特許 6640285 フィルム延伸装置及び方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6640285

(24)【登録日】2020年1月7日

(45)【発行日】2020年2月5日

(54)【発明の名称】フィルム延伸装置及び方法

(51)【国際特許分類】

   B29C 55/20 20060101AFI20200127BHJP

   B29C 55/04 20060101ALI20200127BHJP

   B29L 7/00 20060101ALN20200127BHJP

【ＦＩ】

   B29C55/20

   B29C55/04

   B29L7:00

【請求項の数】10

【全頁数】10

(21)【出願番号】特願2018-124549(P2018-124549)

(22)【出願日】2018年6月29日

(65)【公開番号】特開2019-98740(P2019-98740A)

(43)【公開日】2019年6月24日

【審査請求日】2018年6月29日

(31)【優先権主張番号】201711230737.2

(32)【優先日】2017年11月29日

(33)【優先権主張国】CN

(73)【特許権者】

【識別番号】518231172

【氏名又は名称】東泰高科装備科技有限公司

【氏名又は名称原語表記】ＤＯＮＧＴＡＩ ＨＩ−ＴＥＣＨ ＥＱＵＩＰＭＥＮＴ ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ ＣＯ．， ＬＴＤ

(74)【代理人】

【識別番号】110001195

【氏名又は名称】特許業務法人深見特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】ゾウ・ジンチェン

(72)【発明者】

【氏名】ウェイ・ミン

(72)【発明者】

【氏名】シェン・ビンビン

【審査官】 関口 貴夫

(56)【参考文献】

【文献】 米国特許出願公開第２０１５／０２０２８２１（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 特表２０１２−５２２６６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 欧州特許出願公開第０１１４７８７６（ＥＰ，Ａ１）

【文献】 米国特許第０６４８７９０２（ＵＳ，Ｂ１）

【文献】 米国特許第０５４６８１３８（ＵＳ，Ａ）

【文献】 米国特許第０８６４１４０８（ＵＳ，Ｂ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ２９Ｃ ５５／００−５５／３０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

固定部材機及び移動部材を含み、前記固定部材は第１の固定板及び第２の固定板を含み、前記第１の固定板と前記第２の固定板は対向して設置されると共に、それぞれフィルムの両端を固定するために用いられ、前記移動部材は前記第１の固定板及び／又は前記第２の固定板に接続されて、前記第１の固定板及び／又は前記第２の固定板を移動させるように駆動することにより、前記フィルムを延伸し、
前記第１の固定板と前記第２の固定板にいずれも真空吸着孔が設置されることを特徴とするフィルム延伸装置。

【請求項2】

前記固定部材は、第１の押付板及び第２の押付板をさらに含み、前記第１の押付板と前記第２の押付板は、それぞれ前記第１の固定板と前記第２の固定板に対応して設置されて、前記フィルムの両端をそれぞれ前記第１の固定板と前記第２の固定板の上面に押し付けることを特徴とする請求項１に記載のフィルム延伸装置。

【請求項3】

前記固定部材は、駆動素子をさらに含み、前記駆動素子は前記第１の押付板と前記第２の押付板に接続されて、前記第１の押付板と前記第２の押付板が前記フィルムの両端をそれぞれ前記第１の固定板と前記第２の固定板の上面に押し付けるように制御することを特徴とする請求項２に記載のフィルム延伸装置。

【請求項4】

前記駆動素子は、第１の回転軸ドライバ及び第２の回転軸ドライバを含み、前記第１の回転軸ドライバは前記第１の押付板の回転軸に接続されて、前記第１の押付板を前記第１の固定板に向かって回転させるように制御し、前記第２の回転軸ドライバは前記第２の押付板の回転軸に接続されて、前記第２の押付板を前記第２の固定板に向かって回転させるように制御することを特徴とする請求項３に記載のフィルム延伸装置。

【請求項5】

真空発生装置をさらに含み、前記真空発生装置は前記真空吸着孔により前記フィルムを前記第１の固定板と前記第２の固定板に固定することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のフィルム延伸装置。

【請求項6】

前記移動部材は押動素子及びガイドレールを含み、前記ガイドレールは前記フィルムの延伸方向に沿って設置され、前記第１の固定板及び／又は前記第２の固定板は前記ガイドレールに設置され、前記押動素子は前記第１の固定板及び／又は前記第２の固定板に接続されて、前記第２の固定板と前記第１の固定板を前記ガイドレールに沿って反対方向に移動させるように押動することを特徴とする請求項１に記載のフィルム延伸装置。

【請求項7】

前記押動素子はサーボモータ及びねじナット部材を含み、前記サーボモータの出力軸は軸継手により前記ねじナット部材に接続され、前記ねじナット部材はプッシュブロックにより前記第１の固定板及び／又は前記第２の固定板に接続されることを特徴とする請求項６に記載のフィルム延伸装置。

【請求項8】

固定板をさらに含み、前記サーボモータはモータホルダにより前記固定板に固定され、前記ねじナット部材はねじサポートにより前記固定板に固定され、前記ガイドレールは前記固定板に固定されることを特徴とする請求項７に記載のフィルム延伸装置。

【請求項9】

制御素子をさらに含み、前記制御素子はセンサ及びコントローラを含み、前記センサは、前記フィルムの延伸程度を検出すると共に、検出信号を前記コントローラに伝送するために用いられ、前記コントローラは、前記移動部材に接続されて、前記検出信号に基づいて、前記移動部材によって駆動された前記第１の固定板及び／又は前記第２の固定板の移動距離を制御することを特徴とする請求項８に記載のフィルム延伸装置。

【請求項10】

フィルムの両端をそれぞれ対向して設置された第１の固定板と第２の固定板に固定するステップＳ１と、
移動部材を起動して、第１の固定板と第２の固定板を反対方向に移動させるように駆動し、或いは第２の固定板を第１の固定板から離れる方向に沿って移動させるように駆動するステップＳ２とを含み、
ステップＳ１は、具体的には、
マニピュレーターによりフィルムを第１の固定板と第２の固定板に送るステップＳ１１と、
第１の固定板と第２の固定板に対応すると共に、対向して設置された第１の押付板と第２の押付板を起動して、フィルムの両端を第１の固定板と第２の固定板の上面に押し付けるステップＳ１２とを含み、
ステップＳ１の後に、
第１の固定板と第２の固定板がフィルムの両端を吸着するステップＳ１３をさらに含むことを特徴とするフィルム延伸方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、太陽電池の技術分野に関し、特にフィルム延伸装置及び方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

製造プロセス過程において、フィルムをある程度の硬度のフレームに貼り付けて輸送及び後続の処理を行う必要があり、フィルムが柔らかいため、延伸によりフィルムの全面を平坦化してこそ正確に位置決めすることができ、その後にフレームに貼り付ける。現在、該分野のフィルムは、フレームに貼り付ける前に延伸されず、貼り付けられた後にフィルムにしわが付き、かつフィルムの延伸前に正確に位置決めすることができないという問題が存在する。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0003】

（一）解決しょうとする技術的問題
本発明が解決しようとする技術的問題は、従来のフィルムがフレームに貼り付けられた後にしわが出るという問題を解決することである。

【課題を解決するための手段】

【0004】

（二）技術手段
上記技術的問題を解決するために、本発明は、固定部材及び移動部材を含み、前記固定部材は第１の固定板及び第２の固定板を含み、前記第１の固定板と前記第２の固定板は対向して設置されると共に、それぞれフィルムの両端を固定するために用いられ、前記移動部材は前記第１の固定板及び／又は前記第２の固定板に接続されて、前記第１の固定板及び／又は前記第２の固定板を移動させるように駆動することにより、前記フィルムを延伸するフィルム延伸装置を提供する。

【0005】

前記固定部材は、第１の押付板及び第２の押付板をさらに含み、前記第１の押付板と前記第２の押付板は、それぞれ前記第１の固定板と前記第２の固定板に対応して設置されて、前記フィルムの両端をそれぞれ前記第１の固定板と前記第２の固定板の上面に押し付ける。

【0006】

前記固定部材は、駆動素子をさらに含み、前記駆動素子は前記第１の押付板と前記第２の押付板に接続されて、前記第１の押付板と前記第２の押付板が前記フィルムの両端をそれぞれ前記第１の固定板と前記第２の固定板の上面に押し付けるように制御する。

【0007】

前記駆動素子は、第１の回転軸ドライバ及び第２の回転軸ドライバを含み、前記第１の回転軸ドライバは前記第１の押付板の回転軸に接続されて、前記第１の押付板を前記第１の固定板に向かって回転させるように制御し、前記第２の回転軸ドライバは前記第２の押付板の回転軸に接続されて、前記第２の押付板を前記第２の固定板に向かって回転させるように制御する。

【0008】

前記第１の固定板と前記第２の固定板にいずれも真空吸着孔が設置される。
真空発生装置をさらに含み、前記真空発生装置は前記真空吸着孔により前記フィルムを前記第１の固定板と前記第２の固定板に固定する。

【0009】

前記移動部材は押動素子及びガイドレールを含み、前記ガイドレールは前記フィルムの延伸方向に沿って設置され、前記第１の固定板及び／又は前記第２の固定板は前記ガイドレールに設置され、前記押動素子は前記第１の固定板及び／又は前記第２の固定板に接続されて、前記第２の固定板と前記第１の固定板を前記ガイドレールに沿って反対方向に移動させるように押動する。

【0010】

前記押動素子はサーボモータ及びねじナット部材を含み、前記サーボモータの出力軸は軸継手により前記ねじナット部材に接続され、前記ねじナット部材はプッシュブロックにより前記第１の固定板及び／又は前記第２の固定板に接続される。

【0011】

固定板をさらに含み、前記サーボモータはモータホルダにより前記固定板に固定され、前記ねじナット部材はねじサポートにより前記固定板に固定され、前記ガイドレールは前記固定板に固定される。

【0012】

制御素子をさらに含み、前記制御素子はセンサ及びコントローラを含み、前記センサは、前記フィルムの延伸程度を検出すると共に、検出信号を前記コントローラに伝送するために用いられ、前記コントローラは、前記移動部材に接続されて、前記検出信号に基づいて、前記移動部材によって駆動された前記第１の固定板及び／又は前記第２の固定板の移動距離を制御する。

【0013】

本発明は、フィルムの両端をそれぞれ対向して設置された第１の固定板と第２の固定板に固定するステップＳ１と、
移動部材を起動して、第１の固定板と第２の固定板を反対方向に移動させるように駆動し、或いは第２の固定板を第１の固定板から離れる方向に沿って移動させるように駆動するステップＳ２とを含むフィルム延伸方法をさらに提供する。

【0014】

ステップＳ１は、具体的には、
マニピュレーターによりフィルムを第１の固定板と第２の固定板に送るステップＳ１１と、
第１の固定板と第２の固定板に対応すると共に、対向して設置された第１の押付板と第２の押付板を起動して、フィルムの両端を第１の固定板と第２の固定板の上面に押し付けるステップＳ１２とを含む。

【0015】

ステップＳ１２の後に、
第１の固定板と第２の固定板がフィルムの両端を吸着するステップＳ１３をさらに含む。

【0016】

ステップＳ１は、具体的には、
マニピュレーターによりフィルムを第１の固定板と第２の固定板に送るステップＳ１１と、
第１の固定板と第２の固定板がフィルムの両端を吸着するステップＳ１２とを含む。

【発明の効果】

【0017】

（三）有益な効果
本発明の上記技術手段は、以下の利点を有する。本発明のフィルム延伸装置及び方法は、固定部材の第１の固定板及び第２の固定板によりフィルムの両端を固定した後、移動部材により第１の固定板と第２の固定板を同時に移動させるように駆動するか、又は第１の固定板又は第２の固定板を単独に移動させるように駆動することにより、第１の固定板と第２の固定板は互いに離れて移動して、フィルムの延伸を実現し、最終的にフィルムの全面をしわが付かないように平坦化し、その正確な位置決めに便利となり、貼付後にしわが出るという問題を解決する。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】図１は、本発明の実施例のフィルム延伸装置の構造概略図である。

【図2】図２は、本発明の実施例のフィルム延伸装置のフィルム延伸前の構造概略図である。

【図3】図３は、本発明の実施例のフィルム延伸装置のフィルム延伸後の構造概略図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

上述した本発明の解決しようとする技術的問題、技術手段を構成した技術的特徴、及びこれらの技術手段の技術的特徴の利点以外、本発明の他の技術的特徴及びこれらの技術的特徴の利点は、図面を参照しながらさらに説明する。

【0020】

本発明の実施例の目的、技術手段及び利点をより明確にするために、以下、本発明の実施例の図面を参照しながら、本発明の実施例の技術手段を明確かつ完全に説明し、明らかに、説明される実施例は、本発明の一部の実施例に過ぎず、全ての実施例ではない。本発明の実施例に基づいて、当業者が創造的な労働をしない前提で取得した全ての他の実施例は、いずれも本発明の保護範囲に属する。

【0021】

本発明の説明において、説明すべきことは、別に明確な規定及び限定を有しない限り、用語「取付」、「連結」、「接続」を広義に理解すべきであり、例えば、固定接続であっても、着脱可能な接続であっても、一体的な接続であってもよく、機械的接続であっても、電気的接続であってもよく、直接接続であっても、中間媒体による間接的接続であっても、２つの素子内部の連通であってもよい。当業者にとって、具体的な状況に基づいて上記用語の本発明での具体的な意味を理解することができる。

【0022】

また、本発明の説明において、別に記載されない限り、「複数」、「複数本」、「複数グループ」の意味は２つ又は２つ以上であり、「いくつか」、「いくつの本」「いくつのグループ」の意味は１つ又は１つ以上である。

【0023】

図１、図２及び図３に示すように、本発明の実施例に係るフィルム延伸装置は、固定部材１及び移動部材２を含み、固定部材１は第１の固定板１１及び第２の固定板１２を含み、第１の固定板１１と第２の固定板１２は対向して設置されると共に、それぞれフィルム５の両端を固定するために用いられ、移動部材２は第１の固定板１１及び／又は第２の固定板１２に接続されて、第１の固定板１１及び／又は第２の固定板１２を移動させるように駆動することにより、フィルム５を延伸する。

【0024】

本発明のフィルム延伸装置は、固定部材の第１の固定板１１及び第２の固定板１２によりフィルム５の両端を固定した後、移動部材２により第１の固定板１１と第２の固定板１２を同時に移動させるように駆動するか、又は第１の固定板１１又は第２の固定板１２を単独に移動させるように駆動することにより、第１の固定板１１と第２の固定板１２は互いに離れて移動して、フィルム５の延伸を実現し、最終的にフィルム５の全面をしわが付かないように平坦化し、その正確な位置決めに便利となり、貼付後にしわが出るという問題を解決する。

【0025】

フィルム５の両端は、貼付、押付、吸着等の方式で第１の固定板１１と第２の固定板１２に固定され、本実施例では、押付と吸着の組み合わせ方式を用いるため、固定部材１は、第１の押付板１３及び第２の押付板１４をさらに含み、第１の押付板１３と第２の押付板１４は、それぞれ第１の固定板１１と第２の固定板１２に対応して設置されて、フィルム５の両端をそれぞれ第１の固定板１１と前記第２の固定板１２の上面に押し付ける。第１の押付板１３と第２の押付板１４は、まずフィルム５を第１の固定板１１と第２の固定板１２に予め押し付けた後、第１の固定板１１、第２の固定板１２は吸着し固定することにより、吸着の成功率を保証し、フィルムの固定程度を効果的に向上させることができる。固定部材１は、駆動素子１５をさらに含み、駆動素子１５は第１の押付板１３と第２の押付板１４に接続されて、第１の押付板１３と第２の押付板１４がフィルム５の両端をそれぞれ第１の固定板１１と第２の固定板１２の上面に押し付けるように制御する。駆動素子１５は、伸縮シリンダ等のような装置で線形駆動して、第１の押付板１３と第２の押付板１４の昇降を制御してフィルム５を押し付けてもよく、揺動シリンダ、モータ等のような装置で回転駆動して、第１の押付板１３と第２の押付板１４を反転して合わせるように制御してフィルム５を押し付けてもよい。かつ、第１の押付板１３と第２の押付板１４にそれぞれドライバが設置されてもよいし、両者に共通に一つのドライバが設置されてもよい。

【0026】

具体的には、本実施例は、２つの押付板をそれぞれ反転して合わせるための駆動素子１５が設置され、駆動素子１５は第１の回転軸ドライバ１５１及び第２の回転軸ドライバ１５２を含み、第１の回転軸ドライバ１５１は第１の押付板１３の回転軸に接続されて、第１の押付板１３を第１の固定板１１に向かって回転させるように制御し、第２の回転軸ドライバ１５２は第２の押付板１４の回転軸に接続されて、第２の押付板１４を第２の固定板１２に向かって回転させるように制御する。第１の回転軸ドライバ１５１は、第１の押付板１３を第１の固定板１１に向かって９０°往復回転させるように制御することができ、第２の回転軸ドライバ１５２は、第２の押付板１４を第２の固定板１２に向かって９０°往復回転させるように制御することができ、延伸前にフィルム５の押付板による押付と延伸終了後にフィルム５から押付板の離れを実現する。本実施例において、第１の回転軸ドライバ１５１は、ボルトにより第１の固定板１１に接続され、第２の回転軸ドライバ１５２は、ボルトにより第２の固定板１２に接続される。

【0027】

第１の固定板１１と第２の固定板１２にいずれも真空吸着孔３が設置される。第１の固定板１１と第２の固定板１２の頂面に一定数量の真空吸着孔３を有し、垂直方向に真空吸着力を提供してフィルム５を吸着するために用いられ、真空吸着力は、一定の吸着力を保証すると共に、フィルム５に与える破壊力が小さいため、フィルム５を吸着延伸の過程において破損しない。第１の押付板１３と第２の押付板１４は、フィルム５を押し付けた後、第１の固定板１１と第２の固定板１２はそれを吸着し固定することにより、吸着固定の効果を確保することに役立つ。

【0028】

本発明のフィルム延伸装置は、真空発生装置をさらに含み、真空発生装置は真空吸着孔３によりフィルム５を第１の固定板１１と第２の固定板１２に固定する。第１の固定板１１と第２の固定板１２が真空吸着力を発生することは、いずれも真空発生装置によって実現される。本発明の他の実施例において、操作を容易にするために、押付板を使用せず、固定板に吸着孔又は帯状吸着溝のみを設置してフィルムの固定を実現することができる。

【0029】

さらに、移動部材２は押動素子２１及びガイドレール２２を含み、ガイドレール２２はフィルム５の延伸方向に沿って設置され、第２の固定板１２はガイドレール２２に設置され、押動素子２１は第２の固定板１２に接続されて、第２の固定板１２をガイドレール１１に沿って第１の固定板１１から離れる方向に移動させるように押動する。第２の固定板１２の底部はボルトによりスライドブロックに接続され、スライドブロックはガイドレール２２に設置されると共に、ガイドレール２２に沿って直線摺動する。押動素子２１は、シリンダ押動又はねじナット等のような直線往復を実現できる駆動素子を選択してもよい。本発明の他の実施例において、第１の固定板と第２の固定板にいずれもガイドレールが取付けられてもよく、押動素子は別個又は同時に第１の固定板及び第２の固定板を制御して、第１の固定板と第２の固定板を反対方向に移動させるように押動する。

【0030】

さらに、押動素子２１はサーボモータ２１１及びねじナット部材２１２を含み、サーボモータ２１１の出力軸は軸継手２１３によりねじナット部材２１２に接続され、ねじナット部材２１２はプッシュブロック２１４により第２の固定板１２に接続される。本実施例は、モータ駆動ねじを押動素子２１として選択し、被駆動素子の進退距離を容易かつ正確に制御することができる。サーボモータ２１１が動作するとき、ねじナット部材２１２のねじを回転させるように駆動することができ、ねじの回転によりねじナット部材２１２のナットをねじで直線移動させるように駆動し、ナットが移動すると、ナットに接続されたプッシュブロック２１４を移動させるように駆動することにより、第２の固定板１２をガイドレール２２で直線往復移動させるように駆動して、フィルム５の延伸を実現する。

【0031】

本発明のフィルム延伸装置は、固定板４をさらに含み、第１の固定板１１が固定板４に固定され、サーボモータ２１１がモータホルダ４１により固定板４に固定され、ねじナット部材２１２がねじサポート４２により固定板４に固定され、ガイドレール２２がいずれも固定板４に固定される。ガイドレール２２はボルトにより固定板に固定される。モータホルダ４１は、一端がボルトによりサーボモータ２１１に接続され、他端が固定板４に固定される。ねじナット部材２１２は、ねじサポート４２により固定板４に固定され、ねじサポート４２は支持側ねじサポート、固定側ねじサポートを含み、支持側ねじサポート、固定側ねじサポートはボルトにより固定板４に固定され、ボルト構造は容易に着脱される。

【0032】

本発明のフィルム延伸装置は、制御素子をさらに含み、制御素子はセンサ及びコントローラを含み、センサは、フィルム５の延伸程度を検出すると共に、検出信号をコントローラに伝送するために用いられ、コントローラは、移動部材２に接続され、検出信号に基づいて、移動部材２によって駆動された第１の固定板１１及び／又は第２の固定板１２の移動距離を制御する。コントローラはセンサによって検出されたフィルム５の延伸情報を取得することにより、押動素子２１の起動停止の動作を制御し、フィルム５の延伸程度を一致させることを保証し、フィルム５が過度の延伸により破裂して破損することを防止する。

【0033】

本発明の実施例は、フィルム５の両端をそれぞれ対向して設置された第１の固定板１１と第２の固定板１２に固定するステップＳ１と、
移動部材２を起動して、第１の固定板１１と第２の固定板１２を反対方向に移動させるように駆動し、或いは第２の固定板１２を第１の固定板１１から離れる方向に沿って移動させるように駆動するステップＳ２とを含むことを特徴とするフィルム延伸方法をさらに提供する。

【0034】

ステップＳ１は、具体的には、
マニピュレーターによりフィルム５を第１の固定板１１と第２の固定板１２に送るステップＳ１１と、
第１の固定板１１と第２の固定板１２に対応すると共に、対向して設置された第１の押付板１３と第２の押付板１４を起動して、フィルム５の両端を第１の固定板１１と第２の固定板１２の上面に押し付けるステップＳ１２とを含む。

【0035】

本発明のフィルム延伸装置は、まず第１の押付板１３と第２の押付板１４によりフィルム５の両端をそれぞれ第１の固定板１１と第２の固定板１２に押し付け、移動部材２により第１の固定板１１と第２の固定板１２を同時に移動させるように駆動するか、又は第１の固定板１１又は第２の固定板１２を単独に移動させるように駆動することにより、第２の固定板１２と第１の固定板１１は互いに離れて移動して、フィルム５の延伸を実現し、最終的にフィルム５の全面をしわが付かないように平坦化し、その正確な位置決めに便利となり、貼付後にしわが出るという問題を解決する。

【0036】

ステップＳ１２の後に、
第１の固定板１１と第２の固定板１２がフィルム５の両端を吸着するステップＳ１３を含む。

【0037】

本発明のフィルム延伸方法において、第１の固定板１１と第２の固定板１２にフィルム５を固定する方式は押付固定に限定されず、本実施例において、第１の固定板１１と第２の固定板１２は吸着機能をさらに備え、第１の押付板１３と第２の押付板１４が押し付けた後、第１の固定板１１と第２の固定板１２はフィルム５をさらに吸着し固定する。理解すべきことは、本発明は吸着の方式でフィルムを固定することができる。

【0038】

要約すると、本発明のフィルム延伸装置及び方法は、固定部材の第１の固定板及び第２の固定板によりフィルムの両端を吸着し固定した後、移動部材により第１の固定板と第２の固定板を同時に移動させるように駆動するか、又は第１の固定板又は第２の固定板を単独に移動させるように駆動することにより、第１の固定板と第２の固定板は互いに離れて移動して、フィルムの延伸を実現し、最終的にフィルムの全面をしわが付かないように平坦化し、その正確な位置決めに便利となり、貼付後にしわが出るという問題を解決する。

【0039】

最後に、説明すべきことは、以上の実施例は本発明の技術手段を説明するものに過ぎず、それを限定するものではなく、前述の実施例を参照しながら本発明を詳細に説明したが、当業者にとっては、依然として前述の各実施例に記載の技術手段を修正するか、又はその中の一部の技術的特徴に同等置換を行うことができると共に、これらの修正又は置換は、対応する技術手段の本質を本発明の各実施例の技術手段の主旨及び範囲から逸脱させることができないことを理解すべきである。

【符号の説明】

【0040】

１ 固定部材、２ 移動部材、３ 真空吸着孔、４ 固定板、５ フィルム、１１ 第１の固定板、１２ 第２の固定板、１３ 第１の押付板、１４ 第２の押付板、１５ 駆動素子、２１ 押動素子、２２ ガイドレール、４１ モータホルダ、４２ ねじサポート、１５１ 第１の回転軸ドライバ、１５２ 第２の回転軸ドライバ、２１１ サーボモータ、２１２ ねじナット部材、２１３ 軸継手、２１４ プッシュブロック。

【図1】

【図2】

【図3】