特許6624515IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

揮発性有機化合物の検出方法及び検出装置

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

しかし、電界効果トランジスタを用いたガスセンサには、以下の問題がある。デバイスの構造上、チャネルとソース・ドレインの接触部の抵抗が生じることを回避できないため、チャネルに用いる材料の特性を十分に発揮できず、安定性や再現性に課題がある。また、検出対象ガスが吸着しやすい検知膜を成膜したり、ガス分子を吸着する認識分子を表面修飾したりする場合は、水晶振動子ガスセンサと同様に、作製した個々のセンサの特性が検知膜や修飾分子の性能に大きく依存するなどの課題が生じる。 本発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、揮発性有機化合物の分析を、検知膜を用いずとも、より安定に再現性良く実施できる揮発性有機化合物の検出方法を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の一態様は、揮発性有機化合物のグラフェンへの吸着による前記グラフェンの電荷移動度の変化を、マイクロ波の誘電損失の時間変化に基づき検出し、 検出された前記電荷移動度の変化に基づき、前記グラフェンに吸着した揮発性有機化合物を検出することを特徴とする揮発性有機化合物の検出方法である。
【発明の効果】
本発明によれば、揮発性有機化合物の分析を、安定的に再現性良く実施できる揮発性有機化合物の検出方法を提供することが可能となる。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】本発明の一センサデバイスおよびその作製法の一例を示す模式図である。

【図2】本発明の一検出装置の一例を示す模式図である。

【図3】本発明の一検出装置における、マイクロ波空洞共振器部分の一例を示す模式図である。

【図4】実施例で得られた、ニトロベンゼンの検出結果を示すグラフである。

選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図

1…センサデバイス,10…基板,20…下部電極,30…絶縁層,31…絶縁層,32…絶縁層,40…グラフェン,41…ポリマー薄膜,50…上部電極,100…検出装置,110…マイクロ波空洞共振器,112…設置部,120…マイクロ波源,130…ゲート電圧制御部,140…増幅器,150…オシロスコープ,160…導波路,ミキサー…161,サーキュレーター…162,アイソレーター…163,方向性結合器…164,移相器…165,減衰器…166

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