特許6645830荷電粒子ビーム試料作製におけるカーテニングを低減させる方法およびシステム

発明の名称　荷電粒子ビーム試料作製におけるカーテニングを低減させる方法およびシステム

出願人　エフ・イ−・アイ・カンパニー　（識別番号 501419107）

　　　　特許公開件数ランキング 31345 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 25417 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6645830

公報発行日　2020年2月14

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6645830

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