特許 6645009 紫外線硬化処理システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6645009

(24)【登録日】2020年1月14日

(45)【発行日】2020年2月12日

(54)【発明の名称】紫外線硬化処理システム

(51)【国際特許分類】

   B01J 19/12 20060101AFI20200130BHJP

   B05C 9/12 20060101ALI20200130BHJP

【ＦＩ】

   B01J19/12 C

   B05C9/12

【請求項の数】2

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2015-1244(P2015-1244)

(22)【出願日】2015年1月7日

(65)【公開番号】特開2016-123944(P2016-123944A)

(43)【公開日】2016年7月11日

【審査請求日】2017年11月13日

(73)【特許権者】

【識別番号】000000192

【氏名又は名称】岩崎電気株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001081

【氏名又は名称】特許業務法人クシブチ国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】荒山 実

(72)【発明者】

【氏名】小幡 一男

(72)【発明者】

【氏名】関根 康人

(72)【発明者】

【氏名】新堂 博美

【審査官】 関根 崇

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００７−０７５７９４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−２１６１５４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−０７４４０８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１４−１３３００７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−２５１７６４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１４−０６５２０４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００１−１１５７６５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ０１Ｊ １９／０８−１２

Ｂ０５Ｃ ９／１２

Ｂ０５Ｄ ３／０６

Ｂ４１Ｆ ２３／０４

Ｇ０５Ｄ １６／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

酸素濃度を低める雰囲気ガスが内部に導入され、当該内部をワークが通過するパージボックスと、前記パージボックスの内部のワークに紫外線を照射する紫外線照射器と、を有した紫外硬化用装置と、
前記パージボックスへの雰囲気ガスの吐出圧力を入力信号に応じて制御する電空レギュレータを備え、前記吐出圧力の調整により前記パージボックスに導入される前記雰囲気ガスの流量を調整する流量調整装置と、
前記流量調整装置が備える電空レギュレータを遠隔操作する遠隔操作装置と、
前記紫外硬化用装置、及び前記流量調整装置に電力を供給する電源装置と、を備え、
前記流量調整装置は、
異常発生時に前記パージボックスへの雰囲気ガスの供給を遮断する電磁弁を備え、
前記電空レギュレータは、
前記電磁弁の上流側に設けられ、かつガス吸入側に一定以上のガス圧が加えられており、
前記遠隔操作装置は、
前記吐出圧力を指示するユーザ操作を受け付ける操作部と、
前記ユーザ操作によって指示された吐出圧力と前記電空レギュレータに入力する指示信号との対応を予め記憶したメモリを有し、当該メモリに記憶された前記対応に基づいて前記入力信号を生成して前記流量調整装置に出力する信号生成部と、を備え、
前記電源装置が、前記操作部、及び前記信号生成部を備える
ことを特徴とする紫外線硬化処理システム。

【請求項2】

前記操作部は、前記電源装置を遠隔操作する装置に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の紫外線硬化処理システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ワークに紫外線を照射して紫外線硬化処理するシステムに関する。

【背景技術】

【0002】

例えば印刷システムやフィルムコーティングシステム等では、ワークに紫外線を照射して紫外線硬化処理する紫外線硬化処理システムが用いられている。印刷システムを例にすると、ワークたるシートに紫外線硬化型のＵＶインキを塗布した後、ワークを搬送しながら紫外線照射器によって紫外線を照射し、ＵＶインキを紫外線硬化させてシートに定着させることで印刷が行われる。

【0003】

紫外線硬化処理システムにおいては、紫外線硬化の効率を高めるために、酸素濃度を低下させた雰囲気下で紫外線をワークに照射する技術も知られている。例えば、印刷システムにおいて、窒素ガスを内部に導入することで酸素濃度を低下させた窒素パージボックスを備え、この窒素パージボックスの内部にシートを通し、当該内部で紫外線を照射する技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１４−６５２０４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

一般に、窒素パージボックスと窒素供給源を繋ぐ配管経路には、窒素パージボックスに流す窒素ガスの流量を調整する窒素ガス流量調整装置が設けられており、窒素ガス流量調整装置に設けられた操作部を作業者が操作して流量調整が行われている。
しかしながら、大規模な紫外線硬化処理システムにおいては、紫外線照射器を含む本体と窒素ガス流量調整装置とが非常に離れて設置されることが多々ある。このような場合、作業者が窒素ガスの流量調整のために、態々本体を離れて窒素ガス流量調整装置の元まで移動する必要があり作業が非常に煩雑である。

【0006】

本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、パージボックスに供給する雰囲気ガスの調整操作を容易とする紫外線硬化処理システムを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記目的を達成するために、本発明は、酸素濃度を低める雰囲気ガスが内部に導入され、当該内部をワークが通過するパージボックスと、前記パージボックスの内部のワークに紫外線を照射する紫外線照射器と、を有した紫外硬化用装置と、前記パージボックスへの雰囲気ガスの吐出圧力を入力信号に応じて制御する電空レギュレータを備え、前記吐出圧力の調整により前記パージボックスに導入される前記雰囲気ガスの流量を調整する流量調整装置と、前記流量調整装置が備える電空レギュレータを遠隔操作する遠隔操作装置と、前記紫外硬化用装置、及び前記流量調整装置に電力を供給する電源装置と、を備え、前記流量調整装置は、異常発生時に前記パージボックスへの雰囲気ガスの供給を遮断する電磁弁を備え、前記電空レギュレータは、前記電磁弁の上流側に設けられ、かつガス吸入側に一定以上のガス圧が加えられており、前記遠隔操作装置は、前記吐出圧力を指示するユーザ操作を受け付ける操作部と、前記ユーザ操作によって指示された吐出圧力と前記電空レギュレータに入力する指示信号との対応を予め記憶したメモリを有し、当該メモリに記憶された前記対応に基づいて前記入力信号を生成して前記流量調整装置に出力する信号生成部と、を備え、前記電源装置が、前記操作部、及び前記信号生成部を備えることを特徴とする紫外線硬化処理システムを提供する。

【0010】

また本発明は、上記紫外線硬化処理システムにおいて、前記操作部は、前記電源装置を遠隔操作する装置に設けられていることを特徴とする。

【発明の効果】

【0011】

本発明によれば、流量調整装置が電空レギュレータを備え、この電空レギュレータを遠隔操作する遠隔操作装置を備えるため、ユーザは、流量調整操作のために流量調整装置に移動する必要はなく、遠隔操作装置を用いて速やか、かつ簡単に流量調整操作をすることができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本発明の実施形態に係るフィルムコーティングシステムの概略構成を示す図である。

【図2】パージボックスの断面を照射器、及びローラと共に示す拡大図である。

【図3】パージボックスの構成をローラと共に示す斜視図である。

【図4】電空レギュレータの吐出圧力と、分岐管ごとの流量検出値の合計値との関係を示す図である。

【図5】吐出圧力とパージボックスの酸素濃度検出値との関係を示す図である。

【図6】作業者が行う窒素流量調整手順を示すフローチャートである。

【図7】操作装置のタッチパネルにおける表示例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
本実施形態では、紫外線硬化処理システムの一態様として、フィルムコーティングシステムを例示する。

【0014】

図１は、本実施形態に係るフィルムコーティングシステム１の概略構成を示す図である。
フィルムコーティングシステム１は、紫外線硬化型のコーティング剤が塗布されたワーク２に紫外線を照射してコーティング剤を紫外線硬化させるシステムであり、ワーク２は、例えば光学フィルム等の各種のフィルム状の材料である。
図１に示すように、このフィルムコーティングシステム１は、装置本体たる紫外硬化用装置４と、電源装置６と、窒素ガス流量調整盤８と、操作装置１０とを備えている。

【0015】

紫外硬化用装置４は、紫外線硬化処理を行う主装置であり、搬送機構１２と、複数（図示例では２つ）の照射器１４と、パージボックス１６と、を備えている。
搬送機構１２は、ワーク２を搬送する装置であり、このワーク２を周回動させるローラ１９を備えている。ローラ１９は、モータ（図示せず）に直結され、或いは、カップリングを介し減速機を経由してモータに接続されて回転駆動される。なお、ローラ１９に代えて、ワーク２を搬送する任意の機構を用いることもできる。

【0016】

照射器１４は、紫外線をワーク２に照射する紫外線照射器であり、ローラ１９の周面に対面配置されている。照射器１４の光源には、コーティング剤の硬化速度を速めてコーティング処理のスループット向上を図るために、高出力タイプの紫外線放電ランプ２０（例えば水銀ランプなど）が用いられている。

【0017】

パージボックス１６は、酸素濃度を低めた雰囲気下でワーク２に紫外線照射をするために設けられている装置であり、雰囲気ガスとして不活性ガスが注入されて内部の酸素濃度が低められている。このフィルムコーティングシステム１が不活性ガスに用いるガスは窒素ガスであり、窒素ガスに代えて、ヘリウムガスやネオンガス、アルゴンガス等の希ガスを不活性ガスに用いることもできる。

【0018】

図２はパージボックス１６の断面を照射器１４、及びローラ１９と共に示す拡大図であり、図３はパージボックス１６の構成をローラ１９と共に示す斜視図である。
図２、及び図３に示すように、パージボックス１６は、ローラ１９の周面１９Ａが挿入される開口２４を有した筐体２５を備えている。この筐体２５には、開口２４から挿入されたローラ１９の周面１９Ａに対面する箇所に、図３に示すように、当該ローラ１９の幅方向に延びる紫外線導入窓２６が設けられている。照射器１４は紫外線照射口１４Ａを紫外線導入窓２６に向けて配設され、紫外線照射口１４Ａから照射された紫外線が紫外線導入窓２６を通じてパージボックス１６に導入されローラ１９の周面１９Ａに照射される。このパージボックス１６は、波長フィルタ等の適宜の光学フィルタ２７が紫外線導入窓２６に設けられており、紫外線硬化処理に適した光学特性の紫外線が周面１９Ａに照射される。

【0019】

ワーク２は、ローラ１９の回動に伴って開口２４からパージボックス１６の中に導かれ、パージボックス１６の中で紫外線が照射されてコーティング剤が紫外線硬化され（紫外線硬化処理され）、開口２４から排出される。

【0020】

またパージボックス１６には、図２、及び図３に示すように、ローラ１９の幅方向に延びて筐体２５を貫通する複数本（図示例では６本）の雰囲気ガス導入パイプ３０が設けられている。雰囲気ガス導入パイプ３０は、雰囲気ガスをパージボックス１６の内部に導入し、当該内部に噴出するパイプである。すなわち、雰囲気ガス導入パイプ３０の周面には、多数のノズル開口３１がローラ１９の幅に亘って設けられており、これらノズル開口３１から雰囲気ガスが噴射される。この雰囲気ガスの噴射によってパージボックス１６の中の酸素濃度が低められる。

【0021】

特に、このパージボックス１６では、図２に示すように、紫外線導入窓２６から導入された紫外線が照射される照射箇所Ｐに雰囲気ガスが吹き付けられるように雰囲気ガス導入パイプ３０が設けられている。これにより、照射箇所Ｐを含む範囲が雰囲気ガスリッチな状態に維持されることとなり、他の箇所に比べて相対的に酸素濃度が低い状態の下で紫外線照射が効率的に行われる。

【0022】

なお、図１の紫外硬化用装置４には、紫外線硬化処理に要する主要な構成を図示している。すなわち、紫外硬化用装置４は、図１に示す構成の他にも、ワーク２にコーティング剤を塗布する装置や、紫外線硬化処理後にワーク２のコーティング面を乾燥する装置といった、フィルムコーティング処理の実施に要する各種の装置や部材を備えている。

【0023】

前掲図１に戻り、電源装置６は、商用電源３４の電力をフィルムコーティングシステム１の各部に供給する装置である。商用電源３４は、このフィルムコーティングシステム１が設置される施設に供給されている商用の交流電力である。電源装置６は、商用電源３４の商用電力を電力変換する電力変換装置３５を備え、電力変換装置３５が紫外硬化用装置４、及び窒素ガス流量調整盤８を稼働させる電力を生成する。この電源装置６は、通常、施設が備える電源設備（例えば分電盤や配電盤）等の近傍に設置され、この電源装置６と紫外硬化用装置４の間は、高圧電力を伝送する高圧線３６、電力の制御信号を伝送する制御線３７によって接続されている。高圧線３６の高圧電力は、例えば照射器１４に供給され紫外線放電ランプ２０の点灯に用いられる。電力の制御信号には、電力値の安定化制御等の各種の制御に要する信号が含まれている。
また、電源装置６と窒素ガス流量調整盤８の間は、当該窒素ガス流量調整盤８の駆動電力を伝送する電源線３８によって接続されている。

【0024】

この電源装置６が置かれる場所は、上述のとおり、施設の電源設備の位置に依存することがあり、必ずしも、紫外硬化用装置４の近傍に配置されるとは限らない。電源装置６が紫外硬化用装置４から離れて設置されている場合、特に紫外硬化用装置４が置かれた室Ｂ（例えばクリーンルーム等）とは別の室に電源装置６が配置されている場合、紫外硬化用装置４を操作している作業者は、電源の投入／遮断等の電源操作の度に、態々電源装置６まで移動する必要があり、作業性が悪い。

【0025】

そこで、このフィルムコーティングシステム１では、電源装置６を遠隔操作する操作装置１０が紫外硬化用装置４の近傍、或いは当該紫外硬化用装置４に設けられている。
操作装置１０は、通信線３９によって電源装置６と通信可能に接続されており、作業者の操作を受け付け、この操作を通信によって電源装置６に送信する。なお、電源装置６と操作装置１０の間の通信は、有線に限らず無線通信であっても良い。また、この通信には任意のプロトコルを用いることができる。

【0026】

この操作装置１０は、操作子の一例たるタッチパネル４０を備え、このタッチパネル４０には、各種の情報が表示されている。この情報には、フィルムコーティングシステム１を用いた紫外線硬化処理に係る各種のパラメータが含まれている。このパラメータには、例えば窒素ガス流量調整盤８が吐出する窒素ガスの吐出圧力が含まれるが、これについては後述する。
なお、操作装置１０が、これら各種の情報を表示する表示装置を、タッチパネル４０とは別に備えることもできる。また、操作装置１０は、タッチパネル４０に代えて任意の操作子を備えることもできる。

【0027】

窒素ガス流量調整盤８は、窒素ガス供給源４２に接続され、窒素ガスを雰囲気ガスとしてパージボックス１６に供給する装置である。窒素ガス供給源４２は、施設が備える設備であり、例えば多数の窒素ガスボンベ等を備えて構成されている。
この窒素ガス流量調整盤８が置かれる場所は、窒素ガス供給源４２に応じた場所に設置され紫外硬化用装置４の近傍とは限らず、窒素ガス供給源４２の位置に応じて配置される。
窒素ガス流量調整盤８は、窒素ガス供給源４２とガス配管４６によって接続され、このガス配管４６にはＭＲユニット４４、及び圧力計４５が設けられている。
ＭＲユニット４４は、減圧弁と、窒素ガスから水分や塵埃を除去する除去ユニットとを備えた装置であり、圧力計４５はガス配管４６の中のガス圧を検出する計器である。

【0028】

作業者は、フィルムコーティングシステム１を稼働させるときには、圧力計４５の値を確認しながら、ＭＲユニット４４の減圧弁のバルブを手動操作して、窒素ガス供給源４２から窒素ガス流量調整盤８に供給する窒素ガスの圧力を所定値に調整する。

【0029】

窒素ガス流量調整盤８は、パージボックス１６との間がガス配管４８によって接続されている。このフィルムコーティングシステム１では、ガス配管４８は１本ではなく、パージボックス１６が備える複数本分だけ窒素ガス流量調整盤８から引き出されている。
具体的には、図１に示すように、窒素ガス流量調整盤８の内部には、窒素ガス供給源４２のガス配管４６が接続される導入管６０と、この導入管６０を雰囲気ガス導入パイプ３０の本数分だけ分岐する分岐管６１とを備えている。これら分岐管６１ごとにガス配管４８が接続され、これらのガス配管４８が雰囲気ガス導入パイプ３０の各々に接続されている。これら分岐管６１のそれぞれ、及びガス配管４８のそれぞれは、ガス抵抗や流量に違いを生じさせない程度に径、及び一長さが揃えられている。

【0030】

導入管６０には常開の電磁弁６２が設けられており、各種の異常発生時に閉成制御され、パージボックス１６への窒素ガスの供給が遮断される。

【0031】

さらに、この窒素ガス流量調整盤８は、図１に示すように、酸素濃度検出機構６６と、流量調整機構６７とを備えている。
酸素濃度検出機構６６は、パージボックス１６の中の酸素濃度を検出する機構であり、サンプル導入配管６８と、酸素濃度計６９と、サンプル切替電磁弁７０とを備えている。サンプル導入配管６８は、パージボックス１６の中のガスを採取して酸素濃度検出機構６６に導入するために設けられた配管である。パージボックス１６には内部に貫通する配管接続開口５０（図１）が複数の箇所に設けられており、それぞれの配管接続開口５０に、サンプル導入配管６８が接続されている。

【0032】

これらサンプル導入配管６８は、窒素ガス流量調整盤８の内部でサンプル切替電磁弁７０に接続され、このサンプル切替電磁弁７０には酸素濃度計６９が接続されている。
サンプル切替電磁弁７０は、サンプル導入配管６８を択一的に選択し、当該サンプル導入配管６８から導入されるガスを酸素濃度計６９に供給する。酸素濃度計６９は、サンプル切替電磁弁７０から供給されるガスの酸素濃度を検出する。
この酸素濃度検出機構６６は、サンプル切替電磁弁７０がサンプル導入配管６８を一定時間ごとに順次に切り替えて選択し、これにより、パージボックス１６の配管接続開口５０の各々で採取される酸素濃度が順次に検出され、配管接続開口５０の各々の酸素濃度のバラツキや平均値等の各種の値が求められる。

【0033】

流量調整機構６７は、導入管６０に設けられた電空レギュレータ７１と、分岐管６１の各々に設けられたスピードコントローラ７４、及び流量センサ７２と、を備えている。
電空レギュレータ７１は、導入管６０への吐出圧力を制御するレギュレータであり、通常雰囲気（非真空状態）で用いられるものである。吐出圧力が制御によって調整されることで、分岐管６１のそれぞれを流れる窒素ガスの流量が一括して調整される。
スピードコントローラ７４は、分岐管６１を流れる窒素ガスの流量を調整するものであり、流量センサ７２は、この分岐管６１を流れる窒素ガスの流量を検出する。
分岐管６１の各々の流量にバラツキが生じている等して、それぞれを個別に調整する必要がある場合には、スピードコントローラ７４を用いて調整が行われる。

【0034】

図４は、電空レギュレータ７１の吐出圧力と、分岐管６１ごとの流量検出値の合計値との関係を示す図であり、図５は吐出圧力とパージボックス１６の酸素濃度検出値との関係を示す図である。
図４に示すように、分岐管６１の流量は電空レギュレータ７１の吐出圧力に略正比例しており、所望の流量に対応する吐出圧力を指示することで、分岐管６１の各々の流量を一括して調整できることが分かる。
また図５に示すように、図４において吐出圧力と流量が略正比例する吐出圧力範囲Ｗでは、吐出圧力を高めるほど酸素濃度が低められ非常に低い値に維持されることが分かる。

【0035】

前掲図１に戻り、この窒素ガス流量調整盤８には、操作パネル７３が設けられている。この操作パネル７３には、電空レギュレータ７１の吐出圧力、酸素濃度計６９の酸素濃度、及び流量センサ７２の流量の各々の値を表示する表示パネル（図示せず）と、電空レギュレータ７１の吐出圧力、スピードコントローラ７４、及び電磁弁６２の操作に用いる操作子（図示せず）とが設けられている。
作業者は、操作パネル７３の表示を見ながら電空レギュレータ７１やスピードコントローラ７４を調整し、必要に応じて電磁弁６２を閉じて窒素ガスの供給を遮断できるようになっている。

【0036】

しかしながら、この窒素ガス流量調整盤８は、上述の通り、必ずしも、紫外硬化用装置４の近傍に配置されるとは限らない。したがって、紫外硬化用装置４を操作している作業者は、電空レギュレータ７１、酸素濃度計６９、及び流量センサ７２の各々の値の確認や電空レギュレータ７１の吐出圧力調整のために、窒素ガス流量調整盤８の操作パネル７３まで移動する必要があり作業性が悪い。また、窒素ガスの流量調整に要する時間は、窒素ガス流量調整盤８の元まで作業者が移動する時間分をロスすることになる。

【0037】

そこで、このフィルムコーティングシステム１では、電源装置６の操作装置１０が窒素ガス流量調整盤８の遠隔操作装置として構成されている。この構成により、作業者は紫外硬化用装置４の傍らで作業しながら、操作装置１０を操作して窒素ガス流量調整盤８の電空レギュレータ７１を遠隔操作し、吐出圧力を調整できるようにしている。

【0038】

窒素ガス流量調整盤８の遠隔操作の構成について詳述すると、窒素ガス流量調整盤８と電源装置６は、互いに通信可能に通信線８０で接続されており、操作装置１０が受け付けたユーザ操作が電源装置６に入力され、当該電源装置６から通信線８０を通じて窒素ガス流量調整盤８に入力される。
また窒素ガス流量調整盤８は、電空レギュレータ７１の吐出圧力、酸素濃度計６９の酸素濃度、及び流量センサ７２の流量の各々の値を電源装置６に通信線８０を通じて送信し、当該電源装置６が操作装置１０に出力し、当該操作装置１０が電空レギュレータ７１、酸素濃度計６９、及び流量センサ７２の各々の値をタッチパネル４０に表示する。これにより作業者は、これらの値を窒素ガス流量調整盤８まで行かずとも紫外硬化用装置４の傍で作業しながら確認できる。

【0039】

窒素ガス流量調整盤８が備える電空レギュレータ７１は、吐出圧力を指示する指示信号が入力される入力回路と、当該指示信号Ｄに応じて吐出圧力を無段階に調整する調整回路とを含む電気回路ユニット７１Ｂをレギュレータ７１Ａに設けたレギュレータデバイスであり、外部の装置から指示信号Ｄを入力することで吐出圧力を電気制御可能なものである。

【0040】

ここで電空レギュレータ７１は、吐出圧力の制御の際には、ガス吸入側に一定以上のガス圧が加えられることで、良好な応答速度で吐出圧力が制御される。この電空レギュレータ７１が設けられる導入管６０には、弁体である電磁弁６２も設けられているが、この電磁弁６２よりも上流側に電空レギュレータ７１が配置されているため、応答速度が電磁弁６２の開度によって損なわれることがない。

【0041】

このフィルムコーティングシステム１では、係る電空レギュレータ７１を電源装置６が外部から制御するように構成されている。
具体的には、電源装置６は、ＰＬＣ回路８３と、通信回路８４とを備えている。ＰＬＣ回路８３は、操作装置１０に対する作業者の操作に基づいて電空レギュレータ７１の指示信号Ｄを生成して通信回路８４に出力するプログラマブルロジックコントローラ（Programmable Logic Controller）である。
このＰＬＣ回路８３には、吐出圧力のユーザ指示値と、電空レギュレータ７１に入力する指示信号Ｄの対応を予め記憶したメモリが設けられており、ＰＬＣ回路８３は、当該対応に基づいて指示信号Ｄを生成する。通信回路８４は、通信線８０を通じて窒素ガス流量調整盤８と通信する回路である。

【0042】

一方、窒素ガス流量調整盤８は、上記電源装置６と通信線８０を通じて通信する通信回路８５を備え、これら通信回路８４、８５の通信を通じて、上記指示信号Ｄが電源装置６から窒素ガス流量調整盤８に送信される。
窒素ガス流量調整盤８は、電源装置６から指示信号Ｄを受信すると、この指示信号Ｄを電空レギュレータ７１に入力し、電空レギュレータ７１が指示信号Ｄに基づいて吐出圧力を調整する。
これにより、作業者は、紫外硬化用装置４の傍に居ながら操作装置１０に吐出圧力の指示値を入力する操作をすることで、窒素ガス流量調整盤８の電空レギュレータ７１が遠隔操作され、パージボックス１６に流れる窒素ガスの流量が調整されることとなる。

【0043】

図６は、作業者がフィルムコーティングシステム１を稼働させる際に行う窒素流量調整手順を示すフローチャートである。
同図に示すように、作業者は、先ず、窒素ガス供給源４２の図示せぬバルブを操作する等してガス配管４６への窒素ガスの供給を開始し（ステップＳ１）、ＭＲユニット４４により窒素ガス中の塵埃やミストを除去する（ステップＳ２）。
次いで、作業者は、ＭＲユニット４４に内蔵の減圧弁を圧力計４５の値を確認しながら所定の圧力値に調整する（ステップＳ３）。これにより、窒素ガス流量調整盤８に所定圧力値に一定に維持された窒素ガスが供給される。

【0044】

次いで作業者は、電源装置６と窒素ガス流量調整盤８を通信させ、電空レギュレータ７１を電源装置６の操作装置１０から遠隔操作可能な状態にする（ステップＳ４）。これにより、操作装置１０が電空レギュレータ７１の遠隔操作装置として機能するようになり、作業者は、操作装置１０を用いて電空レギュレータ７１の吐出圧力を遠隔操作できるようになる。
そして作業者が操作装置１０を操作して電空レギュレータ７１を遠隔操作して吐出圧力を所定の値に調整すると（ステップＳ５）、この窒素ガス流量調整盤８からパージボックス１６に窒素ガス導入される。この結果、パージボックス１６の中は、電空レギュレータ７１の吐出圧力に応じた酸素濃度（図５）に維持される。

【0045】

図７は、操作装置１０のタッチパネル４０における表示例を示す図である。
タッチパネル４０には、紫外硬化用装置４の照射器１４の稼働状態、及び窒素ガスの供給状態を示す稼働状態表示欄７５に加え、各種の設定値を表示する設定値表示欄７６が設けられている。この設定値表示欄７６には、電空レギュレータ７１の吐出圧力（図示例では、「電空レギュレータ出力」）を表示する表示欄７６Ａが設けられている。この表示欄７６Ａの表示により、作業者は、電空レギュレータ７１の現在の値（設定値）を窒素ガス流量調整盤８から離れていても知ることができる。
また、この操作装置１０は、タッチパネル４０の設定値表示欄７６へのタッチ操作により、各種の設定値（ユーザ指示値）の入力操作を受け付け電源装置６に送信する。
作業者が電空レギュレータ７１を遠隔操作する場合には、表示欄７６Ａをタッチ操作して、吐出圧力の指示値をタッチ操作により入力することとなる。

【0046】

このタッチパネル４０は、酸素濃度計６９の酸素濃度、及び流量センサ７２の流量を表示する「モニタ画面」に画面表示を切り替える「モニタ」ボタン７７が設けられている。
作業者は、「モニタボタン」７７を操作してモニタ画面を表示することで、酸素濃度や流量をモニタリングすることができる。

【0047】

そして何らかの要因により、酸素濃度計６９が所定の値まで低下しない場合には、作業者は、電空レギュレータ７１の吐出圧力を高めるように操作装置１０を操作して電空レギュレータ７１を遠隔操作することになる（図６：ステップＳ６）。
また、作業者は、モニタ画面の表示により分岐管６１の各々で流量にバラツキが生じていると判断した場合、パージボックス１６の中に酸素濃度ムラが生じるおそれがあるため、スピードコントローラ７４を用いて流量の調整を行う（図６：ステップＳ７）。このスピードコントローラ７４に対する操作は、窒素ガス流量調整盤８の操作パネル７３を用いて行われるが、電空レギュレータ７１と同様に、操作装置１０のタッチパネル４０から遠隔操作可能に構成してもよい。

【0048】

またタッチパネル４０には、図７に示すように、異常発生時に窒素ガス供給を緊急停止するために操作する「異常」ボタン７８が設けられている。この「異常」ボタン７８の操作は、指示信号Ｄと同様に、電源装置６を通じて窒素ガス流量調整盤８に入力され、窒素ガス流量調整盤の図示せぬ制御回路が、この入力に基づいて電磁弁６２を閉成制御する。

【0049】

これにより、作業者が図６のステップＳ５において窒素ガスを紫外硬化用装置４に供給開始したとき、或いは、紫外硬化用装置４の稼働中に何らかの異常を察知したときには、操作装置１０の「異常」ボタン７８を操作することで窒素ガス流量調整盤８を遠隔操作し窒素ガス供給を速やかに遮断することができる（図６：ステップＳ８）。

【0050】

なおタッチパネル４０には、メインメニュー画面に表示を切り替える「メイン」ボタンや、ＰＬＣ回路８３の設定画面に表示を切り替える「ＰＬＣ」ボタンなどの各種のボタンも設けられている。

【0051】

以上説明したように、本実施形態によれば、窒素ガス流量調整盤８が流量を調整するレギュレータとして、電空レギュレータ７１を備え、この電空レギュレータ７１を遠隔操作する操作装置１０を備える構成とした。
これにより、作業者（ユーザ）は、窒素ガスの流量調整操作のために窒素ガス流量調整盤８に移動する必要はなく、操作装置１０を用いて速やか、かつ簡単に流量調整操作をすることができる。
また流量調整のレギュレータが電空レギュレータ７１であるから、吐出圧力が手動調整されるのではなく、電子制御によって調整されるので、正確かつ速やかに吐出圧力を所定の値に維持し、パージボックス１６の中の酸素濃度を所定の値まで速やかに低め、維持することができる。

【0052】

また本実施形態によれば、窒素ガス流量調整盤８は、異常発生時にパージボックス１６への窒素ガスの供給を遮断する電磁弁６２を備え、電空レギュレータ７１は、この電磁弁６２の上流側に設けられる構成とした。
この構成により、電空レギュレータ７１の応答速度が電磁弁６２の開度に影響されることがない。

【0053】

また本実施形態によれば、紫外硬化用装置４、及び窒素ガス流量調整盤８に電力を供給する電源装置６を備え、この電源装置６が、電空レギュレータ７１の作業者の操作を受け付ける操作部たる操作装置１０と、この作業者の操作に基づいて電空レギュレータ７１の指示信号Ｄを生成して窒素ガス流量調整盤８に出力するＰＬＣ回路８３を信号生成部として備える構成とした。
これにより、窒素ガス流量調整盤８の遠隔操作のための通信線８０を、電源装置６の電源線３８とまとめて敷設することができる。
また、窒素ガス流量調整盤８を遠隔操作する遠隔操作装置を別に備える必要がないため、システム構成が簡略化される。

【0054】

また本実施形態によれば、電源装置６を遠隔操作する操作装置１０が、電空レギュレータ７１を操作する操作部の機能を有する構成とした。
これにより、作業者は、紫外硬化用装置４の傍で作業しながら、遠くに設置された電源装置６、及び窒素ガス流量調整盤８を遠隔操作することができ、作業の効率化が図られる。

【0055】

なお、上述した実施形態は、あくまでも本発明の一態様を例示するものであり、本発明の主旨を逸脱しない範囲で任意に変形、及び応用が可能である。

【0056】

例えば、電源装置６と窒素ガス流量調整盤８の間の通信は、通信線８０による有線通信に限らず、無線通信であっても良く、また、通信のプロトコルは任意である。
また例えば、上述した実施形態では、酸素濃度を低めるために、電空レギュレータ７１の吐出圧力を遠隔操作により設定する構成とした。この構成に限らず、ＰＬＣ回路８３が所定のプログラムにしたがって酸素濃度を指定し、窒素ガス流量調整盤８が当該酸素濃度の指定を受け、この酸素濃度を実現するように電空レギュレータ７１の吐出圧力を調整する構成としても良い。
また例えば、本発明は、フィルムコーティングシステム１に限らず、紫外線硬化型の材料を紫外線照射により硬化させる紫外線硬化処理を含むシステムであれば、任意のシステムに適用することができる。

【符号の説明】

【0057】

１ フィルムコーティングシステム（紫外線硬化処理システム）
２ ワーク
４ 紫外硬化用装置
６ 電源装置
８ 窒素ガス流量調整盤（流量調整装置）
１０ 操作装置（遠隔操作装置）
１４ 照射器（紫外線照射器）
１６ パージボックス
３０ 雰囲気ガス導入パイプ
４０ タッチパネル（操作部）
６２ 電磁弁
７１ 電空レギュレータ
７１Ａ レギュレータ
７１Ｂ 電気回路ユニット
７６ 設定値表示欄
７６Ａ 表示欄
８０ 通信線
８３ ＰＬＣ回路（信号生成部）
８４、８５ 通信回路
Ｄ 指示信号（入力信号）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】