(P2015-210468)
(22)【出願日】2015年10月27日
(65)【公開番号】特開2017-81776(P2017-81776A)
(43)【公開日】2017年5月18日
【審査請求日】2018年9月7日
(73)【特許権者】
【識別番号】504150450
【氏名又は名称】国立大学法人神戸大学
(74)【代理人】
【識別番号】110000822
【氏名又は名称】特許業務法人グローバル知財
(72)【発明者】
【氏名】杉本 泰
(72)【発明者】
【氏名】藤井 稔
(72)【発明者】
【氏名】今北 健二
【審査官】 手島 理
(56)【参考文献】
【文献】 特表2006−516599(JP,A)
【文献】 特開昭61−91901(JP,A)
【文献】 SUGIMOTO Hiroshi et al.,All-inorganic water-dispersible silicon quantum dots: highly efficient near-infrared luminescence in a wide pH range,Nanoscale,2014年,Vol.6,p.122-126
(58)【調査した分野】(Int.Cl.,DB名)
C01B 33/14
A61K 33/22
A61K 41/00
A61P 35/00
JSTPlus/JST7580/JSTChina(JDreamIII)
CAplus/REGISTRY(STN)
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
ホウ素(B)、リン(P)およびシリコン(Si)の三元素から成り、
立方晶構造で、{111}面の格子間隔が0.27〜0.29nmの範囲内であり、
Bの含有量が30〜45原子%の範囲内、かつ、Pの含有量が25〜40原子%の範囲内であり、水分散性を有することを特徴とする三元系化合物ナノ結晶。
【請求項2】
平均結晶粒径が10nm以下であることを特徴とする請求項1の三元系化合物ナノ結晶。
【請求項3】
近赤外領域の発光特性を有することを特徴とする請求項1の三元系化合物ナノ結晶。
【請求項4】
溶液中の結晶粒子の表面電荷が、負電荷であることを特徴とする請求項1の三元系化合物ナノ結晶。
【請求項5】
Bの含有量が33〜40原子%の範囲内、Pの含有量が30〜35原子%の範囲内、かつ、Siの含有量が28〜33原子%の範囲内であることを特徴とする請求項1〜4の何れかの三元系化合物ナノ結晶。
【請求項6】
{111}面の格子間隔が0.28nmであることを特徴とする請求項5の三元系化合物ナノ結晶。
【請求項7】
請求項1〜6の何れかの三元系化合物ナノ結晶の作製方法であって、
シリカ(SiO)、酸化ホウ素(B)および五酸化二リン(P)の混合物に比べて酸素欠損である、シリコン、ホウ素、リンおよび酸素の混合物に対して熱処理を施すことを特徴とする三元系化合物ナノ結晶の作製方法。
【請求項8】
上記のシリコン、ホウ素、リンおよび酸素の混合物は、スパッタリング法もしくは蒸着法により作製されたことを特徴とする請求項7の三元系化合物ナノ結晶の作製方法。
【請求項9】
上記のシリコン、ホウ素、リンおよび酸素の混合物は、
シリカ(SiO)、シリコン(Si)、酸化ホウ素(B)およびリン酸ホウ素(BPO4)の少なくとも4種の物質を、同時に、スパッタリングもしくは蒸着することにより作製されたことを特徴とする請求項7の三元系化合物ナノ結晶の作製方法。
【請求項10】
請求項1〜6の何れかの三元系化合物ナノ結晶を少なくとも含有するホウ素中性子捕獲用材料。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ホウ素中性子捕獲療法に利用できる新規なホウ素−リン−シリコンの三元系化合物のナノ結晶、その製造方法及びそれを用いた中性子捕獲療法用材料に関するものである。
【背景技術】
【0002】
ホウ素中性子捕捉療法に用いられる従来の材料は、中性子を捕獲するホウ素の原子数密度が十分に高くなく、材料自体は蛍光を示さず、材料そのものだけではモニタリングが困難といった問題がある。ホウ素中性子捕捉療用の材料として、例えば、ホウ素およびシリコンを含有する組成物が提案されている(例えば、特許文献1を参照)。特許文献1の組成物では、一部がホウ素−10、好ましくは元素状ホウ素の形態で、ホウ素成分中に存在するホウ素原子の少なくとも95%がホウ素−10核から形成されたホウ素成分と、シリコン成分を含んでいる。天然のホウ素は、主として、ホウ素−10とホウ素−11の2つの同位体が存在し、ホウ素−10は約20%の割合で存在する同位体である。
【0003】
ホウ素は、シリコンへのドーピングにより、シリコン成分のシリコン原子間の隙間に位置する原子の形態にあるときは、そのシリコンが身体に吸収されると、ホウ酸分子の形態でホウ素の放出を生じ、腫瘍細胞中への分散を促すことができる。しかし、シリコンへのホウ素ドーピングでは、ドーピング量がそれほど多くなく、十分なホウ素濃度を確保することは困難であり、ホウ素−10の含有量を増やすべく濃縮しているのが現状である。そこで、ホウ素濃度が高く、水分散性に優れた材料が求められている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特表2006−516599号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
上記状況に鑑みて、本発明は、ホウ素含有量が大きく、水分散性を有し、ホウ素中性子捕獲療法に利用できる新規なホウ素−リン−シリコンの三元系化合物のナノ結晶を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上記課題を解決すべく、本発明の三元系化合物ナノ結晶は、ホウ素(B)、リン(P)およびシリコン(Si)の三元素から成り、立方晶構造で、{111}面の格子間隔が0.27〜0.29nmの範囲内であり、Bの含有量が30〜45原子%の範囲内、かつ、Pの含有量が25〜40原子%の範囲内であり、水分散性を有することを特徴とする。
B、PおよびSiの三元素から成る三元系化合物で、従来から知られているものとして、Si結晶の粒子表面にBとPがドーピングされたものが知られているが、ドーピング量がそれほど多くはなく、立方結晶の{111}面の格子間隔は0.31nmである。
本発明者らは、Bの含有量が30〜45原子%の範囲内、かつ、Pの含有量が25〜40原子%の範囲内で、{111}面の格子間隔が0.27〜0.29nmの範囲内の新規な三元系化合物ナノ結晶を見出した。本発明の三元系化合物ナノ結晶は、ホウ素含有量が高く、水分散性があり、中性子捕獲材などの様々な用途に適用できる可能性がある。
ここで、三元系化合物において、Siの含有量は、Bの含有量とPの含有量が決まると一意に決定される。Bの含有量が30〜45原子%の範囲内、かつ、Pの含有量が25〜40原子%の範囲内であり、好ましくはSiの含有量とBの含有量とPの含有量とがバランスよく含有されることである。
【0007】
本発明の三元系化合物ナノ結晶は、好ましくは平均結晶粒径が10nm以下である。本発明の三元系化合物ナノ結晶は、用途に応じて様々なサイズのものが作製可能であるが、例えば、EPR(Enhanced permeability and retention)効果(癌組織では正常組織に比べ血管透過性が亢進しており、例えば100nm以下の微粒子等は血管から癌組織に流出しやすいため、受動的な蓄積が起こる効果をいう。)を利用し、平均結晶粒径が10nm以下の三元系化合物ナノ結晶材料を、ドラッグデリバリーシステム(DDS)で癌組織に蓄積させることで、ホウ素中性子捕獲療法に適用できる。
【0008】
本発明は、平均結晶粒径が10nm以下の三元系化合物ナノ結晶であるので、例えば、直径100nm〜200nmのリポソーム内にこれらを閉じ込め、リポソーム表面に水溶性高分子であるポリエチレングリコール(PEG)を修飾すると、血中を長時間滞留し、受動的に血管内皮間隙を介してリポソームを癌組織に蓄積させることができる。
そして、癌組織に蓄積させたリポソームに、熱中性子を照射すれば、リポソームから前記ナノ結晶をリリースする特別な策を講じる必要がある従来技術とは異なり、熱中性子の透過性により、熱中性子とホウ素の核反応を発生させることができる。
【0009】
本発明の三元系化合物ナノ結晶は、近赤外領域の発光特性を有する。近赤外領域の発光特性を有することで、結晶の位置を特定するモニタリングが可能である。この発光特性によれば、ホウ素中性子捕捉療用の材料として、体内における癌組織への蓄積をモニタリングすることが可能である。
【0010】
本発明の三元系化合物ナノ結晶は、溶液中の結晶粒子の表面電荷が負電荷である。本発明の三元系化合物ナノ結晶は、溶液中の結晶粒子の表面電荷が負電荷であり、粒子同士が静電斥力によって凝集や沈殿することなく、分散性に優れるのである。
【0011】
本発明の三元系化合物ナノ結晶は、Bの含有量が33〜40原子%の範囲内、Pの含有量が30〜35原子%の範囲内、かつ、Siの含有量が28〜33原子%の範囲内であることが好ましい。Siの含有量とBの含有量とPの含有量とがバランスよく含有されているからである。
【0012】
上記の三元系化合物ナノ結晶において、{111}面の格子間隔が0.28nmである。
【0013】
次に、本発明の三元系化合物ナノ結晶の作製方法について説明する。
本発明の三元系化合物ナノ結晶の作製方法は、シリカ(SiO)、酸化ホウ素(B)および五酸化二リン(P)の混合物に比べて酸素欠損である、シリコン、ホウ素、リンおよび酸素の混合物に対して熱処理を施すことにより、上述の本発明の三元系化合物ナノ結晶を作製する。
【0014】
ここで、上記のシリコン、ホウ素、リンおよび酸素の混合物は、好ましくは、スパッタリング法もしくは蒸着法により作製される。
より具体的には、上記のシリコン、ホウ素、リンおよび酸素の混合物は、シリカ(SiO)、シリコン(Si)、酸化ホウ素(B)およびリン酸ホウ素(BPO4)の少なくとも4種の物質を、同時に、スパッタリングもしくは蒸着することにより作製される。
【0015】
上述したように、本発明の三元系化合物ナノ結晶は、好適にホウ素中性子捕獲用材料として用いられる。すなわち、本発明のホウ素中性子捕獲用材料は、上述の本発明の三元系化合物ナノ結晶を少なくとも含有する。
【発明の効果】
【0016】
本発明の三元系化合物ナノ結晶によれば、ホウ素含有量が大きく、水分散性を有し、ホウ素中性子捕獲療法に利用できるといった効果がある。
【図面の簡単な説明】
【0017】
図1】化合物結晶粒子のXPSスペクトル(HFエッチング前)
図2】化合物結晶粒子のXPSスペクトル(HFエッチング後)
図3】HFエッチング後の化合物結晶粒子の赤外吸収特性図
図4】実施例1の化合物結晶の水中のコロイド分散体の透過スペクトル
図5】実施例1の化合物結晶のHR−TEM像
図6】実施例1の化合物結晶の粒子サイズ分布図
図7】格子間隔の測定に用いたHR−TEM像の代表的な画像
図8】実施例1の化合物結晶の電子線回折パターンの強度プロファイル
図9】溶液中の試料のPLスペクトル
図10】スパッタリングのターゲット配置の一例
図11】実施例1の作製フロー図
図12】実施例1の作製プロセスの模式図
【発明を実施するための最良の形態】
【0018】
以下、本発明の実施形態の一例を、図面を参照しながら詳細に説明していく。なお、本発明の範囲は、以下の実施例や図示例に限定されるものではなく、幾多の変更及び変形が可能である。
【実施例1】
【0019】
(作製手順について)
本発明のB−P−Siの三元系化合物ナノ結晶の作製手順について、図10〜12を参照して説明する。
先ず、酸化ケイ素(SiO)、酸化ホウ素(B)、リン酸ホウ素(BPO)及びシリコン(Si)を、同時にスパッタリングすることにより、薄いステンレス基板上に、B、O、SiおよびPからなるアモルファス膜を付着させる(図11のステップS01)。具体的には、図10に示すように、4個のSiチップ5(15×10mm)、2個のBタブレット3(直径10mm)、4個のBPOタブレット4(直径10mm)を、SiOターゲット2(直径10cm)の上に載せ、同時にスパッタリングを行い、ステンレス基板12上に、B、P、SiおよびOの混合アモルファス薄膜11を作製する(図11のステップS02、図12(1))。
次に、アニール処理により結晶成長させる。具体的には、ステンレス基板から剥離させたアモルファス膜を、30分間、Nガス大気中で、1100℃でアニール処理する。B、P、SiおよびOの混合アモルファス薄膜が酸素欠損状態であるため、アニール処理により(図11のステップS03)、B,PおよびSiが析出し、B,PおよびSiの三元系化合物結晶1が珪酸塩マトリクス13内に形成される(図11のステップS04、図12(2))。
そして、アニール処理後の膜を乳鉢で粉砕し、得られた微粉末をフッ化水素酸溶液15(46重量%)で溶かして(HFエッチング)、珪酸塩マトリクスからB,PおよびSiの三元系化合物結晶10を抽出する(図12(3))。すなわち、溶液中に三元系化合物ナノ結晶を遊離させるために、HFエッチングにより珪酸塩マトリクスを溶解させ除去する(図11のステップS05)。珪酸塩マトリクスから遊離された三元系化合物結晶10は、メタノール16中または水中において分散性を有し、溶液中でナノ粒子のコロイド分散体となる(図11のステップS06)。
【0020】
本発明のB−P−Siの三元系化合物ナノ結晶では、B,P,Siの混合比率に特徴がある。所定の混合比率で調製することにより、新たな結晶構造が発現する。
以下、これについて説明するが、比較例として4つの試料(比較例1〜4)を準備する。
比較例1〜4の試料の作製手順は、基本的に上述の作製手順と同じであるが、スパッタリングの際に、Bタブレット及びBPOタブレットの個数を変えている。また、比較例1の試料の場合、BPOタブレットを用いないことから、SiOターゲットの代わりに、予めリン(P)を含有しているリン酸シリケートガラス(PSG)を用いることにした。下記表1に実施例1、比較例1〜4におけるスパッタリングターゲットについて纏める。Bタブレット数およびBPOタブレット数を変化させて、BおよびPの濃度を制御している。
【0021】
【表1】
【0022】
(実施例1と比較例1〜4の物性について)
実施例1と比較例1〜4の化合物結晶の物性について、アニール処理により化合物結晶を成長させた後、フッ化水素酸溶液(46重量%)で溶解(HFエッチング)により化合物結晶を抽出する前の物性に関して図1を参照して説明する。
図1は、実施例1および比較例1〜4の5つの化合物結晶のSi 2p、B 1s、P 2pのコアレベルのX線光電子分光法(XPS)スペクトルを示している。図1(a)はSi 2p、図1(b)はB 1s、図1(c)はP 2pのXPSスペクトルである。図1(a)のXPSスペクトルから、実施例1および比較例1〜4の5つの化合物結晶全てに、Si3+とSi4+の結合エネルギーの間、すなわち、103〜104eVの間に、ピークが確認できた。図1(a)のSi 2pのXPSスペクトルは、亜酸化物(Si1+〜Si3+)の影響で、少し非対称である。図1(b)のB 1sのXPSスペクトルでは、188eVと193eVの2つのピークが、実施例の化合物結晶において明確に確認できた。この2つのピークは、それぞれ、非酸化のBと、完全に酸化されたB(B)に割り当てられるものである。同様に、図1(c)のP 2pのXPSスペクトルでは、130eVと134.5eV、それぞれ非酸化と酸化のPの両方の信号が、実施例の化合物結晶において明確に確認できた。
図1(b)と図1(c)において、非酸化のものの信号と酸化されたものの信号強度比は、5つの化合物結晶の間で異なった。そこで、B:P:Siの原子比率を推定するのに、XPSスペクトルの積分強度を用い、各々の元素の光イオン化断面積を考慮した。
【0023】
上述の如く、溶液中に三元系化合物ナノ結晶を遊離させるために、HFエッチングにより珪酸塩マトリクスを溶解する。実施例1と比較例1〜3の4つの化合物結晶では、メタノール中または水中で、ナノ粒子が凝集せずに、透明で黄色がかった分散液を得ることができた。一方、比較例4の化合物結晶では、ナノ粒子が凝集し、凝集物により光散乱のため乳白色の溶液となった。
【0024】
次に、実施例1と比較例1〜4の化合物結晶の物性について、HFエッチング後の物性に関して図2を参照して説明する。
図2(a)〜(c)は、実施例1と比較例1〜4の5つの化合物結晶におけるHFエッチング後のナノ結晶粒子のXPSスペクトルを示している。図1と同様に、図2(a)はSi 2p、図2(b)はB 1s、図2(c)はP 2pのXPSスペクトルである。
図2(a)のSi 2pのXPSスペクトルから、中間の酸化状態を含む99.6eV(Si)〜103.4eV(Si4+)の範囲の信号を確認できた。例えば、わずかに異なる強度比であるSi(99.5eV)とSi4+(103.4eV)の2つの信号が確認できることから、比較例1〜3の化合物結晶のXPSスペクトルは、質的に同じである。これらの2つのピークは、Siナノ結晶コアと粒子表面上の薄い自然酸化物に起因するものである(電子の脱出深さ:2〜3nm)。一方、実施例1のXPSスペクトルのピークの結合エネルギーは、比較例2,3のピークと異なる。実施例1のXPSスペクトルのピークは、100.5eVと102.5eVであり、それぞれSi1+とSi3+に対応する。BおよびPの還元によるBPのナノ結晶の形成は、アニーリングプロセス中のSiの酸化を伴って行われるが、生成したSiOはHFエッチングによって除去されるので、比較例4の化合物結晶のXPSスペクトルでは、Siから非常に弱いシグナルが観察されることになる。実施例1の化合物結晶のXPSスペクトルでは、ピークが他のものよりわずかに高いが、図2(b)のB 1sのXPSスペクトルにおいて、全てのスペクトルで、187.5eVから189eVの非酸化Bの領域の信号を確認できた。実施例1の化合物結晶のピークの結合エネルギーは、全てのスペクトルの中で他のものより僅かに大きく(高エネルギー側にピークシフト)、189eV周辺で信号が確認できた。同様に、図2(c)のP 2pのXPSスペクトルにおいて、実施例1の化合物結晶のピークの結合エネルギーは、全てのスペクトルの中で他のものより僅かに大きく(高エネルギー側にピークシフト)、非酸化Pの領域に対応する130eV周辺で信号が確認できた。B 1sとP 2pの両方のピークは、何れのスペクトルも、亜酸化物の高エネルギーに向かって尾を引いていた。
【0025】
図2の結果から、比較例1〜3の結晶は、同じ結晶構造のグループに属し、共に、Siナノ結晶にBおよびPがドープされたものであることを示している。但し、比較例2,3の結晶は、比較例1の結晶よりも、B,Pの濃度が大きいものである。
一方、実施例1の化合物結晶は、比較例1〜3の結晶の構造、比較例4の化合物結晶(BP結晶)の構造とは明らかに異なることがわかる。上述の如く、図2(a)で示される実施例1の化合物結晶のSi 2PのXPSスペクトルのピークは、100.5eVと102.5eVであり、比較例1〜3の化合物結晶と比べて、高エネルギーシフトしている。これはSiに配位するBおよびPの数の増加として説明できる。比較例1〜3の結晶では、Si原子に結合したB原子及び/又はP原子の平均数が1未満であると考えられる。一方、実施例1の化合物結晶では、B、P、Siがほぼ同等の量であり、2つ以上のB原子及び/又はP原子がSi原子に配位していると考えられる。その結果、Si(1.9)より大きいB(2.04)およびP(2.2)の電子陰性度に対する結合エネルギーの増加をもたらしている。このような状況になるには、相当な量のB−B結合、P−P結合が必要である。Bのクラスターの結合エネルギーは、Si中の四価のB原子の結合エネルギーよりも、大きいことが知られている。つまり、図2(b)の実施例1の化合物結晶のB 1sのXPSスペクトルにおいて、高エネルギー側へのピークシフトは、B−B結合の数の増加として説明できる。
【0026】
HFエッチング後の試料(実施例1と比較例1〜4の5つの化合物結晶)中のB,P,Siの原子組成(原子比率)は、XPSデータに基づいて推定した。
実施例1および比較例1〜4の5つの化合物結晶におけるB:P:Siの原子比率を、下記表2に示す。表2では、アニール処理により化合物結晶を成長させた後、HFエッチング前の薄膜状態の原子比率と、HFエッチング後の遊離後の自立した化合物結晶ナノ粒子の原子比率を示している。
なお、実施例1の化合物結晶における原子比率の濃度範囲は、Si:B:P (at%)=30.9±2.1: 36.4±2.8: 32.7±1.4であった。
【0027】
【表2】
【0028】
(発光特性について)
次に、図3を参照して、実施例1と比較例1〜4の化合物結晶の発光特性について説明する。図3は、実施例1と比較例1〜4の5つの化合物結晶におけるHFエッチング後のナノ結晶粒子の赤外吸収(IR:infrared absorption spectrometry)を示している。化合物結晶の量は固定であり、吸収強度を比較できる。
【0029】
比較例1のIRスペクトルにおいて、1060〜1080cm−1付近のピークは、Si−O−Siの伸縮振動モードの領域に該当する。なお、全ての化合物結晶は、メタノール中で2日間保存した後、測定中に空気中にさらされていることから、ナノ結晶粒子の表面がわずかに酸化された。比較例1〜3と実施例1では、系統的にスペクトルが変化していた。つまり、比較例2では赤外吸収が880cm−1に現れ、このピークは比較例2、比較例3、実施例1の順に吸収強度が大きくなっていることが確認できた。高ホウ素含有量を考慮すると、880cm−1に現れたピークは、B/SiOガラスでしばしば観測されるB−O−Siブリッジの伸縮モードに割り当てられる可能性がある。実施例1の化合物結晶では、880cm−1(B−O−Siの可能性有)の信号強度が、1080cm−1(Si−O−Siの可能性有)の信号強度と同程度であった。
【0030】
上記のことから、実施例1の化合物結晶の構造、特に表面構造は、比較例1の化合物結晶の構造と顕著に異なることがわかる。1330〜1450cm−1の小さなピークは、B−OおよびP=Oの伸縮モードに割り当てられる。また、2100cm−1のピークは、Si−Hの振動によるものである。ナノ結晶表面を生物学的物質によって機能化することができるため、結晶表面上のSi−HおよびSi−O結合の存在は、生物医学的用途のために重要な利点である。これは、生物医学的用途において、効率的かつ選択的な細胞取り込みのための重要な特徴である。実施例1の化合物結晶だけが、B−Hの伸縮モードに割り当てられる2410cm−1のピークを有する。このことは、実施例1の化合物結晶の表面構造が、比較例1〜4の化合物結晶の表面構造と異なっていることを示唆している。比較例4の化合物結晶では、検出可能な赤外吸収信号が観察できず、BPのナノ結晶が酸化に対して高い抵抗性を有していることがわかる。
【0031】
図4は、実施例1の化合物結晶の水中のコロイド分散体の透過スペクトルを示している。実施例1の化合物結晶の場合、凝集体による光の散乱がないことから、1000nm辺りでは約100%の透過率を示していた。
【0032】
図5は、実施例1の化合物結晶のHR−TEM(High Resolution Transmission Electron Microscopy)像を示している。これは、炭素被覆TEMグリッド上にナノ結晶コロイドをドロップキャストした試料の高解像度TEM像である。図5のTEM像から、ナノ結晶粒子の単結晶性質を確認できる格子縞を観察することができた(図中の丸印は、格子縞が見られる箇所)。
【0033】
図6は、実施例1の化合物結晶の粒子サイズ分布を示している。粒子サイズ分布は、図5に示すHR−TEM画像から測定している。平均直径が3.8nmであり、標準偏差は0.6nmであった。
【0034】
また、HR−TEM像から、慎重かつ正確に格子間隔を測定し分析した。図7は、測定に用いたHR−TEM像の代表的な画像を示している。実施例1の化合物結晶を図7(1)に、比較例1の化合物結晶を図7(2)に、比較例4の化合物結晶を図7(3)に示す。
図7(1)〜(3)のTEM像の中には格子間隔の値を記入している。この格子間隔は、いずれも{111}面のものである。
図7(2)に示す比較例1の化合物結晶の画像中に現れる格子縞は、ダイヤモンド構造のSi単結晶の{111}面に相当する(格子間隔0.31nm)。また、図7(3)に示す比較例4の化合物結晶の画像中に現れる格子縞は、BPの立方晶の{111}面に相当する(格子間隔0.26nm)。
一方、図7(1)に示す実施例1の化合物結晶の画像中に現れる格子縞は、2種類のものが観察できた。1つは格子間隔0.31nmで、他の1つは格子間隔0.28nmであった。格子間隔0.31nmはSi単結晶に割り当てられるものであるが、格子間隔0.28nmは、Si単結晶にもBP結晶にも割り当てできないものである。
【0035】
そこで、実施例1の化合物結晶の構造について、電子線回折パターンで確認した。図8は、実施例1の化合物結晶の数百から得られた電子線回折パターンの強度プロファイルを示している。
図8では、ダイヤモンド構造のSi(JCPDS番号27−1402)と、立方晶BP(JCPDS番号11−0119)のJCPDSデータについて、プロットデータのピークラベルとして、三角(▲)と丸(●)のラベルを用いている。丸(●)のピークラベルは、Si(JCPDS番号27−1402)に割り当てられている。しかし一方で、出願人が調査した限り、B、P、SiおよびOからなる公知の化合物には、三角(▲)のピークラベルのようなピークを有する結晶構造を有する化合物は存在しない。
【0036】
実施例1の化合物結晶中の三角(▲)ラベルで表される結晶のみを取り出すために、フッ化水素酸(10マイクロリットル: 46重量%)と硝酸水溶液(10マイクロリットル: 60重量%))の混合物(HF:HNO:水)でSiを溶解し取り除いた。図8は、フッ硝酸処理後の試料の電子線回折パターンの強度プロファイルを示している。三角(▲)ラベルで表される結晶構造のみが観察され、フッ硝酸に耐性を有することからSi結晶とは大きく異なる物質であることがわかる。
また、図8の最も下のバーは、格子定数がSi単結晶に比べて9%小さい仮想結晶を示したものである。(111)、(220)、(311)の3つのバーがある。これらの3つのバーの位置は、三角(▲)のピークラベルのピーク位置と略完全に一致する。このことから、実施例1の化合物結晶の構造は、ダイヤモンドまたは亜鉛ブレンド型の結晶構造に似ていることがわかる。Siナノ結晶にB,Pを同時ドーピングして格子定数の9%の収縮は不可能である。
【0037】
図9では、450nmで励起された溶液中の試料(実施例1と比較例1〜3)のPLスペクトルが示されている。全てのサンプルは、生物学的ウィンドウ内で広いPLを示すことが確認できた。PLスペクトルは、BおよびPの含有量に若干依存し、その量の増加に伴って、より長い波長にシフトする傾向がある。実施例1の化合物結晶のPL量子収率は、他のものよりもわずかに小さく、1.1%であった。
【0038】
(化合物結晶のゼータ電位)
実施例1および比較例1の化合物結晶粒子のゼータ電位を測定した。実施例1の化合物結晶粒子の場合、ゼータ電位が−25mV(水溶媒中)であったことから、粒子表面は負電位を帯びていることがわかった。粒子表面が負電位を帯びていることから、粒子同士は、静電反発して凝集せず分散して、水溶性を示す。
比較例1の化合物結晶粒子でも、実施例1の化合物結晶粒子の場合と同様の結果となった。
なお、比較例4の化合物結晶粒子の場合、凝集、沈殿するので測定は不可能であり、静電反発力が非常に小さい、すなわち、ゼータ電位は〜0mVと推測できる。
【0039】
(測定に関する説明)
1)X線光電子分光法(XPS)測定には、アルバック製PHI Xツール、Al Kα X
線源を用いた。
2)三元系化合物結晶粒子ならびにナノ粒子のコロイド分散体に関するXPS測定およびFTIR測定は、金メッキされたSiウェハ上で行った。
3)三元系化合物結晶の形態および構造は、透過型電子顕微鏡(TEM)(JEM-2100F、JEOL)で確認した。
【0040】
4)フォトルミネッセンス(PL)スペクトルは、光電子増倍管(500〜850nm)とInGaAsフォトダイオード(800〜1300nm)を備えた分光蛍光計(HORIBA Jovin Yvon製 Fluorolog-3)によって測定した。2つの異なる検出器によって得られたPLスペクトルは、標準的なハロゲンランプの基準スペクトルを使用してスペクトル応答を補正した後にマージした。励起源は、Xeランプ光を分光した450nmの光を用いた。PL量子収率(QYs)は、比較法により測定した。95%のQYを有する水中のローダミン6Gを参照溶液として使用した。また、試料のQY(=Q)は、基準スペクトルと、Q = Q(I×A×N)/(I×A×N)を用いて、同じ条件で得られたナノ粒子のコロイド分散体から計算した。ここで、Qは量子収率、IはPL強度、Aは吸光度、nは屈折率である。文字の右下の添字SとRは、それぞれ試料および参照溶液を示している。溶液に対する不均一な照射によるエラーを最小限にすべく、試料溶液は、0.1を下回る吸光度を保つように希釈した。
【産業上の利用可能性】
【0041】
本発明は、ホウ素中性子捕獲材に有用である。
【符号の説明】
【0042】
1,10 三元系化合物結晶
2 SiOターゲット
3 Bタブレット
4 BPOタブレット
5 Siチップ
6 スパッタリング装置
11 アモルファス薄膜
12 ステンレス基板
13 珪酸塩マトリクス
14 容器
15 フッ化水素酸溶液(HF)
16 メタノール(MeOH)
図1
図2
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図4
図5
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図12