特許6608962マイクロマシン式のばねデバイス及びマイクロマシン式のばねデバイスの製造方法

発明の名称　マイクロマシン式のばねデバイス及びマイクロマシン式のばねデバイスの製造方法

出願人　ローベルト　ボツシユ　ゲゼルシヤフト　ミツト　ベシユレンクテル　ハフツング　（識別番号 390023711）

　　　　特許公開件数ランキング 203 位（52件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 271 位（34件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6608962

公報発行日　2019年11月20

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6608962

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