特許 6609894出願番号 特願 2016-20057
ダイシング装置及びその異常検出方法
出願人 株式会社東京精密（識別番号 151494）
2026年 特許公開件数ランキング 229位 105件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 241位 89件（※）
公報発行日 2019年11月27
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6609894 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
ダイシング装置及びその異常検出方法に係り、特にブレードの異常を検知するダイシング装置及びその異常検出方法
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
しかしながら、特許文献１のダイシング装置では、ブレードの取り付けミス等によるアンバランスに伴うブレードの振動やスピンドルの故障等を検出することができず、ウェーハ製品の不良品の発生及び装置の故障を引き起こすことがあった。 本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、ブレードの異常を検知することで、不良品の発生及び装置の故障を防止するダイシング装置及びその異常検出方法を提供することを目的とする。課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
目的を達成するためにダイシング装置の一の態様は、円盤状のブレードと、ブレードをＸＹ平面に平行な回転軸を中心に回転させるスピンドルと、ブレードによりダイシング加工されるワークをＸＹ平面に平行な面に保持するワークテーブルと、スピンドルとワークテーブルとをＸＹ平面に平行な方向に相対的に移動させるＸＹ方向駆動部と、スピンドルをＸＹ平面に垂直なＺ方向に移動させるＺ方向駆動部と、スピンドルのＺ方向の・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
【発明の効果】
本発明によれば、不良品の発生及び装置の故障を防止することができる。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】ダイシング装置の外観図
【図2】加工部の構成を示す斜視図
【図3】Ｚ移動機構部のシステム構成を示すブロック図
【図4】半導体ウェーハをダイシング加工中のサーボモータのトルクの変化を示す図
【図5】スピンドルのストローク距離を示す図
【図6】スピンドルのストローク距離と振動が増幅されるブレードの回転数との関係を示す図
【図7】Ｚ移動機構部のシステム構成を示すブロック図
選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図
１…ダイシング装置、２…加工部、１０…コントローラ、２１…ブレード、２２…スピンドル、４３…Ｚテーブル、５０…Ｚ移動機構部、１００，１１０…ドライバ、１０２…サーボモータ、１０４…エンコーダ、１０６，１１８…異常検知部、１１２…パルスモータ、１１４…スケール、１１６…スケール検出センサ、Ｗ…半導体ウェーハ
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