【図1】図１（ａ）〜１（ｇ）は、本発明の第１実施形態によるＧａＮ材料（基板）の製造方法を示す概略断面図である。

【図2】図２は、ＨＶＰＥ装置を例示する概略構成図である。

【図3】図３は、第２実施形態によるＧａＮ材料（エピ基板）を示す概略断面図である。

【図4】図４は、第１実験例における、電気化学セルを例示する概略構成図である。

【図5】図５は、第１実験例における、ＰＥＣエッチングのシーケンスを示すタイミングチャートである。

【図6】図６は、第１実験例における、陽極酸化により消費された単位面積当たりの電荷量と、エッチング深さとの関係を示すグラフである。

【図7】図７は、第１実験例における、エッチング深さと、形成された凹部の底面における線粗さＲａとの関係を示すグラフである。

【図8】図８は、第１実験例における、エッチング深さ２μｍの場合の、エッチング電圧と、線粗さＲａとの関係を示すグラフである。

【図9】図９は、図８のエッチング電圧１Ｖの近傍を拡大したグラフである。

【図10】図１０（ａ）〜１０（ｃ）は、それぞれ、第１実験例における、エッチング電圧３Ｖ、２Ｖおよび１Ｖの場合に形成された凹部の底面のＳＥＭ像であり、図１０（ｄ）は、第１実験例における、エッチングなしの場合の表面のＳＥＭ像である。

【図11】図１１（ａ）〜１１（ｄ）は、それぞれ、第１実験例における、エッチング電圧３Ｖ、２Ｖ、１Ｖおよび０Ｖの場合に形成された凹部の底面の光学顕微鏡像である。

【図12】図１２（ａ）〜１２（ｄ）は、それぞれ、第１実験例における、エッチング電圧３Ｖ、２Ｖ、１Ｖおよび０Ｖの場合に形成された凹部の底面のＡＦＭ像である。

【図13】図１３は、第１実験例における、エッチングなしの場合、および、エッチング電圧が０Ｖ、１Ｖ、２Ｖおよび３Ｖの場合の、ＰＬ発光スペクトルを示す。

【図14】図１４（ａ）〜１４（ｃ）は、第３実施形態によるＧａＮ材料（エピ基板）を用いた半導体装置の製造方法の一部を示す概略断面図である。

【図15】図１５（ａ）および図１５（ｂ）は、それぞれ、第２実験例（第４実施形態）で形成された円筒状凸部を、俯瞰したＳＥＭ像、および、側方から見たＳＥＭ像である。

【図16】図１６は、第２実験例（第４実施形態）で形成された円筒状凸部のマスクおよびｐｎ接合部の近傍を拡大して示すＳＥＭ像である。

【図17】図１７は、第３実験例（第５実施形態）で形成された円筒状凹部を、俯瞰したＳＥＭ像である。

【図18】図１８（ａ）〜１８（ｃ）は、第４実験例（第６実施形態）で形成された、目標値が深さ７．７μｍのトレンチの長さ方向と直交する断面を示すＳＥＭ像である。

【図19】図１８（ａ）〜１８（ｃ）は、第４実験例（第６実施形態）で形成された、目標値が深さ３３μｍのトレンチの長さ方向と直交する断面を示すＳＥＭ像である。

【図20】図２０は、第４実験例（第６実施形態）で形成されたトレンチのアスペクト比と、エッチング深さとの関係を示すグラフである。

【図21】ＧａＮ材料を貫通させるＰＥＣエッチングを行う状況を例示する概略図である。

【図22】図２２（ａ）は、ＰＥＣエッチングで形成された凹部の内側に充填部材が充填された状況を例示する概略図であり、図２２（ｂ）は、ＰＥＣエッチングで形成された凸部の外側に充填部材が充填された状況を例示する概略図である。

【図23】図２３は、ａ面と、当該ａ面に直交するｍ面とで側面が構成された矩形状のＧａＮ材料を熱燐酸硫酸でエッチングした実験結果を示す光学顕微鏡写真である。

【図24】図２４（ａ）〜２４（ｄ）は、第７実施形態によるＰＥＣエッチング態様を例示する概略図である。

【図25】図２５（ａ）および２５（ｂ）は、第７実施形態によるＰＥＣエッチング態様を例示するタイミングチャートである。

【図26】図２６は、第７実施形態の第１変形例によるＰＥＣエッチング態様を例示する概略図である。

【図27】図２７は、第７実施形態の第２変形例によるＰＥＣエッチング態様を例示する概略図である。

【図28】図２８は、第８実施形態によるＰＥＣエッチング態様を例示する概略図である。

【図29】図２９は、第８実施形態によるＰＥＣエッチング態様を例示するタイミングチャートである。

【図30】図３０は、第８実施形態の第１変形例によるＰＥＣエッチング態様を例示するタイミングチャートである。

【図31】図３１は、第８実施形態の第２変形例によるＰＥＣエッチング態様を例示するタイミングチャートである。

【図32】図３２（ａ）および図３２（ｂ）は、それぞれ、第８実施形態の第３変形例および第４変形例によるＰＥＣエッチング態様を例示する概略図である。

【図33】図３３は、第８実施形態の第５変形例によるＰＥＣエッチング態様を例示する概略図である。

【図34】図３４（ａ）および図３４（ｂ）は、第９実施形態によるＰＥＣエッチング態様を例示する概略図である。

【図35】図３５は、第９実施形態によるＰＥＣエッチング態様を例示するタイミングチャートである。