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特許6622071マイクロ波表面波励起プラズマ成膜装置
発明の名称 マイクロ波表面波励起プラズマ成膜装置
出願人 株式会社ＣＮＫ （識別番号 591139574）
特許公開件数ランキング 31340 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 25341 位（0件）（共同出願を含む）
出願人 国立大学法人名古屋大学 （識別番号 504139662）
特許公開件数ランキング 267 位（198件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 264 位（180件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6622071
公報発行日 2019年12月18
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6622071
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