特許6591699光酸発生剤及びフォトリソグラフィー用樹脂組成物

発明の名称　光酸発生剤及びフォトリソグラフィー用樹脂組成物

出願人　サンアプロ株式会社　（識別番号 106139）

　　　　特許公開件数ランキング 1908 位（10件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1290 位（15件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6591699

公報発行日　2019年10月16

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6591699

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