発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

そこで、この発明の目的は、非破壊で、かつ試験用素子を用意せずに、光導波路素子の伝播損失を評価できる評価装置及び評価方法を提供することにある。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

この発明の評価装置及び評価方法では、光導波路から漏れる光（漏れ光）の強度を検出する。漏れ光の強度は、光導波路を伝播する光の強度に対応するため、漏れ光の強度に基づいて、光導波路素子の伝播損失を評価することができる。 また、この発明の評価装置及び評価方法では、対物レンズで漏れ光を集光することによって、漏れ光の強度を検出する。そのため、光導波路素子の破壊、又は光導波路素子に対する薄膜の形成若しくはプラズマの密着を必要としない。従って、この発明の評価装置及び評価方法では、非破壊で、かつ試験用素子を用意せずに、光導波路素子の伝播損失を取得することができる。