6600566 紫外線照射装置及び紫外線照射方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6600566

(24)【登録日】2019年10月11日

(45)【発行日】2019年10月30日

(54)【発明の名称】紫外線照射装置及び紫外線照射方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/027 20060101AFI20191021BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/30 571

【請求項の数】15

【全頁数】22

(21)【出願番号】特願2016-7724(P2016-7724)

(22)【出願日】2016年1月19日

(65)【公開番号】特開2017-130511(P2017-130511A)

(43)【公開日】2017年7月27日

【審査請求日】2018年10月15日

(73)【特許権者】

【識別番号】000220239

【氏名又は名称】東京応化工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100106909

【弁理士】

【氏名又は名称】棚井 澄雄

(74)【代理人】

【識別番号】100064908

【弁理士】

【氏名又は名称】志賀 正武

(74)【代理人】

【識別番号】100179833

【弁理士】

【氏名又は名称】松本 将尚

(74)【代理人】

【識別番号】100189337

【弁理士】

【氏名又は名称】宮本 龍

(74)【代理人】

【識別番号】100188558

【弁理士】

【氏名又は名称】飯田 雅人

(72)【発明者】

【氏名】稲尾 吉浩

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 晶彦

(72)【発明者】

【氏名】小西 清孝

(72)【発明者】

【氏名】小針 倫

(72)【発明者】

【氏名】細田 浩

【審査官】 植木 隆和

(56)【参考文献】

【文献】 国際公開第２０１１／０８０８５２（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２００８−２６８６３３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−１１０１９４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／０２７

Ｇ０３Ｆ ７／２０

Ｈ０１Ｌ ２１／６８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板に紫外線を照射可能な照射部と、
前記照射部の熱を排出可能な配管を有する排気部と、
前記照射部及び前記配管を同期させて移動可能な移動部と、
を含み、
前記排気部は、前記配管を移動可能に接続するともに前記照射部の移動方向に沿うように延び、かつ、前記配管からの熱を排出可能な排気口を有する排気ボックスを更に含む紫外線照射装置。

【請求項2】

基板に紫外線を照射可能な照射部と、
前記照射部の熱を排出可能な配管を有する排気部と、
前記照射部及び前記配管を同期させて移動可能な移動部と、
を含み、
前記基板を密閉空間で収容可能な収容部を更に備え、
前記照射部、前記排気部及び前記移動部は、前記収容部の外部に設けられ、
前記移動部は、前記照射部及び前記配管を同期させて前記収容部の外部で移動させる紫外線照射装置。

【請求項3】

前記排気部は、前記配管を移動可能に接続するともに前記照射部の移動方向に沿うように延び、かつ、前記配管からの熱を排出可能な排気口を有する排気ボックスと、
前記照射部の移動方向に沿うように延びるとともに前記排気ボックスの内部空間を覆い、かつ、前記配管の移動に従って移動可能なシートと、を更に含む
請求項１または２に記載の紫外線照射装置。

【請求項4】

前記シートは、前記照射部の移動方向に沿うように、前記配管と前記排気ボックスとの接続部から一方側と他方側とに延びるとともに、環状に繋がるように同一の部材により一体に形成されている
請求項３に記載の紫外線照射装置。

【請求項5】

前記シートは、前記照射部の移動方向に沿うように、前記配管と前記排気ボックスとの接続部から一方側に延びる第一シートと、前記接続部から他方側に延びるとともに前記第一シートに同期して移動可能な第二シートとを含む
請求項３に記載の紫外線照射装置。

【請求項6】

前記シートは、前記内部空間を囲むように前記排気ボックスの外周に沿うように配置されている
請求項４又は５に記載の紫外線照射装置。

【請求項7】

前記シートは、樹脂シートである
請求項３〜６の何れか一項に記載の紫外線照射装置。

【請求項8】

前記排気部は、前記シートの張りを調整可能なテンショナーを更に含む
請求項３〜７の何れか一項に記載の紫外線照射装置。

【請求項9】

前記排気部は、前記照射部の移動方向に沿うように延びるとともに前記シートを案内し、かつ、前記配管からの熱が通過可能な通過孔が形成された案内板を更に含む
請求項３〜８の何れか一項に記載の紫外線照射装置。

【請求項10】

前記案内板のうち前記配管と前記排気ボックスとの接続部における前記通過孔の開口面積は、前記排気口の面積以上である
請求項９に記載の紫外線照射装置。

【請求項11】

前記通過孔は、前記照射部の移動方向に沿うように前記案内板に規則的に複数配置されている
請求項９又は１０に記載の紫外線照射装置。

【請求項12】

前記排気部は、前記配管を移動可能に接続するともに前記照射部の移動方向に沿うように延び、かつ、前記配管からの熱を排出可能な排気口を有する排気ボックスと、
前記照射部の温度に基づいて、前記配管及び前記排気ボックスの少なくとも一部を通過する気体の流量を調整可能な流量調整部と、を更に含む
請求項１〜１１の何れか一項に記載の紫外線照射装置。

【請求項13】

前記移動部は、前記照射部及び前記配管を同期させて移動可能とする共通の駆動源を含む
請求項１〜１２の何れか一項に記載の紫外線照射装置。

【請求項14】

基板に紫外線を照射可能な照射部と、
前記照射部の熱を排出可能な配管を有する排気部と、を含む紫外線照射装置を用いた紫外線照射方法であって、
前記照射部及び前記配管を同期させて移動させる移動ステップを含み、
前記照射部の温度に基づいて、前記配管、及び前記配管を移動可能に接続するともに前記照射部の移動方向に沿うように延び、かつ、前記配管からの熱を排出可能な排気口を有する排気ボックスの少なくとも一部を通過する気体の流量を調整する流量調整ステップを更に含む紫外線照射方法。

【請求項15】

基板に紫外線を照射可能な照射部と、
前記照射部の熱を排出可能な配管を有する排気部と、を含む紫外線照射装置を用いた紫外線照射方法であって、
前記照射部及び前記配管を同期させて移動させる移動ステップを含み、
前記基板を密閉空間で収容可能な収容部を更に備え、
前記照射部及び前記排気部は、前記収容部の外部に設けられ、
前記移動ステップは、前記照射部及び前記配管を同期させて前記収容部の外部で移動させる紫外線照射方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、紫外線照射装置及び紫外線照射方法に関する。

【背景技術】

【0002】

液晶ディスプレイ等の表示パネルを構成するガラス基板上には、配線パターン及び電極パターン等の微細なパターンが形成されている。例えばこのようなパターンは、フォトリソグラフィ法等の方法によって形成される。フォトリソグラフィ法は、レジスト膜をガラス基板に塗布する工程、レジスト膜を露光する工程、露光後のレジスト膜を現像する工程及び現像後のレジスト膜に対して紫外線等の光を照射する工程（キュア工程）を含む。

【0003】

上述のキュア工程は、基板に対して紫外線を照射する紫外線照射装置によって行われる。例えば、特許文献１には、基板を水平方向に搬送させるベルト搬送機構と、基板に対して紫外線を照射させる紫外線照射機構とを備えた構成が開示されている。
特許文献２には、基板を保持する基板保持具と、基板に対して紫外線を照射させる紫外線発生源と、紫外線発生源からの紫外線の照射方向を変える反射板とを備えた構成が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開平４−９７５１５号公報

【特許文献2】特開２００６−１１４８４８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、紫外線照射装置においては、基板に紫外線を照射する照射部を移動させる構成が考えられる。照射部には、照射部の熱を排出する配管が接続されている。しかしながら、このような構成では、照射部を移動させると、配管が照射部の移動に追従するように引っ張られるため、配管に過度の負荷がかかる可能性がある。そのため、配管の寿命を向上する上で課題があった。

【0006】

以上のような事情に鑑み、本発明は、照射部の熱を排出する配管の寿命を向上することが可能な紫外線照射装置及び紫外線照射方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の一態様に係る紫外線照射装置は、基板に紫外線を照射可能な照射部と、前記照射部の熱を排出可能な配管を有する排気部と、前記照射部及び前記配管を同期させて移動可能な移動部と、を含む。
この構成によれば、照射部及び配管を同期させて移動させることができるため、配管が照射部の移動に追従するように引っ張られることはない。すなわち、照射部を移動させた場合であっても、配管に過度の負荷がかかることを抑制することができる。したがって、配管の寿命を向上することができる。

【0008】

上記の紫外線照射装置において、前記排気部は、前記配管を移動可能に接続するともに前記照射部の移動方向に沿うように延び、かつ、前記配管からの熱を排出可能な排気口を有する排気ボックスを更に含んでいてもよい。
この構成によれば、照射部の移動方向に沿うように延びる排気ボックスの長手方向に沿って配管を移動させつつ、配管からの熱を排気口から排出することができる。したがって、配管の移動を安定して行うとともに、配管から排気口までの熱の排気経路を確保することができる。

【0009】

上記の紫外線照射装置において、前記排気部は、前記照射部の移動方向に沿うように延びるとともに前記排気ボックスの内部空間を覆い、かつ、前記配管の移動に従って移動可能なシートを更に含んでいてもよい。
この構成によれば、排気ボックスの内部空間が配管の移動に従って移動するシートによって覆われるため、配管からの熱が外部に漏れることを抑制することができる。したがって、シートを用いた簡単な構成で、配管からの熱の排出効率を維持することができる。

【0010】

上記の紫外線照射装置において、前記シートは、前記照射部の移動方向に沿うように、前記配管と前記排気ボックスとの接続部から一方側と他方側とに延びるとともに、環状に繋がるように同一の部材により一体に形成されていてもよい。
この構成によれば、環状に形成されたシートをその周方向に回動させることができる。そのため、シートが接続部から一方側と他方側とに直線状に延びるように形成された場合と比較して、配管の移動に従って移動するシートの移動軌跡を小さくすることができる。したがって、装置を小型化することができる。

【0011】

上記の紫外線照射装置において、前記シートは、前記照射部の移動方向に沿うように、前記配管と前記排気ボックスとの接続部から一方側に延びる第一シートと、前記接続部から他方側に延びるとともに前記第一シートに同期して移動可能な第二シートとを含んでいてもよい。
この構成によれば、第一シートに同期して第二シートを移動させることができるため、配管の移動をより一層安定して行うことができる。

【0012】

上記の紫外線照射装置において、前記シートは、前記内部空間を囲むように前記排気ボックスの外周に沿うように配置されていてもよい。
この構成によれば、配管の移動に従って移動するシートの移動軌跡を可及的に小さくすることができるため、装置を効果的に小型化することができる。

【0013】

上記の紫外線照射装置において、前記シートは、樹脂シートであってもよい。
この構成によれば、シートが金属シートである場合と比較して、軽量化することができるため、配管の移動に従ってシートをスムーズに移動させることができる。また、耐酸化性を発揮することができるため、部品劣化を抑制することができ、シートの寿命を向上することができる。

【0014】

上記の紫外線照射装置において、前記排気部は、前記シートの張りを調整可能なテンショナーを更に含んでいてもよい。
この構成によれば、シートが配管の移動に従って移動する際に、シートが過度に引っ張られたり過度に撓んだりすることを抑制することができる。したがって、配管の移動をより一層安定して行うことができる。

【0015】

上記の紫外線照射装置において、前記排気部は、前記照射部の移動方向に沿うように延びるとともに前記シートを案内し、かつ、前記配管からの熱が通過可能な通過孔が形成された案内板を更に含んでいてもよい。
この構成によれば、シートが配管の移動に従って移動する際にシートを案内しつつ、案内板の通過孔を介して配管からの熱を排気口から排出することができる。したがって、配管の移動をより一層安定して行うとともに、配管から排気口までの熱の排気経路を確保することができる。

【0016】

上記の紫外線照射装置において、前記案内板のうち前記配管と前記排気ボックスとの接続部における前記通過孔の開口面積は、前記排気口の面積以上であってもよい。
この構成によれば、配管からの熱（排気）が通過孔を通る前後で排気の流量を一定に維持することができるため、照射部の温度を一定に維持することができる。したがって、照射部から照射される紫外線の照度分布を均一化することができる。

【0017】

上記の紫外線照射装置において、前記通過孔は、前記照射部の移動方向に沿うように前記案内板に規則的に複数配置されていてもよい。
この構成によれば、照射部及び配管を同期させて移動させている間、配管と排気ボックスとの接続部における通過孔の開口面積を常時一定に維持することができる。これにより、照射部及び配管を同期させて移動させている間、排気の流量を一定に維持することができるため、照射部の温度を一定に維持することができる。したがって、照射部から照射される紫外線の照度分布を常時均一化することができる。

【0018】

上記の紫外線照射装置において、前記排気部は、前記照射部の温度に基づいて、前記配管及び前記排気ボックスの少なくとも一部を通過する気体の流量を調整可能な流量調整部を更に含んでいてもよい。
この構成によれば、照射部の温度に適合するように排気の流量を調整することができるため、照射部から照射される紫外線の照度分布をより一層均一化することができる。

【0019】

上記の紫外線照射装置において、前記移動部は、前記照射部及び前記配管を同期させて移動可能とする共通の駆動源を含んでいてもよい。
この構成によれば、照射部及び配管をまとめて一括して移動させることができるため、照射部及び配管を別個独立に移動させる場合と比較して、装置構成の簡素化を図ることができる。

【0020】

上記の紫外線照射装置において、前記基板を密閉空間で収容可能な収容部を更に備え、前記照射部、前記排気部及び前記移動部は、前記収容部の外部に設けられ、前記移動部は、前記照射部及び前記配管を同期させて前記収容部の外部で移動させてもよい。
この構成によれば、密閉空間を有する収容部の内部で基板を静止させた状態で、収容部の外部で照射部及び配管を移動させつつ収容部の内部の基板に紫外線を照射することができるため、基板の移動に伴うパーティクルの発生を考慮する必要がない。また、照射部及び配管の移動は収容部の外部で行われるため、仮に照射部及び配管の移動に伴いパーティクルが発生したとしても、収容部を密閉空間とすることによって、収容部内へのパーティクルの侵入を回避することができる。従って、収容部内のパーティクルの発生を抑制することができ、基板を清浄に保つことができる。
また、基板を静止させた状態で照射部及び配管を移動させることによって、照射部及び配管よりも平面視サイズの大きい基板を用いても、照射部及び配管を静止させた状態で基板を移動させる場合と比較して、基板に紫外線を照射する際に必要なスペースを節約することができ、フットプリントを小さくすることができる。
また、収容部内で基板を静止させた状態とすることによって、収容部内は基板の収容スペースを確保するだけで済むため、収容部内で基板を移動させる場合と比較して、収容部の容積を小さくすることができ、収容部内の酸素濃度及び露点の管理をしやすくなる。また、収容部内の酸素濃度を調整する際に使用する窒素の消費量を削減することができる。

【0021】

本発明の一態様に係る紫外線照射方法は、基板に紫外線を照射可能な照射部と、前記照射部の熱を排出可能な配管を有する排気部と、を含む紫外線照射装置を用いた紫外線照射方法であって、前記照射部及び前記配管を同期させて移動させる移動ステップを含む。
この方法によれば、照射部及び配管を同期させて移動させることができるため、配管が照射部の移動に追従するように引っ張られることはない。すなわち、照射部を移動させた場合であっても、配管に過度の負荷がかかることを抑制することができる。したがって、配管の寿命を向上することができる。

【0022】

上記の紫外線照射方法において、前記照射部の温度に基づいて、前記配管、及び前記配管を移動可能に接続するともに前記照射部の移動方向に沿うように延び、かつ、前記配管からの熱を排出可能な排気口を有する排気ボックスの少なくとも一部を通過する気体の流量を調整する流量調整ステップを更に含んでいてもよい。
この方法によれば、照射部の温度に適合するように排気の流量を調整することができるため、照射部から照射される紫外線の照度分布をより一層均一化することができる。

【0023】

上記の紫外線照射方法において、前記基板を密閉空間で収容可能な収容部を更に備え、前記照射部及び前記排気部は、前記収容部の外部に設けられ、前記移動ステップは、前記照射部及び前記配管を同期させて前記収容部の外部で移動させてもよい。
この方法によれば、密閉空間を有する収容部の内部で基板を静止させた状態で、収容部の外部で照射部及び配管を移動させつつ収容部の内部の基板に紫外線を照射することができるため、基板の移動に伴うパーティクルの発生を考慮する必要がない。また、照射部及び配管の移動は収容部の外部で行われるため、仮に照射部及び配管の移動に伴いパーティクルが発生したとしても、収容部を密閉空間とすることによって、収容部内へのパーティクルの侵入を回避することができる。従って、収容部内のパーティクルの発生を抑制することができ、基板を清浄に保つことができる。
また、基板を静止させた状態で照射部及び配管を移動させることによって、照射部及び配管よりも平面視サイズの大きい基板を用いても、照射部及び配管を静止させた状態で基板を移動させる場合と比較して、基板に紫外線を照射する際に必要なスペースを節約することができ、フットプリントを小さくすることができる。
また、収容部内で基板を静止させた状態とすることによって、収容部内は基板の収容スペースを確保するだけで済むため、収容部内で基板を移動させる場合と比較して、収容部の容積を小さくすることができ、収容部内の酸素濃度及び露点の管理をしやすくなる。また、収容部内の酸素濃度を調整する際に使用する窒素の消費量を削減することができる。

【発明の効果】

【0024】

本発明によれば、照射部の熱を排出する配管の寿命を向上することが可能な紫外線照射装置及び紫外線照射方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0025】

【図1】実施形態に係る紫外線照射装置の斜視図である。

【図2】実施形態に係る紫外線照射装置の上面図である。

【図3】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図を含む、実施形態に係る紫外線照射装置の側面図である。

【図4】実施形態に係る排気部の斜視図である。

【図5】実施形態に係る排気部の上面図である。

【図6】図５のＶＩ−ＶＩ断面を含む、実施形態に係る排気部の側面図である。

【図7】図５のＶＩＩ−ＶＩＩ断面図である。

【図8】図６のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ断面図である。

【図9】実施形態に係る排気部の変形例を示す側面図である。

【図10】実施形態に係る排気部の他の変形例を示す側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0026】

以下、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。水平面内の所定方向をＸ方向、水平面内においてＸ方向と直交する方向をＹ方向、Ｘ方向及びＹ方向のそれぞれと直交する方向（すなわち鉛直方向）をＺ方向とする。

【0027】

＜紫外線照射装置＞
図１は、実施形態に係る紫外線照射装置１の斜視図である。図２は、実施形態に係る紫外線照射装置１の上面図である。図３は、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図を含む、実施形態に係る紫外線照射装置の側面図である。
図１〜図３に示すように、紫外線照射装置１は、基板１０に対して紫外線の照射を行う装置である。紫外線照射装置１は、チャンバ２（収容部）、ステージ３、照射ユニット４、搬送機構５（移動部）、排気部６、ガス供給部７及び制御部８を備える。制御部８は、紫外線照射装置１の構成要素を統括制御する。

【0028】

＜チャンバ＞
チャンバ２は、紫外線の照射処理が行われる基板１０を収容する。チャンバ２は、上面視で矩形をなす箱状に形成される。具体的に、チャンバ２は、基板１０の上方を覆う矩形板状の天板２０と、基板１０の側方を囲むように覆う矩形枠状の周壁２１と、基板１０の下方を覆う底板２２とによって形成される。周壁２１の−Ｙ方向側には、チャンバ２に対して基板１０の搬入及び搬出をするための基板搬出入口２１ａが設けられる。

【0029】

例えば、天板２０、周壁２１及び底板２２は、紫外線を遮光する遮光部材によって形成される。これにより、チャンバ２の内部の基板１０に対して紫外線を照射する際に、紫外線がチャンバ２の外部に漏れることを回避することができる。

【0030】

チャンバ２は、基板１０を密閉空間で収容可能に構成される。例えば、天板２０、周壁２１及び底板２２の各接続部を溶接等で隙間なく結合することで、チャンバ２内の気密性を向上することができる。例えば、チャンバ２には、ポンプ機構等の減圧機構（不図示）が設けられる。これにより、チャンバ２内を減圧させた状態で基板１０を収容することができる。

【0031】

図３に示すように、チャンバ２内には、基板１０を加熱する加熱機構１１が設けられる。加熱機構１１は、基板１０と略同じ平面視サイズの矩形板状を有し、基板１０を下方から支持するように配置される。加熱機構１１は、ステージ３に取り付けられる。加熱機構１１は、ヒータ等（不図示）を含む。

【0032】

図２に示すように、チャンバ２の天板２０には、紫外線を通過可能な透過部２３が設けられる。透過部２３は、天板２０の一部を構成する。透過部２３は、上面視で天板２０よりも小さい矩形板状に形成される。透過部２３は、天板２０を厚み方向に開口する矩形の開口部２０ｈに取り付けられている。例えば、透過部２３は、石英、耐熱ガラス、樹脂シート、樹脂フィルム等を用いる。

【0033】

透過部２３のサイズは、基板１０よりも大きいサイズに設定される。これにより、基板１０に対して紫外線を照射する際に、紫外線が天板２０の遮光部（透過部２３以外の部分）によって遮光されることを回避することができるため、基板１０の上面全体に均一に紫外線を照射することができる。

【0034】

なお、開口部２０ｈのサイズは、基板１０を出し入れ可能なサイズに設定されてもよい。また、透過部２３は、開口部２０ｈに着脱自在に嵌め込まれてもよい。これにより、透過部２３を開口部２０ｈに嵌め込んだときはチャンバ２内を密閉空間とすることができ、透過部２３を開口部２０ｈから脱離したときはチャンバ２内に基板１０を出し入れすることができる。

【0035】

＜ステージ＞
ステージ３は、チャンバ２及び搬送機構５を上面で支持する。ステージ３は、Ｚ方向に厚みを有する板状をなす。
ステージ３は、架台３１によって下方から支持される。
架台３１は、複数の鋼材等の角柱を格子状に組み合わせて形成される。
なお、架台３１の下端部には、複数の車輪３１ａが回転自在に取り付けられる。これにより、架台３１をＸＹ平面内で自在に移動させることができる。

【0036】

＜昇降機構＞
図３に示すように、チャンバ２の下方には、基板１０をＺ方向に移動可能とする昇降機構２５が設けられる。昇降機構２５には、複数のリフトピン２５ａが設けられる。複数のリフトピン２５ａの先端（＋Ｚ側の端）は、ＸＹ平面に平行な同一面内に配置される。

【0037】

複数のリフトピン２５ａの先端は、ステージ３、底板２２及び加熱機構１１を挿通可能とされる。
具体的に、ステージ３には、ステージ３を厚み方向に開口する複数の挿通孔３ａが形成される。底板２２には、各挿通孔３ａに平面視で重なる位置で底板２２を厚み方向に開口する複数の挿通孔２２ａが形成される。加熱機構１１には、各挿通孔２２ａに平面視で重なる位置で加熱機構１１を厚み方向に開口する複数の挿通孔１１ａが形成される。複数のリフトピン２５ａの先端は、各挿通孔３ａ，２２ａ，１１ａを介して基板１０の下面に当接及び離反可能とされる。そのため、複数のリフトピン２５ａの先端によって、基板１０がＸＹ平面に平行に支持されるようになっている。

【0038】

昇降機構２５は、チャンバ２内に収容される基板１０を支持しつつチャンバ２内のＺ方向に移動するようになっている。図３においては、複数のリフトピン２５ａの先端が各挿通孔３ａ，２２ａ，１１ａを介して基板１０の下面に当接すると共に上昇することによって、基板１０を加熱機構１１から離反した状態を示している。

【0039】

なお、昇降機構２５において、複数のリフトピン２５ａを昇降させる駆動源２５ｂは、チャンバ２の外部に配置される。そのため、仮に駆動源２５ｂの駆動に伴いパーティクルが発生したとしても、チャンバ２を密閉空間とすることによって、チャンバ２内へのパーティクルの侵入を回避することができる。

【0040】

＜照射ユニット＞
照射ユニット４は、チャンバ２の外部に設けられる。照射ユニット４は、照射部４０及び集光部材４１を備える。
照射部４０は、基板１０にｉ線等の紫外線を照射可能に構成される。
ここで、「紫外線」とは、波長範囲の下限が１ｎｍ程度、上限が可視光線の短波長端の光を意味する。

【0041】

例えば、照射部４０は、メタルハライドランプを用いる。
なお、照射部４０は、これに限らず、高圧水銀ランプ、ＬＥＤランプを用いてもよい。また、照射部４０は、これらのランプを複数組み合わせてもよい。

【0042】

例えば、照射部４０の下面には、波長が３００ｎｍよりも低い成分をカットするフィルタが設けられてもよい。これにより、フィルタを介して射出される紫外線の波長は３００ｎｍ以上となるため、紫外線の照射によって基板１０の過度の温度上昇を抑制することができる。

【0043】

集光部材４１は、照射部４０から射出される紫外線を基板１０上に集光する。基板１０上に紫外線を集光させることで、照射部４０から射出される紫外線が基板１０の外部に拡散することを抑制することができるため、照度を向上することができる。

【0044】

＜搬送機構＞
図１及び図２に示すように、搬送機構５は、チャンバ２の外部に設けられる。搬送機構５は、チャンバ２の外部からチャンバ２の内部に収容されている基板１０に紫外線が照射されるように照射ユニット４をチャンバ２の外部で移動させる。搬送機構５は、ガイド部５０、土台５３及び門型フレーム５４を備える。搬送機構５は、照射部４０と、排気部６の配管６０とを同期させて移動可能に構成されている。

【0045】

ガイド部５０は、一対のレール５１と、スライダ５２とを備える。例えば、ガイド部５０は、リニアモータアクチュエータを用いる。ガイド部５０は、照射部４０と、排気部６の配管６０とを同期させて移動可能とする共通の駆動源である。ガイド部５０は、請求項に記載の「駆動源」に相当する。

【0046】

一対のレール５１は、チャンバ２を−Ｙ方向側及び＋Ｙ方向側から挟むように照射ユニット４の移動方向（照射部４０の移動方向）であるＸ方向に延びる。
スライダ５２は、一対のレール５１に沿って摺動可能に構成される。
土台５３は、ステージ３の四隅に複数（例えば本実施形態では四隅に一つずつ計四つ）設けられる。各土台５３は、一対のレール５１におけるＸ方向両端部を支持する。

【0047】

門型フレーム５４は、チャンバ２をＹ方向に跨ぐように門型に形成されると共に、一対のレール５１に沿って移動可能とされる。門型フレーム５４は、Ｚ方向に延びる一対の門柱部５４ａと、一対の門柱部５４ａの間を連結するようにＹ方向に延びる連結部５４ｂとを備える。門型フレーム５４における各門柱部５４ａの下端部には、スライダ５２が取り付けられる。

【0048】

図３に示すように、門型フレーム５４における連結部５４ｂの内部には、照射ユニット４を保持する保持部５４ｃが設けられる。保持部５４ｃは、門型フレーム５４におけるＹ方向中間部の下面から上方に窪む凹部を形成する。照射ユニット４のうち照射面４ａ（下面）を除く部分は、保持部５４ｃの凹部に囲まれ、門型フレーム５４の壁部によって覆われる。例えば、門型フレーム５４は、紫外線を遮光する遮光部材によって形成される。これにより、照射ユニット４から紫外線を照射する際に、紫外線が門型フレーム５４の側方に拡散することを回避することができ、紫外線を下方（チャンバ２内の基板１０）に向けて照射することができる。

【0049】

図２に示すように、Ｘ方向において、各レール５１の長さＬ１は、チャンバ２の長さＬ２よりも長い（Ｌ１＞Ｌ２）。本実施形態では、Ｘ方向において、各レール５１の長さＬ１は、チャンバ２の長さＬ２と、門型フレーム５４二つ分の長さ（２×Ｌ３）とを足し合わせた長さ（Ｌ２＋２×Ｌ３）よりも長くする。これにより、上面視において、チャンバ２の−Ｘ方向端を超える領域からチャンバ２の＋Ｘ方向端を超える領域まで照射ユニット４を移動させることができる。

【0050】

＜ガス供給部＞
チャンバ２には、チャンバ２の内部雰囲気の状態を調整可能なガス供給部７が設けられる。ガス供給部７は、乾燥ガスとして窒素（Ｎ_２）、ヘリウム（Ｈｅ）、アルゴン（Ａｒ）等の不活性ガスを供給する。

【0051】

ガス供給部７により、チャンバ２の内部雰囲気の露点を調整することができ、チャンバ２内の水分濃度を調整することができる。
例えば、ガス供給部７は、チャンバ２の内部雰囲気の露点を−８０℃（水分濃度０．５４ｐｐｍ質量基準）以上且つ−５℃（水分濃度４０００ｐｐｍ質量基準）以下とするように乾燥ガスの供給を調整する。
例えば、レジスト膜の露光後のプレパターンを硬化するときの雰囲気において、このように露点を好ましい上限以下とすることにより、パターンの硬化を進行しやすくすることができる。一方、好ましい下限以上とすることにより、装置を運用する上での作業性等を向上することができる。

【0052】

また、ガス供給部７により、チャンバ２の内部雰囲気の酸素濃度を調整することもできる。チャンバ２の内部雰囲気の酸素濃度（質量基準）は、低いほど好ましい。具体的には、チャンバ２の内部雰囲気の酸素濃度を、１０００ｐｐｍ以下とすることが好ましく、５００ｐｐｍ以下とすることがより好ましい。
例えば、レジスト膜の露光後のプレパターンを硬化するときの雰囲気において、このように酸素濃度を好ましい上限以下とすることにより、パターンの硬化を進行しやすくすることができる。

【0053】

＜排気部＞
図４は、実施形態に係る排気部６の斜視図である。図５は、実施形態に係る排気部６の上面図である。図６は、図５のＶＩ−ＶＩ断面を含む、実施形態に係る排気部６の側面図である。図７は、図５のＶＩＩ−ＶＩＩ断面図である。図８は、図６のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ断面図である。なお、図５及び図８においては、便宜上、シート７０の図示を省略している。

【0054】

図１に示すように、排気部６は、チャンバ２の外部に設けられる。排気部６は、ステージ３の＋Ｙ方向側に配置されている。排気部６は、照射ユニット４（照射部４０）の熱を排出可能な配管６０と、配管６０を移動可能に接続する排気ボックス６１とを備える。

【0055】

図示はしないが、チャンバ２の外部には、照射ユニット４を冷却可能な冷却部が設けられる。例えば、冷却部は、門型フレーム５４の側壁部（門柱部５４ａ）に取り付けられる。例えば、冷却部は、ブロワを用いる。これにより、排気部６（具体的には、配管６０及び排気ボックス６１）を介して、照射ユニット４によって生じた熱気を外部に排気することができる。

【0056】

＜配管＞
図１及び図４に示すように、配管６０は、門型フレーム５４の＋Ｙ方向側の側壁部（門柱部５４ａ）と後述する可動部６５との間をわたすように延びる筒状の部材である。配管６０は、Ｌ字状に屈曲している。配管６０の一端部６０ａ（−Ｙ方向側の端部）は、門型フレーム５４の＋Ｙ方向側の側壁部（門柱部５４ａ）に固定されている。配管６０の他端部６０ｂ（−Ｚ方向側の端部）は、後述する可動部６５に固定されている。これにより、配管６０は、照射部４０と共にチャンバ２の外部でＸ方向に移動可能になっている。

【0057】

なお、配管６０の一端部６０ａは、門型フレーム５４の＋Ｙ方向側の側壁部に着脱可能に接続されている。これにより、配管６０の一端部６０ａのメンテナンス性を向上することができる。

【0058】

＜排気ボックス＞
図２及び図４に示すように、排気ボックス６１は、照射ユニット４の移動方向（照射部４０の移動方向）であるＸ方向に延びている。排気ボックス６１は、配管６０からの熱を外部に排出可能な排気口６３ｈを有する。Ｘ方向において、排気ボックス６１の長さＬ４は、各レール５１の長さＬ１と実質的に同じ長さである（Ｌ４≒Ｌ１）。

【0059】

図５〜図７に示すように、排気ボックス６１は、第一底壁６１ａ、第二底壁６１ｂ、一対の側壁６１ｃ、一対のガイド壁６１ｄ、第一隔壁６１ｅ及び第二隔壁６１ｆを備える。

【0060】

第一底壁６１ａは、Ｚ方向に厚みを有するとともにＸ方向に延びる。
第二底壁６１ｂは、第一底壁６１ａよりも−Ｚ方向側に配置されるとともに、第一底壁６１ａと実質的に同一の形状を有する。
一対の側壁６１ｃは、Ｙ方向に厚みを有するとともにＸ方向に延び、かつ、第二底壁６１ｂのＹ方向両端部から＋Ｚ方向に起立して第一底壁６１ａと第二底壁６１ｂとのＹ方向端部間を繋いだ後に更に＋Ｚ方向に延びる。
一対のガイド壁６１ｄは、Ｚ方向に厚みを有するとともにＸ方向に延び、かつ、一対の側壁６１ｃの上端部のＹ方向間の内側に突出する。

【0061】

第一隔壁６１ｅは、Ｘ方向に厚みを有するとともに、第一底壁６１ａ及び一対の側壁６１ｃの＋Ｘ方向側の端部間をわたすように配置される。すなわち、第一隔壁６１ｅは、排気ボックス６１の内部空間６１ｓを＋Ｘ方向側から閉塞する。
第二隔壁６１ｆは、Ｘ方向において排気ボックス６１の長さＬ４（図２参照）程度の間隔を空けて第一隔壁６１ｅと対向する。第二隔壁６１ｆは、第一隔壁６１ｅと実質的に同一の形状を有し、かつ、第一底壁６１ａ及び一対の側壁６１ｃの−Ｘ方向側の端部間をわたすように配置される。すなわち、第二隔壁６１ｆは、排気ボックス６１の内部空間６１ｓを−Ｘ方向側から閉塞する。

【0062】

なお、排気ボックス６１の内部空間６１ｓは、第一底壁６１ａ、一対の側壁６１ｃ、第一隔壁６１ｅ、第二隔壁６１ｆ及び後述する案内板６４によって囲まれる空間である。

【0063】

図６及び図７に示すように、第一底壁６１ａと第二底壁６１ｂとの間には、シート７０がＸ方向に移動可能な底壁側空間６１ｔが形成されている。底壁側空間６１ｔのＺ方向の間隔は、シート７０の厚みよりも大きい。すなわち、底壁側空間６１ｔのＺ方向の間隔は、シート７０が第一底壁６１ａと第二底壁６１ｂとの間をスムーズに移動可能な大きさに設定されている。

【0064】

図５及び図６に示すように、一対のガイド壁６１ｄは、配管６０を支持する可動部６５をスライド可能に支持している。一対のガイド壁６１ｄのＹ方向間の間隔は、後述する案内板６４に形成された通過孔６４ｈの形成領域のＹ方向の長さよりも大きい。
一対の側壁６１ｃのうち＋Ｙ方向側の壁部には、排気口６３ｈを形成する円筒状の排気管６３が固定されている。排気管６３は、排気ボックス６１の内部空間６１ｓに連通している。

【0065】

図４に示すように、排気ボックス６１の下部には、ケーブル支持部材６２が設けられている。例えば、ケーブル支持部材６２は、ケーブルベア（登録商標）である。ケーブル支持部材６２には、不図示の電源線等のケーブルが引き回されている。これにより、ケーブルを屈曲した状態で、排気部６を駆動させることができる。

【0066】

＜シート＞
図４及び図６に示すように、排気部６は、排気ボックス６１の内部空間６１ｓを覆うシート７０を更に備える。シート７０は、照射ユニット４の移動方向（照射部４０の移動方向）であるＸ方向に沿うように延びている。シート７０は、配管６０の移動に従って移動可能に構成されている。

【0067】

具体的に、シート７０は、照射ユニット４の移動方向（照射部４０の移動方向）であるＸ方向に沿うように、配管６０と排気ボックス６１との接続部である可動部６５から一方側（−Ｘ方向側）と他方側（＋Ｘ方向側）とに延びるとともに、環状に繋がるように同一の部材により一体に形成されている。シート７０は、内部空間６１ｓを囲むように排気ボックス６１の外周に沿うように配置されている。例えば、シート７０は、樹脂シートである。

【0068】

図５及び図６に示すように、排気部６は、シート７０を巻き掛ける複数（例えば本実施形態では六つ）のローラ（具体的には、第一ローラ７１、第二ローラ７２、第三ローラ７３、第四ローラ７４、第五ローラ７５及び第六ローラ７６）を備える。シート７０は、排気ボックス６１の＋Ｘ方向側において二つのローラ（具体的には、第一ローラ７１及び第二ローラ７２）に巻き掛けられている。シート７０は、排気ボックス６１の−Ｘ方向側において四つのローラ（具体的には、第三ローラ７３、第四ローラ７４、第五ローラ７５及び第六ローラ７６）に巻き掛けられている。

【0069】

排気部６は、第一カバー７７及び第二カバー７８を更に備える。
第一カバー７７は、第一ローラ７１及び第二ローラ７２を覆うとともに、第一ローラ７１及び第二ローラ７２を回動自在に支持する。第一カバー７７は、−Ｘ方向側に開口する箱状をなすとともに、排気ボックス６１の各壁（具体的には、第二底壁６１ｂ、一対の側壁６１ｃ及び一対のガイド壁６１ｄ）の＋Ｘ方向側の端部に着脱可能に取り付けられている。これにより、第一カバー７７の内部（例えば、第一ローラ７１及び第二ローラ７２）のメンテナンス性を向上することができる。

【0070】

第二カバー７８は、第三ローラ７３、第四ローラ７４、第五ローラ７５及び第六ローラ７６を覆うとともに、第三ローラ７３、第四ローラ７４、第五ローラ７５及び第六ローラ７６を回動自在に支持する。第二カバー７８は、＋Ｘ方向側に開口する箱状をなすとともに、排気ボックス６１の各壁（具体的には、第二底壁６１ｂ、一対の側壁６１ｃ及び一対のガイド壁６１ｄ）の−Ｘ方向側の端部に着脱可能に取り付けられている。これにより、第二カバー７８の内部（例えば、第三ローラ７３、第四ローラ７４、第五ローラ７５及び第六ローラ７６）のメンテナンス性を向上することができる。

【0071】

＜テンショナー＞
排気部６は、シート７０の張りを調整可能なテンショナー７９を更に備える。テンショナー７９は、第二カバー７８のＹ方向両側部に配置されている。テンショナー７９は、Ｘ方向に間隔を空けて並ぶ第四ローラ７４及び第六ローラ７６に対して、第四ローラ７４と第六ローラ７６との間に位置する第五ローラ７５を近接及び離反可能とする。例えば、第四ローラ７４及び第六ローラ７６に対して第五ローラ７５を近接させた場合には、シート７０の張りを弱めることができる。一方、第四ローラ７４及び第六ローラ７６に対して第五ローラ７５を離反させた場合には、シート７０の張りを強めることができる。

【0072】

＜可動部＞
図５及び図６に示すように、可動部６５は、ベース部６５ａ、本体部６５ｂ、接続部６５ｃ及び一対のガイド片６５ｄを備える。

【0073】

図６に示すように、ベース部６５ａは、後述する案内板６４と、ガイド壁６１ｄとの間に配置される。ベース部６５ａは、Ｚ方向に厚みを有するとともに、上面視で矩形枠状をなす。すなわち、ベース部６５ａには、配管６０からの熱が通過可能な貫通孔６５ｈがＺ方向に開口して形成されている。貫通孔６５ｈは、案内板６４の通過孔６４ｈを介して排気ボックス６１の内部空間６１ｓに連通している。

【0074】

本体部６５ｂは、ベース部６５ａにおける貫通孔６５ｈの周辺部に接続される。本体部６５ｂは、図６の断面視で、＋Ｚ方向側ほど開口面積が小さくなるようにＺ方向に延びる筒状をなす。

【0075】

接続部６５ｃは、本体部６５ｂから＋Ｚ方向に延びる円筒状をなす。接続部６５ｃには、配管６０の他端部６０ｂ（図４参照）が着脱可能に接続される。これにより、配管６０の他端部６０ｂ及び接続部６５ｃのメンテナンス性を向上することができる。

【0076】

一対のガイド片６５ｄは、本体部６５ｂからＹ方向両側に延びるとともに、ガイド壁６１ｄに沿うようにＸ方向に延びる。一対のガイド片６５ｄは、ベース部６５ａのＹ方向両端部との間で、ガイド壁６１ｄを挟むように配置される。

【0077】

ベース部６５ａの＋Ｘ方向側の端部には、シート７０の一端部７０ａを着脱可能に係止する第一係止部６６が設けられる。ベース部６５ａの−Ｘ方向側の端部には、シート７０の他端部７０ｂを着脱可能に係止する第二係止部６７が設けられる。

【0078】

以下、シート７０の配置方法の一例を説明する。先ず、シート７０の一端部７０ａを、第一係止部６６を介してベース部６５ａの＋Ｘ方向側の端部に係止する。その後、シート７０を、第一ローラ７１及び第二ローラ７２に掛け回す。その後、シート７０を、他端部７０ｂの側から底壁側空間６１ｔに通した後、第三ローラ７３、第四ローラ７４、第五ローラ７５及び第六ローラ７６に掛け回す。その後、シート７０の他端部７０ｂを、第二係止部６７を介してベース部６５ａの−Ｘ方向の端部に係止する。そして、シート７０の張りをテンショナー７９によって調整する。このようにして、シート７０は、可動部６５を介して環状に繋がるとともに、内部空間６１ｓを囲むように配置される。

【0079】

＜案内板＞
図６に示すように、排気部６は、シート７０を案内する案内板６４を更に備える。案内板６４は、Ｚ方向に厚みを有するとともに、照射ユニット４の移動方向（照射部４０の移動方向）であるＸ方向に延びる。案内板６４には、配管６０からの熱が通過可能な通過孔６４ｈが形成されている。

【0080】

図５に示すように、上面視において、通過孔６４ｈは円形をなしている。通過孔６４ｈは、照射ユニット４の移動方向（照射部４０の移動方向）であるＸ方向とＹ方向とに、案内板６４に規則的に複数配置されている。例えば、案内板６４は、パンチングメタルである。

【0081】

図６及び図８に示すように、案内板６４のうち配管６０と排気ボックス６１との接続部（すなわち可動部６５）における通過孔６４ｈの開口面積Ｓ２は、排気口６３ｈの面積Ｓ１以上である。ここで、通過孔６４ｈの開口面積Ｓ２とは、案内板６４全体に形成されている通過孔６４ｈのうち、上面視で貫通孔６５ｈから露出している通過孔６４ｈのみの開口面積を意味する。排気口６３ｈの面積Ｓ１とは、排気管６３の開口面積を意味する。
なお、図８においては、便宜上、一対のガイド片６５ｄ等の図示を省略している。

【0082】

＜流量調整部＞
図４に示すように、排気部６は、照射部４０（図１参照）の温度に基づいて、配管６０の少なくとも一部を通過する気体の流量を調整可能な流量調整部６８を更に備える。流量調整部６８は、配管６０に設けられている。例えば、流量調整部６８は、流量調整弁である。

【0083】

＜紫外線照射方法＞
次に、本実施形態に係る紫外線照射方法を説明する。本実施形態では、上記の紫外線照射装置１を用いて基板１０に紫外線を照射する。紫外線照射装置１の各部で行われる動作は、制御部８によって制御される。

【0084】

本実施形態に係る紫外線照射方法は、収容ステップ、照射ステップ及び移動ステップを含む。
収容ステップにおいて、チャンバ２は、基板１０を密閉空間で収容する。例えば、基板搬出入口２１ａを介してチャンバ２内に基板１０を搬送した後、基板搬出入口２１ａを閉塞してチャンバ２を密閉する。

【0085】

照射ステップにおいて、照射ユニット４は、基板１０に紫外線を照射する。
移動ステップにおいて、搬送機構５は、チャンバ２の外部からチャンバ２の内部に収容されている基板１０に紫外線が照射されるように照射ユニット４をチャンバ２の外部で移動させる。

【0086】

移動ステップにおいて、照射ユニット４及び配管６０を同期させて移動させる。移動ステップにおいて、透過部２３を介してチャンバ２の内部の基板１０に紫外線が照射されるように照射ユニット４をチャンバ２の外部で移動させる。上述の通り、門型フレーム５４の＋Ｙ方向側の側壁部には配管６０が取り付けられているため、移動ステップにおいて、照射ユニット４と共に配管６０をチャンバ２の外部で移動させる。

【0087】

移動ステップにおいて、一対のレール５１の−Ｘ方向端（一端）と＋Ｘ方向端（他端）との間で照射ユニット４を往復移動させる。例えば、図３の上面視において、チャンバ２の−Ｘ方向端を超える領域からチャンバ２の＋Ｘ方向端を超える領域まで照射ユニット４を往復移動させる。

【0088】

本実施形態に係る紫外線照射方法は、流量調整ステップを更に含む。
流量調整ステップにおいて、流量調整部６８は、照射部４０の温度に基づいて、配管６０の少なくとも一部を通過する気体の流量を調整する。

【0089】

なお、本実施形態に係る紫外線照射方法は、ガス供給ステップを更に含む。
ガス供給ステップにおいて、ガス供給部７は、チャンバ２の内部雰囲気の露点を調整する。また、ガス供給ステップにおいて、ガス供給部７は、チャンバ２の内部雰囲気の酸素濃度を調整する。

【0090】

以上のように、本実施形態によれば、照射部及び配管６０を同期させて移動させることができるため、配管６０が照射部４０の移動に追従するように引っ張られることはない。すなわち、照射部４０を移動させた場合であっても、配管６０に過度の負荷がかかることを抑制することができる。したがって、配管６０の寿命を向上することができる。

【0091】

また、排気部６が、配管６０を移動可能に接続するともに照射部４０の移動方向に沿うように延び、かつ、配管６０からの熱を排出可能な排気口６３ｈを有する排気ボックス６１を更に含むことで、照射部４０の移動方向に沿うように延びる排気ボックス６１の長手方向に沿って配管６０を移動させつつ、配管６０からの熱を排気口６３ｈから排出することができる。したがって、配管６０の移動を安定して行うとともに、配管６０から排気口６３ｈまでの熱の排気経路を確保することができる。

【0092】

また、排気部６が、照射部４０の移動方向に沿うように延びるとともに排気ボックス６１の内部空間６１ｓを覆い、かつ、配管６０の移動に従って移動可能なシート７０を更に含むことで、排気ボックス６１の内部空間６１ｓが配管６０の移動に従って移動するシート７０によって覆われるため、配管６０からの熱が外部に漏れることを抑制することができる。したがって、シート７０を用いた簡単な構成で、配管６０からの熱の排出効率を維持することができる。

【0093】

また、シート７０が、照射部４０の移動方向に沿うように、配管６０と排気ボックス６１との接続部である可動部６５から一方側と他方側とに延びるとともに、環状に繋がるように同一の部材により一体に形成されていることで、環状に形成されたシート７０をその周方向に回動させることができる。そのため、シート７０が可動部６５から一方側と他方側とに直線状に延びるように形成された場合と比較して、配管６０の移動に従って移動するシート７０の移動軌跡を小さくすることができる。したがって、装置を小型化することができる。

【0094】

また、シート７０が内部空間６１ｓを囲むように排気ボックス６１の外周に沿うように配置されていることで、配管６０の移動に従って移動するシート７０の移動軌跡を可及的に小さくすることができるため、装置を効果的に小型化することができる。

【0095】

また、シート７０が樹脂シート７０であることで、以下の効果を奏する。シート７０が金属シート７０である場合と比較して、軽量化することができるため、配管６０の移動に従ってシート７０をスムーズに移動させることができる。また、耐酸化性を発揮することができるため、部品劣化を抑制することができ、シート７０の寿命を向上することができる。

【0096】

また、排気部６が、シート７０の張りを調整可能なテンショナー７９を更に含むことで、シート７０が配管６０の移動に従って移動する際に、シート７０が過度に引っ張られたり過度に撓んだりすることを抑制することができる。したがって、配管６０の移動をより一層安定して行うことができる。

【0097】

また、排気部６が、照射部４０の移動方向に沿うように延びるとともにシート７０を案内し、かつ、配管６０からの熱が通過可能な通過孔６４ｈが形成された案内板６４を更に含むことで、シート７０が配管６０の移動に従って移動する際にシート７０を案内しつつ、案内板６４の通過孔６４ｈを介して配管６０からの熱を排気口６３ｈから排出することができる。したがって、配管６０の移動をより一層安定して行うとともに、配管６０から排気口６３ｈまでの熱の排気経路を確保することができる。

【0098】

また、案内板６４のうち配管６０と排気ボックス６１との接続部である可動部６５における通過孔６４ｈの開口面積Ｓ２が排気口６３ｈの面積Ｓ１以上であることで、配管６０からの熱（排気）が通過孔６４ｈを通る前後で排気の流量を一定に維持することができるため、照射部４０の温度を一定に維持することができる。したがって、照射部４０から照射される紫外線の照度分布を均一化することができる。

【0099】

また、通過孔６４ｈが、照射部４０の移動方向に沿うように案内板６４に規則的に複数配置されていることで、照射部４０及び配管６０を同期させて移動させている間、配管６０と排気ボックス６１との接続部である可動部６５における通過孔６４ｈの開口面積Ｓ２を常時一定に維持することができる。これにより、照射部４０及び配管６０を同期させて移動させている間、排気の流量を一定に維持することができるため、照射部４０の温度を一定に維持することができる。したがって、照射部４０から照射される紫外線の照度分布を常時均一化することができる。

【0100】

また、排気部６が、照射部４０の温度に基づいて、配管６０の少なくとも一部を通過する気体の流量を調整可能な流量調整部６８を更に含むことで、照射部４０の温度に適合するように排気の流量を調整することができるため、照射部４０から照射される紫外線の照度分布をより一層均一化することができる。

【0101】

また、搬送機構５が、照射部４０及び配管６０を同期させて移動可能とする共通の駆動源であるガイド部５０を含むことで、照射部４０及び配管６０をまとめて一括して移動させることができるため、照射部４０及び配管６０を別個独立に移動させる場合と比較して、装置構成の簡素化を図ることができる。

【0102】

また、紫外線照射装置１が、基板１０を密閉空間で収容可能なチャンバ２を更に備え、照射部４０、排気部６及び搬送機構５は、チャンバ２の外部に設けられ、搬送機構５は、照射部４０及び配管６０を同期させてチャンバ２の外部で移動させることで、以下の効果を奏する。
密閉空間を有するチャンバ２の内部で基板１０を静止させた状態で、チャンバ２の外部で照射部４０及び配管６０を移動させつつチャンバ２の内部の基板１０に紫外線を照射することができるため、基板１０の移動に伴うパーティクルの発生を考慮する必要がない。また、照射部４０及び配管６０の移動はチャンバ２の外部で行われるため、仮に照射部４０及び配管６０の移動に伴いパーティクルが発生したとしても、チャンバ２を密閉空間とすることによって、チャンバ２内へのパーティクルの侵入を回避することができる。従って、チャンバ２内のパーティクルの発生を抑制することができ、基板１０を清浄に保つことができる。
また、基板１０を静止させた状態で照射部４０及び配管６０を移動させることによって、照射部４０及び配管６０よりも平面視サイズの大きい基板１０を用いても、照射部４０及び配管６０を静止させた状態で基板１０を移動させる場合と比較して、基板１０に紫外線を照射する際に必要なスペースを節約することができ、フットプリントを小さくすることができる。
また、チャンバ２内で基板１０を静止させた状態とすることによって、チャンバ２内は基板１０の収容スペースを確保するだけで済むため、チャンバ２内で基板１０を移動させる場合と比較して、チャンバ２の容積を小さくすることができ、チャンバ２内の酸素濃度及び露点の管理をしやすくなる。また、チャンバ２内の酸素濃度を調整する際に使用する窒素の消費量を削減することができる。

【0103】

また、チャンバ２には、紫外線を透過可能な透過部２３が設けられることで、透過部２３を用いた簡単な構成で、透過部２３を介して基板１０に紫外線を照射することができる。

【0104】

また、チャンバ２は、基板１０の上方を覆う天板２０を含み、透過部２３は、天板２０に設けられることで、チャンバ２の天板２０に透過部２３を設けた簡単な構成で、透過部２３を介して基板１０に紫外線を照射することができる。又、チャンバ２の一部に透過部２３を設けることによって、チャンバ２全体に透過部を設ける場合と比較して、透過部２３のメンテナンス性を向上することができる。

【0105】

また、搬送機構５は、チャンバ２を挟むように照射ユニット４の移動方向に延びる一対のレール５１（ガイド部５０）と、チャンバ２を跨ぐように門型に形成されると共に、一対のレール５１に沿って移動可能とされる門型フレーム５４と、を含み、門型フレーム５４には、照射ユニット４を保持する保持部５４ｃが設けられることで、一般的なレールに沿って照射ユニット４を移動させる場合と比較して、高い剛性を有する門型フレーム５４によって照射ユニット４を一対のレール５１に沿って移動させることができるため、照射ユニット４の移動を安定して行うことができる。

【0106】

また、チャンバ２の外部には、照射ユニット４を冷却可能な冷却部（不図示）が設けられることで、照射ユニット４を冷却することができるため、紫外線を基板１０に連続照射するとき等に照射ユニット４を連続駆動する場合であっても、照射ユニット４が過熱することを抑制することができる。

【0107】

また、チャンバ２には、チャンバ２の内部雰囲気の酸素濃度及び露点を調整可能なガス供給部７が設けられることで、チャンバ２の内部雰囲気の酸素濃度を所定の濃度に調整することができるため、所定の酸素濃度の条件下で紫外線を基板１０に照射することができる。また、チャンバ２の内部雰囲気の露点を所定の露点に調整することができるため、所定の露点の条件下で紫外線を基板１０に照射することができる。

【0108】

また、移動ステップにおいて、一対のレール５１の−Ｘ方向端（一端）と＋Ｘ方向端（他端）との間で照射ユニット４を往復移動させることで、一対のレール５１の一端と他端との間で照射ユニット４を一方向にのみ移動させる場合と比較して、紫外線を基板１０に繰り返し照射するときであっても、スムーズに効率良く照射することができる。また、一つの照射ユニット４を設ければ足りるため、装置構成の簡素化を図ることができる。

【0109】

（変形例）
次に、実施形態の変形例について、図９及び図１０を用いて説明する。
図９は、実施形態に係る排気部の変形例を示す側面図である。なお、図９においては、排気ボックス６１の各壁、案内板６４等の図示を省略している。
図９に示すように、本変形例では、実施形態に対して、シート１７０が第一シート１７０Ａ及び第二シート１７０Ｂを備える点で特に異なる。図９において、実施形態と同様の構成には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。

【0110】

図９に示すように、第一シート１７０Ａは、照射部４０の移動方向に沿うように、配管６０と排気ボックス６１との接続部である可動部６５から一方側（＋Ｘ方向側）に延びる。第一シート１７０Ａの一端部の側は、第一駆動ローラ１７１に巻回されている。第一シート１７０Ａの他端部は、第一係止部６６を介して、ベース部６５ａの＋Ｘ方向側の端部に係止されている。

【0111】

第二シート１７０Ｂは、照射部４０の移動方向に沿うように、可動部６５から他方側（−Ｘ方向側）に延びる。第二シート１７０Ｂは、第一シート１７０Ａに同期して移動可能に構成されている。第二シート１７０Ｂの一端部の側は、第二駆動ローラ１７２に巻回されている。第二シート１７０Ｂの他端部は、第二係止部６７を介して、ベース部６５ａの−Ｘ方向側の端部に係止されている。

【0112】

第一駆動ローラ１７１は、Ｙ方向に延びる第一駆動軸１７１ａの回りに回動可能に構成されている。第二駆動ローラ１７２は。Ｙ方向に延びる第二駆動軸１７２ａの回りに回動可能に構成されている。図９においては、第一駆動ローラ１７１が矢印Ｊ１の方向に回動し且つ第二駆動ローラ１７２が矢印Ｊ２の方向に回動することによって、第一シート１７０Ａ及び第二シート１７０Ｂが−Ｘ方向（矢印Ｋの方向）に同期して移動している状態を示している。

【0113】

本変形例によれば、第一シート１７０Ａに同期して第二シート１７０Ｂを移動させることができるため、配管６０（図１参照）の移動をより一層安定して行うことができる。

【0114】

図１０は、実施形態に係る排気部の他の変形例を示す側面図である。なお、図１０においては、排気ボックス６１の各壁などの図示を省略している。
図１０に示すように、本変形例では、実施形態に対して、シート７０が、一対の搬送ローラ１８０に掛け回された状態で、照射部４０の移動方向に沿うように移動可能に構成されている点で特に異なる。図１０において、実施形態と同様の構成には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。

【0115】

一対の搬送ローラ１８０は、Ｘ方向に間隔を空けた状態で、Ｘ方向に移動可能に構成されている。一対の搬送ローラ１８０、シート７０及び案内板６４によって囲まれた部分には、配管６０からの熱が通過可能な空間である通過部１８０ｈが形成されている。通過部１８０ｈは、案内板６４の通過孔６４ｈを介して排気ボックス６１の内部空間６１ｓ（図６参照）に連通している。

【0116】

例えば、一対の搬送ローラ１８０が常時一定の間隔を空けることによって、通過部１８０ｈを通過する気体の流量を常時一定に維持することができる。一方、一対の搬送ローラ１８０の間隔を増減することによって、通過部１８０ｈを通過する気体の流量を調整することができる。

【0117】

なお、上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、設計要求等に基づき種々変更可能である。
例えば、上記実施形態においては、チャンバ２を一つ設けたが、これに限らず、チャンバ２を二つ以上の複数設けても構わない。

【0118】

また、上記実施形態においては、案内板６４の通過孔６４ｈの上面視形状が円形である例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、案内板６４の通過孔６４ｈの上面視形状は、楕円形であってもよく、三角形、四角形等の多角形であってもよい。また、案内板６４はパンチングメタルである例を挙げて説明したが、これに限らず、上面視で梯子状をなす部材であってもよい。すなわち、案内板６４の形状は、設計仕様に応じて種々の形状を採用することができる。

【0119】

また、上記実施形態においては、流量調整部６８が、配管６０の少なくとも一部を通過する気体の流量を調整可能に構成されている例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、流量調整部６８は、排気ボックス６１の少なくとも一部を通過する気体の流量を調整可能に構成されていてもよい。すなわち、流量調整部６８は、配管６０及び排気ボックス６１の少なくとも一部を通過する気体の流量を調整可能に構成されていればよい。

【0120】

また、上記実施形態においては、排気部６を紫外線照射装置１に適用した例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、排気部６を、ノズルの乾燥装置等の他の装置に適用してもよい。

【0121】

なお、上記において実施形態又はその変形例として記載した各構成要素は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜組み合わせることができるし、また、組み合わされた複数の構成要素のうち一部の構成要素を適宜用いないようにすることもできる。

【符号の説明】

【0122】

１…紫外線照射装置 １０…基板 ２…チャンバ（収容部） ５…搬送機構（移動部） ６…排気部 ４０…照射部 ５０…ガイド部（駆動源） ６０…配管 ６１…排気ボックス ６１ｓ…内部空間 ６３ｈ…排気口 ６４…案内板 ６４ｈ…通過孔 ６５…可動部（接続部） ６８…流量調整部 ７０…シート ７９…テンショナー １７０Ａ…第一シート １７０Ｂ…第二シート Ｓ１…排気口の面積 Ｓ２…通過孔の開口面積

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】