特許 6586936 物品搬送設備

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6586936

(24)【登録日】2019年9月20日

(45)【発行日】2019年10月9日

(54)【発明の名称】物品搬送設備

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20191001BHJP

   B65G 1/00 20060101ALI20191001BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 A

   B65G1/00 501C

【請求項の数】7

【全頁数】22

(21)【出願番号】特願2016-184566(P2016-184566)

(22)【出願日】2016年9月21日

(65)【公開番号】特開2018-49943(P2018-49943A)

(43)【公開日】2018年3月29日

【審査請求日】2018年11月8日

(73)【特許権者】

【識別番号】000003643

【氏名又は名称】株式会社ダイフク

(74)【代理人】

【識別番号】110001818

【氏名又は名称】特許業務法人Ｒ＆Ｃ

(72)【発明者】

【氏名】北原 素行

(72)【発明者】

【氏名】森本 雄一

(72)【発明者】

【氏名】松尾 研介

(72)【発明者】

【氏名】櫻井 武司

【審査官】 井上 和俊

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１０−１５２７６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−１９１２３５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−０３５０２２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−０７６８５２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−０６６９３３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｂ６５Ｇ １／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の搬送対象場所の間で移動経路に沿って移動して物品を搬送する物品搬送車と、当該物品搬送車を制御する制御装置と、を備えた物品搬送設備であって、
前記物品搬送車は、前記物品を収容する収容部と、当該収容部を覆うカバー部と、前記収容部と当該収容部に対して外側に位置する前記複数の搬送対象場所の一つとの間で前記物品を移動させて当該搬送対象場所と前記物品搬送車との間の前記物品の移載を行う移載機構と、搬送中の前記物品の姿勢を変更する姿勢変更機構と、を有し、
前記姿勢変更機構は、前記物品の姿勢を、搬送元である前記搬送対象場所での移載のための姿勢である第一姿勢と、搬送先である前記搬送対象場所での移載のための姿勢である第二姿勢とに変更可能であり、
前記カバー部は、前記収容部に収容された状態の前記物品が前記第一姿勢である場合及び前記第二姿勢である場合に前記物品と干渉せず、前記物品の姿勢が前記第一姿勢と前記第二姿勢との間で変更する過程の姿勢である中間姿勢である場合に前記物品と干渉する位置に設けられ、
前記制御装置は、前記搬送元から前記搬送先までの経路である搬送経路の途中において、前記移載機構により前記収容部に対して外側に前記物品を移動させた状態で前記姿勢変更機構によって前記物品を前記第一姿勢から前記第二姿勢に変更した後、前記物品を前記移載機構により前記収容部に収容する制御である姿勢変更制御を実行する物品搬送設備。

【請求項2】

前記移載機構は、前記物品を把持する把持部と、前記把持部を鉛直方向に沿って昇降させる昇降機構と、前記搬送経路に交差すると共に水平方向に沿う方向である横方向に沿って前記把持部を横移動させる横移動機構と、を備え、
前記姿勢変更機構は、前記鉛直方向に沿う旋回軸周りに前記把持部を旋回させる旋回部を備え、前記第一姿勢と前記第二姿勢との間での姿勢変更は前記旋回軸周りでの前記物品の旋回によって行われ、
前記姿勢変更制御は、前記横移動機構により前記物品が前記収容部に対して外側に位置するように前記把持部を横移動させた状態で、前記物品を前記旋回軸周りに旋回させることにより行う請求項１に記載の物品搬送設備。

【請求項3】

前記移動経路は、天井から吊り下げ支持されたレールにより定まり、
前記移載機構は、前記レール又は前記天井に支持されると共に前記移動経路に隣接する位置に配置された支持部材を更に備え、
前記支持部材は、前記物品が前記収容部に対して外側に位置するように前記把持部を横移動させた状態で、前記横移動機構を前記鉛直方向に支持するように設けられている請求項２に記載の物品搬送設備。

【請求項4】

前記制御装置は、前記搬送経路の途中における前記物品搬送車の停止中に前記姿勢変更制御を実行する請求項１から３のいずれか一項に記載の物品搬送設備。

【請求項5】

前記制御装置は、前記姿勢変更制御を、前記物品が前記収容部の外側における前記カバー部と干渉しない範囲内にあって、且つ前記移載機構による前記物品の移動中に実行する請求項１から４のいずれか一項に記載の物品搬送設備。

【請求項6】

前記移載機構により前記収容部に対して外側に前記物品を横移動させた状態で、前記移載機構及び前記物品が前記搬送経路の周囲に存在する他の部材と干渉しない前記搬送経路の領域が、姿勢変更許可領域として設定され、
前記制御装置は、前記物品搬送車が前記姿勢変更許可領域内にある場合に、前記姿勢変更制御を実行する請求項２又は３に記載の物品搬送設備。

【請求項7】

前記物品は、半導体基板が収納される容器であり、
前記搬送対象場所には、前記半導体基板に対する処理を行う処理装置と前記物品搬送車との間での前記物品の授受のための授受部が含まれ、
複数の前記授受部が工程内経路で結ばれていると共に、複数の工程内経路が工程間経路で結ばれており、
前記姿勢変更許可領域は、前記移動経路における、前記工程内経路と前記工程間経路との接続領域に設定されている請求項６に記載の物品搬送設備。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、複数の搬送対象場所の間で移動経路に沿って移動して物品を搬送する物品搬送車を備えた物品搬送設備に関する。

【背景技術】

【0002】

例えば、下記の特許文献１に開示された設備では、物品搬送車の移動経路が複数の搬送対象場所を経由する状態で設定されている。そして、複数の搬送対象場所のうち搬送先となる搬送対象場所において物品が移載されるための適切な姿勢となるように、当該物品の姿勢が変更される。このように、物品の姿勢が搬送元と搬送先とで変更される理由は、例えば、物品が、その一側面にのみ内容物を出し入れする開口を有する容器であり、搬送対象場所が、その内容物を処理する処理部である場合には、容器の開口を処理部に対して対向させなければならないこと等による。そして、物品の姿勢を変更するために、特許文献１の設備には、移動経路間を接続する状態で且つ物品搬送車とは別に設けられた姿勢変更機構が備えられている。この姿勢変更機構に対して物品搬送車が物品を渡し、姿勢変更機構がこの物品を旋回させることにより、物品の姿勢が第一姿勢から第二姿勢に変更される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１２−２５３０７０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上記のように、物品搬送車とは別に姿勢変更機構を設けた設備では、当該姿勢変更機構の配置スペースが必要となると共に、当該姿勢変更機構を設ける分だけ設備のコストが増加することになる。そこで、本願の発明者は、姿勢変更機構を物品搬送車に一体的に備えさせることを検討した。しかしながら、物品搬送車における搬送中に物品を収容する収容部はカバー部により覆われており、物品搬送車の大型化を抑制するために、カバー部と収容部に収容された物品との隙間は最小限に設定されている。このような収容部に収容された物品の姿勢変更を行うためには、物品とカバー部との隙間を広げる必要があり、その結果、物品搬送車が大型化せざるを得ないという問題があった。

【0005】

そこで、物品の姿勢を変更するための姿勢変更機構を物品搬送車に一体的に備えつつ、物品搬送車の大型化を抑制することができる物品搬送設備の実現が望まれる。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記に鑑みた、複数の搬送対象場所の間で移動経路に沿って移動して物品を搬送する物品搬送車と、当該物品搬送車を制御する制御装置と、を備えた物品搬送設備の特徴構成は、前記物品搬送車は、前記物品を収容する収容部と、当該収容部を覆うカバー部と、前記収容部と当該収容部に対して外側に位置する前記複数の搬送対象場所の一つとの間で前記物品を移動させて当該搬送対象場所と前記物品搬送車との間の前記物品の移載を行う移載機構と、搬送中の前記物品の姿勢を変更する姿勢変更機構と、を有し、前記姿勢変更機構は、前記物品の姿勢を、搬送元である前記搬送対象場所での移載のための姿勢である第一姿勢と、搬送先である前記搬送対象場所での移載のための姿勢である第二姿勢とに変更可能であり、前記カバー部は、前記収容部に収容された状態の前記物品が前記第一姿勢である場合及び第二姿勢である場合に前記物品と干渉せず、前記物品の姿勢が前記第一姿勢と前記第二姿勢との間で変更する過程の姿勢である中間姿勢である場合に前記物品と干渉する位置に設けられ、前記制御装置は、前記搬送元から前記搬送先までの経路である搬送経路の途中において、前記移載機構により前記収容部に対して外側に前記物品を移動させた状態で前記姿勢変更機構によって前記物品を前記第一姿勢から前記第二姿勢に変更した後、前記物品を前記移載機構により前記収容部に収容する制御である姿勢変更制御を実行する点にある。

【0007】

本構成では、収容部を覆うカバー部は、第一姿勢又は第二姿勢の物品が収容部に収容された状態で、当該物品と干渉しない位置に設けられている。一方で、このカバー部が設けられる位置は、収容部に収容された状態の物品が中間姿勢になった場合に、当該物品と干渉する位置となっている。すなわち、収容部を覆うカバー部と物品との隙間は比較的小さく設定されている。従って、本構成に係る物品搬送設備によれば、物品搬送車の大型化を抑制することができる。また、本構成では、物品搬送車が、搬送元から搬送先までの経路である搬送経路の途中において、移載機構により収容部に対して外側に物品を移動させた状態で、物品搬送車が備える姿勢変更機構によって物品の姿勢を第一姿勢から第二姿勢に変更する。従って、本構成によれば、物品搬送のための時間及び空間を有効利用して、物品の姿勢変更を行うことができる。このため、物品搬送車とは別に姿勢変更機構を備える場合に比べて、設備の小型化及び低コスト化を図ることが容易となっている。

【0008】

本開示に係る技術のさらなる特徴と利点は、図面を参照して記述する以下の例示的かつ非限定的な実施形態の説明によってより明確になるであろう。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】物品搬送設備の全体平面図。

【図2】物品の移載の様子を示す図。

【図3】物品搬送車を搬送方向から見た図。

【図4】物品の姿勢を変更させる様子を示す平面模式図。

【図5】制御構成を示すブロック図。

【図6】姿勢変更制御を実行する際の手順を示すフローチャート。

【図7】特定搬送処理を実行する際の手順を示すフローチャート。

【図8】第二実施形態において物品の姿勢を変更させる様子を示す平面模式図。

【図9】第二実施形態において姿勢変更制御を実行する際の手順を示すフローチャート。

【発明を実施するための形態】

【0010】

１．第一実施形態
物品搬送設備の第一実施形態について、図面を参照して説明する。
図１に示すように、物品搬送設備１は、複数の搬送対象場所６の間で移動経路Ｒに沿って移動して物品Ｗを搬送する物品搬送車２と、当該物品搬送車２を制御する制御装置Ｈと、を備えている（図５も参照）。そして、この物品搬送設備１は、複数の搬送対象場所６のうち搬送元となる搬送対象場所６から搬送先となる他の搬送対象場所６まで物品Ｗを搬送する途中に当該物品Ｗの姿勢を変更することができるようになっている。

【0011】

１−１．物品搬送設備の機械的構成
物品Ｗは、物品搬送車２によって搬送される対象である。ここで、物品Ｗは、平面視で非円形状に形成されている。物品Ｗは、例えば、平面視で多角形状、より具体的には、四角形状に形成されている（図４参照）。なお、四角形状には、厳密には四角形でなくても、全体としてみれば四角形とみなせる形状も含む。また、多角形状の一部の辺が円弧等の曲線で形成された平面視の形状を有していても良い。例えば、物品Ｗの平面視の形状はＤ形であっても良い。以下、「状」という表現を用いて物等の形状を説明する場合は、これと同様の趣旨である。また、物品Ｗの立体的形状に関しては、ここでは、柱状体とされている。物品Ｗは、例えば、内容物が収納される容器である。本実施形態では、物品Ｗは、半導体基板が収納される容器である。ここでは、物品Ｗは、直方体状に形成されており、複数枚の半導体基板を複数段に分けて収容可能である。本実施形態では、物品Ｗの上面及び底面は、常に塞がった状態である。また、物品Ｗの上面には、物品Ｗの搬送の際に物品搬送車２によって把持されるためのフランジ部Ｗａが設けられている。また、物品Ｗの４つの側面のうち一面には、半導体基板を出し入れするための開口部Ｗｂが設けられている。

【0012】

搬送対象場所６は、物品Ｗの搬送元となる場所であり、又は、物品Ｗの搬送先となる場所である。搬送対象場所６は、物品搬送設備１の中の複数個所に設けられている。搬送対象場所６では、例えば、物品Ｗの処理が行われる。本実施形態では、図１に示すように、搬送対象場所６には、半導体基板に対する処理を行う処理装置６ａと物品搬送車２との間での物品Ｗの授受のための授受部６ｂが含まれている。本実施形態では、授受部６ｂには、処理装置６ａに対して開口部Ｗｂを対向させた状態の物品Ｗが搬送される。また、物品Ｗに収納された半導体基板が、処理装置６ａが備えるアーム等によって開口部Ｗｂから取り出される。そして、半導体基板は、処理装置６ａによって処理される。このように処理装置６ａによって半導体基板が処理されるために、本実施形態では、物品Ｗは、開口部Ｗｂが処理装置６ａに対して対向する適切な姿勢にされた上で、物品搬送車２によって授受部６ｂに搬送される。

【0013】

移動経路Ｒは、物品搬送設備１において物品搬送車２が移動する経路である。図１に示すように、移動経路Ｒは、複数の搬送対象場所６を経由している。移動経路Ｒは、例えば、床面上に設けられるか、又は、床面から上方に距離を置いた位置に設けられる。本実施形態では、移動経路Ｒは、天井９９から吊り下げ支持されたレール９８により定まっている（図２及び図３参照）。図１に示すように、本実施形態では、レール９８は、複数の授受部６ｂを経由する状態で設けられている。また、レール９８は、移動経路Ｒに沿って延在すると共に横方向Ｙに離間した状態で設けられる一対の長尺部材によって構成されている（図２及び図３参照）。本実施形態では、移動経路Ｒは、工程内経路Ｒｉと工程間経路Ｒｃとを含んで構成されている。そして、複数の授受部６ｂが工程内経路Ｒｉで結ばれていると共に、複数の工程内経路Ｒｉが工程間経路Ｒｃで結ばれている。

【0014】

物品搬送車２は、複数の搬送対象場所６の間で移動経路Ｒに沿って移動して物品Ｗを搬送する。本実施形態では、物品搬送車２は、工程間経路Ｒｃを移動することで、工程間経路Ｒｃで結ばれた複数の工程内経路Ｒｉのそれぞれに移動できる。そのため、物品搬送車２は、複数の工程内経路Ｒｉのそれぞれを移動することで、工程内経路Ｒｉに結ばれた複数の授受部６ｂのそれぞれに移動できる。なお、本実施形態では、物品搬送車２は、移動経路Ｒを一方向にのみ移動でき、逆方向には移動できないようになっている。また、物品搬送車２は、移動経路Ｒ内における当該物品搬送車２の現在位置を検出する位置検出センサＳｅ６を備えている。本実施形態では、移動経路Ｒには、複数の位置情報記憶部（図示省略）が分散された状態で配置されている。そして、位置情報記憶部は、移動経路Ｒを区画した複数の領域のそれぞれに割り当てられている。また、複数の位置情報記憶部のそれぞれは、移動経路Ｒ内においてそれぞれが配置されている位置の情報を記憶している。本実施形態では、位置検出センサＳｅ６は、移動経路Ｒ内に配置された複数の位置情報記憶部のそれぞれに記憶された位置情報を読み取ることで、移動経路Ｒ内における物品搬送車２の現在位置を検出可能に構成されている。例えば、位置情報記憶部としてはバーコードが表示されたプレート等であっても良く、その場合の位置検出センサＳｅ６としてはバーコードリーダとなる。

【0015】

図２及び図３に示すように、物品搬送車２は、レール９８上を走行自在の走行部２１と、走行部２１に吊り下げ支持される本体部２２と、を有している。なお、以下の説明において、移動経路Ｒに沿って物品搬送車２が移動すると、移動経路Ｒに沿って物品搬送車２が走行するとは、同義である。また、図３では、説明の便宜のため、後述する支持部材５を省略している。物品搬送車２は、物品Ｗを収容する収容部２２ａと、当該収容部２２ａを覆うカバー部２２ｂと、を有している。本実施形態では、収容部２２ａ及びカバー部２２ｂは、本体部２２の一部として構成されている。

【0016】

物品搬送車２は、収容部２２ａと当該収容部２２ａに対して外側に位置する複数の搬送対象場所６の一つとの間で物品Ｗを移動させて当該搬送対象場所６と物品搬送車２との間の物品Ｗの移載を行う移載機構３を有している。また、物品搬送車２は、搬送中の物品Ｗの姿勢を変更する姿勢変更機構４を有している。

【0017】

図３に示すように、移載機構３は、物品Ｗを把持する把持部３Ｇａと、把持部３Ｇａを鉛直方向Ｚに沿って昇降させる昇降機構３Ｈと、搬送経路Ｒｔに沿う搬送方向Ｘに交差すると共に水平方向に沿う方向である横方向Ｙに沿って把持部３Ｇａを横移動させる横移動機構３Ｓと、を備えている。本実施形態では、把持部３Ｇａを横移動させる横移動機構３Ｓとして、把持部３Ｇａをスライドさせるスライド機構３Ｓを例示して説明する。ここで、本明細書において、ある特定の方向に沿うとは、当該特定の方向に完全に平行である場合の他、設置や組付け等の製造上の誤差の範囲内において当該特定の方向に対して僅かに傾いている状態も含む概念である。より具体的には、当該特定の方向に対して±１５°以下の範囲で傾いている状態も含む。スライド機構３Ｓは、横方向Ｙに沿って把持部３Ｇａをスライドさせることができる。本実施形態では、把持機構３Ｇと昇降機構３Ｈとスライド機構３Ｓとによって、物品搬送車２と授受部６ｂとの間で物品Ｗを移載する。なお、物品Ｗの移載とは、物品搬送車２と授受部６ｂとの間で物品を移動させることをいう。すなわち、収容部２２ａに収容された状態の物品Ｗを授受部６ｂに載置するまでの過程、又は、授受部６ｂに載置された状態の物品Ｗを収容部２２ａに収容するまでの過程が、物品Ｗの移載である。また、物品Ｗの搬送とは、複数の授受部６ｂのうち、搬送元となる授受部６ｂから搬送先となる他の授受部６ｂまで物品Ｗを移動させることをいう。すなわち、物品Ｗの搬送とは、物品Ｗの移載も含む概念である。また、搬送経路Ｒｔとは、移動経路Ｒにおける、搬送元となる搬送対象場所６から搬送先となる他の搬送対象場所６までの経路である。すなわち、移動経路Ｒの中に、搬送元と搬送先とに応じて、その都度搬送経路Ｒｔが設定されている。

【0018】

図２に示すように、物品Ｗの移載として、授受部６ｂに載置された状態の物品Ｗを収容部２２ａに収容する場合は、把持機構３Ｇにより物品Ｗを把持した状態で昇降機構３Ｈによって物品Ｗを上昇させ、スライド機構３Ｓによって物品Ｗを収容部２２ａにスライドさせる。物品Ｗの移載として、収容部２２ａに収容された状態の物品Ｗを授受部６ｂに載置する場合には、上記と逆の工程を行う。なお、以下では、鉛直方向Ｚのうち、上側を鉛直方向上側Ｚ１とし、下側を鉛直方向下側Ｚ２として説明する。また、横方向Ｙのうち、物品Ｗを収容部２２ａから収容部２２ａの外側へ突出させる側（図２及び図３における左側）を横方向第一側Ｙ１とし、物品Ｗを収容部２２ａの外側から収容部２２ａに引退させる側を横方向第二側Ｙ２として説明する。以下では、収容部２２ａに収容されている状態の物品Ｗの位置を引退位置Ｐ１といい、横方向第一側Ｙ１に突出する限度での物品Ｗの位置を突出位置Ｐ２という。なお、本実施形態では、横方向Ｙは、搬送経路Ｒｔに直交する方向である。

【0019】

図３に示すように、物品搬送車２は、走行部２１を有している。走行部２１は、モータ等の駆動手段により駆動されて移動経路Ｒに沿って走行する。本実施形態では、走行部２１は、レール９８上を走行する。図３に示すように、本実施形態では、走行部２１は、走行用モータ２１Ｍによって駆動されて水平軸周りに回転すると共にレール９８の上面を搬送方向Ｘに沿って転動する走行輪２１ａと、レール９８の鉛直面に当接して鉛直軸周りに回転すると共に走行部２１をレール９８に沿って案内する案内輪２１ｂと、を有している。また、走行部２１は、物品搬送車２の走行速度を検出する速度検出センサＳｅ１（図５参照）を備えている。本実施形態では、速度検出センサＳｅ１は、所定時間内における走行輪２１ａの回転数やレール９８との相対速度等に基づいて物品搬送車２の速度を検出可能に構成されている。

【0020】

物品搬送車２は、本体部２２を有している。本体部２２は、走行部２１に連結されており、走行部２１の走行によって当該走行部２１と一体的に移動経路Ｒを移動する。本実施形態では、本体部２２は、レール９８を構成する一対の長尺部材によって形成される隙間を介して、走行部２１によって吊り下げ支持されている。本実施形態では、本体部２２は、物品Ｗを収容する収容部２２ａと、当該収容部２２ａを覆うカバー部２２ｂと、を有している。収容部２２ａは、カバー部２２ｂの内側に配置されている。本実施形態では、カバー部２２ｂは、横方向Ｙの両側及び下方が開放された門状に形成されている。より具体的には、カバー部２２ｂは、横方向Ｙから見て角ばった逆Ｕ字状に形成されている。そのため、収容部２２ａは、横方向Ｙの両側及び下方において、収容部２２ａの外側と連通している。これにより、収容部２２ａに収容された状態の物品Ｗをスライド機構３Ｓによって横方向Ｙにスライドさせることで、当該物品Ｗを収容部２２ａの外側に位置させることができる。

【0021】

スライド機構３Ｓは、横方向Ｙに沿って伸縮自在である。例えば、スライド機構３Ｓは、縮んだ状態でカバー部２２ｂの内側に収容され、伸びた状態で一部がカバー部２２ｂの外側に突出するように構成されている。本実施形態では、スライド機構３Ｓは、収容部２２ａに取り付けられている。また、本実施形態では、スライド機構３Ｓは、スライド用モータ３ＳＭによって駆動又は従動される一対のスライド用プーリ３Ｓｃと、一対のスライド用プーリ３Ｓｃのそれぞれに巻回されるスライド用ベルト３Ｓｂと、スライド用ベルト３Ｓｂに連結されて横方向Ｙにスライド自在なスライド部３Ｓａと、を有している。そして、スライド部３Ｓａは、横方向第一側Ｙ１にスライドすることで収容部２２ａの外側に移動でき、横方向第二側Ｙ２にスライドすることで収容部２２ａに移動できる。また、スライド機構３Ｓは、スライド部３Ｓａのスライド量を検出するスライド量検出センサＳｅ２を備えている（図５も参照）。本実施形態では、スライド量検出センサＳｅ２は、スライド部３Ｓａのスライド時におけるスライド用プーリ３Ｓｃの回転数等に基づいてスライド部３Ｓａのスライド量を検出可能に構成されている。

【0022】

姿勢変更機構４は、搬送中の物品Ｗの姿勢を変更する。例えば、姿勢変更機構４は、物品Ｗを特定の軸周りに旋回させることにより、当該物品Ｗの姿勢を変更する。より具体的には、姿勢変更機構４は、鉛直軸周りに物品Ｗを旋回させることで、当該物品Ｗの姿勢を変更する。本実施形態では、姿勢変更機構４は、スライド機構３Ｓのスライド部３Ｓａと連結している。そのため、姿勢変更機構４は、スライド機構３Ｓのスライド部３Ｓａと一体的に横方向Ｙに沿って移動する。本実施形態では、姿勢変更機構４は、鉛直方向Ｚに沿う旋回軸４ｂ周りに把持部３Ｇａを旋回させる旋回部４ａを備えている。ここでは、旋回部４ａの内部において、旋回軸４ｂの上部が旋回用モータ４Ｍと連結している。そして、旋回用モータ４Ｍによって旋回軸４ｂが駆動される。また、姿勢変更機構４は、把持部３Ｇａの旋回量を検出する旋回量検出センサＳｅ５を備えている（図５も参照）。本実施形態では、旋回量検出センサＳｅ５は、旋回軸４ｂの回転角度や旋回軸４ｂが回転する時間等に基づいて把持部３Ｇａの旋回量を検出可能に構成されている。

【0023】

昇降機構３Ｈは、物品Ｗを昇降させる。本実施形態では、昇降機構３Ｈは、カバー部２２ｂが配置される高さから、少なくとも、授受部６ｂが配置される高さまでの間で、物品Ｗを昇降させる。本実施形態では、昇降機構３Ｈは、昇降用モータ３ＨＭによって駆動される昇降用プーリ３Ｈｃと、昇降用ドラム３Ｈｄと、昇降用プーリ３Ｈｃ及び昇降用ドラム３Ｈｄに巻回される昇降用ベルト３Ｈｂと、昇降用モータ３ＨＭと昇降用プーリ３Ｈｃと昇降用ドラム３Ｈｄと昇降用ベルト３Ｈｂとを内部で保持する昇降部３Ｈａと、を有している。そして、昇降機構３Ｈは、昇降用モータ３ＨＭによって昇降用プーリ３Ｈｃを駆動させることで、昇降用ベルト３Ｈｂを巻き取り又は繰出して、後述するように把持部３Ｇａを昇降させる。また、本実施形態では、昇降部３Ｈａは、姿勢変更機構４が有する旋回軸４ｂと連結している。そのため、昇降機構３Ｈは、旋回軸４ｂの回転によって鉛直軸周りに旋回する。昇降機構３Ｈは、姿勢変更機構４を介してスライド機構３Ｓと連結しているから、スライド機構３Ｓと一体的に横方向Ｙに沿って移動する。また、昇降機構３Ｈは、把持部３Ｇａの昇降量を検出する昇降量検出センサＳｅ３を備えている。本実施形態では、昇降量検出センサＳｅ３は、把持部３Ｇａの昇降時における昇降用プーリ３Ｈｃの回転数や昇降用プーリ３Ｈｃが回転する時間等に基づいて把持部３Ｇａの昇降量を検出可能に構成されている。

【0024】

把持機構３Ｇは、物品Ｗを把持可能である。例えば、把持機構３Ｇは、物品Ｗを上方から把持する。より具体的には、把持機構３Ｇは、平面視で物品Ｗと完全に重複した状態で、当該物品Ｗを上方から把持する。本実施形態では、把持機構３Ｇは、昇降用ベルト３Ｈｂに連結される把持部３Ｇａと、把持部３Ｇａの内部で保持される把持用モータ３ＧＭ（図５参照）と、把持用モータ３ＧＭにより駆動されて把持姿勢と解除姿勢との間で切り替わり自在な一対の把持爪３Ｇｂと、を有している。そして、一対の把持爪３Ｇｂは、互いに接近する方向に移動することで把持姿勢となり、互いに離間する方向に移動することで解除姿勢となる。本実施形態では、一対の把持爪３Ｇｂは、把持姿勢にて物品Ｗのフランジ部Ｗａを把持する。そして、一対の把持爪３Ｇｂは、フランジ部Ｗａを把持した状態から解除姿勢となることで、フランジ部Ｗａの把持を解除する。また、把持機構３Ｇは、一対の把持爪３Ｇｂの把持姿勢と解除姿勢とを検出する把持検出センサＳｅ４を備えている（図５参照）。本実施形態では、把持検出センサＳｅ４は、一対の把持爪３Ｇｂによる光軸の遮断の有無等に基づいて一対の把持爪３Ｇｂが把持姿勢であるか解除姿勢であるかを検出可能に構成されている。把持部３Ｇａは、昇降用ベルト３Ｈｂを介して昇降機構３Ｈと連結しているから、把持機構３Ｇは、旋回軸４ｂの回転によって旋回する昇降機構３Ｈと一体的に旋回する。また、把持機構３Ｇは、昇降機構３Ｈ及び姿勢変更機構４を介してスライド機構３Ｓと連結しているから、昇降機構３Ｈ、姿勢変更機構４及びスライド機構３Ｓと横方向Ｙに沿って一体的に移動する。そのため、把持機構３Ｇに把持された状態の物品Ｗの、昇降、旋回及びスライドの各動作が、昇降機構３Ｈ、姿勢変更機構４及びスライド機構３Ｓによって行われる。

【0025】

姿勢変更機構４は、物品Ｗの姿勢を、搬送元である搬送対象場所６での移載のための姿勢である第一姿勢Ａ１と、搬送先である搬送対象場所６での移載のための姿勢である第二姿勢Ａ２とに変更可能である。前述したように、物品搬送設備１では、それぞれ異なる場所に配置される複数の処理装置６ａによって、物品Ｗに収納された半導体基板が処理されるから、処理装置６ａの授受部６ｂに物品Ｗが搬送される際には、処理装置６ａが物品Ｗから半導体基板を取り出せるように物品Ｗの開口部Ｗｂが処理装置６ａに対向する状態となっていなければならない。すなわち、第二姿勢Ａ２とは、搬送先である搬送対象場所６の処理装置６ａに対して物品Ｗの開口部Ｗｂが対向している状態の姿勢をいう。従って、第二姿勢Ａ２は、搬送先に対応する処理装置６ａの向きによって変化するものである。また、第一姿勢Ａ１とは、搬送元における物品Ｗの姿勢をいう。例えば、搬送対象となる物品Ｗが、複数の処理装置６ａのうちの一つの処理装置６ａによってある処理工程を終えた物品Ｗである場合には、第一姿勢Ａ１は、当該一つの処理装置６ａに対して開口部Ｗｂが対向している状態の姿勢となる。ただし、このような場合に限らず、例えば、第一姿勢Ａ１は、物品Ｗが物品搬送設備１に搬入された時点での姿勢であっても良い。いずれにしても、物品Ｗの搬送を開始する時点での物品Ｗの姿勢が第一姿勢Ａ１となる。

【0026】

本実施形態では、第一姿勢Ａ１と第二姿勢Ａ２との間での物品Ｗの姿勢変更は、旋回軸４ｂ周りでの物品Ｗの旋回によって行われる。すなわち、図４に示すように、物品Ｗを旋回軸４ｂの延在方向（本例では鉛直方向Ｚ）から見たときに、物品Ｗの角Ｗｃが旋回軸４ｂを中心とする円弧を描くように物品Ｗを旋回させることで、物品Ｗを姿勢変更する。本実施形態では、第一姿勢Ａ１の状態の物品Ｗを、搬送先に対応する処理装置６ａに対して開口部Ｗｂが対向する状態となるように、姿勢変更機構４によって旋回軸４ｂ周りで旋回させる。これにより、物品Ｗが第一姿勢Ａ１から第二姿勢Ａ２に姿勢変更される。

【0027】

図４に示すように、カバー部２２ｂは、収容部２２ａに収容された状態の物品Ｗが第一姿勢Ａ１である場合又は第二姿勢Ａ２である場合に物品Ｗと干渉せず、物品Ｗの姿勢が第一姿勢Ａ１と第二姿勢Ａ２との間で変更する過程の姿勢である中間姿勢Ａｍである場合に物品Ｗと干渉する位置に設けられている。本実施形態では、カバー部２２ｂは、搬送方向Ｘで互いに対向する一対の内側面２２ｆを有している。また、収容部２２ａの搬送方向Ｘにおける領域は、一対の内側面２２ｆによって区画されている。本実施形態では、収容部２２ａに収容された状態の物品Ｗの姿勢が中間姿勢Ａｍである場合に、一対の内側面２２ｆのうちの少なくとも一つの内側面２２ｆに物品Ｗが干渉する位置に、カバー部２２ｂが設けられている。より具体的には、図４に示すように、物品Ｗの旋回時における物品Ｗの回転中心（本例では旋回軸４ｂ）から最も遠い部分（本例では物品Ｗの角Ｗｃ）が描く旋回軌跡ＴＲが、収容部２２ａよりも大きくなるように、カバー部２２ｂの大きさが設定されている。前述したように物品Ｗは平面視で四角形状であるから、旋回軌跡ＴＲの直径は、平面視において物品Ｗの対角を結ぶ対角線によって定まる。より具体的には、一対の内側面２２ｆの搬送方向Ｘにおける間隔が、平面視での物品Ｗの対角線の長さよりも短くなるように設定されている。

【0028】

１−２．制御装置の構成
次に、物品搬送設備１の制御構成について、図５を参照して説明する。
制御装置Ｈは、物品搬送設備１全体の制御を行う上位制御装置Ｈｕと、物品搬送車２の制御を行う下位制御装置Ｈｄと、を含んで構成されている。上位制御装置Ｈｕは、物品搬送設備１のいずれかの領域に固定される状態で配置されている。下位制御装置Ｈｄは、物品搬送車２に配置されて当該物品搬送車２と共に移動経路Ｒ上を移動する。本実施形態では、下位制御装置Ｈｄは、複数の物品搬送車２のそれぞれに配置されて、それぞれの物品搬送車２と共に移動経路Ｒ上を移動する。制御装置Ｈは、マイクロコンピュータ等のプロセッサ、メモリ等の周辺回路等を備えている。そして、これらのハードウェアと、コンピュータ等のプロセッサ上で実行されるプログラムと、の協働により、制御装置Ｈの各機能が実現される。

【0029】

制御装置Ｈは、複数の搬送対象場所６のそれぞれについての物品Ｗの適正な姿勢を適正姿勢情報Ｊａとして記憶している。適正姿勢情報Ｊａは、上位制御装置Ｈｕに記憶されていても良いし、複数の下位制御装置Ｈｄのそれぞれによって各別に記憶されていても良い。本実施形態では、上位制御装置Ｈｕは、記憶部を備え、複数の搬送対象場所６のそれぞれについての物品Ｗの適正な姿勢を適正姿勢情報Ｊａとして当該記憶部に記憶している。すなわち、上位制御装置Ｈｕは、複数の搬送対象場所６のそれぞれでの物品Ｗの第二姿勢Ａ２を記憶部に記憶している。上位制御装置Ｈｕは、姿勢変更を伴うことなく、搬送元である搬送対象場所６から搬送先である他の搬送対象場所６に物品Ｗを搬送させる指令である単純搬送指令、又は姿勢変更を伴い、搬送元である搬送対象場所６から搬送先である他の搬送対象場所６に物品Ｗを搬送させる指令である特定搬送指令を、下位制御装置Ｈｄに指令する。

【0030】

下位制御装置Ｈｄは、単純搬送指令を受けることで単純搬送処理を実行し、特定搬送指令を受けることで特定搬送処理を実行する。下位制御装置Ｈｄは、これらの各処理を実行するにために、各種モータの作動を制御する。本実施形態では、下位制御装置Ｈｄは、速度検出センサＳｅ１によって検出される物品搬送車２の走行速度の情報、スライド量検出センサＳｅ２によって検出されるスライド部３Ｓａのスライド量の情報、昇降量検出センサＳｅ３によって検出される把持部３Ｇａの昇降量の情報、把持検出センサＳｅ４によって検出される一対の把持爪３Ｇｂの姿勢の情報、旋回量検出センサＳｅ５によって検出される把持部３Ｇａの旋回量の情報、及び位置検出センサＳｅ６によって検出される物品搬送車２の現在位置の情報を、取得する。そして、下位制御装置Ｈｄは、各センサによって検出された情報に基づいて、走行用モータ２１Ｍ、スライド用モータ３ＳＭ、昇降用モータ３ＨＭ、把持用モータ３ＧＭ、及び旋回用モータ４Ｍの作動を制御する。

【0031】

制御装置Ｈは、搬送元から搬送先までの経路である搬送経路Ｒｔの途中において、移載機構３により収容部２２ａに対して外側に物品Ｗを移動させた状態で姿勢変更機構４によって物品Ｗを第一姿勢Ａ１から第二姿勢Ａ２に変更した後、物品Ｗを移載機構３により収容部２２ａに収容する制御である姿勢変更制御を実行する。本実施形態では、上位制御装置Ｈｕから特定搬送指令を受けた下位制御装置Ｈｄが、搬送元である搬送対象場所６から搬送先である他の搬送対象場所６に物品Ｗを搬送する過程において姿勢変更制御を実行する。本例では、姿勢変更制御は、スライド機構３Ｓにより物品Ｗが収容部２２ａに対して外側に位置するように把持部３Ｇａをスライドさせた状態で、物品Ｗを旋回軸４ｂ周りに旋回させることにより行う。具体的には、スライド機構３Ｓによってスライド部３Ｓａを横方向第一側Ｙ１に突出させることで、収容部２２ａに配置された姿勢変更機構４、昇降機構３Ｈ、把持機構３Ｇ及び把持部３Ｇａに把持された物品Ｗを突出位置Ｐ２に配置させる。そして、突出位置Ｐ２に配置された物品Ｗを把持機構３Ｇ、昇降機構３Ｈごと、姿勢変更機構４によって旋回させることで物品Ｗの姿勢を第一姿勢Ａ１から第二姿勢Ａ２に変更する。その後、スライド機構３Ｓによってスライド部３Ｓａを横方向第二側Ｙ２に引退させることで、第二姿勢Ａ２となった物品Ｗを、把持機構３Ｇ、昇降機構３Ｈ及び姿勢変更機構４ごと引退位置Ｐ１（収容部２２ａ）に配置させる。このようにして、姿勢変更制御が実行される。なお、本実施形態において物品Ｗが収容部２２ａに対して外側に位置している状態には、物品Ｗが収容部２２ａに対して完全に外側に位置している状態の他、物品Ｗの一部が収容部２２ａに対して外側に位置している状態も含む。更に言えば、平面視で物品Ｗが収容部２２ａに重複していない状態の他、平面視で物品Ｗの一部のみが収容部２２ａと重複していない状態も含む。

【0032】

本実施形態では、下位制御装置Ｈｄは、搬送経路Ｒｔの途中における物品搬送車２の停止中に姿勢変更制御を実行する。搬送経路Ｒｔ内には、複数の物品搬送車２が存在している状態であり、それぞれの物品搬送車２が、処理装置６ａに半導体基板の処理をさせるために、物品Ｗを搬送対象場所６の授受部６ｂに搬送している。そのため、物品搬送車２が、授受部６ｂへの物品Ｗの移載のために搬送経路Ｒｔ内で停止すると、後続の他の物品搬送車２も停止することになる。すなわち、物品搬送車２は、搬送経路Ｒｔ内を走行中に、渋滞を原因として停止することがある。そこで、例えば、下位制御装置Ｈｄは、搬送経路Ｒｔの途中における物品搬送車２の渋滞停止中に姿勢変更制御を実行する。これにより、物品搬送車２が意図せず停止した時間を利用して、姿勢変更制御を実行できる。すなわち、姿勢変更制御を実行するために物品搬送車２を停止させる必要がないから、姿勢変更制御を実行する都度物品搬送車２を停止させる場合に比べて、搬送時間を短縮できる。

【0033】

本実施形態では、移載機構３により収容部２２ａに対して外側に物品Ｗをスライドさせた状態で、移載機構３及び物品Ｗが搬送経路Ｒｔの周囲に存在する他の部材と干渉しない搬送経路Ｒｔの領域が、姿勢変更許可領域Ｔｐとして設定されている（図１参照）。より具体的には、スライド機構３Ｓにより物品Ｗを突出位置Ｐ２にスライドさせるのに十分なスペースを有する搬送経路Ｒｔにおける領域が、姿勢変更許可領域Ｔｐとして設定されている。そして、下位制御装置Ｈｄは、物品搬送車２が姿勢変更許可領域Ｔｐ内にある場合に、姿勢変更制御を実行する。本実施形態において姿勢変更許可領域Ｔｐは、物品Ｗを突出位置Ｐ２にスライドさせるのに十分なスペースを有しているから、姿勢変更許可領域Ｔｐにて姿勢変更制御を実行することで、姿勢変更制御の実行中に移載機構３及び物品Ｗが搬送経路Ｒｔに存在する他の部材と干渉することを抑制できる。なお、搬送経路Ｒｔの周囲に存在する他の部材とは、例えば、処理装置６ａや物品Ｗを一時的に保管するための収納棚及び保管庫等（図示省略）である。

【0034】

本実施形態では、姿勢変更許可領域Ｔｐは、移動経路Ｒにおける、工程内経路Ｒｉと工程間経路Ｒｃとの接続領域Ｔｃに設定されている。本実施形態において接続領域Ｔｃとは、工程内経路Ｒｉと工程間経路Ｒｃとが接続されている領域付近において、物品搬送車２が工程内経路Ｒｉを循環するための循環経路に相当する領域をいう（図１参照）。物品搬送設備１では、工程内経路Ｒｉと工程間経路Ｒｃとのそれぞれには、各処理装置６ａで処理を行う半導体基板を搬送するために、比較的多くの物品搬送車２が走行している。これに対して、工程内経路Ｒｉと工程間経路Ｒｃとの接続領域Ｔｃを走行する物品搬送車２の数が比較的少ない。そのため、接続領域Ｔｃを姿勢変更許可領域Ｔｐとして、当該接続領域Ｔｃに物品搬送車２があるときに姿勢変更制御を実行することで、当該物品搬送車２が姿勢変更制御のために停止することが他の物品搬送車２の走行に影響することを抑制できる。すなわち、搬送経路Ｒｔ中における渋滞の発生を抑制し、物品搬送設備１の全体の搬送効率の低下を抑制できる。

【0035】

図２に示すように、本実施形態では、移載機構３は、レール９８又は天井９９に支持されると共に移動経路Ｒに隣接する位置に配置された支持部材５を更に備えている。図示の例では、支持部材５は、レール９８及び天井９９の双方に支持されている。また、支持部材５は、物品Ｗが収容部２２ａに対して外側に位置するように把持部３Ｇａをスライドさせた状態で、スライド機構３Ｓを鉛直方向Ｚに支持するように設けられている。支持部材５は、レール９８よりも横方向第一側Ｙ１において天井に連結する天井連結部５ａと、天井連結部５ａの下端部に連結すると共に横方向第一側Ｙ１からレール９８に連結するレール連結部５ｂと、スライド機構３Ｓを鉛直方向下側Ｚ２から支持する支持部５ｄと、レール連結部５ｂと支持部５ｄとを繋ぐフレーム部５ｃと、を有している。物品Ｗが収容部２２ａに対して外側に位置するように把持部３Ｇａを突出位置Ｐ２にスライドさせた状態で、支持部５ｄが、スライド機構３Ｓに連結された姿勢変更機構４を鉛直方向下側Ｚ２から支持する。すなわち、支持部５ｄが、姿勢変更機構４を介して間接的にスライド機構３Ｓを支持している。これにより、支持部５ｄが、把持部３Ｇａ及びこれに把持された物品Ｗを支持できる。その結果、スライド機構３Ｓにおける物品Ｗ等を支持した部分を力点とした物品搬送車２を中心とするモーメントによって物品搬送車２やレール９８等に掛かる負担を軽減できる。また、支持部材５は、レール９８及び天井９９の双方に支持されているから、支持部材５が受ける物品Ｗ等の荷重をレール９８及び天井９９の双方に分散でき、支持部材５自体に掛かる負担も軽減できる。

【0036】

本実施形態では、支持部５ｄは、横方向Ｙに沿って延在する板状部材が搬送方向Ｘに離間して一対配置される状態で構成されている。そして、支持部５ｄは、一対の板状部材によって姿勢変更機構４を下方から支持する。より具体的には、姿勢変更機構４の旋回部４ａには、支持部５ｄにより案内されるスライド用案内輪４ｃが設けられており、支持部５ｄは、このスライド用案内輪４ｃを鉛直方向下側Ｚ２から支持する。また、スライド部３Ｓａが支持部材５に向かって横方向第一側Ｙ１にスライドする際に当該スライド部３Ｓａが支持部材５に案内され易いように、支持部５ｄの横方向第二側Ｙ２の端部には、横方向第二側Ｙ２に向かって鉛直方向下側Ｚ２に傾斜する傾斜部５ｅが形成されている。スライド部３Ｓａが横方向第一側Ｙ１にスライドしてスライド用案内輪４ｃが支持部５ｄに支持される過程で、当該スライド用案内輪４ｃは傾斜部５ｅを転動する。本実施形態では、このような支持部材５が、姿勢変更許可領域Ｔｐに設けられている。すなわち、本実施形態では、姿勢変更制御を実行する過程で、スライド機構３Ｓを支持部材５に支持させる。これにより、姿勢変更制御の実行中に、モーメントによって物品搬送車２やレール９８等に掛かる負担を軽減できる。

【0037】

次に、姿勢変更制御が実行される手順について、図６を参照して説明する。
下位制御装置Ｈｄは、以下の手順により姿勢変更制御を実行する。すなわち、スライド用モータ３ＳＭを制御して横方向第一側Ｙ１への物品Ｗのスライドを開始させる（ステップ＃１０）。その後、スライド量検出センサＳｅ２によって検出された情報を得て、物品Ｗが突出位置Ｐ２に到達したか否かを判断する（ステップ＃１１）。規定時間内に物品Ｗが突出位置Ｐ２に到達していないと判断した場合は（ステップ＃１１：Ｎｏ，ステップ＃１９：Ｙｅｓ）、各種モータの制御を中止し（ステップ＃２０）、エラー報知を行い（ステップ＃２１）、姿勢変更制御を終了する。物品Ｗが突出位置Ｐ２に到達したと判断した場合は（ステップ＃１１：Ｙｅｓ）、スライド用モータ３ＳＭを制御して物品Ｗのスライドを停止させる（ステップ＃１２）。その後、旋回用モータ４Ｍを制御して物品Ｗの旋回を開始させる（ステップ＃１３）。その後、旋回量検出センサＳｅ５によって検出された情報を得て、物品Ｗが第二姿勢Ａ２になったか否かを判断する（ステップ＃１４）。規定時間内に物品Ｗが第二姿勢Ａ２になっていないと判断した場合は（ステップ＃１４：Ｎｏ，ステップ＃２２：Ｙｅｓ）、各種モータの制御を中止し（ステップ＃２０）、エラー報知を行い（ステップ＃２１）、姿勢変更制御を終了する。物品Ｗが第二姿勢Ａ２になったと判断した場合は（ステップ＃１４：Ｙｅｓ）、旋回用モータ４Ｍを制御して物品Ｗの旋回を停止させる（ステップ＃１５）。その後、スライド用モータ３ＳＭを制御して横方向第二側Ｙ２への物品Ｗのスライドを開始させる（ステップ＃１６）。その後、スライド量検出センサＳｅ２によって検出された情報を得て、物品Ｗが引退位置Ｐ１に到達したか否かを判断する（ステップ＃１７）。規定時間内に物品Ｗが引退位置Ｐ１に到達していないと判断した場合は（ステップ＃１７：Ｎｏ，ステップ＃２３：Ｙｅｓ）、各種モータの制御を中止し（ステップ＃２０）、エラー報知を行い（ステップ＃２１）、姿勢変更制御を終了する。物品Ｗが引退位置Ｐ１に到達したと判断した場合は（ステップ＃１７：Ｙｅｓ）、スライド用モータ３ＳＭを制御して物品Ｗのスライドを停止させる（ステップ＃１８）。以上の手順を行うことにより、下位制御装置Ｈｄは、姿勢変更制御を実行する。

【0038】

下位制御装置Ｈｄは、上位制御装置Ｈｕから特定搬送指令を受けた場合に（図５参照）、姿勢変更制御を伴う物品Ｗの搬送処理としての特定搬送処理を実行する。姿勢変更制御は、物品Ｗを搬送する過程で実行される。以下、特定搬送処理が実行される手順について、図７を参照して説明する。

【0039】

下位制御装置Ｈｄは、以下の手順により特定搬送処理を実行する。すなわち、特定搬送指令を受けた後、走行用モータ２１Ｍを制御して物品搬送車２を搬送元となる搬送対象場所６へ走行させる（ステップ＃３０）。その後、スライド用モータ３ＳＭ、昇降用モータ３ＨＭ及び把持用モータ３ＧＭを制御して搬送対象場所６の授受部６ｂに載置された物品Ｗを移載する。すなわち、当該載置された物品Ｗを収容部２２ａに収容する（ステップ＃３１）。その後、走行用モータ２１Ｍを制御して搬送先となる搬送対象場所６に向けて物品搬送車２を走行させる（ステップ＃３２）。その後、速度検出センサＳｅ１によって検出された情報を得て、物品搬送車２が渋滞等を原因として停止したか否かを判断する（ステップ＃３３）。物品搬送車２が停止したと判断した場合は（ステップ＃３３：Ｙｅｓ）、位置検出センサＳｅ６によって検出された情報を得て、物品搬送車２の現在位置が姿勢変更許可領域Ｔｐであるか否かを判断する（ステップ＃３４）。物品搬送車２の現在位置が姿勢変更許可領域Ｔｐでないと判断した場合は（ステップ＃３４：Ｎｏ）、渋滞が解消され再び走行を開始する物品搬送車２についてステップ＃３３の処理を行う。物品搬送車２の現在位置が姿勢変更許可領域Ｔｐであると判断した場合は（ステップ＃３４：Ｙｅｓ）、姿勢変更制御を実行する（ステップ＃３５）。姿勢変更制御を実行した後は、走行用モータ２１Ｍを制御して搬送先となる搬送対象場所６に向けて物品搬送車２を再び走行させる（ステップ＃３６）。

【0040】

ステップ＃３３の処理において、物品搬送車２が停止していないと判断した場合は（ステップ＃３３：Ｎｏ）、物品搬送車２の走行中に、物品搬送車２の現在位置が姿勢変更許可領域Ｔｐである旨の位置情報を、位置検出センサＳｅ６が読み取ったか否かを判断する（ステップ＃３７）。前述したように、搬送経路Ｒｔは、複数の位置情報記憶部によって複数の領域に区画されている。複数の位置情報記憶部のうち、姿勢変更許可領域Ｔｐに配置されている位置情報記憶部は、当該位置情報記憶部の配置位置が姿勢変更許可領域Ｔｐである旨の位置情報を記憶している。そのため、物品搬送車２が姿勢変更許可領域Ｔｐにあるときは、物品搬送車２が備える位置検出センサＳｅ６により姿勢変更許可領域Ｔｐに配置されている位置情報記憶部の位置情報を読み取ることで、下位制御装置Ｈｄは、物品搬送車２の現在位置が姿勢変更許可領域Ｔｐにあると判断できる。下位制御装置Ｈｄは、物品搬送車２の走行中に、物品搬送車２の現在位置が姿勢変更許可領域Ｔｐである旨の位置情報を、位置検出センサＳｅ６が読み取っていないと判断した場合は（ステップ＃３７：Ｎｏ）、ステップ＃３３の処理を行う。物品搬送車２の現在位置が姿勢変更許可領域Ｔｐである旨の情報を、位置検出センサＳｅ６が読み取ったと判断した場合は（ステップ＃３７：Ｙｅｓ）、物品搬送車２の現在位置である姿勢変更許可領域Ｔｐが、搬送先となる搬送対象場所６までに存在する複数の姿勢変更許可領域Ｔｐのうち最後の姿勢変更許可領域Ｔｐであるか否かを判断する（ステップ＃３８）。物品搬送車２の現在位置である姿勢変更許可領域Ｔｐが最後の姿勢変更許可領域Ｔｐでないと判断した場合は（ステップ＃３８：Ｎｏ）、ステップ＃３３の処理を行う。物品搬送車２の現在位置である姿勢変更許可領域Ｔｐが最後の姿勢変更許可領域Ｔｐであると判断した場合は（ステップ＃３８：Ｙｅｓ）、走行用モータ２１Ｍを制御して物品搬送車２を停止させる（ステップ＃３９）。その後、姿勢変更制御を実行する（ステップ＃３５）。姿勢変更制御を実行した後は、走行用モータ２１Ｍを制御して搬送先となる搬送対象場所６に向けて物品搬送車２を再び走行させる（ステップ＃３６）。

【0041】

物品搬送車２を再び走行させた後は、位置検出センサＳｅ６によって検出された情報を得て、物品搬送車２が搬送先となる搬送対象場所６に到達したか否かを判断する（ステップ＃４０）。物品搬送車２が搬送先となる搬送対象場所６に到達していないと判断した場合は（ステップ＃４０：Ｎｏ）、ステップ＃３０の処理を繰り返す。物品搬送車２が搬送先となる搬送対象場所６に到達したと判断した場合は（ステップ＃４０：Ｙｅｓ）、走行用モータ２１Ｍを制御して物品搬送車２の走行を停止させる（ステップ＃４１）。その後、スライド用モータ３ＳＭ、昇降用モータ３ＨＭ及び把持用モータ３ＧＭを制御して収容部２２ａに収容された物品Ｗを移載する。すなわち、当該収容された物品Ｗを搬送対象場所６の授受部６ｂに載置する（ステップ＃４２）。以上の手順を行うことにより、下位制御装置Ｈｄは、特定搬送処理を実行する。

【0042】

以上では、下位制御装置Ｈｄが、上位制御装置Ｈｕから特定搬送指令を受けて、特定搬送処理を実行する場合を説明した。しかし、下位制御装置Ｈｄは、単純搬送指令を上位制御装置Ｈｕから受けた場合には（図５参照）、姿勢変更制御を伴わない搬送処理としての単純搬送処理を実行する。下位制御装置Ｈｄは、単純搬送処理を実行するに際し、図７のフローチャートにおけるステップ＃３０からステップ＃３２までの処理を実行した後、ステップ＃４０からステップ＃４２までの処理を実行する。これにより、下位制御装置Ｈｄは、単純搬送処理を実行する。

【0043】

２．第二実施形態
次に、第二実施形態に係る物品搬送設備１について説明する。第二実施形態では、姿勢変更制御の手順のみが第一実施形態と異なる。以下では、第一実施形態と異なる点を中心に説明する。特に説明しない点については、第一実施形態と同様である。

【0044】

図８に示すように、下位制御装置Ｈｄは、姿勢変更制御を、物品Ｗが収容部２２ａの外側におけるカバー部２２ｂと干渉しない範囲内にあって、且つ移載機構３による物品Ｗの移動中に実行する。第二実施形態では、下位制御装置Ｈｄは、物品Ｗが収容部２２ａの外側におけるカバー部２２ｂの内側面２２ｆと干渉しない範囲であって、且つスライド機構３Ｓによる物品Ｗの横方向Ｙに沿う移動中に、姿勢変更制御を実行する。より具体的には、図８に示すように、物品Ｗが収容部２２ａに収容された状態から、スライド機構３Ｓにより物品Ｗを横方向第一側Ｙ１にスライドさせ、物品Ｗが突出位置Ｐ２に配置される前に、物品Ｗの角Ｗｃが内側面２２ｆに干渉しない範囲で姿勢変更機構４により物品Ｗの旋回を開始する。そして、姿勢変更機構４による物品Ｗの旋回を継続させたまま、突出位置Ｐ２に配置された物品Ｗをスライド機構３Ｓにより横方向第二側Ｙ２にスライドさせ、物品Ｗを引退位置Ｐ１（収容部２２ａ）に配置させる。少なくとも、スライド機構３Ｓによって物品Ｗを横方向第二側Ｙ２にスライドさせている途中に物品Ｗの第二姿勢Ａ２への姿勢変更を完了させる。これにより、姿勢変更制御に要する時間を短縮できる。ここで、姿勢変更制御の時間は短いほど好ましい。第二実施形態では、下位制御装置Ｈｄは、姿勢変更機構４によって物品Ｗを第一姿勢Ａ１から第二姿勢Ａ２に変更するために当該物品Ｗを旋回させる時間と、スライド機構３Ｓによって物品Ｗを収容部２２ａから突出させ再び収容部２２ａに収容するまでの時間と、の差が短くなるように、姿勢変更機構４（旋回用モータ４Ｍ）及びスライド機構３Ｓ（スライド用モータ３ＳＭ）を制御する。詳細には、物品Ｗを横方向第一側Ｙ１にスライドさせる過程で、物品Ｗがカバー部２２ｂに干渉しない非干渉位置に位置するまで物品Ｗの旋回を開始できないから、物品Ｗを収容部２２ａから突出させ再び収容部２２ａに収容するまでのうちの物品Ｗがカバー部２２ｂと干渉しない範囲にいる時間が、物品Ｗを旋回させる時間と同程度になるように、下位制御装置Ｈｄは、姿勢変更機構４（旋回用モータ４Ｍ）及びスライド機構３Ｓ（スライド用モータ３ＳＭ）を制御する。これにより、姿勢変更制御に要する時間を更に短縮できる。

【0045】

次に、第二実施形態に係る姿勢変更制御の手順について、図９を参照して説明する。なお、以下の説明では、物品Ｗを収容部２２ａに収容された状態から横方向第一側Ｙ１にスライドさせた後、当該物品Ｗを横方向第二側Ｙ２にスライドさせて当該物品Ｗを収容部２２ａに収容させるまでの一連の動作を、往復スライドと称する。第二実施形態に係る姿勢変更制御では、往復スライドの開始から終了までの間であって、カバー部２２ｂと干渉しない範囲内にある間に、物品Ｗの姿勢を第一姿勢Ａ１から第二姿勢Ａ２に変更する。

【0046】

下位制御装置Ｈｄは、以下の手順により第二実施形態に係る姿勢変更制御を実行する。すなわち、スライド量検出センサＳｅ２の情報を得て、物品Ｗの横方向Ｙにおける位置を把握しながらスライド用モータ３ＳＭを制御することで、物品Ｗの往復スライドを開始させる（ステップ＃５０）。その後、スライド量検出センサＳｅ２によって検出される情報を得て、中間姿勢Ａｍの物品Ｗが非干渉位置に位置しているか否かを判断する（ステップ＃５１）。ここで、非干渉位置は、物品Ｗの大きさや形状、物品Ｗの旋回量及び物品Ｗのスライド量の組み合わせにより様々である。第二実施形態では、予め下位制御装置Ｈｄは、様々なパターンにおける複数の非干渉位置の情報を記憶している。第二実施形態では、下位制御装置Ｈｄは、この予め記憶された情報を用いて、非干渉位置に物品Ｗが位置しているか否かを判断する。規定時間内に物品Ｗが非干渉位置にないと判断した場合、すなわち、中間姿勢Ａｍの物品Ｗがカバー部２２ｂと干渉する位置であると判断した場合は（ステップ＃５１：Ｎｏ，ステップ＃５６：Ｙｅｓ）、各種モータの制御を中止し（ステップ＃５７）、エラー報知を行い（ステップ＃５８）、姿勢変更制御を終了する。物品Ｗが非干渉位置にあると判断した場合は（ステップ＃５１：Ｙｅｓ）、旋回用モータ４Ｍを制御して物品Ｗの旋回を開始させる（ステップ＃４２）。その後、旋回量検出センサＳｅ５によって検出される情報を得て、物品Ｗが第二姿勢Ａ２になったか否かを判断する（ステップ＃５３）。規定時間内に物品Ｗが第二姿勢Ａ２になっていないと判断した場合は（ステップ＃５３：Ｎｏ，ステップ＃５９：Ｙｅｓ）、各種モータの制御を中止し（ステップ＃５７）、エラー報知を行い（ステップ＃５８）、姿勢変更制御を終了する。物品Ｗが第二姿勢Ａ２になったと判断した場合は（ステップ＃５３：Ｙｅｓ）、旋回用モータ４Ｍを制御して物品Ｗの旋回を停止させる（ステップ＃５４）。その後、物品Ｗの往復スライドを終了させる（ステップ＃５５）。以上の手順により、下位制御装置Ｈｄは、第二実施形態に係る姿勢変更制御を実行する。

【0047】

３．その他の実施形態
次に、物品搬送設備のその他の実施形態について説明する。

【0048】

（１）上記の実施形態では、姿勢変更許可領域Ｔｐが、移動経路Ｒにおける、工程内経路Ｒｉと工程間経路Ｒｃとの接続領域Ｔｃに設定されている例について説明した。しかし、本発明に係る物品搬送設備１は、このような構成に限定されない。すなわち、図１に示すように、移動経路Ｒ内に、物品搬送車２が退避する退避経路Ｒｅを別途設け、姿勢変更許可領域Ｔｐは退避経路Ｒｅに設定されていても良い。これによれば、物品搬送車２が姿勢変更制御を実行する際に、移動経路Ｒ内における退避経路Ｒｅ以外の経路を走行する他の物品搬送車２の走行に影響を与えることを大幅に抑制できる。

【0049】

（２）上記の実施形態では、支持部材５が、姿勢変更許可領域Ｔｐに設けられており、下位制御装置Ｈｄが姿勢変更制御を実行する過程で、スライド機構３Ｓを支持部材５に支持させる例について説明した。しかし、本発明に係る物品搬送設備１は、このような構成に限定されない。すなわち、姿勢変更許可領域Ｔｐに支持部材５を設けなくても良く、下位制御装置Ｈｄは、支持部材５のない領域で姿勢変更制御を実行しても良い。

【0050】

（３）上記の実施形態では、下位制御装置Ｈｄは、搬送経路Ｒｔの途中における物品搬送車２の渋滞停止中に姿勢変更制御を実行する例について説明した。しかし、本発明に係る物品搬送設備１は、このような構成に限定されない。すなわち、上位制御装置Ｈｕ又は下位制御装置Ｈｄが搬送経路Ｒｔの渋滞を認知可能に構成され、搬送経路Ｒｔが渋滞中であると判断した場合に、物品搬送車２を直近の姿勢変更許可領域Ｔｐに移動させた上で姿勢変更制御を実行しても良い。

【0051】

（４）上記の実施形態では、下位制御装置Ｈｄは、搬送経路Ｒｔの途中における物品搬送車２の停止中に姿勢変更制御を実行する例について説明した。しかし、本発明に係る物品搬送設備１は、このような構成に限定されない。すなわち、下位制御装置Ｈｄは、姿勢変更許可領域Ｔｐ内を物品搬送車２が走行中に姿勢変更制御を実行しても良い。この場合には、安全に姿勢変更制御を実行するために、物品搬送車２を低速で走行させるようにすると良い。

【0052】

（５）上記の実施形態では、鉛直方向Ｚに沿う旋回軸４ｂの回転によって第一姿勢Ａ１から第二姿勢Ａ２に物品Ｗの姿勢を変更する例について説明した。すなわち、上記の実施形態では、物品Ｗの姿勢を水平面内において２次元的に変更させていた。しかし、本発明に係る物品搬送設備１は、このような構成に限定されない。すなわち、搬送先の態様によって物品Ｗの姿勢を３次元的に変更させても良い。例えば、搬送元では、物品Ｗの開口部Ｗｂが水平方向に向いた状態であるのに対し、搬送先では、物品Ｗの開口部Ｗｂを鉛直方向Ｚ、又は鉛直斜め方向に向いた状態にしなければならない場合には、物品Ｗを鉛直軸及び水平軸周りに旋回させることで物品Ｗの姿勢を変更させても良い。

【0053】

（６）上記の実施形態では、把持部３Ｇａを横移動させる横移動機構として、把持部３Ｇａをスライドさせるスライド機構３Ｓを例示して説明した。しかし、本発明に係る物品搬送設備１は、このような構成に限定されない。すなわち、横移動機構３Ｓとして、アームを有するリンク機構等であっても良く、当該アームにより把持部３Ｇａを横移動させても良い。

【0054】

（７）上記の実施形態では、物品Ｗのフランジ部Ｗａを把持する把持機構３Ｇが、移載機構３の一部として構成されている例について説明した。しかし、本発明に係る物品搬送設備１は、このような構成に限定されない。すなわち、物品Ｗを下方から支持するフォーク機構が移載機構の一部として構成されていても良い。この場合には、フォーク機構が物品Ｗを下方から支持した状態で、当該フォーク機構を姿勢変更機構により旋回させるようにすると良い。

【0055】

（８）上記の実施形態では、物品Ｗの姿勢を第一姿勢Ａ１から第二姿勢Ａ２に変更するために、姿勢変更制御を実行する過程で、スライド機構３Ｓによって物品Ｗを収容部２２ａの外側に移動させる例について説明した。しかし、本発明に係る物品搬送設備１は、このような構成に限定されてない。すなわち、昇降機構３Ｈによって物品Ｗを下降させることにより当該物品Ｗを収容部２２ａの外側に移動させても良い。この状態で姿勢変更機構４によって物品Ｗを旋回させることにより当該物品Ｗの姿勢変更を行う。この場合には、スライド機構３Ｓは設けなくても良いし、スライド機構３Ｓを支持する支持部材５も設けなくて良い。すなわち、移載機構３は、物品Ｗを把持する把持部３Ｇａと、把持部３Ｇａを鉛直方向Ｚに沿って昇降させる昇降機構３Ｈと、を備え、姿勢変更機構４は、鉛直方向Ｚに沿う旋回軸周りに把持部３Ｇａを旋回させる旋回部４ａを備え、第一姿勢Ａ１と第二姿勢Ａ２との間での姿勢変更は旋回軸周りでの物品Ｗの旋回によって行われ、姿勢変更制御は、昇降機構３Ｈにより物品Ｗが収容部２２ａに対して外側に位置するように把持部３Ｇａを下降させた状態で、物品Ｗを旋回軸周りに旋回させることにより行うと良い。

【0056】

（９）なお、前述した各実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。従って、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。

【0057】

４．上記実施形態の概要
以下、上記において説明した物品搬送設備の概要について説明する。

【0058】

物品搬送設備は、複数の搬送対象場所の間で移動経路に沿って移動して物品を搬送する物品搬送車と、当該物品搬送車を制御する制御装置と、を備え、前記物品搬送車は、前記物品を収容する収容部と、当該収容部を覆うカバー部と、前記収容部と当該収容部に対して外側に位置する前記複数の搬送対象場所の一つとの間で前記物品を移動させて当該搬送対象場所と前記物品搬送車との間の前記物品の移載を行う移載機構と、搬送中の前記物品の姿勢を変更する姿勢変更機構と、を有し、前記姿勢変更機構は、前記物品の姿勢を、搬送元である前記搬送対象場所での移載のための姿勢である第一姿勢と、搬送先である前記搬送対象場所での移載のための姿勢である第二姿勢とに変更可能であり、前記カバー部は、前記収容部に収容された状態の前記物品が前記第一姿勢である場合及び前記第二姿勢である場合に前記物品と干渉せず、前記物品の姿勢が前記第一姿勢と前記第二姿勢との間で変更する過程の姿勢である中間姿勢である場合に前記物品と干渉する位置に設けられ、前記制御装置は、前記搬送元から前記搬送先までの経路である搬送経路の途中において、前記移載機構により前記収容部に対して外側に前記物品を移動させた状態で前記姿勢変更機構によって前記物品を前記第一姿勢から前記第二姿勢に変更した後、前記物品を前記移載機構により前記収容部に収容する制御である姿勢変更制御を実行する。

【0059】

本構成では、収容部を覆うカバー部は、第一姿勢又は第二姿勢の物品が収容部に収容された状態で、当該物品と干渉しない位置に設けられている。一方で、このカバー部が設けられる位置は、収容部に収容された状態の物品が中間姿勢になった場合に、当該物品と干渉する位置となっている。すなわち、収容部を覆うカバー部と物品との隙間は比較的小さく設定されている。従って、本構成に係る物品搬送設備によれば、物品搬送車の大型化を抑制することができる。また、本構成では、物品搬送車が、搬送元から搬送先までの経路である搬送経路の途中において、移載機構により収容部に対して外側に物品を移動させた状態で、物品搬送車が備える姿勢変更機構によって物品の姿勢を第一姿勢から第二姿勢に変更する。従って、本構成によれば、物品搬送のための時間及び空間を有効利用して、物品の姿勢変更を行うことができる。このため、物品搬送車とは別に姿勢変更機構を備える場合に比べて、設備の小型化及び低コスト化を図ることが容易となっている。

【0060】

また、前記移載機構は、前記物品を把持する把持部と、前記把持部を鉛直方向に沿って昇降させる昇降機構と、前記搬送経路に交差すると共に水平方向に沿う方向である横方向に沿って前記把持部を横移動させる横移動機構と、を備え、前記姿勢変更機構は、前記鉛直方向に沿う旋回軸周りに前記把持部を旋回させる旋回部を備え、前記第一姿勢と前記第二姿勢との間での姿勢変更は前記旋回軸周りでの前記物品の旋回によって行われ、前記姿勢変更制御は、前記横移動機構により前記物品が前記収容部に対して外側に位置するように前記把持部を横移動させた状態で、前記物品を前記旋回軸周りに旋回させることにより行うと好適である。

【0061】

本構成によれば、物品の鉛直方向及び横方向の位置と旋回軸周りの角度とを調整して搬送先に移載することができる。また、そのような調整のための機構を利用して、搬送経路の途中において、カバー部に干渉しないように収容部に対して外側に物品を移動させた状態で、物品の姿勢を第一姿勢から第二姿勢に変更することができる。

【0062】

また、上記の構成に加えて、前記移動経路は、天井から吊り下げ支持されたレールにより定まり、前記移載機構は、前記レール又は前記天井に支持されると共に前記移動経路に隣接する位置に配置された支持部材を更に備え、前記支持部材は、前記物品が前記収容部に対して外側に位置するように前記把持部を横移動させた状態で、前記横移動機構を前記鉛直方向に支持するように設けられていると好適である。

【0063】

物品を把持した状態の把持部が収容部に対して外側に位置するように、当該把持部を移載機構によって横移動させると、把持部が横移動した距離に比例して物品搬送車を中心とするモーメントが大きくなり、物品搬送車やレール等に負担が掛かる場合がある。本構成では、物品が収容部に対して外側に位置するように把持部を横移動させた状態で、支持部材が横移動機構を鉛直方向に支持する。すなわち、支持部材が、横移動機構を介して間接的に把持部及びこれに把持された物品を支持でき、その結果、物品搬送車やレール等に掛かる負担を軽減できる。

【0064】

また、前記制御装置は、前記搬送経路の途中における前記物品搬送車の停止中に前記姿勢変更制御を実行すると好適である。

【0065】

本構成によれば、物品搬送車が停止中の安定した状態で、姿勢変更制御を実行できる。また、物品搬送車の移動中に収容部に対して外側に物品を移動させることがないので、収容部に対して外側にある当該物品と移動経路の周囲に存在する他の部材とが干渉することを抑制できる。

【0066】

また、前記制御装置は、前記姿勢変更制御を、前記物品が前記収容部の外側における前記カバー部と干渉しない範囲内にあって、且つ前記移載機構による前記物品の移動中に実行すると好適である。

【0067】

本構成によれば、移載機構による収容部の内側と外側との間での物品の移動中に姿勢変更制御を実行できるから、移載機構による物品の移動と姿勢変更とを各別に行う場合に比べて、姿勢変更制御に要する時間を短縮できる。更に、このような姿勢変更制御は、物品が収容部の外側におけるカバー部と干渉しない範囲内で行われるので、物品とカバー部とが干渉することも抑制できる。

【0068】

また、前記移載機構により前記収容部に対して外側に前記物品を横移動させた状態で、前記移載機構及び前記物品が前記搬送経路の周囲に存在する他の部材と干渉しない前記搬送経路の領域が、姿勢変更許可領域として設定され、前記制御装置は、前記物品搬送車が前記姿勢変更許可領域内にある場合に、前記姿勢変更制御を実行すると好適である。

【0069】

本構成によれば、移載機構及び物品が搬送経路の周囲に存在する他の部材と干渉しない領域である姿勢変更許可領域に物品搬送車があるときに姿勢変更制御が実行されるから、姿勢変更制御の実行中に移載機構及び物品が搬送経路の周囲に存在する他の部材と干渉することを抑制できる。

【0070】

また、前記物品は、半導体基板が収納される容器であり、前記搬送対象場所には、前記半導体基板に対する処理を行う処理装置と前記物品搬送車との間での前記物品の授受のための授受部が含まれ、複数の前記授受部が工程内経路で結ばれていると共に、複数の工程内経路が工程間経路で結ばれており、前記姿勢変更許可領域は、前記移動経路における、前記工程内経路と前記工程間経路との接続領域に設定されていると好適である。

【0071】

このような工程内経路及び工程間経路を備える設備において、工程内経路と工程間経路とのそれぞれには、各処理装置で処理を行う半導体基板を搬送するために、比較的多くの物品搬送車が走行している。これに対して、工程内経路と工程間経路との接続領域では、比較的物品搬送車の数が少ない。本構成では、この接続領域が姿勢変更許可領域に設定されているため、特定の物品搬送車の姿勢変更制御が、他の物品搬送車の走行に影響を与えることを抑制することができる。従って、物品搬送設備の全体の搬送効率の低下を抑制することができる。

【産業上の利用可能性】

【0072】

本開示に掛かる技術は、複数の搬送対象場所の間で移動経路に沿って移動して物品を搬送する物品搬送車を備えた物品搬送設備に利用することができる。

【符号の説明】

【0073】

１ ：物品搬送設備
２ ：物品搬送車
３ ：移載機構
３Ｇ ：把持機構
３Ｇａ ：把持部
３Ｈ ：昇降機構
３Ｓ ：横移動機構（スライド機構）
４ ：姿勢変更機構
４ａ ：旋回部
４ｂ ：旋回軸
５ ：支持部材
６ ：搬送対象場所
６ａ ：処理装置
６ｂ ：授受部
２２ａ ：収容部
２２ｂ ：カバー部
９８ ：レール
９９ ：天井
Ａ１ ：第一姿勢
Ａ２ ：第二姿勢
Ａｍ ：中間姿勢
Ｈ ：制御装置
Ｈｄ ：下位制御装置
Ｈｕ ：上位制御装置
Ｒ ：移動経路
Ｒｃ ：工程間経路
Ｒｅ ：退避経路
Ｒｉ ：工程内経路
Ｒｔ ：搬送経路
Ｔｃ ：接続領域
Ｔｐ ：姿勢変更許可領域
Ｗ ：物品
Ｙ ：横方向
Ｚ ：鉛直方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】