特許6635586薄膜製造方法及び成膜装置

発明の名称　薄膜製造方法及び成膜装置

出願人　岡山県　（識別番号 591060980）

　　　　特許公開件数ランキング 14225 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12103 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6635586

公報発行日　2020年1月29

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6635586

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-6635586「薄膜製造方法及び成膜装置」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録