特許 6603087 光学装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6603087

(24)【登録日】2019年10月18日

(45)【発行日】2019年11月6日

(54)【発明の名称】光学装置

(51)【国際特許分類】

   G21K 1/06 20060101AFI20191028BHJP

【ＦＩ】

   G21K1/06 B

【請求項の数】6

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2015-178086(P2015-178086)

(22)【出願日】2015年9月10日

(65)【公開番号】特開2017-53738(P2017-53738A)

(43)【公開日】2017年3月16日

【審査請求日】2018年8月30日

(73)【特許権者】

【識別番号】000236436

【氏名又は名称】浜松ホトニクス株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100140442

【弁理士】

【氏名又は名称】柴山 健一

(72)【発明者】

【氏名】小野田 忍

【審査官】 右▲高▼ 孝幸

(56)【参考文献】

【文献】 中国実用新案第２０４３５９９４２（ＣＮ，Ｕ）

【文献】 特開平０８−１４６１９７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ２１Ｋ １／０６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

軸方向の一端及び他端と、前記一端と前記他端とを接続するように前記軸方向に沿って延びておりＸ線を反射させる内面と、を有する筒状の光学素子と、
前記軸方向に延びる第１貫通孔が形成され、前記第１貫通孔に前記光学素子を収容する収容部材と、
前記光学素子を前記収容部材に固定する固定部と、を備え、
前記固定部は、前記一端に当接すると共に前記収容部材に固定される第１固定部と、前記他端に当接すると共に前記収容部材に固定される第２固定部と、を有し、前記第１固定部と前記第２固定部とにより前記軸方向に沿って前記光学素子を挟持することによって前記光学素子を前記収容部材に固定し、
前記収容部材における前記一端側の端面には凹部が形成されており、
前記第１貫通孔は、前記凹部の底面に開口しており、
前記第１固定部は、
前記底面上に配置され前記一端に当接する環状のストッパと、
前記ストッパ上に配置された環状の弾性部材と、
前記弾性部材を前記ストッパに押圧した状態で前記収容部材に固定される押圧部材と、を有する、光学装置。

【請求項2】

前記ストッパの内径は、前記光学素子の前記一端側の内径よりも大きく、且つ前記光学素子の前記一端側の外径よりも小さく、
前記弾性部材は、前記ストッパ及び前記第１貫通孔上に配置されている、請求項１記載の光学装置。

【請求項3】

前記ストッパは、前記一端に当接する当接面を含み、
前記当接面は、前記ストッパの内縁に近づくにつれて、前記他端から離れるように傾斜したテーパ面を含み、
前記一端は前記テーパ面よりも前記ストッパの内縁側において前記当接面に当接する、
請求項１又は２記載の光学装置。

【請求項4】

前記収容部材には、前記第１貫通孔を形成する前記収容部材の内面と前記収容部材の外面とに開口する第２貫通孔が形成されている、請求項１〜３のいずれか一項記載の光学装置。

【請求項5】

軸方向の一端及び他端と、前記一端と前記他端とを接続するように前記軸方向に沿って延びておりＸ線を反射させる内面と、を有する筒状の光学素子と、
前記軸方向に延びる第１貫通孔が形成され、前記第１貫通孔に前記光学素子を収容する収容部材と、
前記光学素子を前記収容部材に固定する固定部と、を備え、
前記固定部は、前記一端に当接すると共に前記収容部材に固定される第１固定部と、前記他端に当接すると共に前記収容部材に固定される第２固定部と、を有し、前記第１固定部と前記第２固定部とにより前記軸方向に沿って前記光学素子を挟持することによって前記光学素子を前記収容部材に固定し、
前記収容部材には、前記第１貫通孔を形成する前記収容部材の内面と前記収容部材の外面とに開口する第２貫通孔が形成されている、光学装置。

【請求項6】

前記光学素子の厚さは、１．０ｍｍ以下である、請求項１〜５のいずれか一項記載の光学装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、光学装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、反射鏡の保持方法が記載されている。この反射鏡の保持方法では、内部に流体を充填させた中空の弾性体リングを介して、保持部材がＸ線反射鏡の周囲を保持している。また、特許文献２には、Ｘ線分析装置が記載されている。このＸ線分析装置では、軸対称斜入射反射鏡の軸方向の数個所に渡って、リング状の加圧機構が設けられている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００２−３１８３３４号公報

【特許文献2】特開平９−１６６５５８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上述したＸ線反射鏡や軸対称斜入射反射鏡といった光学素子を所定のホルダに固定する際には、光学素子の反射面の変形を抑制することが望ましい。しかしながら、例えば特許文献１に記載のＸ線分析装置にあっては、反射面に交差する方向（軸方向に交差する方向）に沿って光学素子に応力が加えられるため、反射面の変形が避けがたい。反射面に変形が生じると、光学素子の性能が十分に発揮されないおそれがある。

【0005】

本発明は、光学素子の反射面の形状の変形を抑制できる光学装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明に係る光学装置は、軸方向の一端及び他端と、一端と他端とを接続するように軸方向に沿って延びておりＸ線を反射させる内面と、を有する筒状の光学素子と、軸方向に延びる第１貫通孔が形成され、第１貫通孔に光学素子を収容する収容部材と、光学素子を収容部材に固定する固定部と、を備え、固定部は、一端に当接すると共に収容部材に固定される第１固定部と、他端に当接すると共に収容部材に固定される第２固定部と、を有し、第１固定部と第２固定部とにより軸方向に沿って光学素子を挟持することによって光学素子を収容部材に固定する。

【0007】

この光学装置においては、光学素子は、一端と他端とを接続するように軸方向に沿って延びると共にＸ線を反射させる内面を有している。すなわち、光学素子の反射面は、軸方向に沿って延びている。また、光学素子は、収容部材の第１貫通孔に収容された状態で、固定部により固定されている。固定部は、光学素子の一端に当接すると共に収容部材に固定される第１固定部と、光学素子の他端に当接すると共に収容部材に固定される第２固定部と、を有している。そして、固定部は、第１固定部と第２固定部とにより、軸方向に沿って光学素子を挟持することによって光学素子を収容部材に固定する。したがって、この光学装置にあっては、光学素子の固定に際して、反射面に交差する方向に沿って反射面に応力が加わりにくい。よって、反射面の形状の変化が抑制される。なお、この光学装置によれば、光学素子を収容部材の内面（第１貫通孔を形成する面）から離間させた状態で、光学素子を収容部材に固定することも可能である。このため、収容部材の内面から光学素子への応力の入力を避け、反射面の形状の変形を確実に抑制可能である。

【0008】

本発明に係る光学装置においては、収容部材における一端側の端面には凹部が形成されており、第１貫通孔は、凹部の底面に開口しており、第１固定部は、底面上に配置され一端に当接する環状のストッパと、ストッパ上に配置された環状の弾性部材と、弾性部材をストッパに押圧した状態で収容部材に固定される押圧部材と、を有してもよい。この場合、第１固定部では、押圧部材が弾性部材をストッパに押圧することにより、ストッパが光学素子に当接し、光学素子を固定している。このため、光学素子の固定に際して、光学素子に必要以上の力が加わることを抑制できる。この結果、光学素子の形状の変形を一層抑制できる。

【0009】

本発明に係る光学装置においては、ストッパの内径は、光学素子の一端側の内径よりも大きく、且つ光学素子の一端側の外径よりも小さく、弾性部材は、ストッパ及び第１貫通孔上に配置されていてもよい。この場合、ストッパの内径が光学素子の一端側の内径よりも大きいので、ストッパが光学素子への入射光又は光学素子からの出射光の光路に干渉することを抑制可能である。また、ストッパの内径が光学素子の一端側の外径よりも小さいので、ストッパが光学素子の一端に確実に当接する。また、弾性部材がストッパ及び第１貫通孔上に配置されているので、弾性部材がストッパ及び底面上に配置されている場合に比べて、押圧部材による押圧力が光学素子の一端に作用し易くなる。この結果、光学素子が確実に固定される。

【0010】

本発明に係る光学装置においては、ストッパは、一端に当接する当接面を含み、当接面は、ストッパの内縁に近づくにつれて、他端から離れるように傾斜したテーパ面を含み、一端はテーパ面よりもストッパの内縁側において当接面に当接してもよい。この場合、テーパ面を用いて、光学素子を容易に位置決めすることができる。

【0011】

本発明に係る光学装置においては、収容部材には、第１貫通孔を形成する収容部材の内面と収容部材の外面とに開口する第２貫通孔が形成されていてもよい。この場合、第２貫通孔を用いて、第１貫通孔内を容易に真空排気することができる。

【0012】

本発明に係る光学装置においては、光学素子の厚さは、１．０ｍｍ以下であってもよい。このように光学素子の厚さが薄い場合でも、光学素子の反射面の形状の変形を好適に抑制できる。

【発明の効果】

【0013】

本発明によれば、光学素子の反射面の形状の変形を抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】本実施形態に係る光学装置の断面図である。

【図2】図１の光学装置の分解断面図である。

【図3】図１の光学装置を軸方向に沿って第１固定部側から見た図である。

【図4】図１の光学装置を軸方向に沿って第２固定部側から見た図である。

【図5】変形例に係る光学装置の断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。

【0016】

図１〜図４を参照して、本実施形態に係る光学装置１について説明する。図１は、本実施形態に係る光学装置の断面図である。図２は、図１の光学装置の分解断面図である。図３は、図１の光学装置を軸方向に沿って第１固定部側から見た図である。図４は、図１の光学装置を軸方向に沿って第２固定部側から見た図である。

【0017】

図１〜図４に示されるように、光学装置１は、光学素子２と、収容部材３と、固定部４と、を備えている。光学素子２は、全反射を利用してＸ線の結像及び集光を行う。光学素子２は、例えば、ウォルターミラーといった筒状の斜入射反射鏡である。光学素子２は、例えば、円筒状であり、軸方向Ｄに対して回転対称性を有している。

【0018】

光学素子２は、軸方向Ｄの一端２ａ及び他端２ｂと、一端２ａと他端２ｂとを接続するように軸方向Ｄに沿って延びる内面２ｃ及び外面２ｄと、を有している。内面２ｃは、Ｘ線を反射させる。内面２ｃは、一端２ａ側において回転双曲面とされ、他端２ｂ側において回転楕円面とされている。外面２ｄは、内面２ｃの反対側を向いている。

【0019】

光学素子２の軸方向Ｄの長さは、例えば、３０ｍｍである。光学素子２の一端２ａ側の内径ｄ１は、光学素子２の内径の最小値であり、例えば、３．８ｍｍである。光学素子２の他端２ｂ側の内径ｄ２は、光学素子２の内径の最大値であり、例えば、５．４ｍｍである。光学素子２の一端２ａ側の外径ｄ３は、光学素子２の外径の最小値であり、例えば、５．４ｍｍである。光学素子２の他端２ｂ側の外径ｄ４は、光学素子２の外径の最大値であり、例えば、７．０ｍｍである。光学素子２の厚さｔ（内面２ｃと外面２ｄとがなす距離）は、１．０ｍｍ以下であり、例えば、０．８ｍｍ程度である。

【0020】

収容部材３は、軸方向Ｄに延びる筒状の部材である。収容部材３は、例えば、円筒状の部材である。収容部材３は、軸方向Ｄの端面３ａ及び端面３ｂと、端面３ａと端面３ｂとを接続するように軸方向Ｄに沿って延びる内面３ｃ及び外面３ｄと、を有している。端面３ａは、一端２ａ側に配置されている。端面３ａには凹部５が形成されている。凹部５は、軸方向Ｄから見て、例えば、円形を呈する底面５ａを有している。端面３ａからの凹部５の深さ、即ち、軸方向Ｄに沿う底面５ａと端面３ａとの間の距離は、例えば、２．０ｍｍである。凹部５の直径は、例えば、１３ｍｍである。

【0021】

端面３ｂは、他端２ｂ側に配置されている。端面３ｂには凹部６が形成されている。凹部６は、軸方向Ｄから見て、例えば、円形を呈する底面６ａを有している。端面３ｂからの凹部６の深さ、即ち、軸方向Ｄに沿う底面６ａと端面３ｂとの間の距離は、例えば、２．０ｍｍである。凹部６の直径は、例えば、１３ｍｍである。

【0022】

収容部材３には、軸方向Ｄに延びる第１貫通孔Ａ１が内面３ｃにより形成されている。収容部材３は、第１貫通孔Ａ１に光学素子２を収容している。第１貫通孔Ａ１は、例えば、円柱状である。第１貫通孔Ａ１は、底面５ａ及び底面６ａに開口している。第１貫通孔Ａ１の軸方向Ｄに沿う長さは、光学素子２の軸方向Ｄの長さと同等である。第１貫通孔Ａ１の直径は、光学素子２の外径の最大値（即ち、他端２ｂ側の外径）よりも大きく、例えば、１１ｍｍである。

【0023】

収容部材３には、内面３ｃと外面３ｄとに開口する第２貫通孔Ａ２が更に形成されている。第２貫通孔Ａ２は、軸方向Ｄに交差する方向に延びている。第２貫通孔Ａ２の直径は、例えば、１．５ｍｍである。

【0024】

固定部４は、第１固定部４１と、第２固定部４２とを有している。第１固定部４１は、一端２ａに当接すると共に収容部材３の端面３ａ側に固定されている。第２固定部４２は、他端２ｂに当接すると共に収容部材３の端面３ｂ側に固定されている。固定部４は、第１固定部４１と第２固定部４２とにより軸方向Ｄに沿って光学素子２を挟持することによって、光学素子２を収容部材３に固定している。

【0025】

第１固定部４１は、ストッパ７１と、弾性部材８１と、押圧部材９１と、を有している。ストッパ７１は、例えば、円環状の板部材である。ストッパ７１は、一端２ａに当接する当接面７３を含んでいる。当接面７３は、例えば、円環状の平面である。一端２ａは、当接面７３の内縁側の部分に当接する。ストッパ７１の内径ｄ５は、光学素子２の一端２ａ側の内径ｄ１よりも大きく、且つ光学素子２の一端２ａ側の外径ｄ３よりも小さい。ストッパ７１の内径ｄ５は、例えば、４．４ｍｍである。ストッパ７１の外径は、底面５ａの直径と同等である。ストッパ７１は、底面５ａ上に配置されている。ストッパ７１の外縁側の一部が底面５ａ上に配置され、ストッパ７１の内縁側の残部が第１貫通孔Ａ１上に配置されている。当接面７３の外縁側の一部は、底面５ａと対向している。

【0026】

弾性部材８１は、例えば、Ｏリングであり、円環状を呈している。弾性部材８１の外径は、ストッパ７１の内径よりも大きく、第１貫通孔Ａ１の直径よりも小さい。弾性部材８１は、ストッパ７１及び第１貫通孔Ａ１上に配置されている。

【0027】

押圧部材９１は、底部９１ａと、底部９１ａの外縁から、収容部材３側に延びるように立設された側部９１ｂと、を含んでいる。底部９１ａは、例えば、円板状である。側部９１ｂは、例えば、円筒状である。底部９１ａの中央には、Ｘ線を通過させるためのＸ線通過孔９１ｃが形成されている。Ｘ線通過孔９１ｃの直径は、光学素子２の一端２ａ側の内径ｄ１よりも大きく、且つ弾性部材８１の内径よりも小さい。Ｘ線通過孔９１ｃの直径は、例えば、６．０ｍｍである。

【0028】

底部９１ａには、真空排気用の空気抜き孔９１ｄが更に形成されている。空気抜き孔９１ｄは、具体的には、底部９１ａのうち、端面３ａにおける凹部５以外の部分（凹部５の外側部分）と対向する部分に形成されている。側部９１ｂの内径は、収容部材３の端面３ａ側の外径と同等である。側部９１ｂの内面と、端面３ａ側の外面３ｄとには、それぞれネジが形成され、これにより、押圧部材９１が収容部材３の端面３ａ側に着脱自在に固定されている。

【0029】

第２固定部４２は、ストッパ７２と、弾性部材８２と、押圧部材９２と、を有している。ストッパ７２は、例えば、円環状の板部材である。ストッパ７２は、他端２ｂに当接する当接面７４を含んでいる。当接面７４は、例えば、円環状の平面である。他端２ｂは、当接面７４の内縁側の部分に当接する。ストッパ７２の内径ｄ６は、光学素子２の他端２ｂ側の内径ｄ２よりも大きく、且つ光学素子２の他端２ｂ側の外径ｄ４よりも小さい。ストッパ７２の内径ｄ６は、例えば、６．０ｍｍである。ストッパ７２の外径は、底面６ａの直径と同等である。ストッパ７２は、底面６ａ上に配置されている。ストッパ７２の外縁側の一部が底面６ａ上に配置され、ストッパ７２の内縁側の残部が第１貫通孔Ａ１上に配置されている。当接面７４の外縁側の一部は、底面６ａと対向している。

【0030】

弾性部材８２は、例えば、Ｏリングであり、円環状を呈している。弾性部材８２の外径は、ストッパ７２の内径よりも大きく、第１貫通孔Ａ１の直径よりも小さい。弾性部材８２は、ストッパ７２及び第１貫通孔Ａ１上に配置されている。

【0031】

押圧部材９２は、底部９２ａと、底部９２ａの外縁から、収容部材３側に延びるように立設された側部９２ｂと、を含んでいる。底部９２ａは、例えば、円板状である。側部９２ｂは、例えば、円筒状である。底部９２ａの中央には、Ｘ線を通過させるためのＸ線通過孔９２ｃが形成されている。Ｘ線通過孔９２ｃの直径は、光学素子２の他端２ｂ側の内径ｄ２よりも大きく、且つ弾性部材８２の内径よりも小さい。Ｘ線通過孔９２ｃの直径は、例えば、７．６ｍｍである。

【0032】

底部９２ａには、真空排気用の空気抜き孔９２ｄが更に形成されている。空気抜き孔９２ｄは、具体的には、底部９２ａのうち、端面３ｂにおける凹部６以外の部分（凹部６の外側部分）と対向する部分に形成されている。側部９２ｂの内径は、収容部材３の端面３ｂ側の外径と同等である。側部９２ｂの内面と、端面３ｂ側の外面３ｄとには、それぞれネジが形成され、これにより、押圧部材９２が収容部材３の端面３ｂ側に着脱自在に固定されている。

【0033】

光学装置１を組み立てるには、まず、凹部６の底面６ａ上にストッパ７２を配置し、ストッパ７２上に弾性部材８２を配置する。次に、この状態で、押圧部材９２を収容部材３の端面３ｂ側に固定する。次に、収容部材３と光学素子２とを同芯に軸合せした状態で、光学素子２を第１貫通孔Ａ１に収容し、他端２ｂをストッパ７２に当接させる。第１貫通孔Ａ１の直径は、光学素子２の外径の最大値（即ち、他端２ｂ側の外径）よりも大きいので、光学素子２は、外面２ｄを収容部材３の内面３ｃから離間させた状態で収容される。

【0034】

続いて、凹部５の底面５ａ上にストッパ７１を配置し、ストッパ７１を一端２ａに当接させる。次に、ストッパ７１上に弾性部材８１を配置し、この状態で押圧部材９１を収容部材３の端面３ａ側に固定する。これにより、光学素子２を第１固定部４１と第２固定部４２とで挟持し、収容部材３に同芯で収容して固定することができる。

【0035】

以上説明したように、光学装置１においては、光学素子２は、Ｘ線を反射させる反射面として、一端２ａと他端２ｂとを接続するように軸方向Ｄに沿って延びる内面２ｃを有している。また、光学素子２は、収容部材３の第１貫通孔Ａ１に収容された状態で、固定部４により固定されている。固定部４は、光学素子２の一端２ａに当接すると共に収容部材３に固定される第１固定部４１と、光学素子２の他端２ｂに当接すると共に収容部材３に固定される第２固定部４２と、を有している。そして、固定部４は、第１固定部４１と第２固定部４２とにより、軸方向Ｄに沿って光学素子２を挟持することによって光学素子２を収容部材３に固定する。

【0036】

したがって、この光学装置１にあっては、光学素子２の固定に際して、反射面である内面２ｃに交差する方向に沿って反射面に応力が加わりにくい。よって、反射面の形状の変化が抑制される。特に、この光学装置１では、光学素子２を収容部材３の内面３ｃから離間させた状態で、光学素子２を収容部材３に固定している。このため、収容部材３の内面３ｃから光学素子２への応力の入力を避け、反射面の形状の変形を確実に抑制可能である。特に、光学素子２は、厚さｔが１．０ｍｍ以下であり、薄肉構造を有している。このような場合でも、光学装置１によれば、光学素子２の内面２ｃの形状の変化を好適に抑制できる。

【0037】

また、ストッパ７１の内径ｄ５は、光学素子２の一端２ａ側の内径ｄ１よりも大きい。したがって、ストッパ７１が、光学素子２への入射光又は光学素子２からの出射光の光路に干渉することを抑制可能である。更に、ストッパ７１の内径ｄ５は、光学素子２の一端２ａ側の外径ｄ３よりも小さい。したがって、ストッパ７１を光学素子２の一端２ａに確実に当接させることができる。

【0038】

また、ストッパ７２の内径ｄ６は、光学素子２の他端２ｂ側の内径ｄ２よりも大きい。したがって、ストッパ７２が、光学素子２への入射光又は光学素子２からの出射光の光路に干渉することを抑制可能である。更に、ストッパ７２の内径ｄ６は、光学素子２の他端２ｂ側の外径ｄ４よりも小さい。したがって、ストッパ７２を光学素子２の他端２ｂに確実に当接させることができる。

【0039】

また、第１固定部４１では、押圧部材９１によるストッパ７１の押圧に際して、弾性部材８１が用いられ、第２固定部４２では、押圧部材９２によるストッパ７２の押圧に際して、弾性部材８２が用いられている。これにより、第１固定部４１及び第２固定部４２において、光学素子２に必要以上の力が加わることを抑制できる。この結果、光学素子２の形状の変形を一層抑制できる。

【0040】

また、弾性部材８１は、ストッパ７１及び第１貫通孔Ａ１上に配置されている。したがって、弾性部材８１がストッパ７１及び底面５ａ上に配置されている場合に比べて、押圧部材９１による押圧力が光学素子２の一端２ａに作用し易くなる。この結果、光学素子２が確実に固定される。

【0041】

また、弾性部材８２は、ストッパ７２及び第１貫通孔Ａ１上に配置されている。したがって、弾性部材８２がストッパ７２及び底面６ａ上に配置されている場合に比べて、押圧部材９２による押圧力が光学素子２の他端２ｂに作用し易くなる。この結果、光学素子２が確実に固定される。

【0042】

また、収容部材３には第２貫通孔Ａ２が形成されているので、第１貫通孔Ａ１における光学素子２の外側の空間についても容易に真空排気することができる。これにより、例えば、光学装置１が配置された空間を真空引きした際に、第１貫通孔Ａ１における光学素子２の外部の気圧が、光学素子２の内部の気圧よりも高くなることに起因して、ストッパ７１及びストッパ７２がそれぞれ光学素子２から離れる方向に力を受け、光学素子２を挟持できなくなることを抑制可能となる。また、光学素子２の内部と外部との間の気圧差を抑制できるので、内面２ｃ又は外面２ｄへの応力の入力を抑制できる。この結果、反射面の形状の変形を抑制可能となる。

【0043】

また、押圧部材９１には、空気抜き孔９１ｄが形成されているので、弾性部材８１の外周側の空間（端面３ａとストッパ７１と弾性部材８１と押圧部材９１とにより規定される空間）についても真空排気することができる。これにより、例えば、光学装置１が配置された空間を真空引きした際に、弾性部材８１の外周側の空間の気圧が、弾性部材８１の内周側の空間の気圧よりも高くなることに起因して、第１固定部４１による固定構造が悪影響を受けることを抑制可能となる。このような悪影響として、例えば、弾性部材８１の外周側と内周側との間に気圧差が発生することにより、光学素子２の保持力が変わり、光学素子２が光軸中心からずれることが考えられる。

【0044】

また、押圧部材９２には、空気抜き孔９２ｄが形成されているので、弾性部材８２の外周側の空間（端面３ｂとストッパ７２と弾性部材８２と押圧部材９２とにより規定される空間）についても真空排気することができる。これにより、例えば、光学装置１が配置された空間を真空引きした際に、弾性部材８２の外周側の空間の気圧が、弾性部材８２の内周側の空間の気圧よりも高くなることに起因して、第２固定部４２による固定構造が悪影響を受けることを抑制可能となる。このような悪影響として、例えば、弾性部材８２の外周側と内周側との間に気圧差が発生することにより、光学素子２の保持力が変わり、光学素子２が光軸中心からずれることが考えられる。

【0045】

また、空気抜き孔９１ｄは、底部９１ａのうち、端面３ａにおける凹部５以外の部分（凹部５の外側部分）と対向する部分に形成されている。上記のとおり、弾性部材８１は、凹部５に配置されるので、空気抜き孔９１ｄによれば、弾性部材８１の外周側の空間を確実に真空排気することができる。

【0046】

また、空気抜き孔９２ｄは、底部９２ａのうち、端面３ｂにおける凹部６以外の部分（凹部６の外側部分）と対向する部分に形成されている。上記のとおり、弾性部材８２は、凹部６に配置されるので、空気抜き孔９２ｄによれば、弾性部材８２の外周側の空間を確実に真空排気することができる。

【0047】

以上、本実施形態に係る光学装置１について説明したが、本発明は、これに限られるものではない。

【0048】

図５は、変形例に係る光学装置の断面図である。以下では、図１及び図５を参照しながら、実施形態に係る光学装置１との相違点を中心に、変形例に係る光学装置１Ａの説明を行う。図１及び図５に示されるように、光学装置１Ａは、固定部４に変えて固定部４Ａを備える点で光学装置１と相違している。固定部４Ａは、第１固定部４１及び第２固定部４２に変えて、第１固定部４１Ａ及び第２固定部４２Ａを有する点で、固定部４と相違している。第１固定部４１Ａは、ストッパ７１に代えてストッパ７１Ａを有する点で、第１固定部４１と相違している。第２固定部４２Ａは、ストッパ７２に代えてストッパ７２Ａを有する点で、第２固定部４２と相違している。

【0049】

ストッパ７１Ａは、例えば、円環状の板部材である。ストッパ７１Ａは、一端２ａに当接する当接面７３Ａを含んでいる。当接面７３Ａは、例えば、円環状をなしている。当接面７３Ａは、ストッパ７１Ａの内縁に近づくにつれて、他端２ｂから離れるように傾斜したテーパ面７５を含んでいる。一端２ａは、テーパ面７５よりもストッパ７１Ａの内縁側において当接面７３Ａに当接する。テーパ面７５の内径は、例えば、外径ｄ３に設定されている。当接面７３Ａの外縁側の一部は、底面５ａと対向している。

【0050】

ストッパ７２Ａは、例えば、円環状の板部材である。ストッパ７２Ａは、他端２ｂに当接する当接面７４Ａを含んでいる。当接面７４Ａは、例えば、円環状をなしている。当接面７４Ａは、ストッパ７２Ａの内縁に近づくにつれて、一端２ａから離れるように傾斜したテーパ面７６を含んでいる。他端２ｂは、テーパ面７６よりもストッパ７２Ａの内縁側において当接面７４Ａに当接する。テーパ面７６の内径は、例えば、外径ｄ４に設定されている。当接面７４Ａの外縁側の一部は、底面６ａと対向している。

【0051】

このように、光学装置１Ａでは、ストッパ７１Ａの当接面７３Ａは、テーパ面７５を含んでいるので、テーパ面７５を用いて一端２ａをテーパ面７５の内側の位置に案内することができる。これにより、一端２ａが容易に位置決めされる。また、ストッパ７２Ａの当接面７４Ａは、テーパ面７６を含んでいるので、テーパ面７６を用いて他端２ｂをテーパ面７６内側の位置に案内することができる。これにより、他端２ｂが容易に位置決めされる。以上のように、変形例に係る光学装置１Ａでは、一端２ａ及び他端２ｂが容易に位置決めされる結果、光学素子２が容易に位置決めされる。

【0052】

また、例えば、第１固定部４１は、少なくとも一端２ａに当接すると共に収容部材３に固定される構成を有していればよい。例えば、第１固定部４１は、ストッパ７１及び弾性部材８１を有さず、押圧部材９１が一端２ａに直接当接する構成を有していてもよい。また、第２固定部４２は、少なくとも他端２ｂに当接すると共に収容部材３に固定される構成を有していればよい。例えば、第２固定部４２は、ストッパ７２及び弾性部材８２を有さず、押圧部材９２が他端２ｂに直接当接する構成を有していてもよい。このように一端２ａに直接当接する構成の押圧部材９１、及び他端２ｂに直接当接する構成の押圧部材９２のいずれか一方が収容部材３と一体的に形成されていてもよい。なお、光学装置１は、第１固定部４１が弾性部材８１を用いる構成、及び、第２固定部４２が弾性部材８２を用いる構成の少なくともいずれか一方を備えることにより、光学素子２に必要以上の力が加わることを抑制できる。

【0053】

光学装置１では、押圧部材９１及び押圧部材９２は、着脱自在に収容部材３に固定されているとして説明したが、押圧部材９１及び押圧部材９２の固定方法は、これに限られず、接着等によってもよい。

【0054】

光学素子２は、一端２ａ、他端２ｂ及び内面２ｃを有する筒状の光学素子であればよく、一端２ａの内径ｄ１が他端２ｂの内径ｄ２と同じ大きさであってもよいし、一端２ａの外径ｄ３が他端２ｂの外径ｄ４と同じ大きさであってもよい。

【符号の説明】

【0055】

１，１Ａ…光学装置、２…光学素子、２ａ…一端、２ｂ…他端、２ｃ…内面、３…収容部材、３ａ…端面、３ｃ…内面、３ｄ…外面、４，４Ａ…固定部、５…凹部、５ａ…底面、４１，４１Ａ…第１固定部、４２，４２Ａ…第２固定部、７１，７１Ａ…ストッパ、７３Ａ…当接面、７５…テーパ面、８１…弾性部材、９１…押圧部材、Ａ１…第１貫通孔、Ａ２…第２貫通孔、Ｄ…軸方向、ｄ１…内径、ｄ２…内径、ｄ３…外径、ｄ４…外径、ｄ５…内径、ｄ６…内径、ｔ…厚さ。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】