特許6647647ウエハ型温度センサ

発明の名称　ウエハ型温度センサ

出願人　株式会社八洲測器　（識別番号 501054621）

　　　　特許公開件数ランキング 14225 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12103 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6647647

公報発行日　2020年2月14

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6647647

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