特許 6585669 マスク製造装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6585669

(24)【登録日】2019年9月13日

(45)【発行日】2019年10月2日

(54)【発明の名称】マスク製造装置

(51)【国際特許分類】

   C23C 14/04 20060101AFI20190919BHJP

【ＦＩ】

   C23C14/04 A

【請求項の数】5

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2017-143204(P2017-143204)

(22)【出願日】2017年7月25日

(65)【公開番号】特開2019-23334(P2019-23334A)

(43)【公開日】2019年2月14日

【審査請求日】2018年9月25日

(73)【特許権者】

【識別番号】510281944

【氏名又は名称】新東エスプレシジョン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100112427

【弁理士】

【氏名又は名称】藤本 芳洋

(72)【発明者】

【氏名】福山 智博

【審査官】 安齋 美佐子

(56)【参考文献】

【文献】 米国特許出願公開第２０１７／０１０６４７２（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 特開２０１５−００１０１２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１３／１５０６９９（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２００６−１１０６０７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１５−１４５５３２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｃ２３Ｃ １４／００−１４／５８

Ｈ０１Ｌ ２７／３２

Ｈ０５Ｂ ３３／００−３３／２８

Ｂ２３Ｋ ２６／００−２６／７０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

帯状のメタルマスクシートを枠状のメタルマスクフレームに溶接することによりメタルマスクを製造するマスク製造装置であって、
前記メタルマスクシートの両端部を互いに離間させる方向に移動させることにより前記メタルマスクシートに所定の張力を付与する張力部と、
前記メタルマスクフレームの一辺に前記メタルマスクシートの一端部を、前記メタルマスクフレームの前記一辺に対向する他辺に前記メタルマスクシートの他端部を溶接する溶接部と、
前記溶接部による溶接の際、前記メタルマスクシートの少なくとも一箇所を前記メタルマスクフレームに対して押し付ける押付け部と、を備え、
前記少なくとも一箇所は、前記溶接部による溶接箇所の近傍であって前記メタルマスクシートの中央部に対して前記溶接箇所より外側に位置し、
前記押付け部は、
鉛直方向に沿う方向に伸びる脚部と、
前記脚部の先端部から前記離間させる方向に沿う方向に向けて折り曲げて形成される足部と、
前記足部の先端部から前記メタルマスクシートの幅方向に沿う方向に向けて折り曲げて形成される折曲げ部と、
前記折曲げ部に設けられ、前記メタルマスクフレームに対して前記メタルマスクシートの少なくとも一箇所を押し付ける少なくとも１つの突部と、を備え、
前記溶接箇所は、前記足部と前記折曲げ部とで形成されるＬ字状に囲まれた空間内に位置することを特徴とするマスク製造装置。

【請求項2】

前記少なくとも一箇所と前記溶接箇所とを配列する方向は、前記離間させる方向と平行であることを特徴とする請求項１記載のマスク製造装置。

【請求項3】

前記押付け部は、前記メタルマスクシートの少なくとも二箇所を前記メタルマスクフレームに対して押付け、
前記少なくとも二箇所の内の第１箇所は、前記メタルマスクシートの中央部に対して前記溶接箇所より外側に位置し、前記少なくとも二箇所の内の第２箇所は、前記メタルマスクシートの中央部に対して前記溶接箇所より内側に位置することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のマスク製造装置。

【請求項4】

前記押付け部は、前記第１箇所を押し付ける第１押付け部と、前記第２箇所を押し付ける第２押付け部と、を備え、
前記第１押付け部は、
鉛直方向に沿う方向に伸びる第１脚部と、
前記第１脚部の先端部から前記離間させる方向に沿う方向に向けて折り曲げて形成される第１足部と、
前記第１足部の先端部から前記メタルマスクシートの幅方向に沿う方向に向けて折り曲げて形成される第１折曲げ部と、
前記第１折曲げ部に設けられ、前記メタルマスクフレームに対して前記第１箇所を押し付ける第１突部と、を備え、
前記第２押付け部は、
鉛直方向に沿う方向に伸びる第２脚部と、
前記第２脚部の先端部から前記離間させる方向に沿う方向に向けて折り曲げて形成される第２足部と、
前記第２足部の先端部から前記メタルマスクシートの幅方向に沿う方向に向けて折り
曲げて形成される第２折曲げ部と、
前記第２折曲げ部に設けられ、前記メタルマスクフレームに対して前記第２箇所を押し付ける第２突部と、を備え、
前記溶接箇所は、前記第１足部、前記第１折曲げ部、前記第２足部及び前記第２折曲げ部に囲まれた空間内に位置することを特徴とする請求項３記載のマスク製造装置。

【請求項5】

前記メタルマスクシートの厚さＴは、１０μｍ≦Ｔ≦３０μｍであることを特徴とする請求項１〜請求項４の何れか一項に記載のマスク製造装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、メタルマスクを製造するためのマスク製造装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来、有機ＥＬ素子の製造工程において有機発光層を真空蒸着する際に使用されるメタルマスクを製造する際に、クランプ機構で金属薄板に一定の張力を付与することにより、歪みのない状態で金属薄板を枠（メタルマスクフレーム）に貼り付ける金属薄板の枠貼り装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００４−３１１３３５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１等に記載の枠貼り装置（マスク製造装置）においては、一方のクランプで金属薄板（メタルマスクシート）の一端部を挟持し、他方のクランプでメタルマスクシートの他端部を挟持し、これらを互いに離間する方向に引っ張ることによりメタルマスクシートに張力を付与している。

【0005】

ところで、近年、メタルマスクシートの更なる薄膜化及びメタルマスクフレーム（メタルマスク）の更なる大型化が進んでいる。これらメタルマスクシートの薄膜化及びメタルマスクフレームの大型化により、メタルマスクフレームにメタルマスクシートを溶接する際に、メタルマスクフレームとメタルマスクシートとの間に隙間が生じ、溶接不良となる場合があった。そこで、溶接不良を防止するために、メタルマスクシートの溶接箇所の周囲をメタルマスクフレームに押し付ける技術が提案されている。しかしながら、メタルマスクシートの溶接箇所の周囲をメタルマスクフレームに押し付けることにより、メタルマスクシートに形成されているパターンの位置ずれが生じ、メタルマスクの精度が低下するという問題があった。

【0006】

本発明の目的は、メタルマスクフレームにメタルマスクシートを精度よく溶接することができるマスク製造装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明のマスク製造装置は、帯状のメタルマスクシートを枠状のメタルマスクフレームに溶接することによりメタルマスクを製造するマスク製造装置であって、前記メタルマスクシートの両端部を互いに離間させる方向に移動させることにより前記メタルマスクシートに所定の張力を付与する張力部と、前記メタルマスクフレームの一辺に前記メタルマスクシートの一端部を、前記メタルマスクフレームの前記一辺に対向する他辺に前記メタルマスクシートの他端部を溶接する溶接部と、前記溶接部による溶接の際、前記メタルマスクシートの少なくとも一箇所を前記メタルマスクフレームに対して押し付ける押付け部と、を備え、前記少なくとも一箇所は、前記溶接部による溶接箇所の近傍であって前記メタルマスクシートの中央部に対して前記溶接箇所より外側に位置し、前記押付け部は、鉛直方向に沿う方向に伸びる脚部と、前記脚部の先端部から前記離間させる方向に沿う方向に向けて折り曲げて形成される足部と、前記足部の先端部から前記メタルマスクシートの幅方向に沿う方向に向けて折り曲げて形成される折曲げ部と、前記折曲げ部に設けられ、前記メタルマスクフレームに対して前記メタルマスクシートの少なくとも一箇所を押し付ける少なくとも１つの突部と、を備え、前記溶接箇所は、前記足部と前記折曲げ部とで形成されるＬ字状に囲まれた空間内に位置することを特徴とする。

【0008】

また、本発明のマスク製造装置は、前記少なくとも一箇所と前記溶接箇所とを配列する方向が前記離間させる方向と平行であることを特徴とする。

【0010】

また、本発明のマスク製造装置は、前記押付け部が前記メタルマスクシートの少なくとも二箇所を前記メタルマスクフレームに対して押付け、前記少なくとも二箇所の内の第１箇所は、前記メタルマスクシートの中央部に対して前記溶接箇所より外側に位置し、前記少なくとも二箇所の内の第２箇所は、前記メタルマスクシートの中央部に対して前記溶接箇所より内側に位置することを特徴とする。

【0011】

また、本発明のマスク製造装置は、前記押付け部が前記第１箇所を押し付ける第１押付け部と、前記第２箇所を押し付ける第２押付け部と、を備え、前記第１押付け部は、鉛直方向に沿う方向に伸びる第１脚部と、前記第１脚部の先端部から前記離間させる方向に沿う方向に向けて折り曲げて形成される第１足部と、前記第１足部の先端部から前記メタルマスクシートの幅方向に沿う方向に向けて折り曲げて形成される第１折曲げ部と、前記第１折曲げ部に設けられ、前記メタルマスクフレームに対して前記第１箇所を押し付ける第１突部と、を備え、前記第２押付け部は、鉛直方向に沿う方向に伸びる第２脚部と、前記第２脚部の先端部から前記離間させる方向に沿う方向に向けて折り曲げて形成される第２足部と、前記第２足部の先端部から前記メタルマスクシートの幅方向に沿う方向に向けて折り曲げて形成される第２折曲げ部と、前記第２折曲げ部に設けられ、前記メタルマスクフレームに対して前記第２箇所を押し付ける第２突部と、を備え、前記溶接箇所は、前記第１足部、前記第１折曲げ部、前記第２足部及び前記第２折曲げ部に囲まれた空間内に位置することを特徴とする。

【0012】

また、本発明のマスク製造装置は、前記メタルマスクシートの厚さＴが１０μｍ≦Ｔ≦３０μｍであることを特徴とする。

【発明の効果】

【0013】

本発明によれば、メタルマスクフレームにメタルマスクシートを精度よく溶接することができるマスク製造装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】実施の形態に係るマスク製造装置の概略構成を示す斜視図である。

【図2】実施の形態に係る溶接装置の構成を示す正面図である。

【図3】実施の形態に係る溶接部及び押付け部の構成を示す拡大正面図である。

【図4】実施の形態に係る溶接部及び押付け部の構成を示す拡大左側面図である。

【図5】実施の形態に係る溶接部及び押付け部の構成を示す拡大底面図である。

【図6】実施の形態に係る溶接部及び押付け部の構成を示す拡大正面図である。

【図7】実施の形態に係る押付け部の構成を示す斜視図である。

【図8】溶接箇所、第１箇所及び第２箇所の位置関係を説明するための図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態に係るマスク製造装置について、有機ＥＬ素子の製造工程において有機発光層を真空蒸着する際に使用されるメタルマスクを製造するメタルマスク製造装置を例に挙げて説明する。図１は、この実施の形態に係るメタルマスク製造装置の概略構成を示す斜視図である。なお、以下の説明においては、図１に示すＸＹＺ直交座標系を設定し、この直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係等について説明する。ＸＹ平面は、メタルマスク製造装置を載置する水平面に平行な面に設定されており、Ｚ軸は、鉛直方向に設定されている。

【0016】

メタルマスク製造装置２は、図１に示すように、帯状のメタルマスクシート１８を枠状のメタルマスクフレーム２０に溶接することによりメタルマスクを製造するための装置であって、テーブル部４、張力部６、２つのガイドレール７、４つのガイドレール８、溶接装置１０、２つのガイドレール１２、及び基台１６を備えている。なお、メタルマスクは、メタルマスク製造装置２により複数のメタルマスクシート１８の両端部を枠状のメタルマスクフレーム２０を構成する対向する二辺に順次溶接することにより製造され、有機ＥＬ素子の製造工程において有機材の真空蒸着を行う際に使用される。メタルマスクシート１８の厚さＴは、１０μｍ≦Ｔ≦３０μｍであり、メタルマスクシート１８には、複数の正方形状、円形状、長方形状等の開口パターンがエッチングなどにより形成されている。

【0017】

テーブル部４は、矩形状の平板であり、メタルマスクフレーム２０をＸＹ平面に平行になるように載置する。張力部６は、メタルマスクシート１８の両端部を互いに離間させる方向（±Ｘ方向）に移動させることによりメタルマスクシート１８に所定の張力を付与する。２つのガイドレール７は、張力部６を±Ｙ方向にスライド可能に支持する。４つのガイドレール８は、溶接装置１０を±Ｙ方向にスライド可能に支持する。２つのガイドレール１２は、溶接装置１０を±Ｘ方向にスライド可能に支持する。

【0018】

図２はこの実施の形態に係る溶接装置１０の構成を示す正面図、図３は図２に示す円Ａで囲んだ部材の拡大正面図、図４は図２に示す円Ａで囲んだ部材の拡大左側面図、図５は図２に示す円Ａで囲んだ部材の拡大底面図である。溶接装置１０は、メタルマスクフレーム２０にメタルマスクシート１８を溶接するための装置であって、図２〜図５に示すように、溶接部２２及び押付け部２４を備えている。溶接部２２はメタルマスクフレーム２０にメタルマスクシート１８を溶接し、押付け部２４は溶接部２２による溶接の際にメタルマスクフレーム２０にメタルマスクシート１８を押し付ける。溶接部２２及び押付け部２４は、一体となってＺ方向に移動可能に構成されている。図６は、溶接部２２及び押付け部２４が図３に示す位置から−Ｚ方向に移動した状態を示す図である。溶接部２２及び押付け部２４は、溶接部２２により溶接が行われていないときには図３に示す位置に退避し、溶接部２２により溶接が行われているときには図６に示す位置に移動する。

【0019】

溶接部２２は、溶接部２２の先端部２２ａから出射するレーザ光をメタルマスクシート１８に照射することにより、メタルマスクフレーム２０にメタルマスクシート１８を溶接する。具体的には、溶接部２２は、メタルマスクフレーム２０の一辺（−Ｘ方向側に位置する辺）にメタルマスクシート１８の一端部（−Ｘ方向側の端部）を溶接し、メタルマスクフレーム２０の一辺に対向する他辺（＋Ｘ方向側に位置する辺）にメタルマスクシート１８の他端部（＋Ｘ方向側の端部）を溶接する。なお、レーザ光は、図示しない光源からファイバー等を介して溶接装置１０内に入射し、図示しない光学部材を介して溶接部２２の先端部２２ａから出射する。また、溶接する際、先端部２２ａとメタルマスクシート１８の表面との間には、窒素をブロウするため約０．５ｍｍの隙間が設けられている。

【0020】

押付け部２４は、溶接部２２による溶接の際、メタルマスクシート１８の少なくとも一箇所をメタルマスクフレーム２０に対して押し付ける。図７は、押付け部２４の構成を示す斜視図である。押付け部２４は、図３〜図７に示すように、支持部２６、第１脚部２８ａ、第２脚部２８ｂ、第１足部３０ａ、第２足部３０ｂ、第１折曲げ部３２ａ、第２折曲げ部３２ｂ、第１突部３４ａ、及び第２突部３４ｂを備えている。支持部２６は、溶接部２２の上部（＋Ｚ方向側）に取り付けられており、第１脚部２８ａ及び第２脚部２８ｂを支持する。第１脚部２８ａ及び第２脚部２８ｂの＋Ｚ方向側の先端部は支持部２６に固定されており、第１脚部２８ａは支持部２６の−Ｘ方向側に、第２脚部２８ｂは支持部２６の＋Ｘ方向側に固定されている。

【0021】

第１脚部２８ａは支持部２６から鉛直下方向（−Ｚ方向）に伸びており、第１足部３０ａは第１脚部２８ａの−Ｚ方向側の先端部から＋Ｘ方向に向けて折り曲げて形成されている。第１折曲げ部３２ａは、第１足部３０ａの＋Ｘ方向側の先端部から−Ｙ方向に向けて折り曲げて形成されている。第１折曲げ部３２ａには、−Ｚ方向側に凸を有する第１突部３４ａが形成されている。

【0022】

第２脚部２８ｂは支持部２６から鉛直下方向（−Ｚ方向）に伸びており、第２足部３０ｂは第２脚部２８ｂの−Ｚ方向側の先端部から−Ｘ方向に向けて折り曲げて形成されている。第２折曲げ部３２ｂは、第２足部３０ｂの−Ｘ方向側の先端部から＋Ｙ方向に向けて折り曲げて形成されている。第２折曲げ部３２ｂには、−Ｚ方向側に凸を有する第２突部３４ｂが形成されている。

【0023】

なお、第１脚部２８ａ及び第２脚部２８ｂは、−Ｚ方向に沿う方向、即ちＺ方向に対して微少量傾斜した方向に伸びるように構成してもよい。また、第１足部３０ａ及び第２足部３０ｂは、Ｘ方向に沿う方向、即ちＸ方向に対して微小量傾斜した方向に向けて折り曲げて形成されるように構成してもよい。また、第１折曲げ部３２ａ及び第２折曲げ部３２ｂは、Ｙ方向に沿う方向、即ちＹ方向に対して微少量傾斜した方向に向けて折り曲げて形成されるように構成してもよい。

【0024】

押付け部２４が溶接部２２とともに図３に示す位置から図６に示す位置に移動すると、第１突部３４ａ及び第２突部３４ｂは、メタルマスクシート１８の二箇所をそれぞれメタルマスクフレーム２０に押し付ける。例えばメタルマスクシート１８の二箇所をメタルマスクフレーム２０の−Ｘ方向側の一辺に押し付ける場合、図８に示すように、第１突部３４ａは、溶接箇所Ｗ１の近傍であって溶接箇所Ｗ１より＋Ｘ方向側にあるメタルマスクシート１８の一箇所（第１箇所）Ｐ１に＋Ｘ方向側に力を付与した状態で第１箇所Ｐ１をメタルマスクフレーム２０に押し付ける。同時に、第２突部３４ｂは、溶接箇所Ｗ１の近傍であって溶接箇所Ｗ１より−Ｘ方向側にあるメタルマスクシート１８の一箇所（第２箇所）Ｐ２に−Ｘ方向側に力を付与した状態で第２箇所Ｐ２をメタルマスクフレーム２０に押し付ける。ここで、第１箇所Ｐ１は、点または面であり、メタルマスクシート１８の中央部に対して溶接箇所Ｗ１より外側に位置している。第２箇所Ｐ２は、点または面であり、メタルマスクシート１８の中央部に対して溶接箇所Ｗ１より内側に位置している。また、第１箇所Ｐ１、溶接箇所Ｗ１及び第２箇所Ｐ２は、Ｘ方向に配列される。即ち、第１箇所Ｐ１、溶接箇所Ｗ１及び第２箇所Ｐ２を配列する方向は、メタルマスクシート１８に張力を付与する方向（メタルマスクシート１８の一端部と他端部とを離間させる方向：Ｘ方向）と平行である。

【0025】

溶接箇所Ｗ１は、第１足部３０ａと第１折曲げ部３２ａとで形成されるＬ字状に囲まれた空間内（第２足部３０ｂと第２折曲げ部３２ｂとで形成されるＬ字状に囲まれた空間内）、即ち第１足部３０ａ、第１折曲げ部３２ａ、第２足部３０ｂ及び第２折曲げ部３２ｂに囲まれた空間内に位置している。

【0026】

溶接部２２は、溶接箇所Ｗ１以外にもメタルマスクシート１８の一端部の数箇所（例えば図８に示す溶接箇所Ｗ２，Ｗ３）をメタルマスクフレーム２０の−Ｘ方向側の一辺に溶接する。また、溶接部２２は、メタルマスクシート１８の他端部の数箇所をメタルマスクフレーム２０の＋Ｘ方向側の他辺に溶接する。

【0027】

メタルマスクシート１８の他端部をメタルマスクフレーム２０の＋Ｘ方向側の他辺に溶接する際、第１突部３４ａは、溶接箇所の近傍であって溶接箇所より＋Ｘ方向側にあるメタルマスクシート１８の一箇所（第３箇所）に＋Ｘ方向側に力を付与した状態で第３箇所をメタルマスクフレーム２０に押し付ける。同時に、第２突部３４ｂは、溶接箇所の近傍であって溶接箇所より−Ｘ方向側にあるメタルマスクシート１８の一箇所（第４箇所）に−Ｘ方向側に力を付与した状態で第４箇所をメタルマスクフレーム２０に押し付ける。ここで、第３箇所は、点または面であり、メタルマスクシート１８の中央部に対して溶接箇所より内側に位置している。第４箇所は、点または面であり、メタルマスクシート１８の中央部に対して溶接箇所より外側に位置している。また、第３箇所、溶接箇所及び第４箇所は、Ｘ方向に配列される。即ち、第３箇所、溶接箇所及び第４箇所を配列する方向は、メタルマスクシート１８に張力を付与する方向（メタルマスクシート１８の一端部と他端部とを離間させる方向：Ｘ方向）と平行である。溶接箇所は、第１足部３０ａと第１折曲げ部３２ａとで形成されるＬ字状に囲まれた空間内（第２足部３０ｂと第２折曲げ部３２ｂとで形成されるＬ字状に囲まれた空間内）、即ち第１足部３０ａ、第１折曲げ部３２ａ、第２足部３０ｂ及び第２折曲げ部３２ｂに囲まれた空間内に位置している。

【0028】

この実施の形態に係るメタルマスク製造装置２においてメタルマスクを製造する際には、まず張力部６によりメタルマスクシート１８の両端部に所定の張力が付与された状態で、張力部６（メタルマスクシート１８）をガイドレール７に沿ってＹ方向に移動させることにより、メタルマスクシート１８をメタルマスクフレーム２０上の所定の位置（溶接する位置）まで移動させる。次に、溶接装置１０をガイドレール１２に沿ってＸ方向に移動させ、ガイドレール８に沿ってＹ方向に移動させることにより、溶接装置１０をメタルマスクシート１８上の所定の位置（溶接する位置）まで移動させる。更に張力部６によりメタルマスクシート１８の両端部に張力を付与した後、溶接装置１０によりメタルマスクシート１８の所定箇所をメタルマスクフレーム２０の所定箇所に溶接する。具体的には、溶接部２２及び押付け部２４を図３に示す位置から図６に示す位置に移動させて、第１突部３４ａ及び第２突部３４ｂによりメタルマスクシート１８の二箇所（溶接箇所近傍の二箇所）をメタルマスクフレーム２０に押し付ける。そして、溶接部２２の先端部２２ａとメタルマスクシート１８の表面との間に窒素をブロウし、先端部２２ａから出射するレーザ光をメタルマスクシート１８に照射することにより、メタルマスクフレーム２０の所定箇所にメタルマスクシート１８の所定箇所を溶接する。

【0029】

次に、溶接装置１０をガイドレール８に沿ってＹ方向に移動させ、必要に応じてガイドレール１２に沿ってＸ方向に移動させることにより、溶接装置１０をメタルマスクシート１８上の次の溶接位置まで移動させる。そして、メタルマスクフレーム２０にメタルマスクシート１８を溶接し終えるまで、上述の溶接処理を繰り返す。また、このようにして所定枚数のメタルマスクシート１８をメタルマスクフレーム２０に溶接することによりメタルマスクが製造される。

【0030】

この実施の形態に係るメタルマスク製造装置２によれば、押付け部２４を備えているため、メタルマスクシート１８をメタルマスクフレーム２０に溶接する際、溶接箇所近傍においてメタルマスクシート１８をメタルマスクフレーム２０に精度よく押し付けることができる。したがって、溶接箇所においてメタルマスクシート１８とメタルマスクフレーム２０との間に隙間が生じるのを抑制することができるため、メタルマスクシート１８の薄膜化及びメタルマスクフレーム２０（メタルマスク）の大型化による溶接不良を解消することができる。また、メタルマスクフレーム２０に対するメタルマスクシート１８の位置ずれを抑制することができるため、位置ずれによるメタルマスクの精度悪化を防止することができ、良好なメタルマスクを製造することができる。また、メタルマスクシート１８の溶接箇所近傍の二箇所を溶接箇所に対して外側に力を付与した状態でメタルマスクフレーム２０に押し付けて溶接するため、メタルマスクシート１８に撓みや皺が生じた状態で溶接させることを防止することができる。

【0031】

なお、上述の実施の形態においては、溶接の際、押付け部２４によりメタルマスクシート１８の溶接箇所近傍の二箇所をメタルマスクフレーム２０に押し付けているが、メタルマスクシート１８の溶接箇所近傍の少なくとも一箇所（一箇所または三箇所以上）をメタルマスクフレーム２０に押し付ける構成にしてもよい。メタルマスクシート１８の一箇所をメタルマスクフレーム２０に押し付ける場合には、該一箇所はメタルマスクシート１８の中央部に対して溶接箇所より外側に位置することが好ましい。

【0032】

また、上述の実施の形態においては、押付け部２４によりメタルマスクシート１８をメタルマスクフレーム２０に押し付ける二箇所はメタルマスクシート１８の溶接箇所とＸ方向に対して平行となるように配置されているが、溶接箇所の近傍であればよい。

【符号の説明】

【0033】

２…メタルマスク製造装置、４…テーブル部、６…張力部、８…ガイドレール、１０…溶接装置、１２…ガイドレール、１６…基台、１８…メタルマスクシート、２０…メタルマスクフレーム、２２…溶接部、２４…押付け部、２６…支持部、２８ａ…第１脚部、２８ｂ…第２脚部、３０ａ…第１足部、３０ｂ…第２足部、３２ａ…第１折曲げ部、３２ｂ…第２折曲げ部、３４ａ…第１突部、３４ｂ…第２突部。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】