特許6621947レジスト膜付きマスクブランクおよびその製造方法ならびに転写用マスクの製造方法

発明の名称　レジスト膜付きマスクブランクおよびその製造方法ならびに転写用マスクの製造方法

出願人　ＨＯＹＡ株式会社　（識別番号 113263）

　　　　特許公開件数ランキング 494 位（57件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 295 位（90件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6621947

公報発行日　2019年12月18

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6621947

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