6586622 蛍光Ｘ線分析装置用の試料ホルダ並びに試料ホルダ作成治具及び蛍光Ｘ線分析装置用の試料の作製方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6586622

(24)【登録日】2019年9月20日

(45)【発行日】2019年10月9日

(54)【発明の名称】蛍光Ｘ線分析装置用の試料ホルダ並びに試料ホルダ作成治具及び蛍光Ｘ線分析装置用の試料の作製方法

(51)【国際特許分類】

   G01N 23/223 20060101AFI20191001BHJP

   G01N 23/20025 20180101ALI20191001BHJP

   G01N 1/28 20060101ALI20191001BHJP

【ＦＩ】

   G01N23/223

   G01N23/20025

   G01N1/28 W

【請求項の数】13

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2017-159592(P2017-159592)

(22)【出願日】2017年8月22日

(65)【公開番号】特開2018-205290(P2018-205290A)

(43)【公開日】2018年12月27日

【審査請求日】2018年10月12日

(31)【優先権主張番号】特願2017-108210(P2017-108210)

(32)【優先日】2017年5月31日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000250339

【氏名又は名称】株式会社リガク

(74)【代理人】

【識別番号】110000154

【氏名又は名称】特許業務法人はるか国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】松田 渉

(72)【発明者】

【氏名】井上 稔

【審査官】 佐藤 仁美

(56)【参考文献】

【文献】 特開平１０−０１９８１２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１５−１５２３８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０００−２６６７０５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１０−１９７４５９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２０１４／０１４６９４０（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 米国特許第４９７４２４４（ＵＳ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｎ １／００−１／４４

２３／００−２３／２２７６

Ｈ０１Ｊ ３７／２０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

液体状の試料が配置される孔を有する支持基板と、該孔を覆うように該支持基板のＸ線の入射側の面に接着された第１樹脂フィルムと、該支持基板の該第１樹脂フィルムが接着された面の裏面に設けられた接着層と、を有する第１基板と、
前記支持基板が有する孔と対応する位置に孔を有する固定基板と、該固定基板の前記Ｘ線の入射側の面に接着された第２樹脂フィルムと、を有し、前記接着層によって前記第１基板と接着される第２基板と、
を有することを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置用の試料ホルダ。

【請求項2】

前記固定基板は、可撓性を有することを特徴とする請求項１に記載の試料ホルダ。

【請求項3】

前記固定基板は、前記支持基板よりも薄いことを特徴とする請求項２に記載の試料ホルダ。

【請求項4】

前記第１基板と、前記第２基板を接着する接着層は、糊剤と、第３樹脂フィルムと、糊剤が積層されて形成されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の試料ホルダ。

【請求項5】

前記蛍光Ｘ線分析装置は、上面照射型の蛍光Ｘ線分析装置であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の試料ホルダ。

【請求項6】

前記支持基板と前記固定基板は、色が異なることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の試料ホルダ。

【請求項7】

前記第１樹脂フィルム及び第２樹脂フィルムは、ポリプロピレン、ポリエステルまたはポリイミドで形成されることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の試料ホルダ。

【請求項8】

前記第３樹脂フィルムは、発泡体で形成されることを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の試料ホルダ。

【請求項9】

請求項１乃至８のいずれかに記載の試料ホルダを作成する為の試料ホルダ作成治具であって、
前記第１基板の外形状の一部と同じ外形状を有する平面形状であって、前記第１基板が載置される平板部と、
前記外形状に対応する部分の縁に沿って、前記平板部の前記第１基板が載置される面に対して立設される前記第１基板を固定するガイド部と、
を有することを特徴とする試料ホルダ作成治具。

【請求項10】

前記平板部は、前記支持基板の前記孔の外延を示す指標を有することを特徴とする請求項９に記載の試料ホルダ作成治具。

【請求項11】

ポリエチレンテレフタラートで形成されることを特徴とする請求項９または１０に記載の試料ホルダ作成治具。

【請求項12】

孔を有する支持基板と、該孔を覆うように該支持基板のＸ線の入射側の面に接着された第１樹脂フィルムと、該支持基板の該第１樹脂フィルムが接着された面の裏面に設けられた接着層と、を有する第１基板に対して、該孔と前記第１樹脂フィルムで形成される凹部に液体状の試料を滴下する工程と、
前記支持基板が有する孔と対応する位置に孔を有する固定基板と、該固定基板の前記Ｘ線の入射側の面に接着された第２樹脂フィルムと、を有する第２基板を、前記接着層によって前記第１基板に貼り合せる工程と、
を有することを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置用の試料の作製方法。

【請求項13】

さらに、前記第１基板の外形状の一部と同じ外形状を有する平面形状であって、前記第１基板が載置される平板部と、前記外形状に対応する部分の縁に沿って、前記平板部の前記第１基板が載置される面に対して立設される前記第１基板を固定するガイド部と、を有する試料ホルダ作成治具に、前記第１基板を載置する工程を含むことを特徴とする請求項１２に記載の蛍光Ｘ線分析装置用の試料の作製方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、蛍光Ｘ線分析装置用の試料ホルダ並びに試料ホルダ作成治具及び蛍光Ｘ線分析装置用の試料の作製方法、に関する。

【背景技術】

【0002】

測定対象となる試料にＸ線を照射し、出射された蛍光Ｘ線に基づいて試料に含まれる元素を検出する蛍光Ｘ線分析装置が知られている。測定対象は、固形状の試料に限られず、液体状、すなわち流動性を有する試料の場合もある。

【0003】

例えば、特許文献１は、流動性を有する試料及び測定方法を開示している。具体的には、まず、底面に孔の開いた支持基板と、その孔を塞ぐように張り付けられた樹脂フィルムと、によって形成される凹部に流動性を有する試料が充填される。次に、その充填された試料の表面を覆うように多孔質フィルムが配置される点が開示されている。

【0004】

また、蛍光Ｘ線分析装置のＸ線管や検出器等が試料の下側に配置されている場合、液体状の試料が測定中に測定容器からこぼれると蛍光Ｘ線分析装置の深刻な故障の原因となる。そのため、液体状の試料が測定対象である場合、Ｘ線管や検出器等が試料の上側に配置された上面照射型の蛍光Ｘ線分析装置が用いられる。例えば、気泡溜めを有する容器に液体の試料を充填し、気泡が測定面に位置しないようにされた試料を、上面照射用の蛍光Ｘ線分析装置を用いて分析する方法が知られている。

【0005】

さらに、液体状の試料を点滴乾燥させてから測定する方法も知られている。例えば、濾紙に滴下した液体の試料を乾燥させた状態で蛍光Ｘ線分析を行う方法が知られている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開平１０−１９８１２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

上記特許文献１に記載された測定用試料は、多孔質フィルムが用いられている。その為、充填された試料が低粘性や揮発性である場合、試料が多孔質フィルムの孔を通り抜けてしまい、測定することができない。

【0008】

また、気泡溜めを有する容器に液体状の試料を充填する場合、気泡が測定面に位置しないようにするために一定の体積より多くの試料が必要である。その為、当該容器を用いて蛍光Ｘ線分析を行う方法は、試料が少量しかない場合には適用できない。

【0009】

さらに、濾紙に滴下された液体の試料を乾燥させた後で蛍光Ｘ線分析を行う点滴乾燥法は、液体が乾燥しない材質である場合、適用することができない。

【0010】

本発明は上記課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、上面照射型の蛍光Ｘ線分析装置で測定を行う場合に、少量かつ点滴乾燥することのできない液体状の試料の測定を可能とする蛍光Ｘ線分析装置用の試料ホルダ及び蛍光Ｘ線分析装置用の試料の作製方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0011】

請求項１に記載の蛍光Ｘ線分析装置用の試料ホルダは、液体状の試料が配置される孔を有する支持基板と、該孔を覆うように該支持基板のＸ線の入射側の面に接着された第１樹脂フィルムと、該支持基板の該第１樹脂フィルムが接着された面の裏面に設けられた接着層と、を有する第１基板と、前記支持基板が有する孔と対応する位置に孔を有する固定基板と、該固定基板の前記Ｘ線の入射側の面に接着された第２樹脂フィルムと、を有し、前記接着層によって前記第１基板と接着される第２基板と、を有することを特徴とする。

【0012】

請求項２に記載の試料ホルダは、請求項１に記載の試料ホルダにおいて、前記固定基板は、可撓性を有することを特徴とする。

【0013】

請求項３に記載の試料ホルダは、請求項２に記載の試料ホルダにおいて、前記固定基板は、前記支持基板よりも薄いことを特徴とする。

【0014】

請求項４に記載の試料ホルダは、請求項１乃至３のいずれかに記載の試料ホルダにおいて、前記第１基板と、前記第２基板を接着する接着層は、糊剤と、第３樹脂フィルムと、糊剤が積層されて形成されることを特徴とする。

【0015】

請求項５に記載の試料ホルダは、請求項１乃至４のいずれかに記載の試料ホルダにおいて、前記蛍光Ｘ線分析装置は、上面照射型の蛍光Ｘ線分析装置であることを特徴とする。

【0016】

請求項６に記載の試料ホルダは、請求項１乃至５のいずれかに記載の試料ホルダにおいて、前記支持基板と前記固定基板は、色が異なることを特徴とする。

【0017】

請求項７に記載の試料ホルダは、請求項１乃至６のいずれかに記載の試料ホルダにおいて、前記第１樹脂フィルム及び第２樹脂フィルムは、ポリプロピレン、ポリエステルまたはポリイミドで形成されることを特徴とする。

【0018】

請求項８に記載の試料ホルダは、請求項１乃至７のいずれかに記載の試料ホルダにおいて、前記第３樹脂フィルムは、発泡体で形成されることを特徴とする。

【0019】

請求項９に記載の試料ホルダ作成治具は、請求項１乃至８のいずれかに記載の試料ホルダを作成する為の試料ホルダ作成治具であって、前記第１基板の外形状の一部と同じ外形状を有する平面形状であって、前記第１基板が載置される平板部と、前記外形状に対応する部分の縁に沿って、前記平板部の前記第１基板が載置される面に対して立設される前記第１基板を固定するガイド部と、を有することを特徴とする。

【0020】

請求項１０に記載の試料ホルダ作成治具は、請求項９に記載の試料ホルダ作成治具において、前記平板部は、前記支持基板の前記孔の外延を示す指標を有することを特徴とする。

【0021】

請求項１１に記載の試料ホルダ作成治具は、請求項９または１０に記載の試料ホルダ作成治具において、ポリエチレンテレフタラートで形成されることを特徴とする。

【0022】

請求項１２に記載の蛍光Ｘ線分析装置用の試料の作製方法は、孔を有する支持基板と、該孔を覆うように該支持基板のＸ線の入射側の面に接着された第１樹脂フィルムと、該支持基板の該第１樹脂フィルムが接着された面の裏面に設けられた接着層と、を有する第１基板に対して、該孔と前記第１樹脂フィルムで形成される凹部に液体状の試料を滴下する工程と、前記支持基板が有する孔と対応する位置に孔を有する固定基板と、該固定基板の前記Ｘ線の入射側の面に接着された第２樹脂フィルムと、を有する第２基板を、前記接着層によって前記第１基板に貼り合せる工程と、を有することを特徴とする。

【0023】

請求項１３に記載の蛍光Ｘ線分析装置用の試料の作製方法は、請求項１２に記載の蛍光Ｘ線分析装置用の試料の作製方法において、さらに、前記第１基板の外形状の一部と同じ外形状を有する平面形状であって、前記第１基板が載置される平板部と、前記外形状に対応する部分の縁に沿って、前記平板部の前記第１基板が載置される面に対して立設される前記第１基板を固定するガイド部と、を有する試料ホルダ作成治具に、前記第１基板を載置する工程を含むことを特徴とする。

【発明の効果】

【0024】

請求項１及び５乃至１２に記載の発明によれば、少量かつ点滴乾燥することのできない液体状の試料を、上面照射型の蛍光Ｘ線分析装置で測定できる。

【0025】

また、請求項２及び３に記載の発明によれば、試料を試料ホルダに充填する際に、混入する気泡を少なくすることが出来る。

【0026】

また、請求項４に記載の発明によれば、充填した液体状の試料が試料ホルダの外部に滲み出ることを防止できる。

【0027】

また、請求項９乃至１１及び１３に記載の発明によれば、試料ホルダの作成精度を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【0028】

【図1】本発明の実施形態に係る試料ホルダを概略的に示す図である。

【図2】試料を試料ホルダに充填する工程を示す図である。

【図3】試料を試料ホルダに充填する工程を示す図である。

【図4】試料を試料ホルダに充填する工程を示す図である。

【図5】試料を試料ホルダに充填する工程を示す図である。

【図6】試料を試料ホルダに充填する工程を示す図である。

【図7】試料を試料ホルダに充填する工程を示す図である。

【図8】試料ホルダ作成治具を概略的に示す図である。

【図9】試料ホルダ作成治具を用いて試料を試料ホルダに充填する工程を示す図である。

【図10】試料ホルダ作成治具を用いて試料を試料ホルダに充填する工程を示す図である。

【図11】試料ホルダ作成治具を用いて試料を試料ホルダに充填する工程を示す図である。

【図12】試料ホルダ作成治具を用いて試料を試料ホルダに充填する工程を示す図である。

【図13】蛍光Ｘ線分析装置を用いて測定する方法について説明するための図である。

【発明を実施するための形態】

【0029】

以下、本発明を実施するための好適な実施の形態（以下、実施形態という）を説明する。図１は本発明に係る試料ホルダ１００を概略的に示す図である。図１（ａ）は、試料ホルダ１００の断面を示す図であり、図１（ｂ）は、試料ホルダ１００を上側から見た図である。

【0030】

図１に示すように、試料ホルダ１００は、第１基板１０２と、第２基板１０４と、を有する。第１基板１０２は、支持基板１０６と、第１樹脂フィルム１０８と、接着層１１０と、糊剤１１４と、を有する。

【0031】

支持基板１０６は、例えば図１（ｂ）に示すように、直径５０ｍｍの円板状の基板であって、中央部に直径３２ｍｍの円形状の孔１１２が設けられる。液体状の試料２００は、支持基板１０６の孔１１２と、支持基板１０６に接着された第１樹脂フィルム１０８と、によって形成される凹部に配置される。支持基板１０６は、例えば、厚さ０．５〜２ｍｍのポリカーボネート、ポリプロピレンまたはポリエチレンテレフタレート等で形成される。

【0032】

第１樹脂フィルム１０８は、該孔１１２を覆うように支持基板１０６のＸ線の入射側の面に接着される。具体的には、第１樹脂フィルム１０８は、支持基板１０６に設けられた孔１１２をふさぐように、支持基板１０６のＸ線の入射側の面に糊剤１１４で接着される。当該糊剤１１４は、接着層１１０と同じ構成で形成されるのが望ましい。

【0033】

また、第１樹脂フィルム１０８は、Ｘ線透過率が高く、気密性及び液密性を有する厚さ０．１〜２５μｍの薄い樹脂で形成される。具体的には、例えば、第１樹脂フィルム１０８は、６μｍの厚さのポリプロピレン、ポリエステルまたはポリイミドで形成される。第１樹脂フィルム１０８が気密性及び液密性を有することで、液体試料を密閉した状態で蛍光Ｘ線分析装置１３００による測定を行うことができる。また、第１樹脂フィルム１０８を薄い樹脂で形成することで、蛍光Ｘ線分析装置１３００による測定結果に含まれる散乱線の影響を低減し、高感度かつ高精度に測定することができる。

【0034】

また、第１樹脂フィルム１０８は、透明性を有する樹脂で形成される。第１樹脂フィルム１０８が透明または半透明であれば、液体状の試料２００に気泡が混入したか否かを外部から視認できる。

【0035】

接着層１１０は、糊剤１１４と、第３樹脂フィルム１１６と、糊剤１１４が積層されて形成され、第１基板１０２と、第２基板１０４を接着する。具体的には、例えば、接着層１１０は、芯材の表面と裏面に糊剤１１４が付された両面テープである。芯材である第３樹脂フィルム１１６は、例えば、液体状の試料２００の浸透を抑制する発泡性を付加したポリオレフィン等の発泡体で形成される。これにより、第１基板１０２と第２基板１０４が貼り合わされた後で、液体状の試料２００が、第１基板１０２と第２基板１０４の界面からにじみ出ることを防止できる。

【0036】

接着層１１０は、第１基板１０２と第２基板１０４が貼り合せられる前の状態では、糊剤１１４の表面を保護する剥離紙が付される。当該剥離紙は、第１基板１０２と第２基板１０４を貼り合せる前に剥離される。

【0037】

第２基板１０４は、固定基板１１８と、第２樹脂フィルム１２０と、糊剤１１４と、を有する。固定基板１１８は、支持基板１０６が有する孔１１２と対応する位置に孔１２２を有する。具体的には、例えば図１（ｂ）に示すように、固定基板１１８は、直径５０ｍｍの円板状の基板であって、支持基板１０６と同様に中央部に直径３２ｍｍの円形状の孔１２２が設けられる。なお、図１（ａ）に示すように、支持基板１０６に設けられる孔１１２と固定基板１１８に設けられる孔１２２の位置及び大きさは、貼り合せられた後に一致することが望ましい。

【0038】

固定基板１１８は、可撓性を有する。具体的には、例えば、固定基板１１８は、高い可撓性を有する、厚さ０．５〜１．５ｍｍのポリカーボネート、ポリプロピレンまたはポリエチレンテレフタレートで形成されてもよいし、当該材料よりも可撓性の高い材料で形成されてもよい。可撓性が高くなるように、固定基板１１８は、支持基板１０６よりも薄く形成されてもよい。具体的には、例えば、固定基板１１８の厚さは０．５ｍｍであり、支持基板１０６の厚さは０．８ｍｍである。

【0039】

支持基板１０６と固定基板１１８は、異なる色で形成される。具体的には、例えば、支持基板１０６が白色で形成されるのに対して、固定基板１１８は黒色で形成される。支持基板１０６と固定基板１１８とを異なる色にすることで、測定面を容易に識別できる。

【0040】

第２樹脂フィルム１２０は、固定基板１１８のＸ線の入射側の面に接着される。具体的には、第２樹脂フィルム１２０は、固定基板１１８に設けられた孔１２２をふさぐように、固定基板１１８のＸ線の入射側の面に接着剤で接着される。Ｘ線の入射側の面は、第１基板１０２と貼り合せられる面である。

【0041】

また、第２樹脂フィルム１２０は、気密性及び液密性を有する厚さ０．１〜２５μｍの薄い樹脂で形成される。具体的には、第２樹脂フィルム１２０は、第１樹脂フィルム１０８と同様に、ポリプロピレン、ポリエステルまたはポリイミドによって、６μｍの厚さで形成される。第２樹脂フィルム１２０が気密性及び液密性を有することで、液体試料を密閉した状態で蛍光Ｘ線分析装置１３００による測定を行うことができる。また、第２樹脂フィルム１２０を薄い樹脂で形成することで、蛍光Ｘ線分析装置１３００による測定結果に含まれる散乱線の影響を低減し、高精度に測定することができる。

【0042】

第２樹脂フィルム１２０は、支持基板１０６と第１樹脂フィルム１０８とで形成される凹部の開口面を覆うように第１基板１０２に貼り合わされる。これにより、第２樹脂フィルム１２０は、当該凹部に充填された液体状の試料２００を密閉する。

【0043】

第２基板１０４に設けられた糊剤１１４は、固定基板１１８と第２樹脂フィルム１２０を貼り合せる。なお、図１は、固定基板１１８と第２樹脂フィルム１２０の間に糊剤１１４のみが設けられる構成を記載している。しかし、固定基板１１８と第２樹脂フィルム１２０の間に、接着層１１０と同じように、糊剤１１４と、第３樹脂フィルム１１６と、糊剤１１４とが積層された構成が設けられることがより望ましい。

【0044】

続いて、上記試料ホルダ１００に液体状の試料２００を充填し、蛍光Ｘ線分析装置１３００用の試料を作製する方法について説明する。図２及び図３は、孔１１２を有する支持基板１０６と、該孔１１２を覆うように支持基板１０６のＸ線の入射側の面に接着された第１樹脂フィルム１０８と、接着層１１０と、を有する第１基板１０２に対して、該孔１１２と第１樹脂フィルム１０８で形成される凹部に液体状の試料２００を滴下する工程を示す図である。

【0045】

具体的には、まず、図２に示すように、第１基板１０２は、清浄な平らな面に、第１基板１０２の第１樹脂フィルム１０８を下に向けた状態で配置される。そして、測定対象である液体状の試料２００が、凹部に滴下される。例えば、凹部の直径が３２ｍｍであり、支持基板１０６の厚さが０．８ｍｍである場合、約１ｍＬの試料が滴下される。

【0046】

図３は、液体状の試料２００が滴下された後の第１基板１０２を示す図である。図３に示すように、試料は、表面張力によって、試料の表面が第１基板１０２に設けられた接着層１１０の表面よりも少し高い位置となるように滴下される。そして、図３では省略しているが、接着層１１０の表面に付された剥離紙が剥離され、糊剤１１４が露出する。

【0047】

滴下した試料２００を零さないよう、剥離紙は、試料を滴下する前に剥離しておくのが望ましい。また、剥離紙を剥離した支持基板１０６と固定基板１１８の質量を予め測定しておき、試料２００を充填した試料ホルダ１００の質量から差し引いて、充填された試料２００の質量を算出し、蛍光Ｘ線分析の補正に用いることができる。

【0048】

図４乃至図６は、支持基板１０６が有する孔１１２と対応する位置に孔１２２を有する固定基板１１８と、固定基板１１８のＸ線の入射側の面に接着された第２樹脂フィルム１２０と、を有する第２基板１０４を、接着層１１０によって第１基板１０２に貼り合せる工程を示す図である。

【0049】

図４に示すように、試料が滴下された第１基板１０２に対して、第２樹脂フィルム１２０が接着された面を第１基板１０２に向けて、第２基板１０４が貼り合わされる。固定基板１１８は、可撓性を有する。そのため、図５に示すように、第１基板１０２に対して凸面になるよう第２基板１０４を弓状にしならせて縁を合わせた後、第２基板１０４を徐々に貼り合せることで試料に混入する気泡を低減できる。

【0050】

また、図６に示すように、第１基板１０２に対して凸面になるよう第２基板１０４の両端を弓状にしならせて、接着層１１０の表面よりも少し高い位置となる液体状の試料２００の中央部と、第２樹脂フィルム１２０の中央部と、を接触させた状態から、第２基板１０４を直径に当たる中央線付近から両端に向けて徐々に貼り合せてもよい。これにより、試料に混入する気泡を低減できる。

【0051】

第２樹脂フィルム１２０は、透明性を有する樹脂で形成される。第２樹脂フィルム１２０が透明または半透明であれば、液体状の試料２００に気泡が混入しないように視認しながら張り合わせることができる。

【0052】

図７は、試料が充填された後、第１基板１０２と第２基板１０４が貼り合わされた状態の試料ホルダ１００を示す図である。第１基板１０２が平らな面に配置された状態で第１基板１０２と第２基板１０４が貼り合わされるため、試料が充填された状態でも第１樹脂フィルム１０８は平坦に張られた状態となる。

【0053】

続いて、上記試料ホルダ１００を作成する為の試料ホルダ作成治具８００について説明する。図８（ａ）は、試料ホルダ作成治具８００を上面から見た図であり、図８（ｂ）は、試料ホルダ作成治具８００を側面から見た図である。試料ホルダ作成治具８００は、平板部８０２と、ガイド部８０４と、を有する。

【0054】

平板部８０２は、第１基板１０２の外形状の一部と同じ外形状を有する平面形状であって、第１基板１０２が載置される。具体的には、平板部８０２は、外形状が円形である第１基板１０２の一部を切り欠いた外形状を有する平面形状である。例えば、図８（ａ）に示すように、平板部８０２は、図面上第１基板１０２の中心から同じ距離離れた上側の領域と下側の領域を切り欠いた形状である。また、平板部８０２は、後述するように、第１基板１０２の第１樹脂フィルム１０８が設けられた面が接するように、第１基板１０２が載置される。

【0055】

なお、平板部８０２は、支持基板１０６の孔１１２の外延を示す指標８０６を有するようにしてもよい。具体的には、支持基板１０６の孔１１２の外延と対応する位置に、ケガキ線や模様等の指標８０６を設けてもよい。これにより、平板部８０２に第１基板１０２を載置した際に、孔１１２と対応する領域が明確となる。

【0056】

ガイド部８０４は、外形状に対応する部分の縁に沿って、平板部８０２の第１基板１０２が載置される面に対して立設される第１基板１０２を固定する。具体的には、図８（ａ）に示すように、ガイド部８０４は、平板部８０２の弧状の部分の縁に沿って、平板部８０２の第１基板１０２が載置される面に対して垂直に形成される。なお、ガイド部８０４は、平板部８０２に第１基板１０２が載置された場合に、第１基板１０２を固定するために、ガイド部８０４の内側側面と第１基板１０２の外側側面の隙間が１ｍｍ以内となることが望ましい。

【0057】

続いて、上記試料ホルダ作成治具８００を用いて試料ホルダ１００を作成する方法について説明する。図９乃至１２は、試料ホルダ作成治具８００を用いて試料２００を試料ホルダ１００に充填する工程を示す図である。

【0058】

まず、平板部８０２の第１基板１０２が載置される面を清掃する。清掃することで、後述する蛍光Ｘ線分析を行う際に、試料ホルダ１００に不純物が付着することを防止できる。平板部８０２に指標８０６が設けられていることから、測定対象となる試料２００が充填される領域と対応する位置が明確となる。従って、指標８０６の内側を清掃することで不純物の付着による測定精度の低下を防止することが出来る。

【0059】

次に、図９（ａ）に示すように、平板部８０２のガイド部８０４が形成されている面に対して、第１基板１０２が載置される。これにより、第１基板１０２は、ガイド部８０４によって固定される。図９（ｂ）は、図９（ａ）のIX−IX断面を示す図である。図９（ｂ）に示すように、第１基板１０２は、第１樹脂フィルム１０８が平板部８０２と接するように載置される。なお、図９（ｂ）は、接着層１１０の表面に付された剥離紙が剥離され、糊剤１１４が露出した状態を示す。

【0060】

次に、図１０（ａ）及び図１０（ｂ）に示すように、測定対象である液体状の試料２００が、凹部に滴下される。当該試料２００を滴下する方法は、図２で示した方法と同様である。なお、図１０（ｂ）は、図１０（ａ）のX−X断面を示す図である。

【0061】

次に図１１（ａ）及び図１１（ｂ）に示すように、第２基板１０４を第１基板１０２に貼り合せる。図１１（ｂ）は、図１１（ａ）のXI−XI断面を示す図である。具体的には、図１１（ｂ）に示すように、試料２００が滴下された状態において、表面張力によって、試料２００の表面が第１基板１０２に設けられた接着層の表面よりも少し高い位置となっている。試料２００が滴下された第１基板１０２に対して、第２樹脂フィルム１２０が接着された面を第１基板１０２に向けて、第２基板１０４が貼り合わされる。ここで、第１基板１０２と第２基板１０４は、平面外形が同じである。これにより、ガイド部８０４によって、第１基板１０２と第２基板１０４は、中心が一致するように貼り合わされる。

【0062】

試料２００に気泡が混入しないように、図５で示した方法と同様に、第１基板１０２に対して凸面になるよう第２基板１０４を弓状にしならせて縁を合わせた後、第２基板１０４を徐々に貼り合せてもよい。また、図６で示した方法と同様に、第１基板１０２に対して凸面になるよう第２基板１０４の両端を弓状にしならせて、接着層の表面よりも少し高い位置となる液体状の試料２００の中央部と、第２樹脂フィルム１２０の中央部と、を接触させた状態から、第２基板１０４を直径に当たる中央線付近から両端に向けて徐々に貼り合せてもよい。

【0063】

図１２（ａ）及び図１２（ｂ）は、試料２００が充填された後、第１基板１０２と第２基板１０４が貼り合わされた状態の試料ホルダ１００を示す図である。図１２（ｂ）は、図１２（ａ）のXII−XII断面を示す図である。図１２（ｂ）に示すように、第１基板１０２と第２基板１０４は中心が一致するように貼り合わされる。これにより、試料ホルダ１００を蛍光Ｘ線分析装置１３００に載置する際に、試料ホルダ１００がＸ線分析装置の試料台１３０２に嵌合しない事態を防止することができる。例えば、試料台１３０２に試料ホルダ１００を載置する凹部が設けられている場合、当該凹部に試料ホルダ１００が嵌合しない事態を防止することができる。

【0064】

続いて、上記試料ホルダ１００を用いて蛍光Ｘ線分析を行う方法について、図１３を用いて説明する。なお、蛍光Ｘ線分析装置１３００は、上面照射型の蛍光Ｘ線分析装置１３００であるが、蛍光Ｘ線分析装置１３００自体は従来技術と同様である為、詳細な説明は省略する。

【0065】

図１３に示すように、蛍光Ｘ線分析装置１３００は、試料台１３０２と、Ｘ線源１３０４と、検出器１３０６と、計数器１３０８と、分析部１３１０と、を有する。試料台１３０２は、測定対象となる試料が載置される。具体的には、図１３に示すように、液体状の試料２００が充填された試料ホルダ１００は、第１基板１０２に接着された第１樹脂フィルム１０８を上側にして、試料台１３０２に載置される。

【0066】

Ｘ線源１３０４は、蛍光Ｘ線を発生させる１次Ｘ線を、試料ホルダ１００の表面に照射する。具体的には、Ｘ線源１３０４は、試料ホルダ１００の第１樹脂フィルム１０８の中央部に１次Ｘ線を照射する。２次Ｘ線が照射された液体状の試料２００は、２次Ｘ線を出射する。

【0067】

液体状の試料２００が充填され、薄い第１樹脂フィルム１０８及び第２樹脂フィルム１２０で密閉された試料ホルダ１００は、真空下で破裂する恐れがある。従って、測定は、常圧下で行う。軽元素を分析する場合には、光学系光路でのＸ線吸収を低減させるため、ヘリウムパージ下で測定を行う。

【0068】

検出器１３０６は、ＳＤＤ等の検出器１３０６である。検出器１３０６は、２次Ｘ線の強度を測定し、測定した２次Ｘ線のエネルギーに応じた波高値を有するパルス信号を出力する。

【0069】

計数器１３０８は、検出器１３０６の測定強度として出力されるパルス信号を、波高値に応じて計数する。具体的には、例えば、計数器１３０８は、マルチチャンネルアナライザであって、検出器１３０６の出力パルス信号を、２次Ｘ線のエネルギーに対応した各チャンネル毎に計数し、２次Ｘ線の強度として出力する。なお、２次Ｘ線を分光する場合には、分光された２次Ｘ線を測定する検出器１３０６の出力を取得する計数器１３０８は、分光されたエネルギーに対応する波高値範囲のみのパルス信号を計数するシングルチャンネルアナライザであってもよい。

【0070】

分析部１３１０は、計数器１３０８の計数結果から、試料に含まれる元素を定量分析する。具体的には、例えば、分析部１３１０は、計数器１３０８の計数結果を用い、検量線法やＦＰ（ファンダメンタルパラメータ）法により定量分析する。

【0071】

以上のように、本発明によれば、少量かつ点滴乾燥することのできない液体状の試料２００を、上面照射型の蛍光Ｘ線分析装置１３００で測定できる。また、試料に混入する気泡を低減し、かつ、薄い第１樹脂フィルム１０８を用いることで、高感度に精度良く測定を行うことが出来る。

【0072】

本発明は、上記の実施例に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。蛍光Ｘ線分析装置１３００の構成は一例であって、これに限定されるものではない。上記の実施例で示した構成と実質的に同一の構成、同一の作用効果を奏する構成または同一の目的を達成する構成で置き換えてもよい。また、本発明による試料ホルダ１００を、第１樹脂フィルム１０８が下側になるように載置し、Ｘ線管や検出器等が試料の下側に配置された下面照射型の蛍光Ｘ線分析装置を用いて測定することもできる。

【符号の説明】

【0073】

１００ 試料ホルダ、１０２ 第１基板、１０４ 第２基板、１０６ 支持基板、１０８ 第１樹脂フィルム、１１０ 接着層、１１２ 支持基板の孔、１１４ 糊剤、１１６ 第３樹脂フィルム、１１８ 固定基板、１２０ 第２樹脂フィルム、１２２ 固定基板の孔、２００ 液体状の試料、８００ 試料ホルダ作成治具、８０２ 平板部、８０４ ガイド部、８０６ 指標、１３００ 蛍光Ｘ線分析装置、１３０２ 試料台、１３０４ Ｘ線源、１３０６ 検出器、１３０８ 計数器、１３１０ 分析部。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】