特許 6596773 欠陥検査装置および欠陥検査方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6596773

(24)【登録日】2019年10月11日

(45)【発行日】2019年10月30日

(54)【発明の名称】欠陥検査装置および欠陥検査方法

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/89 20060101AFI20191021BHJP

   G01B 11/30 20060101ALI20191021BHJP

   G01N 21/892 20060101ALI20191021BHJP

【ＦＩ】

   G01N21/89 Z

   G01B11/30 A

   G01N21/892 A

   G01N21/892 B

【請求項の数】2

【全頁数】18

(21)【出願番号】特願2017-172371(P2017-172371)

(22)【出願日】2017年9月7日

(65)【公開番号】特開2019-49413(P2019-49413A)

(43)【公開日】2019年3月28日

【審査請求日】2017年9月7日

【審判番号】不服2018-13618(P2018-13618/J1)

【審判請求日】2018年10月12日

(73)【特許権者】

【識別番号】592180823

【氏名又は名称】株式会社メック

(74)【代理人】

【識別番号】100161207

【弁理士】

【氏名又は名称】西澤 和純

(74)【代理人】

【識別番号】100139686

【弁理士】

【氏名又は名称】鈴木 史朗

(74)【代理人】

【識別番号】100206391

【弁理士】

【氏名又は名称】柏野 由布子

(72)【発明者】

【氏名】布施 正樹

(72)【発明者】

【氏名】赤羽 秀友

【合議体】

【審判長】 三崎 仁

【審判官】 ▲高▼見 重雄

【審判官】 伊藤 昌哉

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１４−２２４７６３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００２−３１６０２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特許第３９９２８８４（ＪＰ，Ｂ２）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

G01N 21/84-21/958

G01B 11/00-11/30

G01M 11/00

B21C 51/00

H04N 7/18

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

長尺、帯状の金属板や樹脂からなるフィルムである検査対象物の欠陥を検査する欠陥検査装置であって、
第１移動量検知部と、光学系検知部と、前記検査対象物を一時的に貯留するように稼働されるアキュムレータと、第２移動量検知部と、マーカーと、欠陥検出部、第１カウンタ部、第２カウンタ部、補正量計算部、Ｙ座標変換部および処理部からなる制御部と、を備え、
前記第１移動量検知部および前記第２移動量検知部は、搬送ライン上を、走行方向をＹ方向とする一定方向に移動する前記検査対象物の移動距離を測定し、前記検査対象物が所定距離を移動するごとにパルス信号を出力し、前記第１移動量検知部は、前記検査対象物の走行方向に対して前記アキュムレータより前で前記検査対象物の移動量を検知し、前記第２移動量検知部は、前記アキュムレータより後で前記検査対象物の移動量を検知し、
前記光学系検知部は、前記検査対象物の移動方向に対して前記アキュムレータより前で検査対象物を撮像し、前記第１移動量検知部が出力した前記パルス信号のカウント値を入力し、前記撮像した画像信号に対して前記入力したカウント値に基づくＹ方向の座標値を表す信号を対応づけて出力し、
前記第１カウンタ部は、前記第１移動量検知部が出力したパルス数をカウントし、前記第２カウンタ部は、前記第２移動量検知部が出力したパルス数をカウントし、
前記欠陥検出部は、前記光学系検知部からのＹ方向の座標値を表す信号が対応づけられた前記画像信号を画像処理することにより欠陥を検出し、Ｙ座標を含む欠陥情報を出力し、
前記補正量計算部は、前記アキュムレータが稼働していない間、所定の間隔で、前記第１カウンタ部のカウント値から求めたＹ座標と、前記第２カウンタ部のカウント値から求めたＹ座標との誤差に伴うずれを補正する補正量を計算し、
前記Ｙ座標変換部は、前記補正量計算部で計算した前記補正量を用いて、前記欠陥検出部で検出した欠陥情報に含まれるＹ座標を、前記第２カウンタ部のカウント値を基準とするＹ座標に変換し、
前記処理部は、前記マーカーを制御して、前記変換されたＹ座標を含む欠陥情報に基づいて前記検査対象物上で欠陥が検出された位置にマーキングを行う、
欠陥検査装置。

【請求項2】

長尺、帯状の金属板や樹脂からなるフィルムである検査対象物の欠陥を検査する欠陥検査方法であって、
第１移動量検知部と、光学系検知部と、前記検査対象物を一時的に貯留するように稼働されるアキュムレータと、第２移動量検知部と、マーカーと、欠陥検出部、第１カウンタ部、第２カウンタ部、補正量計算部、Ｙ座標変換部および処理部からなる制御部と、を備え、
前記第１移動量検知部および前記第２移動量検知部は、搬送ライン上を、走行方向をＹ方向とする一定方向に移動する前記検査対象物の移動距離を測定し、前記検査対象物が所定距離を移動するごとにパルス信号を出力し、前記第１移動量検知部は、前記検査対象物の走行方向に対して前記アキュムレータより前で前記検査対象物の移動量を検知し、前記第２移動量検知部は、前記アキュムレータより後で前記検査対象物の移動量を検知し、
前記光学系検知部は、前記検査対象物の移動方向に対して前記アキュムレータより前で検査対象物を撮像し、前記第１移動量検知部が出力した前記パルス信号のカウント値を入力し、前記撮像した画像信号に対して前記入力したカウント値に基づくＹ方向の座標値を表す信号を対応づけて出力し、
前記第１カウンタ部は、前記第１移動量検知部が出力したパルス数をカウントし、前記第２カウンタ部は、前記第２移動量検知部が出力したパルス数をカウントし、
前記欠陥検出部は、前記光学系検知部からのＹ方向の座標値を表す信号が対応づけられた前記画像信号を画像処理することにより欠陥を検出し、Ｙ座標を含む欠陥情報を出力し、
前記補正量計算部は、前記アキュムレータが稼働していない間、所定の間隔で、前記第１カウンタ部のカウント値から求めたＹ座標と、前記第２カウンタ部のカウント値から求めたＹ座標との誤差に伴うずれを補正する補正量を計算し、
前記Ｙ座標変換部は、前記補正量計算部で計算した前記補正量を用いて、前記欠陥検出部で検出した欠陥情報に含まれるＹ座標を、前記第２カウンタ部のカウント値を基準とするＹ座標に変換し、
前記処理部は、前記マーカーを制御して、前記変換されたＹ座標を含む欠陥情報に基づいて前記検査対象物上で欠陥が検出された位置にマーキングを行う、
欠陥検査方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、欠陥検査装置および欠陥検査方法に関する。

【背景技術】

【0002】

フィルムなどの検査対象物に存在する欠陥を検査するための欠陥検査装置には、検査位置と巻取位置の間で走行速度を変更するアキュムレータ（あるいはルーパ）が存在する場合に対応できるようにしたものがある（特許文献１）。ここで、アキュムレータ（あるいはルーパ）は、製品の検査や速度調整のために搬送ラインの一部において検査対象物の移動速度（搬送ライン速度）を変更する場合に、検査対象物を一時貯留するものであって、移動速度の変化に応じてその貯留量を変化させる設備である。

【0003】

アキュムレータは、例えば、ライン走行中のフィルムを一時的に蓄えることで、フィルム生産側を停止させることなく巻取り側のロールを交換することができるように設けられる。また、ルーパは、例えば、ライン速度が異なる２つの鋼板製造設備間に設けられている。この場合、ルーパは、鋼板の溜め込みおよび払い出しを行うことによって２つの鋼板製造設備間のライン速度差を吸収することにより、プロセスライン全体のライン速度を一定に保持する。アキュムレータとルーパは同様の構成を有する。

【0004】

図１２は、ルーパ（あるいはアキュムレータ）の構成例を示す概略図である。図１２（ａ）はルーパの一例をルーパ４４ａとして示し、図１２（ｂ）はルーパの他の例をルーパ４４ｂとして示す。図１２（ａ）に示すルーパ４４ａは、２つのローラー４４１および４４２と、その間の下部に配置された穴部４４３から構成されている。検査対象物１は穴部４４３内を経由して搬送され、２つのローラー４４１および４４２間において貯留される。その際、ルーパ４４ａ前後の検査対象物１の移動速度に応じてローラー４４１および４４２間において貯留されている検査対象物１の量が変化する。すなわち、ルーパ４４ａの前方における検査対象物１の移動速度が後方における移動速度よりも大きいときは検査対象物の貯留量が増加し、ルーパ４４ａの前方における検査対象物１の移動速度が後方における移動速度よりも小さいときは検査対象物１の貯留量が減少する。

【0005】

また、図１２（ｂ）に示すルーパ４４ｂは、２つのローラー４４１および４４２と、可動ローラー４４４から構成されている。検査対象物１はローラー４４１、可動ローラー４４４およびローラー４４２の外周を順次経由して搬送される。このルーパ４４ｂは可動ローラー４４４を図中矢印で示す移動方向に移動させることによってローラー４４１および４４２間において貯留されている検査対象物１の量を変化させる。

【0006】

特許文献１に記載されている欠陥検査装置では、検査対象物貯留手段（ルーパ）の貯留量検出手段によって検出された検査対象物の貯留量に応じて、検査対象物貯留手段によって検査対象物の欠陥位置の貯留が開始された時点での、所定の出力手段に表示される欠陥位置を設定するとともに、出力手段に表示される貯留中の検査対象物の欠陥位置が移動される。この構成によれば、検出位置で検出された欠陥が搬送ライン上のどの位置まで到達しているかを検査位置において容易に把握することができ、検査位置への欠陥の到着を確実に知ることができる。

【0007】

ところで、特許文献１の段落［００３０］には、下記のような記載がある。“ルーパ量検出手段（図示せず）を設け、検出されたルーパ量をライン制御盤（図示せず）から０〜１０Ｖのアナログ値をアナログ入力ユニットで入力し、この値を８ビットのデジタル信号に変換して制御コンピュータ８に出力し、ルーパ量に応じて制御コンピュータ８の記憶部２１に記憶された欠陥位置の座標を設定することが好ましい。ルーパ量として検出されるアナログ値（０〜１０Ｖ）は、ルーパが貯留可能な検査対象物の量に対する実際に貯留されている検査対象物の量の割合（０〜１００％）を示している。例えばルーパに貯留可能な検査対象物の量が４００ｍの場合、ルーパ量が０％の場合貯留されている検査対象物は０ｍであり、ルーパ量が１００％の場合４００ｍである。”

【先行技術文献】

【特許文献】

【0008】

【特許文献1】特許第３９９２８８４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0009】

上述した特許文献１に記載されている欠陥検査装置では、４００ｍを８ビットで表しているので、分解能は、１．５６ｍであり、アキュムレータ（あるいはルーパ）前後の流れ方向位置（Ｙ座標）を正確に求めるうえでは、粗い精度となる。

【0010】

本発明の目的は、アキュムレータ（あるいはルーパ）前後の流れ方向位置（Ｙ座標）を正確に求めることで、下記の要求の少なくとも１つに対応する欠陥検査装置および欠陥検査方法を提供することである。
１）巻取ったフィルム等の検査対象物の欠陥座標の精度を上げる。
２）アキュムレータ（あるいはルーパ）前後の光学系で検出した欠陥が同じ欠陥であると判断できる。

【課題を解決するための手段】

【0011】

上記課題を解決するため、本発明の一態様は、長尺、帯状の金属板や樹脂からなるフィルムである検査対象物の欠陥を検査する欠陥検査装置であって、第１移動量検知部と、光学系検知部と、前記検査対象物を一時的に貯留するように稼働されるアキュムレータと、第２移動量検知部と、マーカーと、欠陥検出部、第１カウンタ部、第２カウンタ部、補正量計算部、Ｙ座標変換部および処理部からなる制御部と、を備え、前記第１移動量検知部および前記第２移動量検知部は、搬送ライン上を、走行方向をＹ方向とする一定方向に移動する前記検査対象物の移動距離を測定し、前記検査対象物が所定距離を移動するごとにパルス信号を出力し、前記第１移動量検知部は、前記検査対象物の走行方向に対して前記アキュムレータより前で前記検査対象物の移動量を検知し、前記第２移動量検知部は、前記アキュムレータより後で前記検査対象物の移動量を検知し、前記光学系検知部は、前記検査対象物の移動方向に対して前記アキュムレータより前で検査対象物を撮像し、前記第１移動量検知部が出力した前記パルス信号のカウント値を入力し、前記撮像した画像信号に対して前記入力したカウント値に基づくＹ方向の座標値を表す信号を対応づけて出力し、前記第１カウンタ部は、前記第１移動量検知部が出力したパルス数をカウントし、前記第２カウンタ部は、前記第２移動量検知部が出力したパルス数をカウントし、前記欠陥検出部は、前記光学系検知部からのＹ方向の座標値を表す信号が対応づけられた前記画像信号を画像処理することにより欠陥を検出し、Ｙ座標を含む欠陥情報を出力し、前記補正量計算部は、前記アキュムレータが稼働していない間、所定の間隔で、前記第１カウンタ部のカウント値から求めたＹ座標と、前記第２カウンタ部のカウント値から求めたＹ座標との誤差に伴うずれを補正する補正量を計算し、前記Ｙ座標変換部は、前記補正量計算部で計算した前記補正量を用いて、前記欠陥検出部で検出した欠陥情報に含まれるＹ座標を、前記第２カウンタ部のカウント値を基準とするＹ座標に変換し、前記処理部は、前記マーカーを制御して、前記変換されたＹ座標を含む欠陥情報に基づいて前記検査対象物上で欠陥が検出された位置にマーキングを行う、欠陥検査装置である。

【0015】

また、本発明の一態様は、長尺、帯状の金属板や樹脂からなるフィルムである検査対象物の欠陥を検査する欠陥検査方法であって、第１移動量検知部と、光学系検知部と、前記検査対象物を一時的に貯留するように稼働されるアキュムレータと、第２移動量検知部と、マーカーと、欠陥検出部、第１カウンタ部、第２カウンタ部、補正量計算部、Ｙ座標変換部および処理部からなる制御部と、を備え、前記第１移動量検知部および前記第２移動量検知部は、搬送ライン上を、走行方向をＹ方向とする一定方向に移動する前記検査対象物の移動距離を測定し、前記検査対象物が所定距離を移動するごとにパルス信号を出力し、前記第１移動量検知部は、前記検査対象物の走行方向に対して前記アキュムレータより前で前記検査対象物の移動量を検知し、前記第２移動量検知部は、前記アキュムレータより後で前記検査対象物の移動量を検知し、前記光学系検知部は、前記検査対象物の移動方向に対して前記アキュムレータより前で検査対象物を撮像し、前記第１移動量検知部が出力した前記パルス信号のカウント値を入力し、前記撮像した画像信号に対して前記入力したカウント値に基づくＹ方向の座標値を表す信号を対応づけて出力し、前記第１カウンタ部は、前記第１移動量検知部が出力したパルス数をカウントし、前記第２カウンタ部は、前記第２移動量検知部が出力したパルス数をカウントし、前記欠陥検出部は、前記光学系検知部からのＹ方向の座標値を表す信号が対応づけられた前記画像信号を画像処理することにより欠陥を検出し、Ｙ座標を含む欠陥情報を出力し、前記補正量計算部は、前記アキュムレータが稼働していない間、所定の間隔で、前記第１カウンタ部のカウント値から求めたＹ座標と、前記第２カウンタ部のカウント値から求めたＹ座標との誤差に伴うずれを補正する補正量を計算し、前記Ｙ座標変換部は、前記補正量計算部で計算した前記補正量を用いて、前記欠陥検出部で検出した欠陥情報に含まれるＹ座標を、前記第２カウンタ部のカウント値を基準とするＹ座標に変換し、前記処理部は、前記マーカーを制御して、前記変換されたＹ座標を含む欠陥情報に基づいて前記検査対象物上で欠陥が検出された位置にマーキングを行う、欠陥検査方法である。

【発明の効果】

【0016】

本発明によれば、第２移動量または第２移動量に対応する値を基準として算出した第１移動量または第１移動量に対応する値の補正量を用いて補正した値に基づき検査対象物上の欠陥の座標を演算するので、検査対象物の欠陥座標の精度を上げることができる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】本発明の一実施形態に係る欠陥検査装置の配置例を示す平面図であり、図１（ａ）はアキュムレータより上流に光学系がある場合、図１（ｂ）はアキュムレータの前後に光学系がある場合、図１（ｃ）は前後の光学系間のパスラインが変更される場合を示す。

【図2】図１に示す欠陥検査装置１００ａの構成例を示すブロック図である。

【図3】図１に示す欠陥検査装置１００ｂの構成例を示すブロック図である。

【図4】図１〜図３に示す欠陥検査装置１００ａ、１００ｂおよび１００ｃの動作例を示すフローチャートである。

【図5】図５（ａ）は図１（ａ）および図２に示す欠陥検査装置１００ａの動作例を示すフローチャートであり、図５（ｂ）は図１（ｂ）および図３に示す欠陥検査装置１００ｂの動作例を示すフローチャートである。

【図6】図１に示すアキュムレータ稼働時のエンコーダ（１）２とエンコーダ（２）６の速度変動を説明するための図である。

【図7】図１（ｂ）および図３に示す欠陥検査装置１００ｂの検査開始時のタイミングを説明するための図である。

【図8】図１（ｂ）および図３に示す欠陥検査装置１００ｂのカット処理時のタイミングを説明するための図である。

【図9】図１（ｂ）および図３に示す欠陥検査装置１００ｂの検査停止時のタイミングを説明するための図である。

【図10】図１（ｂ）および図３に示す欠陥検査装置１００ｂの実施例の検査対象を示す図である。

【図11】図１（ｂ）および図３に示す欠陥検査装置１００ｂの実施例の装置構成を示す図である。

【図12】図１２（ａ）はルーパの一例を示す概略図であり、図１２（ｂ）はルーパの他の例を示す概略図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る欠陥検査装置１００ａ、１００ｂおよび１００ｃの配置例を示す平面図である。図１（ａ）はアキュムレータ４より上流に光学系検知部（１）３がある場合、図１（ｂ）はアキュムレータ４の前後に光学系検知部（１）３および光学系検知部（２）５がある場合、図１（ｃ）は前後の光学系間のパスラインが変更される場合を示す。図２は、図１（ａ）に示す欠陥検査装置１００ａの構成例を示すブロック図である。図３は、図１（ｂ）に示す欠陥検査装置１００ｂおよび図１（ｃ）に示す欠陥検査装置１００ｃの構成例を示すブロック図である。図１〜図３において同一または対応する構成には、同一の符号または末尾に異なる英字を付した同一の符号を用いている。なお、図１（ｂ）に示す欠陥検査装置１００ｂと図１（ｃ）に示す欠陥検査装置１００ｃは基本的構成が同一であり、後述する図４および図５（ｂ）に示す動作例は欠陥検査装置１００ｂと欠陥検査装置１００ｃで共通である。以下の動作例の説明では、欠陥検査装置１００ｃの記載を適宜省略し、欠陥検査装置１００ｂを例として記載する。

【0019】

図１（ａ）および図２に示す欠陥検査装置１００ａは、エンコーダ（１）２と、光学系検知部（１）３と、アキュムレータ４と、エンコーダ（２）６と、マーカー７と、制御部２２ａ（図２）と、出力部２４（図２）を備える。また、図１（ｂ）および図３に示す欠陥検査装置１００ｂは、エンコーダ（１）２と、光学系検知部（１）３と、アキュムレータ４と、光学系検知部（２）５と、エンコーダ（２）６と、マーカー７と、制御部２２ｂ（図３）と、出力部２４（図３）を備える。図１（ｃ）に示す欠陥検査装置１００ｃは、エンコーダ（１）２と、光学系検知部（１）３と、アキュムレータ４と、光学系検知部（２）５と、エンコーダ（２）６と、マーカー７を備える。また、図１（ｃ）に示す欠陥検査装置１００ｃは、欠陥検査装置１００ｂと同様、図３に示す制御部２２ｂと、出力部２４を備える。なお、欠陥検査装置１００ａは、欠陥検査装置１００ｂおよび欠陥検査装置１００ｃが備える光学系検知部（２）５を備えていない。

【0020】

エンコーダ（１）２およびエンコーダ（２）６は、図示していない搬送ライン（搬送部）上を一定方向（図１において矢印で示す走行方向）に移動する検査対象物１の移動距離を測定し、検査対象物１が所定距離を移動するごとにパルス信号（例えば、０．０５ｍｍ／パルスの信号）を出力する。なお、図１では、走行方向をＹ方向とし、走行方向と垂直な方向をＸ方向とする。エンコーダ（１）２およびエンコーダ（２）６は、例えば検査対象物１あるいは検査対象物１を搭載する搬送部の水平変位を、回転角度の変位に変換する回動部と、回動部が所定角度回転する毎にパルス信号を発生するインクリメンタル形のロータリエンコーダとすることができる。例えば、エンコーダ（１）２およびエンコーダ（２）６からパルス信号が出力される時間間隔から検査対象物１の移動速度を検知することができ、パルス数をカウントすることで移動量を検知することができる。

【0021】

また、エンコーダ（１）２（第１移動量検知部）は、検査対象物１の走行方向（搬送方向）に対してアキュムレータ４（検査対象物貯留部）より前で検査対象物１の移動量（第１移動量）を検知する。また、エンコーダ（２）６（第２移動量検知部）は、アキュムレータ４より後で検査対象物１の移動量（第２移動量）を検知する。本実施形態において、エンコーダ（１）２とエンコーダ（２）６は、移動距離とパルス数との対応関係が同一であるとする。ただし、エンコーダ（１）２とエンコーダ（２）６において移動距離とパルス数との対応関係は互いに異なっていてもよい。

【0022】

なお、本実施形態において、検査対象物１は、長尺、帯状の金属板、フィルム、布、不織布、樹脂板等からなるものであり、図示していない搬送ライン上を矢印で示す走行方向に搬送される。この欠陥検査装置１００ａ、１００ｂおよび１００ｃを用いた欠陥検査には、例えば、鋼板、メッキ鋼板、酸洗済み鋼板、塗装鋼板、銅板、アルミ板などの金属板や樹脂からなるフィルムが好適に用いられる。

【0023】

光学系検知部（１）３（第１光学系）と光学系検知部（２）５（第２光学系）は、ラインセンサとライン状照明と制御部からなる。ラインセンサは、撮像範囲の長手方向が検査対象物１の走行方向に直交するように配置されたライン状の光センサである。ラインセンサは、検査対象物１からのライン状照明の反射光または透過光を受光し、検査対象物１の走行方向に直交するライン毎に検査対象物１の反射光または透過光の強度分布に応じた画像信号を出力する。ラインセンサとしては、例えば、素子数（画素数）が８１９２のＣＭＯＳイメージセンサ等が用いられる。一方、ライン状照明は、検査対象物１上における光の照射範囲の長手方向が検査対象物１の走行方向に直交するように配置され、検査対象物１の全幅を照明するライン状の照明装置である。ライン状照明は、例えば、ＬＥＤ（発光ダイオード）、蛍光灯、ロッド照明、光ファイバ照明等を用いて構成されている。例えば、ラインセンサとライン状照明をともに検査対象物１の表面側に配置することで、ラインセンサでライン状照明の反射光を撮像することができる。あるいは、ラインセンサを検査対象物１の背面側に配置し、検査対象物１の背面から光を照射して、透過光をラインセンサで受光するようにしてもよい。また、ラインセンサとライン状照明は、例えば走行方向に一定距離離し、検査対象物１に対して所定の角度がつくように配置されていてもよい。

【0024】

また、光学系検知部（１）３は、検査対象物１の移動方向に対してアキュムレータ４より前で検査対象物１を撮像する位置に配置されている。また、光学系検知部（１）３は、エンコーダ（１）２が出力したパルス信号のカウント値を入力し、撮像した画像の各画素に対して入力したカウント値に基づくＹ方向の座標値を表す信号を対応づけて出力する。また、光学系検知部（２）５は、検査対象物１の移動方向に対してアキュムレータ４より後で検査対象物１を撮像する位置に配置されている。また、光学系検知部（２）５は、エンコーダ（２）６が出力したパルス信号のカウント値を入力し、撮像した画像の各画素に対して入力したカウント値に基づくＹ方向の座標値を表す信号を対応づけて出力する。

【0025】

なお、光学系検知部（１）３および光学系検知部（２）５の構成は、上記のものに限定されない。光学系検知部（１）３および光学系検知部（２）５は、検査対象物１の移動に同期して画像を撮像し、その撮像画像を入力して処理する制御部２２ａあるいは制御部２２ｂにおいて、各画像と検査対象物１の位置との対応関係が把握できる構成であればよい。例えば、制御部２２ａあるいは制御部２２ｂで、光学系検知部（１）３の各撮像タイミングとエンコーダ（１）２のカウント値との対応関係、あるいは、光学系検知部（２）５の各撮像タイミングとエンコーダ（２）６のカウント値との対応関係が把握できるのであれば、光学系検知部（１）３および光学系検知部（２）５は各画素に対応するＹ座標の値を出力しなくてもよい。

【0026】

アキュムレータ４は、図１２を参照して説明したルーパ４４ａやルーパ４４ｂと同様の構成を有する設備であり、貯留量を変化させながら検査対象物１を貯留する機能を有する。本実施形態において、アキュムレータ４は、図１（ａ）〜（ｃ）に示すカット位置８０で検査対象物１を切断する際に検査対象物１を停止させるため、検査対象物１を一時的に貯留するように稼働される。

【0027】

また、アキュムレータ４は、図２または図３に示すように、アキュムレータ０信号を制御部２２ａあるいは制御部２２ｂに対して出力する。アキュムレータ０信号は、アキュムレータ４の稼働状態を示す信号である。アキュムレータ４は、稼働していない場合、アキュムレータ０信号をＯＮ（オン）にして出力する。ここで、アキュムレータ４が稼働していない場合とは、検査対象物１の貯留量がゼロまたは所定量以下（例えば最低量）で変化しない場合である。また、アキュムレータ４が稼働している場合とは、アキュムレータ４が検査対象物１の貯留量を変化させようと動作している場合、または、アキュムレータ４が所定量より多く、検査対象物１を貯留している場合である。アキュムレータ４は、稼働している場合、アキュムレータ０信号をＯＦＦ（オフ）にして出力する。

【0028】

アキュムレータ０信号がＯＮの場合、検査対象物１の貯留量はゼロまたは変化しないので、検知誤差がないとすると、エンコーダ（１）２が検知する検査対象物１の速度と、エンコーダ（２）６が検知する検査対象物１の速度は同一である。また、アキュムレータ０信号がＯＮの場合、同様に検知誤差がないとすると、エンコーダ（１）２が検知する検査対象物１の単位時間当たりの移動量と、エンコーダ（２）６が検知する検査対象物１の単位時間当たりの移動量は同一である。

【0029】

一方、アキュムレータ０信号がＯＦＦの場合、エンコーダ（１）２が検知する検査対象物１の速度と、エンコーダ（２）６が検知する検査対象物１の速度が異なる場合がある。また、アキュムレータ０信号がＯＦＦの場合、エンコーダ（１）２が検知する検査対象物１の単位時間当たりの移動量と、エンコーダ（２）６が検知する検査対象物１の単位時間当たりの移動量が異なる場合がある。なお、アキュムレータ０信号がＯＦＦの場合、エンコーダ（１）２が検知した検査対象物１の移動量と、エンコーダ（２）６が検知した検査対象物１の移動量の差分に基づいて、アキュムレータ４が貯留している検査対象物１の長さ（貯留量）を算出することができる。

【0030】

図６は、アキュムレータ稼働時のエンコーダ（１）２およびエンコーダ（２）６で検知される検査対象物１の速度変動を説明するための図である。図６の横軸は経過時間、縦軸は検査対象物１の走行速度である。アキュムレータ０信号がＯＮの場合は、エンコーダ（１）２で検知される走行速度とエンコーダ（２）６で検知される走行速度は同じである。一方、アキュムレータ０信号がＯＦＦの場合は、エンコーダ（１）２で検知される走行速度は変化しないが、エンコーダ（２）６で検知される走行速度は、次のように変化する。すなわち、アキュムレータ０信号がＯＮからＯＦＦに変化した後、エンコーダ（２）６で検知される検査対象物１の走行速度は低下する。そして、検査対象物１の停止後カット信号が入力され、検査対象物１がカットされる。その後、エンコーダ（２）６で検知される検査対象物１の走行速度は、加速し、エンコーダ（１）２で検知される走行速度よりも高速となった後、同じ速度に戻る。

【0031】

また、図１に示すマーカー７は、ペン、ＩＪＰ（Ｉｎｋ Ｊｅｔ Ｐｒｉｎｔｅｒ）、レーザマーカーなどであり、図２に示す制御部２２ａあるいは制御部２２ｂによって制御され、検査対象物１上にマーキングを行う。

【0032】

なお、図１（ａ）に示す欠陥検査装置１００ａでは、所定の基準位置からＹ方向で移動距離Ｌ１の位置に光学系検知部（１）３が配置されている。また、移動距離Ｌ２の位置にアキュムレータ４が配置されている。また、移動距離Ｌ４の位置にマーカー７が配置されている。また、移動距離Ｌ５の位置が検査対象物１のカット位置８０である。なお、移動距離Ｌ４、移動距離Ｌ５および後述する移動距離Ｌ３は、アキュムレータ４における検査対象物１の貯留量によって変化する。

【0033】

また、図１（ｂ）に示す欠陥検査装置１００ｂでは、所定の基準位置からＹ方向で移動距離Ｌ１の位置に光学系検知部（１）３が配置されている。また、移動距離Ｌ２の位置にアキュムレータ４が配置されている。また、移動距離Ｌ３の位置に光学系検知部（２）５が配置されている。また、移動距離Ｌ４の位置にマーカー７が配置されている。また、移動距離Ｌ５の位置が検査対象物１のカット位置８０である。

【0034】

また、図１（ｃ）に示す欠陥検査装置１００ｃでは、図１（ｂ）に示す欠陥検査装置１００ｂと比較して、光学系検知部（１）３および光学系検知部（２）５間のパスラインが変更されている。欠陥検査装置１００ｃでは、所定の基準位置からＹ方向で移動距離Ｌ１ｃの位置に光学系検知部（１）３が配置されている。また、移動距離Ｌ２ｃの位置にアキュムレータ４が配置されている。また、移動距離Ｌ３ｃの位置に光学系検知部（２）５が配置されている。また、移動距離Ｌ４ｃの位置にマーカー７が配置されている。また、移動距離Ｌ５ｃの位置が検査対象物１のカット位置８０である。

【0035】

次に、図２あるいは図３を参照して、図１に示す欠陥検査装置１００ａ、１００ｂまたは１００ｃにおいて、各部を制御する制御部２２ａあるいは制御部２２ｂの構成例について説明する。制御部２２ａあるいは制御部２２ｂは、例えばコンピュータであり、ＣＰＵ（中央処理装置）、主記憶装置、補助記憶装置、入出力装置、通信装置等を備え、ＣＰＵで所定のプログラムを実行することで動作する。図２に示す構成例において、制御部２２ａは、欠陥検出部（１）２５、カウンタ部（１）１２、カウンタ部（２）１３、補正量計算部１４、Ｙ座標変換部１７および処理部２０ａを備える。図３に示す構成例において、制御部２２ｂは、欠陥検出部（１）２５、欠陥検出部（２）２６、カウンタ部（１）１２、カウンタ部（２）１３、補正量計算部１４、Ｙ座標変換部１７および処理部２０ｂを備える。

【0036】

カウンタ部（１）１２は、エンコーダ（１）２が出力したパルス信号列のパルス数をカウントする。カウンタ部（２）１３は、エンコーダ（２）６が出力したパルス信号列のパルス数をカウントする。カウンタ部（１）１２のカウント値とカウンタ部（２）１３のカウント値は、アキュムレータ０信号がＯＮの時に、検査開始信号が入力されとき０にリセットされる。検査開始信号は、検査対象物１の検査が開始される場合に発生されるパルス信号である。

【0037】

欠陥検出部（１）２５は、光学系検知部（１）３からのＹ方向の座標値を表す信号が対応づけられた画像信号を画像処理することにより欠陥を検出し、Ｙ座標を含む欠陥情報を出力する。欠陥検出部（２）２６は、光学系検知部（２）５からのＹ方向の座標値を表す信号が対応づけられた画像信号を画像処理することにより欠陥を検出し、カウンタ部（２）１３のカウント値から求めたＹ座標を含む欠陥情報を出力する。

【0038】

補正量計算部１４は、アキュムレータ４からのアキュムレータ０信号がＯＮになっている間、所定の間隔で補正量を計算する。ここで、所定の間隔は、例えば所定の時間間隔であってもよいし、所定の移動量の間隔であってもよい。

【0039】

アキュムレータ０信号がＯＮの場合、理論的には、検査開始信号が入力された時点からのカウンタ部（１）１２の値とカウンタ部（２）１３の値は等しく変化する。すなわち、検査開始信号が入力された時点以降に、エンコーダ（１）２が検知した検査対象物１の移動量と、エンコーダ（２）６が検知した検査対象物１の移動量は、等しい。例えば、欠陥検査装置１００ｂでは、検査開始信号が入力された時点以降に、光学系検知部（１）３が検査対象物１を検査した検査対象物１の長さ（検査長という）と、光学系検知部（２）５による検査対象物１の検査長は、等しい。しかしながら、実際には、エンコーダ（１）２やエンコーダ（２）６における機械的な精度の誤差等によって、カウンタ部（１）１２の値とカウンタ部（２）１３の値にはずれが生じる。すなわち、エンコーダ（１）２の出力パルス信号列をカウントしているカウンタ部（１）１２の値から求めたＹ座標と、エンコーダ（２）６の出力パルス信号列をカウントしているカウンタ部（２）１３の値から求めたＹ座標には誤差に伴うずれが生じる。このずれは検査長と共に累積する。そのため所定の間隔で補正を行うことが必要である。このずれを補正する際の補正量は、例えば、カウンタ部（２）１３の値（またはその値に対応する値）を基準として、カウンタ部（１）１２の値（またはその値に対応する値）を補正するための値とすることができる。補正量計算部１４は、例えば以下の式で、カウンタ部（２）１３の値に対応する値を基準としてカウンタ部（１）１２の値に対応する値の補正量を計算する。ここで、カウンタ部（１）１２の値に対応する値とは、カウンタ部（１）１２の値から求めたＹ座標であり、カウンタ部（２）１３の値に対応する値とはカウンタ部（２）１３の値から求めたＹ座標である。

【0040】

補正量＝（カウンタ部（１）１２の値から求めたＹ座標）−（カウンタ部（２）１３の値から求めたＹ座標）

【0041】

補正量計算部１４による補正量の計算はアキュムレータ０信号が入力されている間の所定の間隔で行われる。計算された補正量はアキュムレータ０信号がＯＮの間は所定の間隔で新しい値に更新される。この補正量を用いることで、例えば、カウンタ部（１）１２の値から求めたＹ座標を、カウンタ部（２）１３の値を基準として求めたＹ座標に補正することができる。なお、Ｙ座標は、例えば、エンコーダ（１）２のパルス信号の変化の１周期に対応する移動距離とＹ座標の座標値との対応関係を表す係数を、カウンタ部（１）１２の値（カウント値）に乗じることで求めることができる。あるいは、Ｙ座標は、例えば、エンコーダ（２）６のパルス信号の変化の１周期に対応する移動距離とＹ座標の座標値との対応関係を表す係数をカウンタ部（２）１３の値に乗じることで求めることができる。

【0042】

Ｙ座標変換部１７は、補正量計算部１４で計算した補正量を用いて欠陥検出部（１）２５で検出した欠陥情報に含まれるＹ座標を、カウンタ部（２）１３でカウントした値を基準とするＹ座標に変換する。Ｙ座標変換部１７は、例えば、補正量計算部１４で計算した補正量から以下の式によって光学系検知部（１）３のＹ座標をカウンタ部（２）１３のカウント値を基準とするＹ座標に変換して処理部２０ａあるいは処理部２０ｂに入力する。

【0043】

（欠陥検出部（１）２５の補正後のＹ座標）＝（欠陥検出部（１）２５の補正前のＹ座標）−補正量

【0044】

なお、アキュムレータ４が稼働中はアキュムレータ０信号がＯＦＦになり、補正量計算部１４は補正量の計算は行わない。Ｙ座標変換部１７はアキュムレータ０信号がＯＮのときに補正量計算部１４で計算した最新の補正量を使用して前述したＹ座標の変換を行う。アキュムレータ４が稼働中のカウンタ部（１）１２の値から求めたＹ座標値はアキュムレータ０信号がＯＮの時のＹ座標値にアキュムレータ量（貯留量）を加えたものになる。したがって、Ｙ座標変換部１７が前述したＹ座標の変換を行うと、光学系検知部（１）３のＹ座標はアキュムレータ量を含んだカウンタ部（２）１３の値を基準とするＹ座標に変換されることになる。

【0045】

例えば、図１（ｂ）に示す欠陥検査装置１００ｂにおいて、処理部２０ｂでは欠陥検出部（１）２５で検出された欠陥と欠陥検出部（２）２６で検出された欠陥の同一判定、特定範囲の欠陥数等の欠陥分布状態の計測、マーキング等を行うことができるが、欠陥のＹ座標は欠陥検出部（２）２６のＹ座標にそろえられているため、光学系の違いやアキュムレータ動作による影響を無視することができる。

【0046】

また、処理部２０ｂは、欠陥検出部（１）２５が検出した欠陥情報と当該欠陥情報に対応づけられた補正後のＹ座標信号をＹ座標変換部１７から入力するともに、欠陥検出部（２）２６が検出した欠陥情報と当該欠陥情報に対応づけられたＹ座標信号とカウンタ部（２）１３の値を入力する。また、処理部２０ａは、欠陥検出部（１）２５が検出した欠陥情報と当該欠陥情報に対応づけられた補正後のＹ座標信号をＹ座標変換部１７から入力するともに、カウンタ部（２）１３の値を入力する。なお、処理部２０ａあるいは処理部２０ｂは、カウンタ部（２）１３の値を所定の係数を用いてＹ座標値に変換することができる。また、処理部２０ａあるいは処理部２０ｂに入力される補正後のＹ座標信号は、Ｙ座標変換部１７によって、カウンタ部（２）１３のカウント値を基準とするＹ座標に補正されている。したがって、処理部２０ａあるいは処理部２０ｂにおいて、すべての欠陥のＹ座標はカウンタ部（２）１３のカウント値を基準とするＹ座標にそろえられることになる。

【0047】

欠陥検出部（１）２５は、光学系検知部（１）３が撮像した画像に基づき所定の画像処理を行い、画像処理の結果と当該画像のＹ座標に基づき、検査対象物１上の欠陥の座標を算出する。欠陥検出部（２）２６は、光学系検知部（２）５が撮像した画像に基づき所定の画像処理を行い、画像処理の結果と当該画像のＹ座標に基づき、検査対象物１上の欠陥の座標を算出する。すなわち、処理部２０ａあるいは処理部２０ｂは、光学系検知部（１）（第１光学系）が撮像した画像（第１画像）とカウンタ部（１）１２の値に対応する値（第１移動量に対応する値）を補正量で補正した値に基づき検査対象物１上の欠陥の座標を処理する。また、処理部２０ａあるいは処理部２０ｂは、カウンタ部（２）１３の値に基づく移動量（第２移動量）に基づき、光学系検知部（１）３が撮像した画像（第１画像）に基づく検査対象物１の検査長を算出する。

【0048】

また、欠陥検出部（２）２６は、光学系検知部（２）５（第２光学系）が撮像した画像（第２画像）と当該画像のＹ座標に基づき（すなわちカウンタ部（２）１３の値に対応する値に基づき）検査対象物１上の欠陥の座標を算出する。その際、欠陥検出部（２）２６は、例えば欠陥中心のＹ座標値から、光学系検知部（２）５と光学系検知部（１）３間の移動距離（Ｌ３−Ｌ１）に対応する座標値を減算する。この処理で処理部２０ｂは、同じ欠陥について、欠陥検出部（１）２５で検出した欠陥座標と、欠陥検出部（２）２６で検出した欠陥座標を一致させることができる。なお、Ｙ座標を算出する際の移動距離（Ｌ３−Ｌ１）は、図１（ｃ）に示す欠陥検査装置１００ｃではＬ３ｃ−Ｌ１ｃとなる。すなわち、欠陥検出部（２）２６では、パスラインが変更された場合、光学系検知部（２）５が撮像した画像に基づいて検出した欠陥のＹ座標を算出する際に用いられるパラメータが変更される。

【0049】

また、処理部２０ａあるいは処理部２０ｂは、マーカー７を制御して、検査対象物１上で欠陥が検出された位置にマーキングを行う。また、処理部２０ａあるいは処理部２０ｂは、欠陥の座標を示す情報等を出力部２４に出力する。ここで出力部２４は、例えば表示装置、携帯端末、印刷装置等である。

【0050】

次に、図４を参照して、図１〜図３に示す欠陥検査装置１００ａ、１００ｂおよび１００ｃの動作例について説明する。図４は、図２に示す制御部２２ａあるいは図３に示す制御部２２ｂにおいて補正量を算出する際の処理の流れを示す。図４に示す処理は、欠陥検査装置１００ａ、１００ｂまたは１００ｃが動作を開始した後、図２に示す制御部２２ａあるいは制御部２２ｂが検査ごとに繰り返し実行する。図４に示す処理を開始すると、制御部２２ａあるいは制御部２２ｂは、まず、検査開始信号がＯＮしたか否かを判定する（ステップＳ１０２）。検査開始信号がＯＮしていた場合（ステップＳ１０２で「ＹＥＳ」の場合）、制御部２２ａあるいは制御部２２ｂは、カウンタ部（１）１２とカウンタ部（２）１３をともに「０」にリセットし（ステップＳ１０３）、また、補正量を「０」にリセットする（ステップＳ１０４）。検査開始信号がＯＮしていなかった場合（ステップＳ１０２で「ＮＯ」の場合）、検査開始信号がＯＮになるまで待つ。つぎに、補正量計算部１４は、前回補正量を算出した後（または補正量をリセットした後）、所定の間隔に到達したか否かを判定する（ステップＳ１０５）。前回補正量を算出した後（または補正量をリセットした後）、所定の間隔に到達した場合（ステップＳ１０５で「ＹＥＳ」の場合）、アキュムレータ０信号がＯＮであるか否かを判定する（ステップＳ１０１）。アキュムレータ０信号がＯＮである場合（ステップＳ１０１で「ＹＥＳ」の場合）、補正量計算部１４は、カウンタ部（２）１３の値から求めたＹ座標を基準として、カウンタ部（２）１３の値から求めたＹ座標とカウンタ部（１）１２の値から求めたＹ座標とに応じて補正量を算出（更新）する（ステップＳ１０６）。他方、所定の間隔に到達していなかった場合（ステップＳ１０５で「ＮＯ」の場合）、または、アキュムレータ０信号がＯＮでなかった場合（ステップＳ１０１で「ＮＯ」の場合）、制御部２２ａあるいは制御部２２ｂは補正量を算出（更新）しない。つぎに、検査停止信号がＯＮしたか否かを判定する（ステップ１０７）。検査停止信号がＯＮしていた場合、制御部２２ａあるいは制御部２２ｂは処理を終了する。検査停止信号がＯＮしていない場合、前回補正量を算出した後（または補正量をリセットした後）、所定の間隔に到達したか否かの判定（ステップＳ１０５）にもどる。

【0051】

以上のように前回補正量を算出した後（または補正量をリセットした後）所定の間隔に到達したか否かの判定（ステップＳ１０５）から補正量の算出（更新）（ステップＳ１０６）までを検査停止信号がＯＮになるまで（ステップ１０７）所定周期で繰り返し実行することで、補正量計算部１４は、アキュムレータ０信号がＯＮである間、所定の間隔で補正量を更新する。

【0052】

次に、図５（ａ）を参照して、図１および図２に示す欠陥検査装置１００ａの動作例について説明する。図５（ａ）は、図２に示す制御部２２ａにおいて検査対象物１上の欠陥の座標と検査長を演算する処理の流れを示す。図５（ａ）に示す処理は、欠陥検査装置１００ａが動作を開始した後、図２に示す制御部２２ａが所定周期で繰り返し実行する。図５（ａ）に示す処理を開始すると、欠陥検出部（１）２５は、まず、入力した光学系検知部（１）３の撮像画像に対して所定の画像処理を行い、画像処理の結果に基づき欠陥を検出したか否かを判定する（ステップＳ２０１）。欠陥を検出したと判定した場合（ステップＳ２０１で「ＹＥＳ」の場合）、処理部２０ａは、欠陥検出部（１）２５が検出した欠陥に対応づけられたＹ座標を、Ｙ座標変換部１７が図４のステップＳ１０５で算出された補正量を用いて補正した補正後のＹ座標に基づき、処理する（ステップＳ２０２）。ステップＳ２０２において、処理部２０ａは、処理した欠陥を所定の記憶領域に記憶する。また、欠陥検出部（１）２５が欠陥を検出したと判定しなかった場合（ステップＳ２０１で「ＮＯ」の場合）、または、ステップＳ２０２で欠陥を処理した場合、処理部２０ａは、カウンタ部（２）１３の値に基づき検査長を演算する（ステップＳ２０３）。ここで、制御部２２ａは、一回の処理を終了する。

【0053】

以上の処理によって欠陥検査装置１００ａは、エンコーダ（２）６の検知結果を基準とする補正量を用いて、エンコーダ（１）２の検知結果に基づくＹ座標を補正することができる。また、欠陥検査装置１００ａは、エンコーダ（２）６の検知結果に基づいて検査長を演算することができる。

【0054】

次に、図５（ｂ）を参照して、図１および図３に示す欠陥検査装置１００ｂおよび１００ｃの動作例について説明する。図５（ｂ）は、図３に示す制御部２２ｂにおいて検査対象物１上の欠陥の座標と検査長を処理する流れを示す。図５（ｂ）に示す処理は、欠陥検査装置１００ｂまたは欠陥検査装置１００ｃが動作を開始した後、図３に示す制御部２２ｂが所定周期で繰り返し実行する。図５（ｂ）に示す処理においてステップＳ２０１〜Ｓ２０３は、図５（ａ）に示す処理におけるステップＳ２０１〜Ｓ２０３と同一である。図５（ｂ）に示す処理を開始し、ステップＳ２０１〜Ｓ２０２の処理を実行した後、欠陥検出部（２）２６は、入力した光学系検知部（２）５の撮像画像に対して所定の画像処理を行い、画像処理の結果に基づき欠陥を検出したか否かを判定する（ステップＳ２０４）。ステップＳ２０４において、欠陥検出部（２）２６は、例えば欠陥中心のＹ座標値から、光学系検知部（２）５と光学系検知部（１）３間の移動距離（Ｌ３−Ｌ１）に対応する座標値を減算する。欠陥を検出したと判定した場合（ステップＳ２０４で「ＹＥＳ」の場合）、処理部２０ｂは、欠陥検出部（２）２６が検出した欠陥に対応づけられたＹ座標に基づき、処理する（ステップＳ２０５）。また、処理部２０ｂは、処理した欠陥を所定の記憶領域に記憶する。また、欠陥を検出したと判定しなかった場合（ステップＳ２０４で「ＮＯ」の場合）、または、ステップＳ２０５で欠陥を処理した場合、処理部２０ｂはカウンタ部（２）１３の値に基づき検査長を演算する（ステップＳ２０３）。また、処理部２０ｂは、欠陥検出部（１）２５による欠陥（ステップＳ２０１が「ＹＥＳ」の場合）と欠陥検出部（２）２６による欠陥（ステップＳ２０４が「ＹＥＳ」の場合）を出力部２４から出力する（ステップＳ２０６）。ここで、制御部２２ｂは、処理を終了する。

【0055】

以上の処理によって欠陥検査装置１００ｂおよび１００ｃは、エンコーダ（２）６を基準とする補正量を用いて、エンコーダ（１）２に基づくＹ座標を補正することができる。また、欠陥検査装置１００ｂおよび１００ｃは、エンコーダ（２）６に基づいて検査長を演算することができる。また、欠陥検査装置１００ｂおよび１００ｃは、光学系検知部（２）５の撮像画像に基づき欠陥を検知し、エンコーダ（２）６に基づいて欠陥のＹ座標を演算することができる。

【0056】

なお、図７は、図１（ｂ）に示す欠陥検査装置１００ｂにおける検査開始時のタイミングを説明するための図である。図７に示す動作例は、欠陥検査装置１００ｂにおいて、光学系検知部（１）３を用いた欠陥の検知と、光学系検知部（２）５を用いた欠陥の検知を、検査対象物１上の同一位置で開始する例である。検査開始信号が入力されると、欠陥検査装置１００ｂは、カウンタ部（１）１２およびカウンタ部（２）１３の値をリセットし、光学系検知部（１）３を用いた検査を開始する。欠陥検査装置１００ｂは、検査対象物１が（Ｌ３−Ｌ１）を走行した後、光学系検知部（２）５を用いた検査を開始する。光学系検知部（１）３を用いた欠陥検出部（１）２５で欠陥を検出したときの、欠陥のＹ座標は、欠陥中心位置におけるカウンタ部（１）１２のカウンタ値から求める。光学系検知部（２）５を用いた欠陥検出部（２）２６で欠陥を検出したときの欠陥のＹ座標は、欠陥中心位置におけるカウンタ部（２）１３のカウンタ値から求めたＹ座標から（Ｌ３−Ｌ１）を減算することで求める。この処理で、検査対象物１の同じ位置にある欠陥は同じＹ座標となる。

【0057】

その際、アキュムレータ０信号がＯＮの場合は、光学系検知部（１）３の走行速度と光学系検知部（２）５の走行速度は同じであるが、微妙にズレが発生するため、所定の時間ごとに、エンコーダ（１）２による値をエンコーダ（２）６による値に補正するための補正量に更新する。アキュムレータ０信号がＯＦＦの場合は、光学系検知部（１）３の走行速度と光学系検知部（２）５の走行速度は異なるため、上記のような補正の更新はしない。

【0058】

また、図８は、図１（ｂ）に示す欠陥検査装置１００ｂにおけるカット処理時のタイミングの一例を説明するための図である。欠陥検査装置１００ｂでは、図６を参照して説明したカット信号が入力された場合は、カット位置８０より下流を製品とすることができる。光学系検知部（１）３の検査は、Ｌ１〜Ｌ５までは検査済であり、光学系検知部（２）５の検査は、Ｌ３〜Ｌ５は検査済である。この検査データは、次の製品の開始位置であるため、検査データを移動させる。Ｌ３〜Ｌ５は、一定長であるが、Ｌ１〜Ｌ５は、アキュムレータ４の状態により変化するため、アキュムレータ０信号ＯＮ時のＬ１〜Ｌ５に、エンコーダ（２）６に基づくＹ座標とエンコーダ（１）２に基づくＹ座標を補正量で補正したＹ座標との差を加算することで算出できる。

【0059】

また、図９は、図１（ｂ）に示す欠陥検査装置１００ｂにおける検査停止時のタイミングの一例を説明するための図である。欠陥検査装置１００ｂは、検査停止信号が入力されると、光学系検知部（１）３検査を停止し、検査対象物１が（Ｌ３−Ｌ１）走行した後、光学系検知部（２）５の検査を停止する。

【0060】

なお、図１（ｃ）に示す欠陥検査装置１００ｃは、図１（ｂ）に示す欠陥検査装置１００ｂに対してパスラインが変更されている。したがって、図８、図９等に示すタイミングは、予め各検査光学系の流れ方向位置を設定することで、上記と同様とすることができる。

【0061】

以上のように本実施形態の欠陥検査装置１００ａ、１００ｂおよび１００ｃは、次の構成を有する。すなわち、欠陥検査装置１００ａ、１００ｂおよび１００ｃは、アキュムレータ４前の光学系検知部（１）３（検査光学系）と、アキュムレータ４前後の検査対象物１の変位を検知するエンコーダ（１）２およびエンコーダ（２）６と、アキュムレータ０信号を入力し、アキュムレータ０信号がＯＮの場合、アキュムレータ４前のエンコーダ（１）２の値をアキュムレータ４後のエンコーダ（２）６の値に補正するための補正量を算出する補正量計算部１４とを備える。また、欠陥検査装置１００ａ、１００ｂおよび１００ｃは、アキュムレータ４前のエンコーダ（１）２に基づく欠陥Ｙ座標を補正量で補正した値で処理する。また、欠陥検査装置１００ａ、１００ｂおよび１００ｃは、アキュムレータ４後のエンコーダ（２）６に基づく値を使用して検査長を演算する。また、欠陥検査装置１００ｂおよび１００ｃは、アキュムレータ４後のエンコーダ（２）６に基づく値で欠陥Ｙ座標を処理する。また、欠陥検査装置１００ｂから欠陥検査装置１００ｃのように、パスラインの変更がある場合、予め各検査光学系の流れ方向位置を設定することで、パスラインの変更に対応して欠陥Ｙ座標の補正ができる。

【0062】

本実施形態によれば、アキュムレータ４（あるいはルーパ）稼働時でも、アキュムレータ４前後の流れ方向位置（Ｙ座標）を正確に求めることが可能となり、下記の目的が達成できた。
１）巻取ったフィルムの欠陥座標の精度を上げる（欠陥検査装置１００ａ、１００ｂおよび１００ｃ）。
２）アキュムレータ前後の光学系で検出した欠陥が同じ欠陥であると判断できる（欠陥検査装置１００ｂおよび１００ｃ）。

【0063】

［実施例１］
図１（ｂ）の欠陥検査装置１００ｂの配置で検査を行った。検査対象は、図１０の通りである。すなわち、検査対象は幅１２００ｍｍのフィルムとし、搬送速度０〜４０ｍ／分とした。装置構成は、図１１に示す２通りである。すなわち、光学系検知部（１）３を反射型とし、光学系検知部（２）５を透過型とした。ライン状照明装置はＬＥＤ照明装置（株式会社メック製）、ラインセンサは８１９２素子ラインセンサ（株式会社メック製）、分解能５０×５０μｍ／画素とした。検査装置本体は、ＬＳＣ−６０００（株式会社メック製）であり、エンコーダ（１）２およびエンコーダ（２）６は０．０５ｍｍ／スキャンのロータリエンコーダとし、アキュムレータ４の稼働範囲は１０ｍとした。同じ欠陥を光学系検知部（１）３と光学系検知部（２）５で検出した座標を確認したところ、Ｙ座標は１０ｍｍ以内、Ｘ座標は１ｍｍ以内で検出された。

【0064】

以上、この発明の実施形態を図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計等も含まれる。例えば、図２または図３に示す処理部２０ａまたは２０ｂがＹ座標変換部１７を含んでいたり、補正量計算部１４を含んでいたりしてもよい。

【符号の説明】

【0065】

１：検査対象物
２：エンコーダ（１）
３：光学系検知部（１）
４：アキュムレータ
５：光学系検知部（２）
６：エンコーダ（２）
７：マーカー
１２：カウンタ部（１）
１３：カウンタ部（２）
１４：補正量計算部
１７：Ｙ座標変換部
２０ａ、２０ｂ：処理部
２２ａ、２２ｂ：制御部
２４：出力部
２５：欠陥検出部（１）
２６：欠陥検出部（２）
８０：カット位置
１００ａ、１００ｂ、１００ｃ：欠陥検査装置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】