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特許第6622327号(P6622327)
IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版
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6622327
プラズマインピーダンス整合装置、ＲＦ電力をプラズマ負荷に供給するためのシステムおよびＲＦ電力をプラズマ負荷に供給する方法
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