特許6617963基板保持状態の異常検査の検査領域の自動決定方法および基板処理装置

発明の名称　基板保持状態の異常検査の検査領域の自動決定方法および基板処理装置

出願人　株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス　（識別番号 207551）

　　　　特許公開件数ランキング 59 位（428件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 69 位（332件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6617963

公報発行日　2019年12月11

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6617963

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