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特許6622702再循環型基板コンテナパージングシステム及び方法
発明の名称 再循環型基板コンテナパージングシステム及び方法
出願人 ブルックス シーシーエス ゲーエムベーハー （識別番号 515265536）
特許公開件数ランキング 14556 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 12424 位（0件）（共同出願を含む）
出願人 レブストック，ルッツ （識別番号 516124144）
特許公開件数ランキング 14556 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 12424 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6622702
公報発行日 2019年12月18
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6622702
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