技術分野
感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの製造方法及びプリント配線板の製造方法
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
ところで、従来の感光性樹脂組成物においては、当該感光性樹脂組成物を用いて形成されるレジストパターンの解像度を改良する点で、未だ改善の余地がある。
本発明は、解像度に優れるレジストパターンを形成可能な感光性樹脂組成物、並びに、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造方法及びプリント配線板の製造方法を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明者は、三成分以上の重合性モノマを重合してなる特定の(メタ)アクリルポリマであるブロックポリマと、光重合性化合物と、光重合開始剤と、を含有する感光性樹脂組成物を用いることにより、解像度に優れると共に強度(レジストの強度。膜強度等)が高いレジストパターンを形成可能であることを見出し、本発明を完成するに至った。
【発明の効果】
本発明によれば、解像度に優れるレジストパターンを形成可能な感光性樹脂組成物、並びに、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造方法及びプリント配線板の製造方法を提供することができる。また、前記感光性樹脂組成物は、アルカリ現像液への溶解性に優れる。さらに、本発明によれば、強度(レジストの強度。膜強度等)に優れるレジストパターンを形成可能な感光性樹脂組成物、並びに、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造方法及びプリント配線板の製造方法を提供することができる。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】本発明の感光性エレメントの一実施形態を示す模式断面図である。
【図2】セミアディティブ工法によるプリント配線板の製造工程の一例を模式的に示す斜視図である。
1…感光性エレメント、2…支持体、3…感光性樹脂組成物層、4…保護層、10…導体層、15…絶縁層、20…マスク、30…レジストパターン、32…感光性樹脂組成物層、40…回路パターン、42…めっき層、50…活性光線。
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