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公報発行日 2019年10月30
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【図1】本発明の一実施形態による摺動部材100の模式断面図である。
【図2】本発明の一実施形態において、第一及び第二の硬質炭素層14,16の成膜に用いる成膜装置の模式図である。
【図3】図2において、第二の硬質炭素層(水素含有硬質炭素層)16を成膜する状況を説明する図である。
【図4】図3のワークホルダーAにおける第二の硬質炭素層(水素含有硬質炭素層)の厚さ及び炭化水素系ガスの流量の経時変化を示す模式的グラフである。
【図5】往復摺動試験の形態を示す模式図である。
【図6】(A)は、実験例において硬質炭素被膜の表面形状を測定する方法を説明する模式的グラフであり、(B)は、実験例において硬質炭素被膜の摩耗部断面積を算出する方法を説明する模式的グラフである。
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