特許6604943IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

一般的にフォトニック回路デバイスの分野に関し、特に、光学利得測定

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

結論として、オンチップ光学デバイスの利得を簡単に測定することを可能にする適切なデバイス、すなわち、多数のデバイスを製造すること、デバイスを劈開するもしくはその切り子面を研磨して、利得測定構造物に複数の接点を付着すること、または現実的なポンピング/動作条件下で閾値より高い利得を正確に測定する必要があるといったことがない、適切なデバイスは存在しない。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

第1の態様によれば、本発明は、 − フォトニック回路を備える基板であって、フォトニック回路が、同じ方向に沿って位置合わせされる2つの導波路部を画定する1つまたは複数の導波路を備える、基板と、 − 基板の頂部上の、電気的ポンピングまたは光学的ポンピングにより光を発生させるためデバイス中で結合される、活性利得セクションと、 − 活性利得セクションの少なくとも一部が光カプラ間にあ・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】実施形態に従う、フォトニック回路デバイス製造の1つの段階における、フォトニック回路デバイスの簡略表現を示す3D図である。図1は、製造の中間段階におけるデバイスを描く。

【図2】実施形態に従う、フォトニック回路デバイス製造の1つの段階における、フォトニック回路デバイスの簡略表現を示す3D図である。図2は、製造の中間段階におけるデバイスを描く。

【図3】実施形態に従う、フォトニック回路デバイス製造の1つの段階における、フォトニック回路デバイスの簡略表現を示す3D図である。図3は、製造の中間段階におけるデバイスを描く。

【図4】実施形態に従う、フォトニック回路デバイス製造の1つの段階における、フォトニック回路デバイスの簡略表現を示す3D図である。図4は、製造の中間段階におけるデバイスを描く。

【図5】実施形態に従う、フォトニック回路デバイス製造の1つの段階における、フォトニック回路デバイスの簡略表現を示す3D図である。図5は、製造の中間段階におけるデバイスを描く。

【図6】実施形態に従う、フォトニック回路デバイス製造の1つの段階における、フォトニック回路デバイスの簡略表現を示す3D図である。

【図7】図6のデバイスを概略的に描く平面図である。

【図8】実施形態に従う、フォトニック回路デバイス製造の1つの段階における、フォトニック回路デバイスの簡略表現を示す3D図である。

【図9】実施形態に従う、フォトニック回路デバイス製造の1つの段階における、フォトニック回路デバイスの簡略表現を示す3D図である。

【図10】図9のデバイスを概略的に描く平面図である。

【図11】本発明に従う方法の実施形態に従う、図10におけるものと同じ平面図であって、そこでどのように光が発生し、伝達、伝播、および反射されるのかをさらに図示した図である。

【図12】実施形態に従う、図1〜図11、および図13〜図17に描かれるようなデバイス中の、光学利得を測定する方法の、高レベルのステップを図示する流れ図である。

【図13】図9および図10に描かれるようなデバイスの簡略表現の断面図である。

【図14】図9および図10のデバイスに対する変形形態の簡略表現の断面図である。

【図15】図9および図10のデバイスに対する別の変形形態の簡略表現の断面図である。

【図16】図9および図10に描かれるようなデバイスの簡略表現の(長手方向)側面図である。

【図17】実施形態に含まれるような、III−V族半導体材料利得セクション(の部分)を形成するエピタキシャル層スタックの断面図である。

選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図

10 基板   20 誘電体層   40 電気回路   50 結合層   62〜66 活性利得セクション   62 上部   64 底部接点層   65 金属接点   66 金属接点   67 エピタキシャル層スタック   70 導波路   71 導波路部   72 導波路部   75 光カプラ   76 光カプラ   81 追加の光カプラ   82 追加の光カプラ   90 部分反射器、反射器   100 フォトニック回路デバイス、デバイス   201 光ファイバ   202 光ファイバ   622 第1の真性半導体   624 量子井戸セクション   626 第2の真性半導体   628 p型ドープされた半導体   642 n型ドープされた半導体   751 テーパ部   752 テーパ部   761 テーパ部   762 テーパ部

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