特許 6625901 照明装置、および検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6625901

(24)【登録日】2019年12月6日

(45)【発行日】2019年12月25日

(54)【発明の名称】照明装置、および検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/84 20060101AFI20191216BHJP

   G01N 21/956 20060101ALI20191216BHJP

【ＦＩ】

   G01N21/84 E

   G01N21/956 B

【請求項の数】6

【全頁数】21

(21)【出願番号】特願2016-37456(P2016-37456)

(22)【出願日】2016年2月29日

(65)【公開番号】特開2017-156132(P2017-156132A)

(43)【公開日】2017年9月7日

【審査請求日】2018年12月21日

(73)【特許権者】

【識別番号】000207551

【氏名又は名称】株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス

(74)【代理人】

【識別番号】100088672

【弁理士】

【氏名又は名称】吉竹 英俊

(74)【代理人】

【識別番号】100088845

【弁理士】

【氏名又は名称】有田 貴弘

(72)【発明者】

【氏名】茂野 幸英

【審査官】 中澤 真吾

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１１−１６５７６５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−２６５７４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 登録実用新案第３１６９５２０（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開平０５−２８２４３２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−１０１３１１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開平０３−１１６０５６（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 実開平０２−０００７５０（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 米国特許出願公開第２０１０／０１０３６６１（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｎ ２１／８４−２１／９５８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

予め設定された配列方向に沿って配列されており且つ予め設定された出射方向にそれぞれ光を出射する複数の出射部を有する出射部列と、
前記配列方向と交差する交差方向に平面視して、前記配列方向に直交するように配置されており且つ光を反射可能な反射面を有する反射部と、を備え、
前記複数の出射部が、第１種類の光を出射する２以上の第１出射部と、第２種類の光を出射する２以上の第２出射部とを含み、
前記２以上の第１出射部が、前記反射面から近い方から順に配列された第１番目の第１出射部と第２番目の第１出射部とを含み、
前記２以上の第２出射部が、前記反射面から近い方から順に配列された第１番目の第２出射部と第２番目の第２出射部とを含み、
前記交差方向に平面視して、前記反射面と前記第１番目の第１出射部との第３間隔が、前記第１番目の第１出射部と前記第２番目の第１出射部との第４間隔の半分以下であり、
前記交差方向に平面視して、前記反射面と前記第１番目の第２出射部との第５間隔が、前記第１番目の第２出射部と前記第２番目の第２出射部との第６間隔の半分以下であり、
前記第５間隔が、前記第３間隔よりも短く、
前記第６間隔が、前記第４間隔よりも短い、照明装置。

【請求項2】

請求項１に記載の照明装置であって、
前記第１種類の光が、赤色の光を含み、
前記第２種類の光が、青色の光を含む、照明装置。

【請求項3】

請求項１または請求項２に記載の照明装置であって、
前記２以上の第１出射部からそれぞれ前記第１種類の光が出射されている第１種出射状態と、前記２以上の第２出射部からそれぞれ前記第２種類の光が出射されている第２種出射状態とを含む２種以上の出射状態のうちの１種の出射状態に、選択的に設定可能な制御部、を備えた、照明装置。

【請求項4】

請求項１または請求項２に記載の照明装置であって、
複数の前記出射部列、を備え、
該複数の出射部列が、
前記配列方向に沿って配列されており且つ第１出射方向にそれぞれ光を出射する第１の複数の出射部を有する第１出射部列と、
前記配列方向に沿って配列されており且つ第２出射方向にそれぞれ光を出射する第２の複数の出射部を有する第２出射部列と、を有しており、
前記配列方向に平面視して、前記第１出射方向と前記第２出射方向とが交差し、
前記第１の複数の出射部から光が出射されている第１点灯状態と、前記第２の複数の出射部から光が出射されている第２点灯状態とを含む２以上の点灯状態のうちの１つの点灯状態に、選択的に設定可能な制御部、を備えた、照明装置。

【請求項5】

請求項１から請求項４の何れか１つの請求項に記載の照明装置と、
前記複数の出射部から前記出射方向に仮想的に延伸させた直線上に位置する検査対象領域からの光を受光して、該検査対象領域からの光の強さに係る空間的な分布に応じた信号を取得可能な受光センサと、を備えた、検査装置。

【請求項6】

請求項１から請求項３の何れか１つの請求項に記載の照明装置と、
前記複数の出射部から前記出射方向に仮想的に延伸させた直線上に位置する検査対象領域からの光を受光して、該検査対象領域からの光の強さに係る空間的な分布に応じた信号を取得可能な受光センサと、を備え、
該受光センサが、
前記配列方向に対応する方向に沿って配列されており且つ受光する光の強度に応じた信号をそれぞれ取得可能な複数のダイオードを含む、検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、照明装置、および該照明装置を備えた検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

プリント基板等の各種基板の外観を検査する技術が知られている（例えば、特許文献１〜５等）。この技術では、例えば、はんだ付け部および金属の配線パターン等といった各種構造が形成された基板について、撮像センサ等による撮像で画像が得られ、該画像が対象とされた画像処理によって、自動で各種構造の状態および欠陥等が検出され得る。

【0003】

ところで、一般的なプリント基板等では、金属の配線パターンの表面に圧延痕等の凸凹が多数存在する場合がある。この場合、例えば、検査の対象領域（検査対象領域とも言う）に対して正面から光を照射する落射照明（直接照明）が採用されると、例えば、表面の凹凸が過度に強いコントラストを有する部分として撮像されてしまうことがある。このとき、画像処理だけでは、過度に強いコントラストを有する部分と、それ以外の部分とを切り分けることが難しく、画像から欠陥等を適切に検出することは容易でない。

【0004】

そこで、光源からの光を半球状のドームの内面で反射させて検査対象領域に照射することで、検査対象領域に照射される光の角度範囲（照射角度範囲とも照射立体角とも言う）が広げられた、いわゆる拡散照明を用いる技術が提案されている（例えば、特許文献１等）。これにより、画像において凹凸が過度に強いコントラストを有する部分として撮像される不具合が抑制され得る。

【0005】

一方、検査対象領域が、圧延痕等の凹凸が少ない鏡面状であれば、拡散照明によって光が照射されると、検査対象領域が非常に暗い領域として撮像され得る。このため、例えば、半球状のドームを用いた拡散照明に、落射照明が組み合わされた照明が考えられる（例えば、特許文献２等）。例えば、ハーフミラーによって、撮像センサに対して設けられた撮像レンズの光軸を中心軸とした光束を有する光を検査対象領域に照射する照明（同軸落射照明とも言う）が採用され得る。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２００４−１２５６４４号公報

【特許文献2】特開平１１−８４２５８号公報

【特許文献3】特開平８−２９１３８号公報

【特許文献4】特開２０００−２６６６８１号公報

【特許文献5】特開２０１１−６９６５１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

ところで、例えば、特許文献１の技術では、半球状のドームの内面で反射された光が円形の広い領域に略均一に照射される。このため、例えば、ラインセンサおよび矩形状のエリアセンサ等が用いられる場合、センサで撮像されていない領域にも光が照射され、光の利用効率の低下を招く。

【0008】

また、例えば、特許文献２の技術では、同軸落射照明用のハーフミラーの存在によって、検査対象領域から撮像センサへ至る光の強度が低減され、光の利用効率が低下する。

【0009】

また、例えば、特許文献３の技術では、半球面形状のフレームに青色ＬＥＤが配置され、被検査物のあらゆる反射面に対して照射光が照射される。このため、例えば、青色ＬＥＤを多数配置する必要があり、青色ＬＥＤの配置数の増加によって、検査装置の製造に要する材料およびコストの増大、ならびに検査装置におけるエネルギー消費量の増大を招く。

【0010】

また、例えば、特許文献４の技術では、光ガイドの光出射面が、被検査物の線状照射領域を囲む略半円筒面を形成している。このため、例えば、光源も含めた照明装置の過度な大型化を招く。特に、例えば、撮像素子が光源とともに走査されつつ、撮像を行う態様では、照明装置の大型化、および各種構成を走査するために要するエネルギー消費量の増大等の不具合が生じ得る。

【0011】

また、例えば、特許文献５の技術では、拡散照明のみで落射照明が行われていない。このため、検査対象領域が圧延痕等の凹凸が少ない鏡面状であれば、検査対象領域を明るく撮像するために、発光量を増大させる必要があり、照明装置におけるエネルギー消費量の増大等といった不具合が生じ得る。

【0012】

すなわち、上記特許文献１〜５の検査技術では、例えば、消費エネルギーの増大を抑制しながら、簡易な構成で光の利用効率を改善する余地がある。このような課題は、検査装置だけに限られず、所望の領域に光を照射する技術一般に共通する。

【0013】

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、対象物における単位面積当たりの光の照射強度を容易に向上させることが可能な技術を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0014】

上記課題を解決するために、第１の態様に係る照明装置は、予め設定された配列方向に沿って配列されており且つ予め設定された出射方向にそれぞれ光を出射する複数の出射部を有する出射部列と、前記配列方向と交差する交差方向に平面視して、前記配列方向に直交するように配置されており且つ光を反射可能な反射面を有する反射部とを備え、前記複数の出射部が、第１種類の光を出射する２以上の第１出射部と、第２種類の光を出射する２以上の第２出射部とを含み、前記２以上の第１出射部が、前記反射面から近い方から順に配列された第１番目の第１出射部と第２番目の第１出射部とを含み、前記２以上の第２出射部が、前記反射面から近い方から順に配列された第１番目の第２出射部と第２番目の第２出射部とを含み、前記交差方向に平面視して、前記反射面と前記第１番目の第１出射部との第３間隔が、前記第１番目の第１出射部と前記第２番目の第１出射部との第４間隔の半分以下であり、前記交差方向に平面視して、前記反射面と前記第１番目の第２出射部との第５間隔が、前記第１番目の第２出射部と前記第２番目の第２出射部との第６間隔の半分以下であり、前記第５間隔が、前記第３間隔よりも短く、前記第６間隔が、前記第４間隔よりも短い。

【0016】

第２の態様に係る照明装置は、第１の態様に係る照明装置であって、前記第１種類の光が、赤色の光を含み、前記第２種類の光が、青色の光を含む。

【0017】

第３の態様に係る照明装置は、第１または第２の態様に係る照明装置であって、前記２以上の第１出射部からそれぞれ前記第１種類の光が出射されている第１種出射状態と、前記２以上の第２出射部からそれぞれ前記第２種類の光が出射されている第２種出射状態とを含む２種以上の出射状態のうちの１種の出射状態に、選択的に設定可能な制御部を備えている。

【0018】

第４の態様に係る照明装置は、第１または第２の態様に係る照明装置であって、複数の前記出射部列、を備え、該複数の出射部列が、前記配列方向に沿って配列されており且つ第１出射方向にそれぞれ光を出射する第１の複数の出射部を有する第１出射部列と、前記配列方向に沿って配列されており且つ第２出射方向にそれぞれ光を出射する第２の複数の出射部を有する第２出射部列とを有しており、前記配列方向に平面視して、前記第１出射方向と前記第２出射方向とが交差し、前記第１の複数の出射部から光が出射されている第１点灯状態と、前記第２の複数の出射部から光が出射されている第２点灯状態と、を含む２以上の点灯状態のうちの１つの点灯状態に、選択的に設定可能な制御部を備えている。

【0019】

第５の態様に係る検査装置は、第１から第４の何れか１つの態様に係る照明装置と、前記複数の出射部から前記出射方向に仮想的に延伸させた直線上に位置する検査対象領域からの光を受光して、該検査対象領域からの光の強さに係る空間的な分布に応じた信号を取得可能な受光センサとを備えている。

【0020】

第６の態様に係る検査装置は、第１から第３の何れか１つの態様に係る照明装置と、前記複数の出射部から前記出射方向に仮想的に延伸させた直線上に位置する検査対象領域からの光を受光して、該検査対象領域からの光の強さに係る空間的な分布に応じた信号を取得可能な受光センサとを備え、該受光センサが、前記配列方向に対応する方向に沿って配列されており且つ受光する光の強度に応じた信号をそれぞれ取得可能な複数のダイオードを含んでいる。

【発明の効果】

【0021】

第１から第４の何れの態様に係る照明装置によっても、例えば、反射面の存在によって、出射部列が擬似的に延伸されるため、対象物における単位面積当たりの光の照射強度が容易に向上され得る。

【0022】

第１から第３の何れの態様に係る照明装置によっても、例えば、受光センサにおける受光感度に応じた照明が可能となる。

【0023】

第２および第３の何れの態様に係る照明装置によっても、例えば、赤色よりも青色の感度が低い受光センサに応じた照明が可能となる。

【0024】

第４の態様に係る照明装置によれば、例えば、対象物の状態に応じて、光の照射角度を切り替えることが可能である。

【0025】

第５および第６の何れの態様に係る検査装置によっても、例えば、受光センサで得られる検査対象物からの光の強さに係る空間的な分布に応じた信号の強度が容易に高められ得る。したがって、例えば、検査の精度が高められ得る。

【0026】

第６の態様に係る検査装置によれば、例えば、受光センサにおける受光感度に応じた照明状態が実現されることで、検査の精度が高められ得る。

【図面の簡単な説明】

【0027】

【図1】検査装置の概略構成を例示する上面模式図である。

【図2】検査装置の概略構成を例示する正面模式図である。

【図3】スキャナー部の概略構成を例示する正面模式図である。

【図4】照明部におけるレンズの配列態様を例示する斜視図である。

【図5】検査対象物の具体例を模式的に示す図である。

【図6】検査対象物の具体例を模式的に示す図である。

【図7】照明モジュールの概略構成を例示する側面模式図である。

【図8】照明モジュールの概略構成を例示する正面模式図である。

【図9】レンチキュラーレンズの役割を説明するための参考図である。

【図10】レンチキュラーレンズの役割を説明するための図である。

【図11】反射部の配置条件を説明するための図である。

【図12】第１変形例に係る照明モジュールの概略構成を例示する側面模式図である。

【図13】第２変形例に係る照明モジュールの概略構成を例示する側面模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0028】

以下、本発明の一実施形態および各種変形例を図面に基づいて説明する。なお、図面においては同様な構成および機能を有する部分については同じ符号が付されており、下記説明では重複説明が省略される。また、図面は模式的に示されたものであり、各図における各種構造のサイズおよび位置関係等は適宜変更され得る。なお、図１から図６および図８には、測定部５の走査方向（図１の右方向）を＋Ｘ方向とし、試料支持台３の移動方向（図１の上方向）を＋Ｙ方向とする右手系のＸＹＺ座標系が付されている。また、図７、図９から図１３には、上記ＸＹＺ座標系のうちのＹ方向を示す矢印が付されている。

【0029】

＜(１)検査装置の概略＞
図１は、一実施形態に係る検査装置１の概略構成を例示する上面模式図である。図２は、一実施形態に係る検査装置１の概略構成を例示する正面模式図である。検査装置１は、物体の状態を検査する装置である。ここで、物体には、例えば、各種基板等の各種工業製品等が含まれ得る。物体の状態には、例えば、プリント基板上に形成された配線パターンの状態等といった各種の工業的に形成された構造の状態等が含まれ得る。そして、構造の状態には、例えば、配線パターンの欠けおよび断線等が含まれ得る。

【0030】

図１および図２で示されるように、検査装置１は、例えば、基台部２、試料支持台３、門型構造体４、測定部５、ケーブルベア６（登録商標）および制御部７を備えている。

【0031】

基台部２は、検査装置１のベースとなる部分である。該基台部２は、例えば、本体部２１およびリニアガイド２２Ｌ，２２Ｒを有している。本体部２１は、例えば、略平坦な上面２１Ｕを有する厚板状の部分である。リニアガイド２２Ｌ，２２Ｒは、上面２１Ｕ上に形成された相互に離間し且つ平行に延在する２本のレール部２２Ｌｒ，２２Ｒｒと、スライダー部２２Ｌｓ，２２Ｒｓとを有している。ここでは、例えば、２本のレール部２２Ｌｒ，２２Ｒｒが、＋Ｙ方向に延在している。そして、リニアガイド２２Ｌでは、スライダー部２２Ｌｓが、レール部２２Ｌｒ上を該レール部２２Ｌｒの延在方向（ここでは、±Ｙ方向）に沿って摺動自在に設けられている。また、リニアガイド２２Ｒでは、スライダー部２２Ｒｓが、レール部２２Ｒｒ上を該レール部２２Ｒｒの延在方向（ここでは、±Ｙ方向）に沿って摺動自在に設けられている。

【0032】

試料支持台３は、例えば、略平坦な上面３Ｕを有する厚板状の部分である。該試料支持台３は、スライダー部２２Ｌｓ，２２Ｒｓ上に取り付けられている。つまり、試料支持台３は、基台部２に対して±Ｙ方向に沿って摺動自在に設けられている。なお、試料支持台３は、図示を省略する駆動部によって駆動力が加えられることで、リニアガイド２２Ｌ，２２Ｒに沿って摺動し得る。上面３Ｕには、検査の対象物（検査対象物とも言う）Ｗ１が載置される。ここでは、検査対象物Ｗ１が載置される領域が一点鎖線で描かれている。

【0033】

門型構造体４は、基台部２上に門型に設けられた部分である。ここでは、門型構造体４は、基台部２に固定されている。また、門型構造体４と基台部２との間には、試料支持台３が通過可能な空間ＳＰ０が形成されている。門型構造体４は、水平方向に延在する梁部４１および該梁部４１の上面に設けられたリニアガイド４２を有している。リニアガイド４２は、＋Ｘ方向に延在するレール部４２ｒと、該レール部４２ｒに対して摺動自在に設けられたスライダー部４２ｓとを有している。

【0034】

測定部５は、例えば、筐体部５１およびスキャナー部５２を有している。筐体部５１は、スライダー部４２ｓに取り付けられている。つまり、筐体部５１は、梁部４１に対して±Ｘ方向に沿って摺動自在に設けられている。なお、筐体部５１は、図示を省略する駆動部によって駆動力が加えられることで、リニアガイド４２に沿って摺動し得る。スキャナー部５２は、例えば、筐体部５１内に設けられており、試料支持台３の上面３Ｕ上に載置された検査対象物Ｗ１を捉えた画像を取得可能である。筐体部５１の試料支持台３に対向する面には、スキャナー部５２によって検査対象物Ｗ１の撮像が可能となる窓部が設けられている。窓部は、例えば、単純な開口であっても良いし、ガラス板等の透光性を有する部材によって形成されても良い。そして、ここでは、測定部５の±Ｘ方向への移動（主走査）と、検査対象物Ｗ１が載置された試料支持台３の＋Ｙ方向への移動（副走査）とが交互に行われることで、検査対象物Ｗ１を上面側から２次元的に捉えた画像が取得され得る。なお、例えば、測定部５の走査経路が遮光部材で覆われていれば、スキャナー部５２から検査対象物Ｗ１に照射される光が周囲に漏れず、作業環境が良好となり得る。

【0035】

ケーブルベア６は、測定部５の±Ｘ方向における移動を可能としつつ、測定部５と制御部７との間を接続可能な配線ケーブルを支持する部分である。

【0036】

制御部７は、検査装置１の全体の動作を制御するとともに、測定部５で得られた画像を取得して各種演算を行うことができる。この各種演算によって、検査対象物Ｗ１の状態が検査され得る。ここでは、例えば、測定部５で得られた画像あるいは該画像に画像処理が加えられた画像と、基準となる構造を示す画像とが比較されることで、各種欠陥等が検出され得る。ここで、検査装置１の全体の動作には、例えば、測定部５の±Ｘ方向への移動（主走査）、試料支持台３の＋Ｙ方向への移動（副走査）およびスキャナー部５２の動作が含まれる。なお、制御部７としては、例えば、記憶部、該記憶部内に格納されるプログラムを読み出して実行可能なプロセッサーおよびデータを一時的に記憶可能なメモリー等を有するものが採用され得る。制御部７の一例としては、パーソナルコンピューター等が挙げられる。

【0037】

＜(２)スキャナー部＞
＜(２−１)スキャナー部の概略構成＞
図３は、スキャナー部５２の概略構成を例示する正面模式図である。図３で示されるように、スキャナー部５２は、照明部５２１および受光センサ５２２を備えている。

【0038】

照明部５２１は、第１〜９照明モジュールＭ１〜Ｍ９を備えている。第１〜９照明モジュールＭ１〜Ｍ９は、それぞれ略同一の構成を有しており、＋Ｙ方向に平面視して、検査対象物Ｗ１上に位置する点Ｐｓ０を中心とした回転対称の関係を有している。なお、該点Ｐｓ０は、−Ｚ方向に平面視した場合に、検査対象物Ｗ１上において＋Ｙ方向に直線状に伸びる光が照射される領域（照射対象領域とも言う）Ａｓ０（図７等参照）に相当する。

【0039】

また、図３には、ｍ番目（ｍは１〜９の整数）の第ｍ照明モジュールＭｍの光軸Ｌｐｍがそれぞれ描かれている。ここで、第ｍ照明モジュールＭｍでは、例えば、予め設定された方向（配列方向とも言う）としての＋Ｙ方向に沿って配列された複数の出射部Ｅｍを有する出射部列ＥＬｍから、光軸Ｌｐｍに沿った方向に光が出射される。そして、光軸Ｌｐｍに沿った方向に出射された光は、例えば、第１レンズ部Ｌｍａおよび第２レンズ部Ｌｍｂを介して、点Ｐｓ０（照射対象領域Ａｓ０）に照射される。各出射部Ｅｍには、例えば、発光ダイオード（ＬＥＤ）等の指向性が強い光源が適用され得る。

【0040】

図４は、照明部５２１における第１レンズ部Ｌｍａおよび第２レンズ部Ｌｍｂの配列態様を例示する斜視図である。図４では、第１レンズ部Ｌｍａおよび第２レンズ部Ｌｍｂに着目されているため、複数の出射部Ｅ１〜Ｅ９および反射部Ｒｆ１（図７等参照）の記載が適宜省略されている。図４で示されるように、第ｍ照明モジュールＭｍにおいて、第１レンズ部Ｌｍａおよび第２レンズ部Ｌｍｂは、それぞれ複数の出射部Ｅｍの配列方向（＋Ｙ方向）に沿って延在している。このため、第１〜９照明モジュールＭ１〜Ｍ９の第２レンズ部Ｌ１ｂ〜Ｌ９ｂが、半円筒状に配列されている。つまり、第２レンズ部Ｌ１ｂ〜Ｌ９ｂが、半円柱状の空間Ａｓｃを囲むように配置されている。さらに、第２レンズ部Ｌ１ｂ〜Ｌ９ｂよりも外側に、第１レンズ部Ｌ１ａ〜Ｌ９ａが、半円筒状に配列されている。つまり、第１レンズ部Ｌ１ａ〜Ｌ９ａが、半円柱状の空間を囲むように配列されている。別の観点から言えば、第１レンズ部Ｌ１ａ〜Ｌ９ａと第２レンズ部Ｌ１ｂ〜Ｌ９ｂとが、半円筒状の空間Ａｈｃを挟むように配列されている。

【0041】

ここで、例えば、半円筒状の空間Ａｈｃの一端（−Ｙ側の端部）に反射部Ｒｆ１（図７等参照）が配されており、半円筒状の空間Ａｈｃの他端（＋Ｙ側の端部）に反射部Ｒｆ１（図７等参照）が配されている。また、半円柱状の空間Ａｓｃの一端（−Ｙ側の端部）に反射部Ｒｆ１が配されており、半円柱状の空間Ａｓｃの他端（＋Ｙ側の端部）に反射部Ｒｆ１（図７等参照）が配されている。

【0042】

また、図３で示されるように、＋Ｙ方向に平面視した場合、第１〜９照明モジュールＭ１〜Ｍ９の光軸Ｌｐ１〜Ｌｐ９は、検査対象物Ｗ１の仮想的な法線Ｌｖ０を、点Ｐｓ０を中心として反時計回りに、６７．５、５２．５、３７．５、２２．５、７．５、−２２．５、−３７．５、−５２．５および−６７．５度回転させることで得られる直線に相当する。

【0043】

このため、例えば、＋Ｙ方向に平面視すると、第１照明モジュールＭ１の光軸Ｌｐ１は、法線Ｌｖ０に対して点Ｐｓ０を中心とした反時計回りの方向に６７．５度傾いており、第２照明モジュールＭ２の光軸Ｌｐ２は、法線Ｌｖ０に対して点Ｐｓ０を中心とした反時計回りの方向に５２．５度傾いている。また、＋Ｙ方向に平面視すると、第３照明モジュールＭ３の光軸Ｌｐ３は、法線Ｌｖ０に対して点Ｐｓ０を中心とした反時計回りの方向に３７．５度傾いており、第４照明モジュールＭ４の光軸Ｌｐ４は、法線Ｌｖ０に対して点Ｐｓ０を中心とした反時計回りの方向に２２．５度傾いている。また、＋Ｙ方向に平面視すると、第５照明モジュールＭ５の光軸Ｌｐ５は、法線Ｌｖ０に対して点Ｐｓ０を中心とした反時計回りの方向に７．５度傾いている。また、＋Ｙ方向に平面視すると、第６照明モジュールＭ６の光軸Ｌｐ６は、法線Ｌｖ０に対して点Ｐｓ０を中心とした時計回りの方向に２２．５度傾いており、第７照明モジュールＭ７の光軸Ｌｐ７は、法線Ｌｖ０に対して点Ｐｓ０を中心とした時計回りの方向に３７．５度傾いている。また、＋Ｙ方向に平面視すると、第８照明モジュールＭ８の光軸Ｌｐ８は、法線Ｌｖ０に対して点Ｐｓ０を中心とした時計回りの方向に５２．５度傾いており、第９照明モジュールＭ９の光軸Ｌｐ９は、法線Ｌｖ０に対して点Ｐｓ０を中心とした時計回りの方向に６７．５度傾いている。

【0044】

上記第１〜９照明モジュールＭ１〜Ｍ９によれば、検査対象物Ｗ１上の点Ｐｓ０（照射対象領域Ａｓ０）が、種々の角度から照明され得る。このとき、各第ｍ照明モジュールＭｍでは、複数の出射部Ｅｍから光が出射される方向（出射方向とも言う）に直線的に延びる光軸Ｌｐｍ上に点Ｐｓ０（照射対象領域Ａｓ０）が位置する。

【0045】

ところで、ここでは、制御部７の制御によって、照明部５２１における点灯および消灯が制御され得る。このため、単体の照明部５２１が照明装置８を構成しているものとみなされても良いし、照明部５２１と制御部７とを含む構成が、照明装置８を構成しているものとみなされても良い。

【0046】

そして、照明装置８が、照明部５２１と制御部７とを含む場合、照明装置８では、制御部７によって、第１〜９照明モジュールＭ１〜Ｍ９の点灯状態が制御され得る。例えば、第１〜９照明モジュールＭ１〜Ｍ９のうち、１つ以上の照明モジュールが選択的に点灯された状態に設定され得る。具体的には、例えば、第ｍ照明モジュールＭｍにおける複数の出射部Ｅｍから光が出射されている状態（第ｍ点灯状態とも言う）のうちの少なくとも１つの点灯状態に設定され得る。例えば、第１点灯状態と第２点灯状態とを含む２つ以上の点灯状態のうちの１つの点灯状態に選択的に設定され得る。

【0047】

受光センサ５２２は、例えば、ラインセンサＬｓ１を有している。ラインセンサＬｓ１は、配列方向（＋Ｙ方向）に対応する方向に沿って配列された複数の受光素子Ａｅ１を含んでいる。各受光素子Ａｅ１では、例えば、シリコンダイオード等のダイオードによって、受光する光の強度に応じた信号がそれぞれ取得され得る。なお、受光センサ５２２の具体例としては、例えば、ＣＭＯＳセンサ等が考えられ得る。また、ここで、配列方向（＋Ｙ方向）に対応する方向には、例えば、配列方向（＋Ｙ方向）そのもの、および反射および屈折等によって光路が曲げられた場合における光学的に等価な方向をも含み得る。

【0048】

そして、例えば、照明部５２１によって照明された検査対象物Ｗ１について、受光センサ５２２によって、検査対象物Ｗ１からの光の強さに係る空間的な分布に応じた信号が取得され得る。ここでは、例えば、スキャナー部５２を含む測定部５が＋Ｘ方向または−Ｘ方向へ１回移動されることで、検査対象物Ｗ１のうち、＋Ｙ方向においてスキャナー部５２が＋Ｙ方向に延在する長さに応じた幅を有し且つ＋Ｘ方向が長手方向である長細い領域について、光の強さに係る空間的な分布に応じた信号が取得され得る。

【0049】

受光センサ５２２で得られる信号は、例えば、ケーブルベア６を介して制御部７に送出される。また、受光センサ５２２では、例えば、第１〜９照明モジュールＭ１〜Ｍ９のうちの少なくとも１つの照明モジュールによって照明される照射対象領域Ａｓ０からの光が受光され、該照射対象領域Ａｓ０からの光の強さに係る空間的な分布に応じた信号が取得され得る。

【0050】

ところで、＋Ｙ方向に平面視した場合、受光センサ５２２の光軸Ｌｎ１は、法線Ｌｖ０から点Ｐｓ０を中心として時計回りの方向に７．５度傾いている。このため、＋Ｙ方向に平面視した場合に、受光センサ５２２の光軸Ｌｎ１と第５照明モジュールＭ５の光軸Ｌｐ５とが、法線Ｌｖ０を対称軸とする線対称の関係を有している。これにより、例えば、検査対象物Ｗ１の上面が略平坦である場合には、第５照明モジュールＭ５によって検査対象物Ｗ１の表面が照明される場合に、検査対象物Ｗ１で生じる正反射光が、受光センサ５２２において受光され得る。つまり、例えば、第５照明モジュールＭ５による照明によって検査対象物Ｗ１で生じる正反射光が、受光センサ５２２で受光され、第１〜４，６〜９照明モジュールＭ１〜Ｍ４，Ｍ６〜Ｍ９による照明によって検査対象物Ｗ１で生じる散乱光が、受光センサ５２２で受光され得る。このため、受光センサ５２２から見て、第５照明モジュールＭ５が実質的に直接照明としての役割を果たし、第１〜４，６〜９照明モジュールＭ１〜Ｍ４，Ｍ６〜Ｍ９が実質的に散乱照明としての役割を果たし得る。

【0051】

したがって、本実施形態では、例えば、第５照明モジュールＭ５によって、受光センサ５２２が検査対象物Ｗ１から正反射光を受光する状態（直接照明状態とも言う）に設定され得る。また、例えば、第１〜４，６〜９照明モジュールＭ１〜Ｍ４，Ｍ６〜Ｍ９によって、受光センサ５２２が検査対象物Ｗ１から散乱光を受光する状態（散乱照明状態とも言う）に設定され得る。また、例えば、第５照明モジュールＭ５と第１〜４，６〜９照明モジュールＭ１〜Ｍ４，Ｍ６〜Ｍ９とによって、受光センサ５２２が検査対象物Ｗ１から正反射光と散乱光の双方を受光する状態（混合照明状態とも言う）が実現され得る。そして、検査対象物Ｗ１の状態に適した照明状態が採用されることで、検査対象物Ｗ１の検査精度が向上され得る。

【0052】

ここで、例えば、検査対象物Ｗ１の表面が鏡面状である場合、散乱照明状態に設定されれば、受光センサ５２２で得られる信号の強度が低くなり、直接照明状態に設定されれば、受光センサ５２２で得られる信号の強度が向上され得る。但し、直接照明状態に設定されれば、凹凸において過度なコントラストが生じ得るため、混合照明状態に適宜設定されれば良い。

【0053】

図５および図６は、検査対象物Ｗ１の具体例を模式的に示す図である。図５および図６で示されるように、例えば、検査対象物Ｗ１が、配線パターンＣｕ０が形成された樹脂製の基板Ｂｓ０である場合を想定する。この場合、直接照明状態に設定されれば、銅等の金属の配線パターンＣｕ０において受光センサ５２２に向かう正反射光が生じ易く、基板Ｂｓ０において光が散乱することで受光センサ５２２に向かう正反射光が生じ難い。その結果、受光センサ５２２で得られる信号において、配線パターンＣｕ０に係る信号の強度が、基板Ｂｓ０に係る信号の強度よりも相対的に高くなり得る。これにより、配線パターンＣｕ０の断線Ｄｆ１や欠けＤｆ２等が精度良く検出され得る。

【0054】

但し、例えば、配線パターンＣｕ０の表面における凹凸が大きな場合には、混合照明状態に設定されれば、該凹凸において過度なコントラストが生じ難い。このとき、受光センサ５２２で得られる信号において、配線パターンＣｕ０の輪郭部分に係る信号の強度の変化がある程度大きく、配線パターンＣｕ０上の凹凸に係る信号の強度の変化がある程度小さくなり得る。これにより、配線パターンＣｕ０の断線Ｄｆ１や欠けＤｆ２等が精度良く検出され得る。

【0055】

なお、例えば、検査対象物Ｗ１が、金属製のものであり、その金属表面における傷およびスクラッチの有無等を検査したい場合には、直接照明状態ではなく、散乱照明状態に設定されれば、金属表面における傷およびスクラッチが目立ち易い状態で、受光センサ５２２によって撮像され得る。さらに、このとき、例えば、第１〜４，６〜９照明モジュールＭ１〜Ｍ４，Ｍ６〜Ｍ９によって、検査対象物Ｗ１に対して光が照射される角度（照射角度とも言う）が適宜変更されることで、金属表面における傷およびスクラッチの目立ち易さが調整され得る。

【0056】

＜(２−２)照明モジュール＞
図７は、第１〜９照明モジュールＭ１〜Ｍ９の概略構成を例示する側面模式図である。図３で示されるように、第１〜９照明モジュールＭ１〜Ｍ９は、相互に回転対称の関係を有し、且つ相互に略同一の構成を有している。このため、ここでは、一例として、第５照明モジュールＭ５の構成を挙げて説明する。図８は、第５照明モジュールＭ５の概略構成を例示する正面模式図である。

【0057】

図７で示されるように、第５照明モジュールＭ５は、出射部列ＥＬ５および反射部Ｒｆ１を備えている。

【0058】

出射部列ＥＬ５は、予め設定された配列方向（＋Ｙ方向）に沿って配列された複数の出射部Ｅ５を有している。各出射部Ｅ５は、予め設定された出射方向にそれぞれ光を出射する。これにより、検査対象物Ｗ１の上面における照射対象領域Ａｓ０が照明され得る。ここでは、複数の出射部Ｅ５は、略同一の構成を有し、同種の光を出射する２つ以上の出射部Ｅ５を含んでいる。本実施形態では、複数の出射部Ｅ５と２つ以上の出射部Ｅ５とは、同一である。また、出射部列ＥＬ５では、例えば、複数の出射部Ｅ５が一定のピッチ（間隔）Ｐ０で配列されている。なお、ここで言う「同種の光」には、例えば、同様な波長域の光および同様なエネルギー強度を有する光等が含まれ得る。同様な波長域の光としては、例えば、同じ色の光等が含まれ得る。

【0059】

反射部Ｒｆ１は、複数の出射部Ｅ５の配列方向（＋Ｙ方向）と交差する方向（交差方向とも言う）に平面視して、配列方向（＋Ｙ方向）に直交するように配置された反射面Ｓｆ１を有している。これにより、複数の出射部Ｅ５から発せられる光が、反射面Ｓｆ１で反射されて、検査対象物Ｗ１に向けて照射され得る。このとき、検査対象物Ｗ１から見ると、反射面Ｓｆ１の存在によって、出射部列ＥＬ５が擬似的に延伸され得る。つまり、実際には出射部Ｅ５の数を増加させていないものの、出射部Ｅ５の数を増加させた場合と同等な状態が実現され得る。その結果、装置の大型化を招くことなく、簡易な構成で、検査対象物Ｗ１における単位面積当たりの光の照射強度が容易に向上され得る。この場合、特に、照射対象領域Ａｓ０の両端近傍の部分における光の照射強度が低下する不具合が解消され得る。なお、本実施形態では、配列方向（＋Ｙ方向）と交差方向とが直交し、反射面Ｓｆ１は、配列方向に直交するＸＹ平面に平行な面である。このような複数の出射部Ｅ５と反射面Ｓｆ１との配置関係が採用されれば、例えば、第５照明モジュールＭ５の設計および製造が容易に実現され得る。

【0060】

ところで、出射部列ＥＬ５を構成する２つ以上の出射部Ｅ５には、反射面Ｓｆ１から近い方から順に配列された、第１番目の出射部Ｅ５ｆと、第２番目の出射部Ｅ５ｓとが含まれている。ここで、上記交差方向に平面視して、反射面Ｓｆ１と第１番目の出射部Ｅ５ｆとの間隔（第１間隔とも言う）Ｍ０が、第１番目の出射部Ｅ５ｆと第２番目の出射部Ｅ５ｓとの間隔（第２間隔とも言う）Ｐ０の半分以下である。つまり、次の式（１）の関係を満たしている。

【0061】

Ｍ０≦Ｐ０／２ ・・・（１）。

【0062】

これにより、擬似的に延伸された出射部列ＥＬ５における擬似的な出射部Ｅ５のピッチが、実際の出射部Ｅ５のピッチＰ０以下となる。その結果、検査対象物Ｗ１における単位面積当たりの光の照射強度が容易に向上され得る。ここで、理論的には、例えば、Ｍ０＝Ｐ０／２の関係を満たしていれば、擬似的に延伸された出射部列ＥＬ５における擬似的な出射部Ｅ５のピッチが、実際の出射部Ｅ５のピッチＰ０と同一となり、検査対象物Ｗ１における単位面積当たりの光の照射強度が容易に向上され得る。

【0063】

但し、受光センサ５２２の撮像レンズの性能等によって、照射対象領域Ａｓ０のうちの両端近傍の領域からの光がその他の領域からの光よりも弱い強度の光として検出される傾向を示す現象（周辺減光とも言う）が生じる場合ある。このような場合には、例えば、Ｍ０＜Ｐ０／２の関係を満たすように、出射部Ｅ５と反射面Ｓｆ１とが配置されれば、擬似的に延伸された出射部列ＥＬ５における擬似的な出射部Ｅ５のピッチが、実際の出射部Ｅ５のピッチＰ０未満となる部分が生じ、周辺減光の影響が低減され得る。

【0064】

また、例えば、出射部Ｅ５の出射方向に平面視した場合、反射面Ｓｆ１が、検査対象物Ｗ１の照射対象領域Ａｓ０に重畳しないように配されれば、反射面Ｓｆ１によって、出射部Ｅ５から出射される光の一部が遮られて照射対象領域Ａｓ０に照射される不具合が生じ難い。

【0065】

また、図７および図８で示されるように、第５照明モジュールＭ５では、例えば、複数の出射部Ｅ５から出射される光が、検査対象物Ｗ１の表面の直線状の照射対象領域Ａｓ０に集光されるように、第１レンズ部Ｌ５ａおよび第２レンズ部Ｌ５ｂが設計されている。本実施形態では、図３および図８で示されるように、第１〜９照明モジュールＭ１〜Ｍ９のそれぞれにおける集光角が、１０〜１５度程度に設定されているが、これに限られず、例えば、１０〜２０度程度に設定されても良い。

【0066】

具体的には、図８で示されるように、例えば、出射部Ｅ５から出射される光におけるＸ方向およびＺ方向に拡がる光束が、第１レンズ部Ｌ５ａおよび第２レンズ部Ｌ５ｂによって、線状の照射対象領域Ａｓ０に集光され得る。ここで、第１レンズ部Ｌ５ａおよび第２レンズ部Ｌ５ｂは、例えば、シリンダーレンズまたはリニアフレネルレンズ等によって構成され得る。また、例えば、第２レンズ部Ｌ５ｂに、±Ｙ方向に光を拡散させる機能を付加すれば、検査対象物Ｗ１上の線状の照射対象領域Ａｓ０において、光が照射される強度にばらつきが生じ難くなる。ここで、例えば、レンチキュラーレンズあるいは一方向に光を散乱させる拡散板（例えば、Luminit社のlight Shaping Diffusers等）が付加されれば、第２レンズ部Ｌ５ｂに±Ｙ方向に光を拡散させる機能が付加され得る。ここでは、例えば、第２レンズ部Ｌ５ｂの第１レンズ部Ｌ５ａ側の表面、あるいは第２レンズ部Ｌ５ｂとは別に、レンチキュラーレンズまたは拡散板等が配される構成が採用され得る。

【0067】

なお、本実施形態では、第２レンズ部Ｌ５ｂの第１レンズ部Ｌ５ａ側にレンチキュラーレンズが付加されている。より具体的には、本実施形態では、出射部Ｅ５から出射される光束が拡がる光が、第１レンズ部Ｌ５ａとしての焦点距離ｆが１５ｍｍのリニアフレネルレンズによって、＋Ｙ方向に平面視して光束が略平行な光に変換され得る。さらに、第２レンズ部Ｌ５ｂとして、焦点距離ｆが５０ｍｍのリニアフレネルレンズの第１レンズ部Ｌ５ａ側にレンチキュラーレンズが形成されたものが配されることで、＋Ｙ方向に平面視して光束が略平行な光が、光束が縮小する光に変換されて、検査対象物Ｗ１の線状の照射対象領域Ａｓ０に集光され得る。

【0068】

図９および図１０は、レンチキュラーレンズの役割を説明するための図である。図９には、仮に、本実施形態の第５照明モジュールＭ５の第２レンズ部Ｌ５ｂからレンチキュラーレンズが取り除かれたレンズＬｃ０が採用される場合について、照射対象領域Ａｓ０の１点Ｐｅ１に照射される光の経路が参考例として模式的に示されている。図１０には、本実施形態の第５照明モジュールＭ５における、照射対象領域Ａｓ０の１点Ｐｅ１に照射される光の経路が模式的に示されている。図９で示される参考例では、９つの出射部Ｅ５から９本の経路で１点Ｐｅ１に光が照射される様子が示されている。これに対して、図１０で示されるように、９つの出射部Ｅ５から１点Ｐｅ１に向かう光の経路が、レンチキュラーレンズの存在によって、９本から増加され得る。これにより、照射対象領域Ａｓ０に対して、より多くの角度から光が照射される。その結果、線状の照射対象領域Ａｓ０において、照射される光の強度にばらつきが生じ難くなる。

【0069】

また、ここで、図１１で示されるように、出射部Ｅ５の出射方向において、反射面Ｓｆ１と出射部Ｅ５との距離をＳ０、検査対象物Ｗ１と出射部Ｅ５との距離をＬ０とする。また、検査対象物Ｗ１を出射部Ｅ５の出射方向に平面視した場合における、反射面Ｓｆ１と検査対象物Ｗ１の該反射面Ｓｆ１から最も離れた部分までの距離をＦ０とする。

【0070】

このとき、距離Ｓ０は、例えば、可能な限りゼロに近づけられることで、検査対象物Ｗ１から見て、反射面Ｓｆ１による出射部列ＥＬ５の擬似的な延伸が容易に実現され得る。なお、例えば、第５照明モジュールＭ５の構造によっては、距離Ｓ０をゼロに近づけることが難しい場合も想定される。その場合には、反射面Ｓｆ１に最も近い第１番目の出射部Ｅ５ｆから出射される光が該反射面Ｓｆ１で反射されて、検査対象物Ｗ１のうちの該反射面Ｓｆ１から最も遠い部分に照射されるように、幾何学的な配置から、次の式（２）の関係を満たすように、距離Ｓ０が設定されれば良い。

【0071】

Ｓ０≦Ｍ０×Ｌ０／（Ｆ０＋Ｍ０） ・・・（２）。

【0072】

但し、第１番目の出射部Ｅ５ｆから出射される光の光束が拡がる角度（拡がり角度とも言う）が狭い場合には、距離Ｓ０は、該拡がり角度に応じて、適宜設定されれば良い。

【0073】

＜(３)一実施形態のまとめ＞
以上のように、本実施形態に係る照明装置８では、例えば、各照明モジュールＭ１〜Ｍ９において、複数の出射部Ｅ５の配列方向（＋Ｙ方向）と交差する交差方向に平面視した場合、配列方向（＋Ｙ方向）に直交する反射面Ｓｆ１が設けられている。ここで、反射面Ｓｆ１から近い方から順に配列された、第１番目の出射部Ｅ５ｆと、第２番目の出射部Ｅ５ｓとについて、上記交差方向に平面視した場合、反射面Ｓｆ１と第１番目の出射部Ｅ５ｆとの第１間隔Ｍ０が、第１番目の出射部Ｅ５ｆと第２番目の出射部Ｅ５ｓとの第２間隔Ｐ０の半分以下とされている。これにより、検査対象物Ｗ１から見ると、反射面Ｓｆ１によって、出射部列ＥＬ５が擬似的に延伸され得る。そして、擬似的に延伸された出射部列ＥＬ５における擬似的な出射部Ｅ５のピッチが、実際の出射部Ｅ５のピッチ以下とされ、検査対象物Ｗ１における単位面積当たりの光の照射強度が容易に向上され得る。

【0074】

また、本実施形態に係る検査装置１では、例えば、照明部５２１によって照明された検査対象物Ｗ１について、受光センサ５２２によって、検査対象物Ｗ１からの光の強さに係る空間的な分布に応じた信号が取得され得る。このとき、本実施形態に係る照明部５２１によって、例えば、受光センサ５２２で得られる検査対象物Ｗ１からの光の強さに係る空間的な分布に応じた信号の強度が容易に高められ得る。その結果、例えば、検査の精度が高められ得る。

【0075】

＜(４)変形例＞
なお、本発明は上述の一実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。

【0076】

＜(４−１)第１変形例＞
例えば、上記一実施形態では、光を出射する出射部Ｅ１〜Ｅ９に、自発光する光源としてのＬＥＤが適用されたが、これに限られない。例えば、出射部Ｅ１〜Ｅ９以外に光源が設けられ、光ファイバー等の導光部によって、出射部Ｅ１〜Ｅ９に光が導かれても良い。

【0077】

図１２は、第１変形例に係る第１〜９照明モジュールＭ１Ａ〜Ｍ９Ａ（ｍが１〜９の整数であれば、第ｍ照明モジュールＭｍＡとも言う）の概略構成を例示する側面模式図である。第１〜９照明モジュールＭ１Ａ〜Ｍ９Ａは、相互に回転対称の関係を有し、且つ相互に略同一の構成を有し得る。このため、ここでは、一例として、第５照明モジュールＭ５Ａの構成を挙げて説明する。

【0078】

図１２で示されるように、例えば、光源ボックスＥＢ１で発せられた光が、光ファイバーの束であるファイバーバンドルＢＦ１によって第５照明モジュールＭ５Ａまで導かれ、さらに、各出射部Ｅ５まで光ファイバーが枝分かれしていることで、各出射部Ｅ５から光が出射され得る。

【0079】

このような構成が採用されれば、例えば、ＬＥＤの径よりも光ファイバーの径の方が小さくすることが容易であり、１つの出射部列ＥＬ５において、より多くの出射部Ｅ５を高密度に配置することが可能である。これにより、例えば、照射対象領域Ａｓ０上の１点Ｐｅ１に対して、より多くの角度から光が照射され得る。その結果、上記一実施形態のように、レンチキュラーレンズまたは拡散板等といった第２レンズ部Ｌ５ｂに±Ｙ方向に光を拡散させる機能が付加されなくても、線状の照射対象領域Ａｓ０において、照射される光の強度にばらつきが生じ難くなる。

【0080】

＜(４−２)第２変形例＞
また、上記一実施形態では、各出射部列ＥＬ１〜ＥＬ９に含まれる全ての出射部Ｅ１〜Ｅ９から同種の光が出射されたが、これに限られない。例えば、異なる種類の光をそれぞれ出射する２種類以上の出射部が配列された、出射部列ＥＬ１Ｂ〜ＥＬ９Ｂ（ｍが１〜９の整数であれば、出射部列ＥＬｍＢとも言う）が採用されても良い。

【0081】

図１３は、第２変形例に係る第１〜９照明モジュールＭ１Ｂ〜Ｍ９Ｂ（ｍが１〜９の整数であれば、第ｍ照明モジュールＭｍＢとも言う）の概略構成を例示する側面模式図である。第１〜９照明モジュールＭ１Ｂ〜Ｍ９Ｂは、相互に回転対称の関係を有し、且つ相互に略同一の構成を有し得る。このため、ここでは、一例として、第５照明モジュールＭ５Ｂの構成を挙げて説明する。

【0082】

図１３で示されるように、例えば、出射部列ＥＬ５Ｂを構成する複数の出射部が、第１種類の光を出射する２つ以上の第１出射部Ｒ５と、第２種類の光を出射する２つ以上の第２出射部Ｂ５とを含んでいる。なお、図１３で示される例では、出射部列ＥＬ５Ｂを構成する複数の出射部に、第３種類の光を出射する２つ以上の第３出射部Ｇ５が含まれている。図１３で示される例では、出射部列ＥＬ５Ｂが、５個の第１出射部Ｒ５、１０個の第２出射部Ｂ５および６個の第３出射部Ｇ５を含む２１個の出射部によって構成されている。

【0083】

ここでは、例えば、＋Ｙ方向に沿って並んでいる２１個の出射部のうち、６個の第３出射部Ｇ５は、＋Ｙ方向において、１、５、９、１３、１７、２１番目に配置されたものである。また、例えば、＋Ｙ方向に沿って並んでいる２１個の出射部のうち、５個の第１出射部Ｒ５は、＋Ｙ方向において、３、７、１１、１５、１９番目に配置されたものである。また、例えば、＋Ｙ方向に沿って並んでいる２１個の出射部のうち、１０個の第２出射部Ｂ５は、＋Ｙ方向において、２、４、６、８、１０、１２、１４、１６、１８、２０番目に配置されたものである。本変形例では、例えば、２１個の出射部が＋Ｙ方向に沿って略等間隔（略等ピッチ）で配列されている。つまり、例えば、５個の第１出射部Ｒ５が、略同一のピッチＰｒ０で配列され、１０個の第２出射部Ｂ５が、ピッチＰｒ０の約１／２のピッチＰｂ０で配列されている。また、例えば、６個の第３出射部Ｇ５が、略同一のピッチＰｒ０で配列されている。また、２１個の出射部の両端に位置する第３出射部Ｇ５は、例えば、それぞれ、反射面Ｓｆ１の延長線上に配されている。

【0084】

ところで、例えば、２つ以上の第１出射部Ｒ５には、反射面Ｓｆ１から近い方から順に配列された第１番目の第１出射部Ｒ５ｆと第２番目の第１出射部Ｒ５ｓとが含まれている。また、例えば、２つ以上の第２出射部Ｂ５には、反射面Ｓｆ１から近い方から順に配列された第１番目の第２出射部Ｂ５ｆと第２番目の第２出射部Ｂ５ｓとが含まれている。そして、２１個の出射部Ｅ５の配列方向（＋Ｙ方向）と交差する反射面Ｓｆ１に沿った方向（交差方向）に平面視して、反射面Ｓｆ１と第１番目の第１出射部Ｒ５ｆとの間隔（第３間隔とも言う）Ｍｒ０が、第１番目の第１出射部Ｒ５ｆと第２番目の第１出射部Ｒ５ｓとの間隔（第４間隔とも言う）Ｐｒ０の半分以下である。すなわち、例えば、同種の光を出射する２つ以上の出射部について、上記交差方向に平面視して、反射面Ｓｆ１と第１番目の出射部との間隔が、第１番目の出射部と第２番目の第１出射部との間隔の半分以下であれば良い。そして、上記交差方向に平面視して、反射面Ｓｆ１と第１番目の第２出射部Ｂ５ｆとの間隔（第５間隔とも言う）Ｍｂ０が、第１番目の第２出射部Ｂ５ｆと第２番目の第２出射部Ｂ５ｓとの間隔（第６間隔とも言う）Ｐｂ０の半分以下である。そして、第５間隔Ｍｂ０が、第３間隔Ｍｒ０よりも短く、第６間隔Ｐｂ０が、第４間隔Ｐｒ０よりも短い。

【0085】

このような構成が採用されるとき、例えば、制御部７によって、２つ以上の第１出射部Ｒ５からそれぞれ第１種類の光が出射されている状態（第１種出射状態とも言う）と、２つ以上の第２出射部Ｂ５からそれぞれ第２種類の光が出射されている状態（第２種出射状態とも言う）とを含む２種以上の出射状態のうちの１種の出射状態に、選択的に設定され得る場合を想定する。なお、２種以上の出射状態には、例えば、２つ以上の第３出射部Ｇ５からそれぞれ第３種類の光を出射させている状態（第３種出射状態とも言う）が含まれ得る。このとき、例えば、２つ以上の第１出射部Ｒ５および２つ以上の第２出射部Ｂ５がそれぞれ個別に点灯されれば、検査対象物Ｗ１から見ると、反射面Ｓｆ１の存在によって、出射部列ＥＬ５Ｂが擬似的に延伸され得る。そして、擬似的に延伸された出射部列ＥＬ５Ｂにおける擬似的な第１出射部Ｒ５のピッチが、実際の第１出射部Ｒ５のピッチＰｒ０以下となり、擬似的に延伸された出射部列ＥＬ５Ｂにおける擬似的な第２出射部Ｂ５のピッチが、実際の第２出射部Ｂ５のピッチＰｂ０以下となり得る。その結果、同種の光が照射される条件において、検査対象物Ｗ１における単位面積当たりの光の照射強度が容易に向上され得る。

【0086】

また、ここでは、２つ以上の第２出射部Ｂ５の配列数の方が、２つ以上の第１出射部Ｒ５の配列数よりも多い。このため、受光センサ５２２において、２つ以上の第１出射部Ｒ５から出射される第１種類の光に対する受光感度よりも、２つ以上の第２出射部Ｂ５から出射される第２種類の光に対する受光感度の方が低くても、例えば、受光センサ５２２における受光感度に応じた照明が可能となる。

【0087】

そして、第１種類の光が赤色の光を含み、第２種類の光が青色の光を含んでいれば、例えば、赤色の光よりも青色の光に対する受光感度の方が低い受光センサ５２２に応じた照明が可能となる。本実施形態では、第１種類の光が赤色の光であり、第２種類の光が青色の光であり、第３種類の光が緑色の光である。ここで、例えば、受光センサ５２２が、＋Ｙ方向に対応する方向に沿って配列されており且つ受光する光の強度に応じた信号をそれぞれ取得可能な複数のダイオードを含む場合が想定される。このとき、複数のダイオードは、例えば、赤色の光よりも青色の光に対する受光感度の方が低い場合が一般的である。したがって、例えば、受光センサ５２２における受光感度に応じた照明状態が実現されることで、検査対象物Ｗ１を対象とした検査の精度が高められ得る。

【0088】

ここで、例えば、赤色の光は、波長が６００〜７６０ｎｍ程度の光であり、緑色の光は、波長が５００〜５７０ｎｍ程度の光であり、青色の光は、波長が４００〜５００ｎｍ程度の光である。また、ここで、複数のダイオードとしては、例えば、シリコンダイオード等が採用され得る。また、受光センサ５２２としては、例えば、複数のダイオード等といった複数の受光素子Ａｅ１が一方向に配列されたラインセンサＬｓ１等が採用され得る。なお、ここで、例えば、各受光素子の前面にカラーフィルターが配される態様では、所望の色（例えば、青色）のカラーフィルターが配される受光素子が全ての受光素子において占める割合が増加されれば、所望の色の光に対する受光感度が適宜調整され得る。

【0089】

ところで、例えば、検査対象物Ｗ１が、樹脂製の基板上に銅等の金属製の配線パターンが形成されているプリント基板であれば、樹脂製の基板における赤色の光の吸収率が、配線パターンにおける赤色の光の吸収率よりも相対的に高い場合が想定される。この場合、例えば、プリント基板に対して、赤色の光が照射されれば、配線パターンが明るく、背景としての樹脂製の基板が暗く照明されている状態となり得る。一方、樹脂製の基板における青色の光の吸収率が、配線パターンにおける青色の光の吸収率よりも相対的に低い場合が想定される。このとき、例えば、プリント基板に対して、青色の光が照射されれば、配線パターンが暗く、背景としての樹脂製の基板が明るく照明されている状態となり得る。また、検査対象物Ｗ１としてのプリント基板の上面の法線Ｌｖ０に対して成す角度がより大きな光軸を有する照明モジュールから青色の光がプリント基板に照射されれば、配線パターンよりも樹脂製の基板が相対的に明るく照明されている状態となり得る。また、例えば、検査対象物Ｗ１の表面に付着した皮脂汚れの有無が検査の対象であれば、例えば、皮脂における青色の光の吸収率が、皮脂が付着していないその他の部分における青色の光の吸収率よりも高い場合が想定される。このとき、例えば、検査対象物Ｗ１に対して、青色の光が照射されれば、皮脂汚れが付着した部分が暗く、その他の部分が明るく照明されている状態となり得る。また、ポリイミド製の基板が採用される場合、赤色の光は、該基板を透過し易く、青色の光は、該基板を透過し難い。このため、例えば、基板の裏面にも配線パターンが形成されている場合には、赤色の光ではなく、青色の光が照明される方が、基板の表面における検査が適正に行われ得る。但し、ポリイミド製の基板の厚みが厚い場合および該基板の裏面に配線パターンが形成されていない場合には、配線パターンが相対的に明るく照明され得る赤色の光で照明される方が、基板の表面における検査が適正に行われ得る。

【0090】

したがって、例えば、検査対象物Ｗ１についての検査内容に応じて、赤色の光および青色の光の何れの光を検査対象物Ｗ１に照射するのかが決定されれば、検査精度が高められ得る。

【0091】

また、ここで、第３種類の光として、緑色の光が用いられる代わりに、例えば、赤外光（ＩＲ光）が用いられても良い。ここで、赤外光としては、例えば、約８００ｎｍ程度の光が採用され得る。この場合、例えば、検査対象物Ｗ１が、配線パターンが形成されたプリント基板であれば、基板における赤外光の吸収率が、配線パターンにおける赤外光の吸収率よりも顕著に高い。このため、赤外光が検査対象物Ｗ１に照射されると、検査の精度が高められ得る。なお、第３種類の光として、例えば、紫外光（ＵＶ光）が採用されても良い。すなわち、本願における「光」には、例えば、可視光だけでなく、赤外光（ＩＲ光）および紫外光（ＵＶ光）等が含まれる。

【0092】

＜(４−３)その他の変形例＞
例えば、上記一実施形態の各第ｍ照明モジュールＭｍでは、配列方向としての＋Ｙ方向に沿って配列される複数の出射部Ｅｍは、例えば、＋Ｙ方向に仮想的に伸びる直線上から若干ずれた位置に配置されても良い。

【0093】

また、上記一実施形態では、各第ｍ照明モジュールＭｍについて、複数の出射部Ｅｍが一列に並ぶ出射部列ＥＬｍが採用されていたが、これに限られない。例えば、各第ｍ照明モジュールＭｍは、相互に略平行に並ぶ２列以上の出射部列ＥＬｍを有していても良い。このとき、例えば、第１〜３種類の光を発する３種類の出射部が、市松模様を形成するように配列されれば、複数の出射部Ｅｍの配設密度が向上し、検査対象物Ｗ１に対して照射される光の強度が上昇し得る。

【0094】

また、上記一実施形態では、各出射部列ＥＬｍにおいて複数の出射部Ｅｍが配列されるピッチが略一定であったが、これに限られない。例えば、受光センサ５２２の撮像レンズの性能等によって生じ得る周辺減光の影響を低減するために、各出射部列ＥＬｍにおいて、配列方向の中央近傍よりも両端近傍において、複数の出射部Ｅｍが配列されるピッチが短くなるように設定されても良い。

【0095】

また、上記一実施形態では、各出射部列ＥＬｍにおける複数の出射部Ｅｍの配列方向に対して、反射面Ｓｆ１が垂直に配されていたが、これに限られない。例えば、複数の出射部Ｅｍから光が出射される出射方向と配列方向とを含む仮想的な平面（仮想平面とも言う）に対して垂直である条件を満たすのであれば、反射面Ｓｆ１が出射部列ＥＬｍに対して若干傾けられても良い。但し、このとき、反射面Ｓｆ１が、出射部列ＥＬｍから離れる方向に回転するように傾けられれば、検査対象物Ｗ１から見た擬似的な出射部Ｅｍのピッチが、実際の出射部Ｅｍのピッチ以下となり得る。なお、例えば、上記仮想平面に対して垂直である条件を満たすのであれば、反射面Ｓｆ１に若干凹凸が設けられても良い。

【0096】

また、上記一実施形態では、照明部５２１が、９つの照明モジュールＭ１〜Ｍ９を有していたが、これに限られない。例えば、照明部５２１が、直接照明状態を実現する第５照明モジュールＭ５と、散乱照明状態を実現する第１〜４，６〜９照明モジュールＭ１〜Ｍ４，Ｍ６〜Ｍ９のうちの少なくとも１つの照明モジュールとが配された照明部に変更されても良いし、９つの照明モジュールＭ１〜Ｍ９のうちの任意の２つ以上の照明モジュールが配された照明部に変更されても良い。この場合、２つ以上の照明モジュールから出射される光の出射方向と、検査対象物Ｗ１の上面とが成す角度は、適宜変更され得る。

【0097】

このように、２つ以上の照明モジュールを有する照明部が採用されれば、照明部は、複数の出射部列を備えており、該複数の出射部列は、第１の複数の出射部を有する第１出射部列と、第２の複数の出射部列を有する第２出射部列とを有している。ここで、第１出射部列を構成する第１の複数の出射部は、配列方向（例えば、＋Ｙ方向）に沿って配列され且つ第１出射方向にそれぞれ光を出射する。また、第２出射部列を構成する第２の複数の出射部は、上記配列方向（例えば、＋Ｙ方向）に沿って配列され且つ第２出射方向にそれぞれ光を出射する。そして、上記配列方向に平面視したときに、第１出射方向と第２出射方向とが点Ｐｓ０（すなわち、照射対象領域Ａｓ０）で交差すれば、例えば、検査対象物Ｗ１の状態に応じて、検査対象物Ｗ１に対する光の照射角度が切り替えられ得る。

【0098】

また、例えば、照明部５２１が、９つの照明モジュールＭ１〜Ｍ９のうちの１つの照明モジュールが配された照明部に変更されても良い。但し、このときは、検査対象物Ｗ１に対する光の照射角度を切り替える機能が省略される。

【0099】

また、上記一実施形態では、検査装置１において、主走査と副走査とが交互に行われたが、これに限られない。例えば、主走査および副走査のうちの何れか一方の走査が行われる構成が採用されても良い。

【0100】

また、上記一実施形態では、受光センサ５２２として、ラインセンサＬｓ１が採用されたが、これに限られない。例えば、受光センサ５２２が、各第ｍ照明モジュールＭｍにおける複数の出射部Ｅｍの配列方向に対応する方向にそれぞれ配列された複数の受光素子をそれぞれ含む相互に平行な複数の受光素子の列を有するものに変更されても良い。

【0101】

また、上記一実施形態では、各第ｍ照明モジュールＭｍにおいて、第１レンズ部Ｌｍａおよび第２レンズ部Ｌｍｂによって光が照射対象領域Ａｓ０に集光されたが、これに限られない。例えば、１つのレンズ部によって光が照射対象領域Ａｓ０に集光されても良いし、各出射部Ｅｍから薄い平板状の光路を有する指向性の強い光が出射される場合には、第１レンズ部Ｌｍａおよび第２レンズ部Ｌｍｂの双方が省略されても良い。

【0102】

なお、上記一実施形態および各種変形例をそれぞれ構成する全部または一部を、適宜矛盾しない範囲で組み合わせ可能であることは、言うまでもない。そして、第１変形例および第２変形例に対し、その他の変形例の特徴を、適宜矛盾しない範囲で適用可能である。

【符号の説明】

【0103】

１ 検査装置
５ 測定部
７ 制御部
８ 照明装置
５２１ 照明部
５２２ 受光センサ
Ａｅ１ 受光素子
Ｂ５ 第２出射部
Ｂ５ｆ 第１番目の第２出射部
Ｂ５ｓ 第２番目の第２出射部
Ｅ１〜Ｅ９（Ｅｍ） 出射部
Ｅ５ｆ 第１番目の出射部
Ｅ５ｓ 第２番目の出射部
ＥＬ１〜ＥＬ９（ＥＬｍ），ＥＬ１Ｂ〜ＥＬ９Ｂ（ＥＬｍＢ） 出射部列
Ｇ５ 第３出射部
Ｌｓ１ ラインセンサ
Ｌｖ０ 法線
Ｍ０ 第１間隔
Ｍ１〜Ｍ９（Ｍｍ），Ｍ１Ａ〜Ｍ９Ａ（ＭｍＡ），Ｍ１Ｂ〜Ｍ９Ｂ（ＭｍＢ） 第１〜９照明モジュール（第ｍ照明モジュール）
Ｍｂ０ 第５間隔
Ｍｒ０ 第３間隔
Ｐ０ 第２間隔
Ｐｂ０ 第６間隔
Ｐｒ０ 第４間隔
Ｒ５ 第１出射部
Ｒ５ｆ 第１番目の第１出射部
Ｒ５ｓ 第２番目の第１出射部
Ｒｆ１ 反射部
Ｓｆ１ 反射面
Ｗ１ 検査対象物

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】