特許6584503プラズマ浄化排気法及びその装置

発明の名称　プラズマ浄化排気法及びその装置

出願人　ブリュックナー・マシーネンバウ・ゲーエムベーハー・ウント・コー・カーゲー　（識別番号 510331593）

　　　　特許公開件数ランキング 2028 位（9件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 2358 位（6件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6584503

公報発行日　2019年10月2

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6584503

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