特許6615907誘電体バリアプラズマ処置用処置装置

発明の名称　誘電体バリアプラズマ処置用処置装置

出願人　シノギー・ゲーエムベーハー　（識別番号 512158435）

　　　　特許公開件数ランキング 31340 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 25341 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6615907

公報発行日　2019年12月4

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6615907

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