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公報発行日 2019年11月13
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【図1】実施形態に従う、フォトニック回路デバイス製造の1つの段階における、フォトニック回路デバイスの簡略表現を示す3D図である。図1は、製造の中間段階におけるデバイスを描く。
【図2】実施形態に従う、フォトニック回路デバイス製造の1つの段階における、フォトニック回路デバイスの簡略表現を示す3D図である。図2は、製造の中間段階におけるデバイスを描く。
【図3】実施形態に従う、フォトニック回路デバイス製造の1つの段階における、フォトニック回路デバイスの簡略表現を示す3D図である。図3は、製造の中間段階におけるデバイスを描く。
【図4】実施形態に従う、フォトニック回路デバイス製造の1つの段階における、フォトニック回路デバイスの簡略表現を示す3D図である。図4は、製造の中間段階におけるデバイスを描く。
【図5】実施形態に従う、フォトニック回路デバイス製造の1つの段階における、フォトニック回路デバイスの簡略表現を示す3D図である。図5は、製造の中間段階におけるデバイスを描く。
【図6】実施形態に従う、フォトニック回路デバイス製造の1つの段階における、フォトニック回路デバイスの簡略表現を示す3D図である。
【図7】図6のデバイスを概略的に描く平面図である。
【図8】実施形態に従う、フォトニック回路デバイス製造の1つの段階における、フォトニック回路デバイスの簡略表現を示す3D図である。
【図9】実施形態に従う、フォトニック回路デバイス製造の1つの段階における、フォトニック回路デバイスの簡略表現を示す3D図である。
【図10】図9のデバイスを概略的に描く平面図である。
【図11】本発明に従う方法の実施形態に従う、図10におけるものと同じ平面図であって、そこでどのように光が発生し、伝達、伝播、および反射されるのかをさらに図示した図である。
【図12】実施形態に従う、図1〜図11、および図13〜図17に描かれるようなデバイス中の、光学利得を測定する方法の、高レベルのステップを図示する流れ図である。
【図13】図9および図10に描かれるようなデバイスの簡略表現の断面図である。
【図14】図9および図10のデバイスに対する変形形態の簡略表現の断面図である。
【図15】図9および図10のデバイスに対する別の変形形態の簡略表現の断面図である。
【図16】図9および図10に描かれるようなデバイスの簡略表現の(長手方向)側面図である。
【図17】実施形態に含まれるような、III−V族半導体材料利得セクション(の部分)を形成するエピタキシャル層スタックの断面図である。
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