特許6588077マイクロ電気機械的トランスデューサ、エネルギーハーベスター、およびマイクロ電気機械的変換方法

発明の名称　マイクロ電気機械的トランスデューサ、エネルギーハーベスター、およびマイクロ電気機械的変換方法

出願人　コモンウェルス　サイエンティフィック　アンド　インダストリアル　リサーチ　オーガニゼイション　（識別番号 512297170）

　　　　特許公開件数ランキング 30226 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 24536 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6588077

公報発行日　2019年10月9

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6588077

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