特許6619085ウェーハ研磨チャンバおよびこれを含むウェーハ研磨システム

発明の名称　ウェーハ研磨チャンバおよびこれを含むウェーハ研磨システム

出願人　エスケイ・シルトロン・カンパニー・リミテッド　（識別番号 517354250）

　　　　特許公開件数ランキング 11761 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 9688 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6619085

公報発行日　2019年12月11

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6619085

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