特許6642612イオン源、イオンビーム照射装置及びイオン源の運転方法

発明の名称　イオン源、イオンビーム照射装置及びイオン源の運転方法

出願人　日新イオン機器株式会社　（識別番号 302054866）

　　　　特許公開件数ランキング 1219 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1250 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6642612

公報発行日　2020年2月5

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6642612

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