特許6599372基板上へ原子層を堆積させるための方法及び装置

発明の名称　基板上へ原子層を堆積させるための方法及び装置

出願人　ネーデルランセ　オルハニサチエ　フォール　トゥーヘパスト−ナツールウェーテンシャッペルック　オンデルズク　テーエヌオー　（識別番号 595115802）

　　　　特許公開件数ランキング 3834 位（4件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1886 位（8件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6599372

公報発行日　2019年10月30

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6599372

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