特許6586420ヒドリドシランを含む組成物の重合及びそれに次ぐケイ素含有層の製造のためのその重合体の使用のための方法及び装置

発明の名称　ヒドリドシランを含む組成物の重合及びそれに次ぐケイ素含有層の製造のためのその重合体の使用のための方法及び装置

出願人　フォルシュングスツェントルム・ユーリッヒ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング　（識別番号 390035448）

　　　　特許公開件数ランキング 31345 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 9401 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6586420

公報発行日　2019年10月2

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6586420

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