公報発行日 2019年12月25
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【図1】本発明を実施するための形態のレーザ式ガス分析計の構成図である。
【図2】ガス分析の圧力依存性の説明図であり、図2(a)は理想状態の波長−吸収線スペクトルの特性図、図2(b)は理想状態の波長−ロックイン検波波形の特性図、図2(c)は圧力変動状態の波長−吸収線スペクトルの特性図、図2(d)は圧力変動状態の波長−ロックイン検波波形の特性図である。
【図3】ロックイン検波波形の振幅と波長変調振幅の関係がスペクトル線幅によって変化することを示す説明図である。
【図4】ロックイン検波波形の振幅とスペクトル線幅の関係を示す説明図である。
【図5】ロックイン検波波形の振幅および振幅比によって振幅が補正できることを示す説明図である。
【図6】波長変調振幅の決定方法の一例を示す説明図である。
【図7】従来技術の2f信号と変調振幅の関係及びそれらの圧力依存性を示す図である。
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