特許6624505IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

測定対象空間内における測定対象ガスの有無や濃度を分析するレーザ式ガス分析計

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

さて、の特許文献1の2f信号の「圧力に対する作用点」は、圧力変動に対して必ずしも不変ではないため、ガス濃度の測定誤差が残留するおそれがある。また、2f信号が極大値となる動作点ではなく、信号ノイズ比が極大値と比べて劣る場合がある。これらの課題が新たに知見された。 そこで、本発明はの課題を解決するためになされたものであり、その目的は、ガス濃度の圧力依存性を最小化して測定精度を高めつつ、かつ信号ノイズ比を高めて測定の安定性をも高めることにより、測定対象ガスのガス濃度を、高精度、高安定に測定するレーザ式ガス分析計を提供することにある。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

目的を達成するため、請求項1に係るレーザ式ガス分析計は、 波長可変レーザ分光法及び波長変調光分光法により、測定対象空間に存在する測定対象ガスのガス濃度を測定するレーザ式ガス分析計であって、 前記測定対象ガスの吸収線スペクトルの光吸収波長を含む波長帯域のレーザ光を出射するレーザ素子と、 前記測定対象ガスの吸収線スペクトルの光吸収波長を含む波長帯域で波長が掃引され、かつ変調される・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
【発明の効果】
本発明によれば、ガス濃度の圧力依存性を最小化して測定精度を高めつつ、かつ信号ノイズ比を高めて測定の安定性をも高めることにより、測定対象ガスのガス濃度を、高精度、高安定に測定するレーザ式ガス分析計を提供することができる。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】本発明を実施するための形態のレーザ式ガス分析計の構成図である。

【図2】ガス分析の圧力依存性の説明図であり、図2(a)は理想状態の波長−吸収線スペクトルの特性図、図2(b)は理想状態の波長−ロックイン検波波形の特性図、図2(c)は圧力変動状態の波長−吸収線スペクトルの特性図、図2(d)は圧力変動状態の波長−ロックイン検波波形の特性図である。

【図3】ロックイン検波波形の振幅と波長変調振幅の関係がスペクトル線幅によって変化することを示す説明図である。

【図4】ロックイン検波波形の振幅とスペクトル線幅の関係を示す説明図である。

【図5】ロックイン検波波形の振幅および振幅比によって振幅が補正できることを示す説明図である。

【図6】波長変調振幅の決定方法の一例を示す説明図である。

【図7】従来技術の2f信号と変調振幅の関係及びそれらの圧力依存性を示す図である。

選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図

1:レーザ式ガス分析計   10:発光部   11:変調光生成部   12:レーザ素子   13:コリメートレンズ   14:発光部窓板   15:発光部容器   20:受光部   21:受光信号処理部   22:受光素子   23:集光レンズ   24:受光部窓板   30:通信線   40: 検出光   50a,50b:壁   51a,51b:フランジ   52a,52b:光軸調整フランジ

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