特許 6604453 α線測定装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6604453

(24)【登録日】2019年10月25日

(45)【発行日】2019年11月13日

(54)【発明の名称】α線測定装置

(51)【国際特許分類】

   G01T 1/18 20060101AFI20191031BHJP

【ＦＩ】

   G01T1/18 C

【請求項の数】16

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2019-80753(P2019-80753)

(22)【出願日】2019年4月22日

(65)【公開番号】特開2019-194579(P2019-194579A)

(43)【公開日】2019年11月7日

【審査請求日】2019年8月2日

(31)【優先権主張番号】特願2018-85861(P2018-85861)

(32)【優先日】2018年4月26日

(33)【優先権主張国】JP

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】000006264

【氏名又は名称】三菱マテリアル株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100101465

【弁理士】

【氏名又は名称】青山 正和

(72)【発明者】

【氏名】澤田 佳則

(72)【発明者】

【氏名】塩野 一郎

【審査官】 藤本 加代子

(56)【参考文献】

【文献】 特開昭６１−０５４４８９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０５−０４１１９６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０１−２１１８５２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭６３−２３８５８７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許第０５０１９７１１（ＵＳ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｔ １／１８

Ｇ０１Ｔ １／１８５

Ｈ０１Ｊ ４７／００−４７／２６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ガス流入口及びガス排出口を有する箱型容器と、
前記箱型容器の内側に設けられたカソード膜と、
前記カソード膜と間隔をおいて平行にかつ相互に平行に間隔をおいて並べられ、相互に電気的に接続され、直径が３０μｍ以下である複数本のアノードワイヤと、
前記アノードワイヤと間隔をおいて平行にかつ相互に平行に間隔をおいて並べられ、前記カソード膜と電気的に接続され、直径が３０μｍ以下である複数本のカソードワイヤとを備えることを特徴とするα線測定装置。

【請求項2】

前記アノードワイヤの前記直径および前記カソードワイヤの前記直径がいずれも２μｍ以上であることを特徴とする請求項１に記載のα線測定装置。

【請求項3】

前記アノードワイヤの前記直径と前記カソードワイヤとの前記直径が同じであることを特徴とする請求項１または２のいずれか記載のα線測定装置。

【請求項4】

前記カソード膜と前記アノードワイヤとの離間距離、及び前記アノードワイヤと前記カソードワイヤとの離間距離は、いずれも３ｍｍ以上１０ｍｍ未満であることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載のα線測定装置。

【請求項5】

前記カソード膜と前記アノードワイヤとの前記離間距離、及び前記アノードワイヤと前記カソードワイヤとの前記離間距離は、いずれも９ｍｍ以下であることを特徴とする請求項４記載のα線測定装置。

【請求項6】

前記アノードワイヤの各線間距離は１０ｍｍ以上２０ｍｍ未満であり、前記カソードワイヤの各線間距離は５ｍｍ以上１０ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項記載のα線測定装置。

【請求項7】

前記アノードワイヤの前記線間距離が１９ｍｍ以下であることを特徴とする請求項６記載のα線測定装置。

【請求項8】

前記カソードワイヤの前記線間距離が９ｍｍ以下であることを特徴とする請求項６記載のα線測定装置。

【請求項9】

前記箱型容器の内面と各前記アノードワイヤとの間に、絶縁材料からなる複数の支持棒と、α線放射元素の含有量が１ｐｐｂ未満の導電性材料からなり、各前記アノードワイヤの両端部および各前記支持棒に固定され、前記アノードワイヤを保持するとともに各前記アノードワイヤ同士を電気的に接続する複数の支持導線と、が設けられており、
前記支持棒は、前記カソード膜に形成された孔を貫通して前記箱型容器内に一部分が露出する棒状の内側絶縁部と、前記箱型容器内に露出する部分の前記内側絶縁部を覆う絶縁被覆部とを有する
ことを特徴とする請求項１から８のいずれか一項記載のα線測定装置。

【請求項10】

各前記アノードワイヤと各前記支持導線との接合部を固定する導電性接合材を備えることを特徴とする請求項９記載のα線測定装置。

【請求項11】

前記支持導線は直径１ｍｍ以上１０ｍｍ以下の銅線であることを特徴とする請求項９記載のα線測定装置。

【請求項12】

前記ガス流入口及び前記ガス排出口は、前記箱型容器の前記カソードワイヤと底面との
間の側板部に形成されていることを特徴とする請求項１から１１のいずれか一項記載のα線測定装置。

【請求項13】

前記カソード膜は銅又はアルミニウムからなることを特徴とする請求項１から１２のいずれか一項記載のα線測定装置。

【請求項14】

前記カソード膜の厚さは１００ｎｍ以上２００ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１から１３のいずれか一項記載のα線測定装置。

【請求項15】

前記アノードワイヤおよび前記カソードワイヤはタングステン線であることを特徴とする請求項１から１４のいずれか一項記載のα線測定装置。

【請求項16】

各前記アノードワイヤにより形成される平面とカソード膜とは１００ｃｍ^２以上１０００ｃｍ^２以下の面積で対向することを特徴とする請求項１から１５のいずれか一項記載のα線測定装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、面状の陰極を用い、ガスを流しながら高電圧を印加してα線を計測する２π型ガスフロー比例計数管に属するα線測定装置に関する。

【背景技術】

【0002】

情報機器の高度化に伴い様々な分野に高精度の電子回路が適用されている。この結果、電子回路におけるソフトエラーの発生頻度は、自動車分野においては安全性に、情報通信分野では情報の伝達品質に大きな影響を及ぼす。ソフトエラーの発生頻度を増加させる原因はいくつか存在するが、中でも電子回路を構成する半導体素子を回路基板に接合する接合材から放出されるα線が半導体素子に照射されることで、半導体素子が誤動作することが知られている。このため、実際に半導体素子を回路基板に接合するには、半導体接合材料が所望のα線放出量であることを事前に検証する必要がある。

【0003】

このα線を計測する装置の一種に、面状の陰極と、線状の陽極及び陰極とを配置した箱型容器内に測定対象試料を配置し、ガスを流しながら陰極と陽極との間に高電圧を印加して、気体の電離作用を利用してα線を計測する２π型ガスフロー比例計数管がある。

【0004】

例えば、特許文献１に開示の２πガスフロー計数管は、ガス導入出口を有する箱型容器内に、上部より陰極板、多線式陽極、多線式陰極及び試料台が配置された構成とされている。この場合、陰極板、陽極、下部の多線式陰極はいずれもα線放射元素含有量の少ない導電性材料からなる。陰極板には、超高純度の銅、アルミニウム等の金属を蒸着したプラスチック板、超高純度金属メッキ板などが用いられ、陽極としては、線径１０〜２００μｍのステンレススチール、銅等の細線が用いられている。

【0005】

陽極の各細線間の間隔は２〜３ｍｍ、陽極と各陰極との間隔は１〜２ｃｍの範囲に設定される。また、下部の多線式陰極としては、線径５０〜１００μｍの陽極と同一材料のものが用いられ、線間隔が５〜２０ｍｍとすることにより、計数効率が良いと記載されている。試料測定面と下部の多線式陰極との間隔は３〜６ｍｍであるとされている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開昭６１‐５４４８９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

特許文献１に開示の２πガスフロー計数管を用いたα線測定装置により、各種材料のある程度のα線放出量を計測できる。しかしながら、近年では、α線放出量が極めて少ない半導体接合材料が求められており、このため、例えば、０．００１ｃｐｈ／ｃｍ^２以下の低α線放出量を計測できる装置が求められている。特許文献１開示の装置では、０．００１ｃｐｈ／ｃｍ^２以下の低α線放出量を高い信頼性をもって測定検証することは難しく、測定できるとしても、例えば１００時間以上もの測定時間を要する。

【0008】

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、例えば０．００１ｃｐｈ／ｃｍ^２以下の低α線放出量を短時間で高い信頼性をもって計測できるα線測定装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明のα線測定装置は、ガス流入口及びガス排出口を有する箱型容器と、前記箱型容器の内側に設けられたカソード膜と、該カソード膜と間隔をおいて平行にかつ相互に平行に間隔をおいて並べられ、相互に電気的に接続され、直径が３０μｍ以下である複数本のアノードワイヤと、前記アノードワイヤと間隔をおいて平行にかつ相互に平行に間隔をおいて並べられ、前記カソード膜と電気的に接続され、直径が３０μｍ以下である複数本のカソードワイヤとを備える。

【0010】

α線の計数効率は印加電圧に応じて変化し、印加電圧と放射線の計数効率との関係においては、特定の電圧の範囲で計数効率の変化が少なくほぼ一定となるプラトーと呼ばれる領域が存在する。通常、α線測定時の印加電圧はこのプラトー領域の最低電圧に設定するとよい。一方、微量のα線を短時間で測定するためには、測定装置のバックグランドレベルを低くする必要があるが、このバックグランドレベルを下げるためには、印加電圧を低くする必要がある。しかしながら、プラトー領域の最低電圧からさらに電圧を下げてしまうと、計数効率も低下してしまう。

【0011】

これに対して、本発明の発明者らは、アノードワイヤの直径及びカソードワイヤの直径をいずれも３０μｍ以下と細くすることによりプラトー領域が低電圧側にシフトすることを発見した。これにより、計数効率を下げることなく、より低い印加電圧にてα線を測定でき、バックグランドも低減し、低α線放出量の試料を短時間で測定することができる。各直径が３０μｍを超えると、プラトー領域が低電圧側に十分にシフトしないため、バックグランドの影響により低α線放出量の試料を短時間で測定することが難しい。

【0012】

アノードワイヤの直径及びカソードワイヤの直径の下限値はいずれも好ましくは２μｍである。

【0013】

α線測定装置の一つの実施態様は、前記アノードワイヤと前記カソードワイヤとの直径が同じであることが好ましい。これにより、両極間に形成される電場の間隔が均一になり、計数効率が安定する。

【0014】

α線測定装置の他の一つの実施態様は、前記カソード膜と前記アノードワイヤとの離間距離、及び前記アノードワイヤと前記カソードワイヤとの離間距離は、いずれも３ｍｍ以上１０ｍｍ未満である。

【0015】

これらの離間距離が３ｍｍ未満では、バックグランドが上昇して低電圧での測定が困難になるおそれがあるとともに、電極間が接近するため測定装置の組み立ても難しくなる。離間距離が１０ｍｍ以上であると、ノイズが発生し易くなり、それに伴ってバックグランドも上昇するおそれがある。これらアノードワイヤとカソードワイヤとの離間距離は３ｍｍ以上９ｍｍ以下がより好ましい。

【0016】

α線測定装置のさらに別の一つの実施態様は、前記アノードワイヤの各線間距離は１０ｍｍ以上２０ｍｍ未満であり、前記カソードワイヤの各線間距離は５ｍｍ以上１０ｍｍ以下である。

【0017】

アノードワイヤについては、各線間距離が１０ｍｍ未満では電場同士が干渉してバックグラウンドが上昇するおそれがあり、２０ｍｍ以上であるとアノードワイヤによって形成される電場の間隔が大きくなり、計数効率が低下するおそれがある。計数効率が低下すると、印加電圧を上昇させる必要があるが、その場合、バックグランドが上昇し、目的の性能が出せなくなる。

【0018】

カソードワイヤも、各線間距離が５ｍｍ未満では測定装置のバックグランドが上昇するおそれがあり、１０ｍｍを超えると線間が広すぎて計数効率が低下するおそれがある。

【0019】

アノードワイヤの線間距離は１０ｍｍ以上１９ｍｍ以下がより好ましく、カソードワイヤの線間距離は５ｍｍ以上９ｍｍ以下がより好ましい。

【0020】

α線測定装置のさらに別の一つの実施態様は、前記箱型容器の内面と各前記アノードワイヤとの間に、絶縁材料からなる複数の支持棒と、α線放射元素の含有量が１ｐｐｂ未満の導電性材料からなり、各前記アノードワイヤの両端部および各前記支持棒に固定され、前記アノードワイヤを保持するとともに各前記アノードワイヤ同士を電気的に接合する支持導線と、が設けられており、前記支持棒は、前記カソード膜に形成された孔を貫通して前記箱型容器内に一部分が露出する棒状の内側絶縁部と、前記箱型容器内に露出する部分の前記内側絶縁部を覆う絶縁被覆部とを有する。

【0021】

カソード膜の孔に貫通させる際に内側絶縁部の外周面がカソード膜に接触してカソード膜の一部（粉等）が付着するおそれがあるので、箱型容器内に露出する部分を絶縁被覆部により覆うことにより、絶縁性を高めて支持棒表面での導電性通路（導通経路）の形成を防止し、ノイズを低減している。

【0022】

α線測定装置のさらに別の一つの実施態様は、各前記アノードワイヤと各前記支持導線との接合部を固定する導電性接合材を備える。

【0023】

各アノードワイヤが細いので、支持導線との接合部を導電性接合材により接合することで、アノードワイヤの変形、破断等を防止することができ、適切な張力を付与した状態で整然と配置することができる。

【0024】

α線測定装置のさらに別の一つの実施態様は、前記ガス流入口及びガス排出口は、前記箱型容器の前記カソードワイヤと底面との間の側板部に形成されている。

【0025】

ガスの流れに伴う箱型容器内の気体の流動がカソードワイヤやアノードワイヤに大きく作用しないようにして、細いアノードワイヤ及びカソードワイヤの振れや撓み等を防止し、測定精度を向上させることができる。

【発明の効果】

【0026】

本発明によれば、アノードワイヤ及びカソードワイヤの直径を３０μｍ以下と細くしたので、計数効率を下げることなく、より低い印加電圧にてα線を測定でき、バックグランドも低減し、低α線放出量の試料を短時間で測定することができる。

【図面の簡単な説明】

【0027】

【図1】本発明のα線測定装置の一実施形態を示す縦断面図である。

【図2】図１のＡ−Ａ線に沿う矢視断面図である。

【図3】図１のＢ−Ｂ線に沿う矢視断面図である。

【図4】印加電圧と計数効率との関係を示すグラフである。

【発明を実施するための形態】

【0028】

以下、本発明の実施形態を、図面を参照しながら説明する。実施形態のα線測定装置１は、図１〜図３に示すように、ガス流入口２及びガス排出口３を有する箱型容器１１と、箱型容器１１の天板部１２の内面（天井面）に形成されたカソード膜２１と、カソード膜２１と間隔をおいて平行にかつ相互に平行に間隔をおいて並べられ、相互に電気的に接続された複数本のアノードワイヤ２２と、アノードワイヤ２２と間隔をおいて平行にかつ相互に平行に間隔をおいて並べられ、カソード膜２１と電気的に接続された複数本のカソードワイヤ２３とを備えている。

【0029】

箱型容器１１は、底板部１３、四方を囲む各側板部１４、天板部１２を有する直方体状に形成されている。この箱型容器１１は、底板部１３、各側板部１４、天板部１２はアクリル樹脂等の合成樹脂により形成されている。天板部１２の内面（天井面）には、スパッタリング等によってカソード膜２１が全面に形成されている。

【0030】

このカソード膜２１と平行に、複数本のアノードワイヤ２２が設けられている。これらアノードワイヤ２２を支持するために、天板部１２（カソード膜２１）の両側部を貫通する複数の支持棒３１が、天板部１２の側部に沿って２列をなすように並べて設けられている。これら２列の支持棒３１の先端（図１，２の下端）に、各列に沿って支持導線３２が相互に平行に固着されている。

【0031】

図３に示すように、支持導線３２は、支持棒３１が２列に設けられることから、支持棒の列ごとに１本ずつ、合計２本配置されている。この支持導線３２間を架け渡すようにアノードワイヤ２２が設けられている。

【0032】

換言すると、箱型容器１１の内面と各アノードワイヤ２２との間に、絶縁材料からなる複数の支持棒３１と、各支持棒３１に固定された複数（本実施形態では２本）の支持導線３２とが備えられている。各アノードワイヤ２２は、両端が各支持導線３２に固定されることにより、各支持導線３２に保持されている。各支持導線３２は、α線放射元素の含有量が１ｐｐｂ未満の導電性材料からなり、各アノードワイヤ２２同士を電気的に接続している。

【0033】

各支持棒３１は、箱型容器１１の天板部１２およびカソード膜２１を貫通する棒本体（内側絶縁部）３１ａと、天板部１２を貫通して箱型容器１１内に露出する部分を覆うように形成された絶縁被覆部３１ｂとにより構成される。支持導線３２は、その絶縁被覆部３１ｂに固定される。

【0034】

換言すると、各支持棒３１は、カソード膜２１に形成された孔を貫通して箱型容器１１内に一部分が露出する棒本体３１ａと、箱型容器１１内に露出する部分の棒本体３１ａを覆う絶縁被覆部３１ｂとを有する。棒本体３１ａが絶縁被覆部３１ｂによって覆われることにより、棒本体３１ａが貫通しているカソード膜２１と絶縁被覆部３１ｂに固定されている各支持導線３２とが確実に絶縁される。

【0035】

各アノードワイヤ２２は、これら支持棒３１先端の支持導線３２の間に、支持導線３２に直交する方向に沿って相互に平行に、かつ一定間隔で設けられることにより、カソード膜２１と一定の間隔をおく平行な面状をなすように配置される。これにより、広い面積の電場を形成できる。

【0036】

支持導線３２とアノードワイヤ２２との間は、Ａｇ、Ｎｉ，Ｃｕ，Ａｌ，Ａｕのいずれかの系の導電性接合材（図示略）によって電気的、機械的に接合されている。導電性接合材は、例えば、銀系接合材の場合には、具体的には、銀系粉末と樹脂等からなる銀ペーストを塗布して固化することにより形成される。支持導線３２とアノードワイヤ２２との接合部は、さらにエポキシ樹脂等の接着剤を付着させて補強される。なお、支持導線３２とアノードワイヤ２２との接合は、直接くくりつけてねじ止めする構造や、金具でかしめる構造等を採用してもよい。

【0037】

図２，３に示すように、これらアノードワイヤ２２及びカソード膜２１に、外部の電源（図示略）と接続するためのケーブル４１が接続されている。ケーブル４１は例えば同軸ケーブルであり、内部導線４１ａと、内部導線４１ａから絶縁された外部導線４１ｂとを有し、箱型容器１１の天板部１２にコネクタ４２によって固定される。内部導線４１ａはコネクタ４２を介して支持導線３２に電気的に接続され、外部導線４１ｂはコネクタ４２を介してカソード膜２１に電気的に接続される。

【0038】

カソードワイヤ２３は、箱型容器１１の内側に設けた矩形の枠部材３５に固定されている。枠部材３５は、アクリル樹脂等の合成樹脂からなり、その表面の全面にスパッタリング等によって導電材料からなる導電膜３５ａが形成され、天板部１２のカソード膜２１に接合した状態で各側板部１４の内面に固定されている。この枠部材３５において１８０°対向する二辺の下端に、これらの間に架け渡された状態で複数本のカソードワイヤ２３が相互に平行に設けられている。これらカソードワイヤ２３が枠部材３５の下端に並べられるため、これらカソードワイヤ２３も枠部材３５の下端間にまたがる面状に配置される。

【0039】

これらカソードワイヤ２３と枠部材３５の導電膜３５ａとの間、及び枠部材３５の導電膜３５ａと天板部１２のカソード膜２１との間は、アノードワイヤ２２と支持導線３２との接合に用いたものと同様の銀系接合材によって電気的、機械的に接合されている。カソードワイヤ２３が枠部材３５の導電膜３５ａに接合され、導電膜３５ａが天板部１２のカソード膜２１に接合しているので、カソードワイヤ２３とカソード膜２１とは電気的に接続される。

【0040】

前述したように、各アノードワイヤ２２はカソード膜２１に対して平行に一定の間隔をおいてかつ相互に平行に配置され、各カソードワイヤ２３も各アノードワイヤ２２により形成される面に対して平行に一定の間隔をおいてかつ相互に平行に配置される。各アノードワイヤ２２と各カソードワイヤ２３とも相互に平行に配置される。

【0041】

カソード膜２１、各アノードワイヤ２２及び各カソードワイヤ２３は、いずれもα線放射元素含有量の少ない導電材料からなる。例えば、カソード膜２１としては銅又はアルミニウムが用いられ、アノードワイヤ２２及びカソードワイヤ２３としては高純度（５Ｎ）のタングステン線が用いられる。例えばタングステン線を使用する場合、強度が高いので直径１０μｍ以下でも切れにくい。

【0042】

支持導線３２や枠部材３５表面の導電膜３５ａも、ウラン、トリウム、鉛等のα線放射元素の含有量が合計で１ｐｐｂ未満である銅、銅合金、アルミニウム、、アルミニウム合金、タングステン、タングステン合金といった導電材料が用いられる。例えば、支持導線３２は直径１ｍｍ以上１０ｍｍ以下の高純度（５Ｎ）の銅線が用いられる。

【0043】

カソード膜２１の厚みは１００ｎｍ以上２００ｎｍ以下が好ましい。アノードワイヤ２２及びカソードワイヤ２３の直径はいずれも３０μｍ以下であり、好ましくは１μｍ以上、より好ましくは２μｍ以上、さらに好ましくは１０μｍ以上である。アノードワイヤ２２どうしの間隔（線間距離）ｄ１は１０ｍｍ以上２０ｍｍ未満が好ましく、１０ｍｍ以上１９ｍｍ以下がより好ましい。カソードワイヤ２３どうしの間隔（線間距離）ｄ２は５ｍｍ以上１０ｍｍ以下が好ましく、５ｍｍ以上９ｍｍ以下がより好ましい。

【0044】

アノードワイヤ２２により形成される平面とカソード膜２１とは、約１０００ｃｍ^２の面積で対向する。１００ｃｍ^２以上１０００ｃｍ^２以下の面積で対向するとよい。これらアノードワイヤ２２により形成される平面とカソード膜２１との離間距離ｈ１、及び、アノードワイヤ２２により形成される平面とカソードワイヤ２３により形成される平面との面間の離間距離ｈ２は、それぞれ３ｍｍ以上１０ｍｍ未満に設定され、３ｍｍ以上９ｍｍ以下がより好ましい。本実施形態では離間距離ｈ１と離間距離ｈ２とは同一であるが、異なっていてもよい。

【0045】

なお、図１〜図３は、説明の便宜のため、部分的に誇張した寸法関係に設定しており、実際の寸法関係を忠実に反映したものではない。

【0046】

各アノードワイヤ２２及び各カソードワイヤ２３は、それぞれ１×１０^−２Ｎ以上５×１０^−２Ｎ以下（例えば４×１０^−２Ｎ）の張力が付与された状態に懸架される。

【0047】

箱型容器１１の底板部１３の上面は、α線測定対象となる試料Ｓを載置するための試料保持面１３ａとなっている。試料保持面１３ａは、面状に配置されている各カソードワイヤ２３の下方に、各カソードワイヤ２３が構成する面と平行に配置される。この試料保持面１３ａに載置される試料Ｓの上面とカソードワイヤ２３との離間距離ｈ３は、１ｍｍ以上３ｍｍ以下に設定される。試料Ｓは、必要に応じて適宜の固定手段によって試料保持面１３ａに固定される。試料Ｓは、例えば、金属板や樹脂板、金属粉末や樹脂粉末等である。

【0048】

箱型容器１１の４つの側板部１４のうち、アノードワイヤ２２やカソードワイヤ２３の両端が対向している２つの側板部１４の一方にガス流入口２、他方にガス排出口３がそれぞれ設けられている。ガス流入口２とガス排出口３は、カソードワイヤ２３から離間するように側板部１４の下部に設けられ、箱型容器１１の１つの隅部から対角上の隅部に向けてガスが流れるように配置されている。ガス流入口２とガス排出口３を上述のように設けることで、ガスの流入に伴う箱型容器１１内の気体の流動が、カソードワイヤ２３やアノードワイヤ２２に大きく作用しないようにして、細いアノードワイヤ２２及びカソードワイヤ２３の振れや撓み等を防止し、測定精度を向上させることができる。

【0049】

箱型容器１１を構成する天板部１２、底板部１３、側板部１４、および支持棒３１には、表面抵抗率が１．０×１０^１５Ω以上１．０×１０^１６Ω以下のアクリル樹脂やポリカーボネート等の合成樹脂が用いられる。支持棒３１において、棒本体３１ａを覆う絶縁被覆部３１ｂは例えばエポキシ樹脂により形成され、その表面に絶縁性のソルダーレジスト補修材が塗布される。

【0050】

箱型容器１１の全体を覆うように金属ケース４５が設けられ、アース接続される。

【0051】

このように構成されたα線測定装置１を用いて、箱型容器１１における底板部１３の試料保持面１３ａに測定対象の試料Ｓを載置し、アルゴン（Ａｒ）とメタン（ＣＨ_４）の混合ガスをガス流入口２から流入させ、カソード膜２１及びカソードワイヤ２３とアノードワイヤ２２との間に外部電源から高電圧を印加し、ＪＥＤＥＣ ＳＴＡＮＤＡＲＤ ＪＥＳＤ２２１に基づき、試料Ｓから放出されるα線を測定することができる。

【0052】

外部電源としては、ノイズが低減された外部電源を用いることが好ましい。例えば、外部電源の内部回路基板にシールドを施したり、外部電源の電力供給部へフェライトコアなどのフィルタを設置したり、外部電源のアースラインを増設するなどしてノイズを低減させることができる。

【0053】

ガスの流量は３００ｍｌ／分以上４００ｍｌ／分以下が適切である。

【0054】

この実施形態のα線測定装置１においては、アノードワイヤ２２及びカソードワイヤ２３が３０μｍ以下と細いため、比較的低い電圧であっても、計数効率を下げることなくα線を測定することができる。

【0055】

図４は、印加電圧（Ｖ）と計数効率（ｃｐｍ：ｃｏｕｎｔ／ｍｉｎ）との一般的な関係を示すグラフであり、電圧の変化があっても計数効率がほとんど変化しないプラトー領域が存在することを示す。α線測定においては、通常、このプラトー領域における最低電圧Ｖａで印加されるが、本実施形態のα線測定装置１においては、アノードワイヤ２２及びカソードワイヤ２３の直径を３０μｍ以下と細くしたことにより、図４の矢印で示すようにプラトー領域を全体に低電圧側にシフトさせる効果がある。これにより、低い電圧でも計数効率を低下させることなくα線を測定することができる。

【0056】

したがって、例えば０．００１ｃｐｈ／ｃｍ^２以下の低α線放出量を、短時間で高い信頼性をもって計測することができる。

【0057】

なお、本発明は上記実施形態に限るものではない。例えば、上記実施形態では、箱型容器１１の天板部１２にカソード膜２１、その下方にアノードワイヤ２２、カソードワイヤ２３を順次配置し、底板部１３に試料保持面１３ａを配置した。逆に、底板部１３にカソード膜２１、その上方にアノードワイヤ２２、カソードワイヤ２３を順次配置し、天板部１２に試料保持面を形成してもよい。

【0058】

上記実施形態ではアノードワイヤ２２を支持する支持棒３１を、カソード膜２１を貫通するように設けたが、必ずしもカソード膜２１を貫通していなくてもよい。例えば、箱型容器１１の側板部１４間に支持導線３２を架け渡すように配置し、その支持導線３２にアノードワイヤ２２を支持させてもよい。

【0059】

上記実施形態ではカソードワイヤ２３を支持する枠部材３５の全面を覆う導電膜３５ａを設けて、導電膜３５ａをカソード膜２１に接合させたが、カソードワイヤ２３とカソード膜２１とが電気的に接続状態（同電位）となる構成であれば、この実施形態に限らない。

【実施例】

【0060】

上記実施形態にて説明した部品構成のα線測定装置１を用いて、以下の諸条件を変えてそれぞれα線を測定した。

【0061】

・アノードワイヤ２２の直径（μｍ）
・カソードワイヤ２３の直径（μｍ）
・アノードワイヤ２２とカソード膜２１との離間距離ｈ１（ｍｍ)
・アノードワイヤ２２とカソードワイヤ２３との離間距離ｈ２（ｍｍ）
・アノードワイヤ２２の線間距離ｄ１（ｍｍ）
・カソードワイヤ２３の線間距離ｄ２（ｍｍ）

【0062】

測定対象の試料Ｓは、錫（Ｓｎ）の圧延板を用い、α線放出量が０．００１ｃｐｈ／ｃｍ^２程度である。

【0063】

測定条件については、測定面積１０００ｃｍ^２、ガス流量４００ｍｌ／ｍｉｎ、計数効率８０％以上、測定時間１００時間以上で実施した。

【0064】

α線測定装置のバックグランド値と、０．００１ｃｐｈ／ｃｍ^２を測定するために要する印加電圧（Ｖａ）、測定時間を計測した。その結果を表１に示す。

【0065】

【表1】

【0066】

表１に示されるように、アノードワイヤ及びカソードワイヤの直径がいずれも３０μｍ以下の場合に、バックグランド値が低く、０．００１ｃｐｈ／ｃｍ^２を測定に要する時間も短かった。特に、ワイヤ直径がいずれも１０μｍである実験３では測定に要した時間が短く、５０時間以内であった。

【産業上の利用可能性】

【0067】

計数効率を下げることなく、より低い印加電圧にてα線を測定でき、バックグランドも低減し、低α線放出量の試料を短時間で測定できる。

【符号の説明】

【0068】

１ α線測定装置
２ ガス流入口
３ ガス排出口
１１ 箱型容器
１２ 天板部
１３ 底板部
１３ａ 試料保持面
１４ 側板部
２１ カソード膜
２２ アノードワイヤ
２３ カソードワイヤ
３１ 支持棒
３１ａ 棒本体（内側絶縁部）
３１ｂ 絶縁被覆部
３２ 支持導線
３５ 枠部材
３５ａ 導電膜
４１ ケーブル
４１ａ 内部導線
４１ｂ 外部導線
４２ コネクタ
４５ 金属ケース
Ｓ 試料

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】