特許6599251IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

摺動部材、特に自動車部品などの高い信頼性を要求される摺動部材と、その製造方法

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

特許文献1,2では、母材と水素含有硬質炭素層との間に、密着性の高い水素非含有硬質炭素層を介在させることによって、硬質炭素被膜全体と母材との密着性を高めることに着目していた。しかしながら、特許文献1,2では、水素非含有硬質炭素層とその上の水素含有硬質炭素層との間の密着性は何ら考慮されていない。本発明者の検討によると、従来技術では厳しい摺動条件下において水素非含有硬質炭素層と水素含有硬質炭素層との間で剥離が生じ、その結果、摺動部材の使用寿命が短くなるという問題があることが判明した。 本発明は課題に鑑み、厳しい摺動条件下でも層間剥離が生じにくい摺動部材およびその製造方法を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

特許文献1,2では、水素非含有硬質炭素層上に水素含有硬質炭素層を形成する際、水素非含有硬質炭素層の表面は極力平坦にすることが志向されてきた。しかしながら、本発明者は目的を達成するべく、むしろ、水素非含有硬質炭素層の表面を粗面化することを着想した。すなわち本発明者は、表面に凹凸が多い水素非含有硬質炭素層上に水素含有硬質炭素層を形成することによって、当該凹凸によるアンカー効果で両層間の剥離を・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
【発明の効果】
本発明の摺動部材は、厳しい摺動条件下でも層間剥離が生じにくい。また、本発明の摺動部材の製造方法は、厳しい摺動条件下でも層間剥離が生じにくい摺動部材を高い生産性で製造することができる。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】本発明の一実施形態による摺動部材100の模式断面図である。

【図2】本発明の一実施形態において、第一及び第二の硬質炭素層14,16の成膜に用いる成膜装置の模式図である。

【図3】図2において、第二の硬質炭素層(水素含有硬質炭素層)16を成膜する状況を説明する図である。

【図4】図3のワークホルダーAにおける第二の硬質炭素層(水素含有硬質炭素層)の厚さ及び炭化水素系ガスの流量の経時変化を示す模式的グラフである。

【図5】往復摺動試験の形態を示す模式図である。

【図6】(A)は、実験例において硬質炭素被膜の表面形状を測定する方法を説明する模式的グラフであり、(B)は、実験例において硬質炭素被膜の摩耗部断面積を算出する方法を説明する模式的グラフである。

選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図

100 摺動部材   10 基材   12 中間層   14 第一の硬質炭素層(水素非含有硬質炭素層)   16 第二の硬質炭素層(水素含有硬質炭素層)   18 硬質炭素被膜   20 炭素カソードを備えるアーク式蒸発源   22 金属カソードを有するスパッタ源   24 真空容器   26 ターンテーブル   28 自転するワークホルダー   30 ヒーター   60 試験片(SUS2製円柱)   68 摺動相手材(SUS2製ディスク)

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