特許6640456膜形成方法

発明の名称　膜形成方法

出願人　一般財団法人ファインセラミックスセンター　（識別番号 173522）

　　　　特許公開件数ランキング 2825 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 3945 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6640456

公報発行日　2020年2月5

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6640456

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