発明の名称 荷電粒子線装置及び走査電子顕微鏡
出願人 松定プレシジョン株式会社 (識別番号 399105623)
特許公開件数ランキング 966 位(0件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 956 位(0件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-6626936
公報発行日 2019年12月25
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6626936
知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-6626936「荷電粒子線装置及び走査電子顕微鏡」の公報全文を閲覧することができます。
ログインはこちら ログイン・ユーザー登録