特許第6636239号(P6636239)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6636239単結晶ダイヤモンドの製造方法、単結晶ダイヤモンド、単結晶ダイヤモンド基板の製造方法、単結晶ダイヤモンド基板及び半導体デバイス
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