特許6589381脆性材料基板における垂直クラックの形成方法および脆性材料基板の分断方法

発明の名称　脆性材料基板における垂直クラックの形成方法および脆性材料基板の分断方法

出願人　三星ダイヤモンド工業株式会社　（識別番号 390000608）

　　　　特許公開件数ランキング 2498 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1938 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6589381

公報発行日　2019年10月16

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6589381

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