特許 6608503 接触面構造品及び接触面構造品の形成方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】6608503

(24)【登録日】2019年11月1日

(45)【発行日】2019年11月20日

(54)【発明の名称】接触面構造品及び接触面構造品の形成方法

(51)【国際特許分類】

   F16C 33/32 20060101AFI20191111BHJP

   F16C 19/00 20060101ALI20191111BHJP

   F16C 33/58 20060101ALI20191111BHJP

   F16C 33/66 20060101ALI20191111BHJP

【ＦＩ】

   F16C33/32

   F16C19/00

   F16C33/58

   F16C33/66 Z

【請求項の数】7

【全頁数】10

(21)【出願番号】特願2018-196518(P2018-196518)

(22)【出願日】2018年10月18日

【審査請求日】2018年10月18日

(73)【特許権者】

【識別番号】000110859

【氏名又は名称】キヤノンマシナリー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100107423

【弁理士】

【氏名又は名称】城村 邦彦

(74)【代理人】

【識別番号】100120949

【弁理士】

【氏名又は名称】熊野 剛

(74)【代理人】

【識別番号】100148987

【弁理士】

【氏名又は名称】前田 礼子

(72)【発明者】

【氏名】沢田 博司

【審査官】 中島 亮

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００８−１１４７７０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−０８５４１８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１６−２０５４４３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２０１５−５１９４６８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｆ１６Ｃ １９／００−１９／５６

Ｆ１６Ｃ ３３／３０−３３／６６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

グリース潤滑下で相対的に振動や微小運動する接触面構造品において、
曲率半径の小さい側又は接触領域の狭い側の接触面に、凸部頂点が非平坦面となって連続的に高さが変化するグレーティング状凹凸の周期構造が接触面外に連通して形成されていることを特徴とする接触面構造品。

【請求項2】

前記グレーティング状凹凸の周期構造が、接触面外に付着するグリースと当接していることを特徴とする請求項１に記載の接触面構造品。

【請求項3】

前記グレーティング状凹凸の周期構造の凹凸が５０ｎｍ以上１０μｍ以下、かつ周期ピッチが１０μｍ以下であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の接触面構造品。

【請求項4】

前記グレーティング状凹凸の周期構造が、振動や微小運動方向に沿って配向していることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の接触面構造品。

【請求項5】

軸部材と、前記軸部材とのはめ合い面を備えた部品とを備え、軸部材の外周面又は前記はめ合い面の一方が、前記周期構造が形成される接触面であることを特徴とする前記請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の接触面構造品。

【請求項6】

転がり軸受に用いられることを特徴とする請求項５に記載の接触面構造品。

【請求項7】

グリース潤滑下で相対的に振動や微小運動する接触面構造品の形成方法において、
曲率半径の小さい側又は接触領域の狭い側の接触面に、凸部頂点が非平坦面となって連続的に高さが変化するグレーティング状凹凸の周期構造を接触面外に連通して形成することを特徴とする接触面構造品の形成方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、接触面構造品及び接触面構造品の形成方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

転がり軸受や軸のはめ合い面などに振動や微小揺動運動が作用すると、接触面に潤滑剤が行き渡らず、フレッチング摩耗が発生することがある。フレッチング摩耗は精度や軸受トルクなどに悪影響を及ぼすため、耐フレッチング特性の向上が課題となっている。

【0003】

特許文献１には、微小揺動時に、一対の軌道部材と転動体との接触面の摩耗（フレッチング摩耗）を防止する転がり軸受が提案されている。特許文献１に記載の転がり軸受は、一対の軌道部材の微小揺動時の振幅をＡとし、転動体に接触する一対の軌道部材の軌道面に生じる接触円の半径をＢとし、振幅Ａと接触円の半径Ｂとの比（Ａ／Ｂ）を振幅比Ｒとすると、微小揺動時の振幅比Ｒが１．５を超えるようにするものである。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００８−９５８６８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

グリースは、液体の潤滑油（基油またはベースオイル）に、増ちょう剤と呼ばれる微細な固体を分散して半固体状にした潤滑剤である。グリース潤滑下で接線方向の振動や微小揺動運動が作用した場合、グリースの基油動粘度が小さく、混和ちょう度が大きい（離油度の高い）ほど耐フレッチング性が向上する。これは、基油動粘度が小さく、混和ちょう度が大きいグリースは離油度が高く、接触域に残った高濃度の増ちょう剤が保護膜を形成することで耐フレッチング性が向上すると考えられるからである。

【0006】

前記特許文献１のものでは、グリースの離油度が低く、接触域から基油と一緒に保護膜の素材となる増ちょう剤も排除されることから、保護膜形成能が乏しく、フレッチング摩耗が生じることがある。

【0007】

また、揺動運動の耐フレッチング用グリースとして、基油動粘度が小さく、混和ちょう度が大きいグリースを適用した場合、基油動粘度が小さくなると油膜形成能が低下して油膜切れが生じやすく、混和ちょう度が大きくなると、保護膜を形成するための増ちょう剤が不足するため、増ちょう剤由来の保護膜形成能が低下する。このため、基油動粘度や混和ちょう度に依存することなく離油度を向上させることが望ましい。

【0008】

本発明は、上記課題に鑑みて、基油動粘度や混和ちょう度に依存することなく離油度を向上させて、油膜形成能と保護膜形成能を向上させるとともに、フレッチング摩耗を低減することができる接触面構造品及び接触面構造品の形成方法を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明の接触面構造品は、グリース潤滑下で相対的に振動や微小運動する接触面構造品において、曲率半径の小さい側又は接触領域の狭い側の接触面に、凸部頂点が非平坦面となって連続的に高さが変化するグレーティング状凹凸の周期構造が接触面外に連通して形成されている。

【0010】

本発明の接触面構造品によれば、接触面に、凸部頂点が非平坦面となって連続的に高さが変化するグレーティング状凹凸の周期構造が形成されるため、油分に対し高い濡れ性を示し、グリースの離油度が増大し、増ちょう剤由来の移着膜の形成が促進される。移着膜は保護膜として作用するため、フレッチング摩耗を防止することができる。また、曲率半径の小さい側又は接触領域の狭い側の接触面にグレーティング状凹凸の周期構造を形成することで、接触界面近傍に潤滑剤が流入しやすくなり、微小運動の振幅Ａと微小運動方向の接触幅Ｄとの比（Ａ／Ｄ）が１未満の低振幅比でもフレッチング摩耗を低減することができる。

【0011】

前記構成において、前記グレーティング状凹凸の周期構造が、接触面外に付着するグリースと当接してもよい。これにより、接触面外のグリースから油が分離し、その油分を接触面内に移動させることで、フレッチング摩耗を防止することができる。

【0012】

前記構成において、前記グレーティング状凹凸の周期構造の凹凸が５０ｎｍ以上１０μｍ以下、かつ周期ピッチが１０μｍ以下とすることができる。これにより、油分の保持性、移動性を向上することができる。周期構造の凹凸が５０ｎｍ未満では十分な量の増ちょう剤を担持できず、凹凸および周期ピッチが１０μｍを超えると、増ちょう剤や油分がほとんど流出してしまう。

【0013】

前記構成において、前記グレーティング状凹凸の周期構造が、振動や微小運動方向に沿って配向していてもよい。これにより、接触面に速やかに油分が移動し、潤滑特性を向上することができる。また、離油作用によって高濃度化した増ちょう剤が側方に排除されにくく、周期構造に沿って保持されるため、増ちょう剤の担持性が向上する。さらに、摩耗粉の排出性も向上する。

【0014】

軸部材と、前記軸部材とのはめ合い面を備えた部品とを備え、前記一方の接触面は、軸部材の外周面又は前記はめ合い面であるのが好ましく、特に転がり軸受に用いられるのが好ましい。

【0015】

本発明の接触面構造品の形成方法は、グリース潤滑下で相対的に振動や微小運動する接触面構造品の形成方法において、曲率半径の小さい側又は接触領域の狭い側の接触面に、凸部頂点が非平坦面となって連続的に高さが変化するグレーティング状凹凸の周期構造を接触面外に連通して形成する。

【発明の効果】

【0016】

本発明の接触面構造品及び接触面構造品の形成方法は、基油動粘度や混和ちょう度に依存することなく離油度を向上させて、油膜形成能と保護膜形成能を向上させるとともに、フレッチング摩耗を低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】第２部材に対して第１部材を摺動させている状態の簡略斜視図である。

【図2】周期構造の拡大平面図である。

【図3】本発明の実施形態を示す接触面構造品の第１部材の第２部材との接触部を示す図であり、（ａ）はＡ／Ｄ＜１、（ｂ）はＡ／Ｄ＝１、（ｃ）はＡ／Ｄ＞１を示す。

【図4】第１部材に周期構造を設けた場合の第１部材と第２部材との簡略側面図である。

【図5】第２部材に周期構造を設けた場合の第１部材と第２部材との簡略側面図である。

【図6】前記周期構造の形成に用いるレーザ表面加工装置の簡略図である。

【図7】往復動回数５００００回におけるプレート側摩耗痕深さを示すグラフ図である。

【図8】Ａ／Ｄ＝１．４７における鏡面同士と周期平行ボールに対するプレート側摩耗痕写真図である。

【図9】Ａ／Ｄ＝０．６３における鏡面同士と周期平行ボールに対するプレート側摩耗痕写真図である。

【図10】Ａ／Ｄ＝１．４７における周期平行ボールのボール側摩耗痕の写真図である。

【図11】Ａ／Ｄ＝０．６３における周期平行ボールのボール側摩耗痕の写真図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下本発明の実施の形態を図１〜図１１に基づいて説明する。

【0019】

本発明に係る接触面構造品は、図１に示すように、第１部材１と、第２部材２とがグリース潤滑下で相対的に接線方向の振動や微小運動をするものである。本実施形態において、「振動や微小運動」とは、接線方向における揺動や、振幅の比較的小さい往復動など、振幅の小さい運動全般を意味する。本発明では振動と微小運動とを区別する必要はなく、「振動や微小運動」を単に微小運動ということがある。

【0020】

図例における第１部材１としてはＳＵＪ２（高炭素クロム軸受鋼）等の金属製の球体で構成し、第２部材２はＳＵＪ２（高炭素クロム軸受鋼）等の金属製の平板体で構成している。グリースは、本実施形態では脂環式ウレアグリースを使用しており、第１部材１（球体）の第２部材２との接触面に付着させている。

【0021】

曲率半径の小さい側又は接触領域の狭い側の接触面には、図２に示すように、微小の凹部４と微小の凸部５とが交互に所定ピッチで配設されたグレーティング状凹凸の周期構造３が所定幅で帯状に形成されている。本実施形態では、第１部材１は第２部材２よりも曲率半径が小さく、第１部材１に周期構造３を設けている。すなわち、第１部材１は接線方向において揺動するものであるため、接触領域が第２部材２よりも狭い。接触領域の狭い側とは、第１部材１と第２部材２とが図１に示すものと同様であっても、例えば第１部材１がその場で空回りする場合には、第２領域２の第１領域１との接触領域は線状となり、第１部材１の第２領域２との接触領域は広い。この場合は、接触領域の狭い側は第２部材２であるため、第２部材２側に周期構造３を設ける。このように、第１部材１と第２部材２とでいずれに周期構造３を設けるかは、第１部材１と第２部材２との運動において、相手部材との接触領域の狭い側がいずれの部材であるかによって決定される。

【0022】

グレーティング状凹凸の周期構造３は、連続的に高さが変化するものである。この凹凸の高低差（凹部４の底部から凸部５の頂点までの高さ）が５０ｎｍ以上１０μｍ以下かつ、周期ピッチが１０μｍ以下であるのが好ましい。本実施形態では、グレーティング状凹凸の周期構造３が微小運動方向（図２の矢印の方向）に沿って配向している。また、グレーティング状凹凸の周期構造３が接触面外に連通し、接触面外に付着するグリースと当接している。

【0023】

油の接触角は、数１に示すようにＷｅｎｚｅｌの式で表せる。なお、数１において、ｒは表面積倍率であり、ｒ＞１である。θ_eは平滑面の接触角であり、θ_wはみかけの接触角である。数１により、θ_e＞９０°ではθ_w＞θ_eとなり、θ_e＜９０°ではθ_w＜θ_eとなる。すなわち、表面積倍率ｒが大きいほど油の接触角が低減し、表面粗さの導入により潤滑油の濡れ性が向上する。すなわち、本実施形態において、微小の凹部４と微小の凸部５とが交互に所定ピッチで配設されたグレーティング状凹凸の周期構造３を形成すると、油分に対し高い濡れ性を示し、グリースの離油度が増大し、増ちょう剤由来の移着膜の形成が促進される。移着膜は保護膜として作用するため、フレッチング摩耗を防止することができる。

【数1】

【0024】

第１部材１と第２部材２とが振幅Ａで振動や微小運動する場合、振幅Ａと微小運動方向の接触幅Ｄとの比（Ａ／Ｄ）は図３のようになる。なお、図３は、第１部材１の第２部材２との接触部６（第１部材１が第２部材２と接触している部分の外縁を示しており、符号６で示す円形の内側において第２部材２と接触している）を示す図であり、接触部６は、６ａで示す実線の位置から６ｂで示す仮想線の位置までを往復する。図３の（ａ）はＡ／Ｄ＜１の場合、（ｂ）はＡ／Ｄ＝１の場合、（ｃ）はＡ／Ｄ＞１の場合を示す。

【0025】

第１部材１と第２部材２との微小運動が、図３（ａ）のようにＡ／Ｄ＜１の場合、接触部６が重なり合う常時接触部が生じる。常時接触部とは、図３（ａ）のハッチングで示すように、第１部材１が常時第２部材２と接触している箇所（領域）であり、運動中においては外側に現れない第１部材１と第２部材２同士が連続的に接触する領域である。一方、第１部材１と第２部材２との微小運動が、図３（ｂ）のようにＡ／Ｄ＝１の場合や、図３（ｂ）のようにＡ／Ｄ＞１の場合、常時接触部が生じない。このため、図３（ｂ）（ｃ）の場合では、図３（ａ）の場合と比較して、グリースの再流入性と摩耗粉の排出性が高い。

【0026】

第１部材１と第２部材２とが相対運動する場合、潤滑剤はクエット流れにより、周期構造３の凸部先端間の潤滑剤が第２部材２の相対移動により引きずられるため、第１部材１と第２部材２との接触界面近傍に潤滑剤が流入しやすくなる。すなわち、図４に示すように、第２部材２が動くと、接触界面に近い潤滑剤は第２部材２に連れ回って、周期構造３の底部では潤滑剤は動かない。このため、接触界面における速度分布としては、図４の接触面拡大図の矢印のようになる。すなわち、接触界面近傍の潤滑剤は動くため、そこに発生した摩耗粉を取り払うことができ、潤滑剤が流入しやすくなる。一方、第１部材１が動くと、接触界面にある潤滑剤は動かないが、第１部材１が動くことにより、第１部材１と第２部材２との接触点も移動し、接触点と潤滑剤との相対関係がずれる。すなわち、接触系面の潤滑剤は実際には静止しているが、第１部材１の動きにより、接触点に対して潤滑剤が相対的に動くこととなる。

【0027】

なお、図５に示すように、第２部材２（つまり、曲率半径の大きい側であり、接触領域の広い側の接触面）に周期構造３を設けた場合、周期構造３の底部では潤滑剤は第２部材２に連れ回り、接触界面である第１部材１の底部に付着している潤滑剤は連れ回らない。このため、接触界面における速度分布としては、図５の接触面拡大図の矢印のようになる。すなわち、接触界面近傍の潤滑剤は動かないため、そこに発生した摩耗粉を取り払うことができず、潤滑剤が流入しにくい。

【0028】

接触面構造品の形成方法は、まず、第１部材１の接触面に周期構造３を形成する。周期構造３は、図６に示すように、レーザ発生器１１と光学系１０とを備えたレーザ表面加工装置を使用して形成する。

【0029】

図６に示すレーザ表面加工装置では、レーザ発生器１１は、ミラー１２により加工材料
Ｗに向けて折り返され、メカニカルシャッタ１３に導かれる。レーザ照射時はメカニカル
シャッタ１３を開放し、レーザ照射強度は１／２波長板１４と偏光ビームスプリッタ１６
によって調整可能とし、１／２波長板１５によって偏光方向を調整し、集光レンズ１７に
よって、ＸＹθステージ１９上の加工材料Ｗ表面に集光照射することになる。

【0030】

周期構造３は、加工閾値近傍の照射強度で直線偏光のレーザを照射し、その照射部分をオーバーラップさせながら走査して、自己組織的に形成している。すなわち、アブレーション閾値近傍のフルエンスで直線偏光のレーザをワーク（加工材料）Ｗに照射した場合、入射光と加工材料Ｗの表面に沿った散乱光またはプラズマ波の干渉により、レーザ波長と同程度の周期間隔で、エネルギー分布にわずかな粗密が生じる。一般的な加工方法ではレーザ照射面全体が加工されるが、加工閾値近傍のエネルギー密度でレーザ照射することで、高エネルギー部分を選択的に加工することができる。その結果、１光軸のレーザ照射でありながら、グレーティング状の周期構造３が形成される。このとき、加工に用いるレーザのパルス幅が長くなるほど熱影響や加工蒸散物との相互作用によるレーザの散乱によって周期構造に乱れが生じることになる。

【0031】

本発明では、少なくとも一方の接触面に、凸部頂点が非平坦面となって連続的に高さが変化するグレーティング状凹凸の周期構造３が形成されるため、油分に対し高い濡れ性を示し、グリースの離油度が増大し、増ちょう剤由来の移着膜の形成が促進される。移着膜は保護膜として作用するため、フレッチング摩耗を防止することができる。また、曲率半径の小さい側又は接触領域の狭い側の接触面にグレーティング状凹凸の周期構造を形成することで、接触界面近傍に潤滑剤が流入しやすくなり、微小運動の振幅Ａと微小運動方向の接触幅Ｄとの比（Ａ／Ｄ）が１未満の低振幅比でもフレッチング摩耗を低減することができる。このように、本実施形態では、基油動粘度や混和ちょう度に依存することなく離油度を向上させて、油膜形成能と保護膜形成能を向上させるとともに、フレッチング摩耗を低減することができる。

【0032】

また、グレーティング状凹凸の周期構造３が接触面外に連通し、接触面外に付着するグリースと当接しているため、接触面外のグリースから油が分離し、その油分を接触面内に移動させることで、フレッチング摩耗を防止することができる。

【0033】

グレーティング状凹凸の周期構造３の凹凸が５０ｎｍ以上１０μｍ以下、かつ周期ピッチが１０μｍ以下としているため、油分の保持性、移動性を向上することができる。周期構造の凹凸が５０ｎｍ未満では十分な量の増ちょう剤を担持できず、凹凸および周期ピッチが１０μｍを超えると、増ちょう剤や油分がほとんど流出してしまう。

【0034】

グレーティング状凹凸の周期構造３が、振動や微小運動方向に沿って配向しているため、接触面に速やかに油分が移動し、潤滑特性を向上することができる。また、離油作用によって高濃度化した増ちょう剤が側方に排除されにくく、周期構造に沿って保持されるため、増ちょう剤の担持性が向上する。さらに、摩耗粉の排出性も向上する。

【0035】

本発明は前記実施形態に限定されることなく種々の変形が可能であって、例えば、第１部材１及び第２部材２の接触面としては、平坦面形状であっても、凸曲面状であっても、凹曲面であってもよく、このため、第１部材１及び第２部材２としては、円柱状、円錐体乃至円錐台状等であってもよい。また、摺動方向として直線状ではなく、円形や楕円形状であってもよい。このため、第１部材１や第２部材２が回転しない、または、その軸心廻りに回転するものであってもよい。特に、第１部材１（又は第２部材２）が軸であり、第２部材２（又は第１部材１）が軸とのはめ合い面を有する部材であるのが好ましく、例えば転がり軸受に適用するのが好ましい。

【0036】

周期構造形成工程に使用するレーザとしては、フェムト秒レーザ、ピコ秒レーザ、及びナノ秒レーザといったパルスレーザを使用することができる。また、第１部材１側を固定して第２部材２を第１部材１に対して摺動させても、逆に、第２部材２側を固定して第１部材１を第２部材２に対して摺動させても、第１部材１と第２部材２とを摺動させてもよい。周期構造３は第１部材１に設けてもよい。また、グリースの種類は、本発明の接触面構造品としての用途に適したものを任意に選択することができる。

【実施例1】

【0037】

図１に示すような往復式ボールオンプレート試験機を用いてグリース潤滑下における微小往復運動時のフレッチング試験を行った。プレート試験片は光学研磨したＳＵＪ２基板（Ｒａ２ｎｍ）とした。ボール試験片は直径６．３５ｍｍのＳＵＪ２ボール（Ｒａ８ｎｍ）とした。ボール試験片にはグレーティング状の周期構造（ピッチ約７００ｎｍ、深さ約１５０ｎｍ）を形成した。周期構造の配向方向は、振動方向に対して平行（以下、周期平行ボールという）とした。比較のため、未加工のボール試験片（以下、鏡面同士という）も用いた。また、未加工のボール試験片と振動方向に対して平行の周期構造を形成したプレート試験片（以下、周期平行プレートという）でも比較試験を実施した。

【0038】

試験条件は、荷重５Ｎ（ヘルツ接触円直径Ｄ＝９５μｍ）、往復動速度４ｍｍ／ｓ、往復動振幅Ａ＝６０、１４０μｍ（振幅比Ａ／Ｄ＝０．６３、１．４７）、往復動回数は５００００回とした。グリースは脂環式ウレアグリース（増ちょう剤量１６％、基油ＰＡＯ６、ちょう度２５０）とし、試験前にボール側接触部に約０．１ｍｇ付着させた。フレッチング摩耗の評価には、プレート側摩耗痕深さで評価した。

【0039】

往復動回数５００００回におけるプレート側摩耗痕深さの結果を図７に示す。ドットは鏡面同士（Polished）であり、ハッチングは周期平行ボール（Textured(Ball//)）であり、白地が周期平行プレート（Textured(Plate//)）である。周期平行プレートのＡ／Ｄ＝０．６３における摩耗痕深さは、鏡面同士よりも大きくなった。接触円が重なり合う常時接触部では潤滑不足となり、周期構造が摩耗した。しかし、Ａ／Ｄ＝１．４７では、プレートの摩耗痕深さは９ｎｍとなり、ほとんど摩耗が生じなかった。図示しないが、Ａ／Ｄ＞２においてはプレートの摩耗痕深さは検出限界以下となった。振幅比が１桁以上大きなしゅう動面の摩耗低減に有効であることが示されていることから、周期平行プレートは、振幅比Ａ／Ｄが１以上であればフレッチングを含む広い条件下での摩耗低減に極めて有効となる。しかし、接触円が重なり合う常時接触部が発生するＡ／Ｄ＜１となる条件ではフレッチング摩耗が増加するため、使用が制限される。

【0040】

一方、周期平行ボールのＡ／Ｄ＝０．６３における摩耗痕深さは３７ｎｍとなり、鏡面同士の４０％程度に低減した。また、Ａ／Ｄ＝１．４７ではプレートの摩耗痕深さは検出限界以下となった。すなわち、周期平行ボールは接触円が重なり合う常時接触部が発生するＡ／Ｄ＜１となる条件を含めてフレッチング摩耗低減に極めて有効といえる。Ａ／Ｄ＝１．４７における鏡面同士と周期平行ボールに対するプレート側摩耗痕写真を図８に示し、Ａ／Ｄ＝０．６３における鏡面同士と周期平行ボールに対するプレート側摩耗痕写真を図９に示す。周期平行ボールではプレート側に増ちょう剤由来の保護膜形成の促進が認められた。Ａ／Ｄ＝１．４７における周期平行ボールのボール側摩耗痕を図１０に示し、Ａ／Ｄ＝０．６３における周期平行ボールのボール側摩耗痕を図１１に示す。ボール側の摩耗も極めて少なく、きれいに残存した周期構造が認められた。

【符号の説明】

【0041】

１ 第１部材
２ 第２部材
３ 周期構造
４ 凸部
５ 凹部

【要約】

【課題】基油動粘度や混和ちょう度に依存することなく離油度を向上させて、油膜形成能と保護膜形成能を向上させるとともに、フレッチング摩耗を低減することができる接触面構造品及び接触面構造品の形成方法を提供する。
【解決手段】グリース潤滑下で相対的に振動や微小運動する接触面構造品において、曲率半径の小さい側又は接触領域の狭い側の接触面に、凸部頂点が非平坦面となって連続的に高さが変化するグレーティング状凹凸の周期構造が形成されている。
【選択図】図４

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】