発明の名称 照明装置、および検査装置
出願人 株式会社SCREENホールディングス (識別番号 207551)
特許公開件数ランキング 59 位(428件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 69 位(333件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-6625901
公報発行日 2019年12月25
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6625901
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