特許 6649768 産業用ロボット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6649768

(24)【登録日】2020年1月21日

(45)【発行日】2020年2月19日

(54)【発明の名称】産業用ロボット

(51)【国際特許分類】

   B25J 15/00 20060101AFI20200210BHJP

   B25J 9/06 20060101ALI20200210BHJP

   B25J 15/06 20060101ALI20200210BHJP

   B25J 19/00 20060101ALI20200210BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20200210BHJP

   B65G 49/07 20060101ALI20200210BHJP

【ＦＩ】

   B25J15/00 C

   B25J9/06 D

   B25J15/06 Z

   B25J19/00 G

   H01L21/68 B

   H01L21/68 A

   B65G49/07 F

   B65G49/07 G

【請求項の数】4

【全頁数】18

(21)【出願番号】特願2015-256227(P2015-256227)

(22)【出願日】2015年12月28日

(65)【公開番号】特開2017-119326(P2017-119326A)

(43)【公開日】2017年7月6日

【審査請求日】2018年11月9日

(73)【特許権者】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】日本電産サンキョー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100125690

【弁理士】

【氏名又は名称】小平 晋

(74)【代理人】

【識別番号】100090170

【弁理士】

【氏名又は名称】横沢 志郎

(74)【代理人】

【識別番号】100142619

【弁理士】

【氏名又は名称】河合 徹

(74)【代理人】

【識別番号】100153316

【弁理士】

【氏名又は名称】河口 伸子

(72)【発明者】

【氏名】北原 康行

(72)【発明者】

【氏名】金子 健一郎

【審査官】 貞光 大樹

(56)【参考文献】

【文献】 米国特許出願公開第２０１４／０３６５００４（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 国際公開第２０１０／１０３８７６（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２０１３−１３９０７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−１４１１５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−２７８６２９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ２５Ｊ １／００ − ２１／０２

Ｂ６５Ｇ ４９／０７

Ｈ０１Ｌ ２１／６７ − ２１／６８７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

搬送対象物が搭載される４個のハンドと、４個の前記ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、前記アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備え、
４個の前記ハンドは、前記搬送対象物を保持する保持部を備え、４個の前記ハンドの基端側が上下方向で重なるように前記アームに連結されるとともに、前記アームに対して個別に回動可能となっており、
４個の前記ハンドのうちの一番上に配置される前記ハンドと上から二番目に配置される前記ハンドとを第１ハンド対とし、残りの２個の前記ハンドを第２ハンド対とすると、
前記第１ハンド対および前記第２ハンド対のいずれか一方を構成する２個の前記ハンドの前記保持部は、前記搬送対象物の端面が当接する当接面を有する端面当接部材と、前記搬送対象物の端面が前記当接面に押し付けられるように前記搬送対象物を押す押付機構とを備え、
前記第１ハンド対および前記第２ハンド対のいずれか他方を構成する２個の前記ハンドの前記保持部は、前記搬送対象物を吸引して保持する吸引孔を備えることを特徴とする産業用ロボット。

【請求項2】

前記押付機構は、前記当接面に向かって前記搬送対象物の端面を押す押付部と、前記押付部を駆動するエアシリンダと、前記押付部の動きを検知する検知機構とを備えることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。

【請求項3】

４個の前記ハンドのうちの一番上に配置される前記ハンドを第１ハンドとし、上から二番目に配置される前記ハンドを第２ハンドとし、上から三番目に配置される前記ハンドを第３ハンドとし、一番下に配置される前記ハンドを第４ハンドとすると、
中空状に形成され前記第１ハンドの基端側部分の下面側が固定される第１中空回動軸と、中空状に形成され前記第１中空回動軸の外周側にかつ前記第１中空回動軸と同軸上に配置されるとともに前記第２ハンドの基端側部分の下面側が固定される第２中空回動軸と、中空状に形成され前記第２中空回動軸の外周側にかつ前記第１中空回動軸と同軸上に配置されるとともに前記第３ハンドの基端側部分の下面側が固定される第３中空回動軸と、中空状に形成され前記第３中空回動軸の外周側にかつ前記第１中空回動軸と同軸上に配置されるとともに前記第４ハンドの基端側部分の下面側が固定される第４中空回動軸とを備え、
前記第１ハンドおよび前記第２ハンドの前記保持部は、前記端面当接部材と前記押付機構とを備え、
前記第３ハンドおよび前記第４ハンドの前記保持部は、前記搬送対象物を吸引して保持することを特徴とする請求項２記載の産業用ロボット。

【請求項4】

前記第１ハンドおよび前記第２ハンドは、前記搬送対象物が搭載される搭載部と、前記搭載部を支持する支持部とを備え、
前記第１ハンドの前記支持部は、前記第１ハンドの前記搭載部と前記第１ハンドの基端側部分とを繋いでおり、
前記第２ハンドの前記支持部は、前記第２ハンドの前記搭載部と前記第２ハンドの基端側部分とを繋いでおり、
前記第１ハンドの基端側部分および前記支持部と、前記第２ハンドの基端側部分および前記支持部と、前記第３ハンドと、前記第４ハンドとは、中空状になっており、
前記第１ハンドの前記支持部の内部および前記第２ハンドの前記支持部の内部には、前記エアシリンダおよび前記検知機構が配置され、
前記第１ハンドの前記支持部の内部に配置される前記エアシリンダ用の空気配管および前記第１ハンドの前記支持部の内部に配置される前記検知機構用の配線は、前記第１中空回動軸の内周側を通過して前記第１ハンドの基端側部分の内部に引き込まれ、
前記第１中空回動軸には、前記第１中空回動軸の径方向で貫通するように、かつ、前記第１中空回動軸の周方向を長手方向とするスリット状の切欠き部が形成され、
前記切欠き部は、前記第２中空回動軸の上端よりも上側に配置され、
前記第２ハンドの前記支持部の内部に配置される前記エアシリンダ用の空気配管および前記第２ハンドの前記支持部の内部に配置される前記検知機構用の配線は、前記第１中空回動軸の内周側を通過した後、前記切欠き部を通過して前記第２ハンドの基端側部分の内部に引き込まれ、
前記第３中空回動軸および前記第４中空回動軸には、前記第３ハンドの内部に通じる空気孔が形成され、
前記第４中空回動軸には、前記第４ハンドの内部に通じる空気孔が形成されていることを特徴とする請求項３記載の産業用ロボット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体ウエハ等の搬送対象物を搬送する産業用ロボットに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体ウエハを搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、半導体ウエハが搭載される第１ハンドおよび第２ハンドと、第１ハンドおよび第２ハンドが回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備えている。第１ハンドと第２ハンドとは、第１ハンドの基端部と第２ハンドの基端部とが上下方向で重なるように、アームの先端側に連結されている。また、この産業用ロボットは、アームに対して第１ハンドを回動させる第１ハンド駆動機構と、アームに対して第２ハンドを回動させる第２ハンド駆動機構とを備えており、第１ハンドと第２ハンドとは、アームに対して個別に回動可能となっている。

【0003】

特許文献１に記載の産業用ロボットは、半導体製造システムに組み込まれて使用されており、たとえば、半導体ウエハが所定のピッチで上下方向に重なるように収容されるカセットと、半導体ウエハが上下方向で重ならないように配置される処理装置との間で半導体ウエハを搬送する。この場合、第１ハンドの先端側と第２ハンドの先端側とが重なった状態でアームが伸縮してカセットから２枚の半導体ウエハが同時に搬出され、その後、第１ハンドおよび第２ハンドの先端が処理装置側を向くように本体部に対してアームが回動するとともに、第１ハンドの先端側と第２ハンドの先端側とが離れるように第１ハンドおよび第２ハンドが回動してから、アームが伸縮して処理装置に２枚の半導体ウエハが同時に搬入される。

【0004】

また、第１ハンドの先端側と第２ハンドの先端側とが重なっていない状態でアームが伸縮して処理装置から処理後の２枚の半導体ウエハが同時に搬出され、その後、第１ハンドおよび第２ハンドの先端がカセット側を向くように本体部に対してアームが回動するとともに、第１ハンドの先端側と第２ハンドの先端側とが重なるように第１ハンドおよび第２ハンドが回動してから、アームが伸縮してカセットに２枚の半導体ウエハが同時に搬入される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１２−６６３４２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

特許文献１に記載の産業用ロボットが組み込まれて使用される半導体製造システムでは、タクトタイムの短縮化が要求されている。そこで、本発明の課題は、産業用ロボットが組み込まれて使用される半導体製造システム等の製造システムのタクトタイムを短縮することが可能な産業用ロボットを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、搬送対象物が搭載される４個のハンドと、４個のハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備え、４個のハンドは、搬送対象物を保持する保持部を備え、４個のハンドの基端側が上下方向で重なるようにアームに連結されるとともに、アームに対して個別に回動可能となっており、４個のハンドのうちの一番上に配置されるハンドと上から二番目に配置されるハンドとを第１ハンド対とし、残りの２個のハンドを第２ハンド対とすると、第１ハンド対および第２ハンド対のいずれか一方を構成する２個のハンドの保持部は、搬送対象物の端面が当接する当接面を有する端面当接部材と、搬送対象物の端面が当接面に押し付けられるように搬送対象物を押す押付機構とを備え、第１ハンド対および第２ハンド対のいずれか他方を構成する２個のハンドの保持部は、搬送対象物を吸引して保持する吸引孔を備えることを特徴とする。

【0008】

本発明において、押付機構は、たとえば、当接面に向かって搬送対象物の端面を押す押付部と、押付部を駆動するエアシリンダと、押付部の動きを検知する検知機構とを備えている。

【0009】

本発明の産業用ロボットは、基端側が上下方向で重なるようにアームの先端側に連結される４個のハンドを備えており、４個のハンドは、アームに対して個別に回動可能となっている。そのため、本発明では、たとえば、産業用ロボットが半導体製造システムに組み込まれて使用される場合、第１ハンド対を構成する２個のハンドを用いてカセットから処理前の２枚の半導体ウエハ（搬送対象物）を同時に搬出した直後に、第２ハンド対を構成する２個のハンドを用いて処理後の２枚の半導体ウエハをカセットに同時に搬入することが可能になる。また、第２ハンド対を構成する２個のハンドを用いて処理装置から処理後の２枚の半導体ウエハを同時に搬出した直後に、第１ハンド対を構成する２個のハンドを用いて処理前の２枚の半導体ウエハを処理装置に同時に搬入することが可能になる。したがって、本発明では、産業用ロボットが組み込まれて使用される半導体製造システム等の製造システムのタクトタイムを短縮することが可能になる。

【0010】

ここで、たとえば、本発明の産業用ロボットが半導体製造システムに組み込まれて使用される場合、一般に、カセットに搬入される半導体ウエハ（搬送対象物）のカセット内での位置精度は要求されないが、処理装置に搬入される半導体ウエハの処理装置内での位置精度は要求される。すなわち、カセットに対して半導体ウエハを精度良く搬入する必要はないが、処理装置に対して半導体ウエハを精度良く搬入する必要がある。また、搬送対象物を保持するハンドの保持部が、搬送対象物の端面が当接する当接面を有する端面当接部材と、搬送対象物の端面が当接面に押し付けられるように搬送対象物を押す押付機構とを備えるグリップ型の保持部である場合、搬送対象物の端面を当接面に押し付けることでハンドに搭載される搬送対象物の位置精度を高めることが可能になり、その結果、処理装置に対して半導体ウエハ（搬送対象物）を精度良く搬入することが可能になるが、ハンドの保持部が搬送対象物を吸引して保持する吸引孔を備える吸引型の保持部である場合、ハンドに搭載される搬送対象物の位置精度を高めることは困難であり、その結果、処理装置に対して半導体ウエハ（搬送対象物）を精度良く搬入することは困難になる。したがって、本発明において、４個のハンドの保持部の全てがグリップ型の保持部であれば、処理装置に対して半導体ウエハを精度良く搬入することは可能である。一方で、ハンドの保持部がグリップ型の保持部である場合には、たとえば、エアシリンダ用の空気配管や検知機構用の配線をハンドの保持部まで引き回す必要があるため、ハンドの保持部が吸引型の保持部である場合と比較して、アームとハンドとの連結部分の構成が複雑になる。

【0011】

本発明では、第１ハンド対および第２ハンド対のいずれか一方を構成する２個のハンドの保持部はグリップ型の保持部であり、第１ハンド対および第２ハンド対のいずれか他方を構成する２個のハンドの保持部は吸引型の保持部である。そのため、本発明では、たとえば、産業用ロボットが半導体製造システムに組み込まれて使用される場合、グリップ型の保持部を備える２個のハンドを用いてカセットから処理前の２枚の半導体ウエハ（搬送対象物）を搬出し、吸引型の保持部を備える２個のハンドを用いて処理後の２枚の半導体ウエハをカセットに搬入するとともに、吸引型の保持部を備える２個のハンドを用いて処理装置から処理後の２枚の半導体ウエハを搬出し、グリップ型の保持部を備える２個のハンドを用いて処理前の２枚の半導体ウエハを処理装置に搬入することで、処理装置に対して半導体ウエハを精度良く搬入することが可能になる。また、本発明では、第１ハンド対および第２ハンド対のいずれか他方を構成する２個のハンドの保持部が吸引型の保持部であるため、４個のハンドの保持部の全てがグリップ型の保持部である場合と比較して、アームと４個のハンドとの連結部分の構成を簡素化することが可能になる。すなわち、本発明では、処理装置等に対して搬送対象物を精度良く搬入することが可能であっても、アームと４個のハンドとの連結部分の構成を簡素化することが可能になる。

【0012】

本発明において、４個のハンドのうちの一番上に配置されるハンドを第１ハンドとし、上から二番目に配置されるハンドを第２ハンドとし、上から三番目に配置されるハンドを第３ハンドとし、一番下に配置されるハンドを第４ハンドとすると、産業用ロボットは、中空状に形成され第１ハンドの基端側部分の下面側が固定される第１中空回動軸と、中空状に形成され第１中空回動軸の外周側にかつ第１中空回動軸と同軸上に配置されるとともに第２ハンドの基端側部分の下面側が固定される第２中空回動軸と、中空状に形成され第２中空回動軸の外周側にかつ第１中空回動軸と同軸上に配置されるとともに第３ハンドの基端側部分の下面側が固定される第３中空回動軸と、中空状に形成され第３中空回動軸の外周側にかつ第１中空回動軸と同軸上に配置されるとともに第４ハンドの基端側部分の下面側が固定される第４中空回動軸とを備え、第１ハンドおよび第２ハンドの保持部は、端面当接部材と押付機構とを備え、第３ハンドおよび第４ハンドの保持部は、搬送対象物を吸引して保持することが好ましい。

【0013】

この場合には、たとえば、第１ハンドおよび第２ハンドは、搬送対象物が搭載される搭載部と、搭載部を支持する支持部とを備え、第１ハンドの支持部は、第１ハンドの搭載部と第１ハンドの基端側部分とを繋いでおり、第２ハンドの支持部は、第２ハンドの搭載部と第２ハンドの基端側部分とを繋いでおり、第１ハンドの基端側部分および支持部と、第２ハンドの基端側部分および支持部と、第３ハンドと、第４ハンドとは、中空状になっており、第１ハンドの支持部の内部および第２ハンドの支持部の内部には、エアシリンダおよび検知機構が配置され、第１ハンドの支持部の内部に配置されるエアシリンダ用の空気配管および第１ハンドの支持部の内部に配置される検知機構用の配線は、第１中空回動軸の内周側を通過して第１ハンドの基端側部分の内部に引き込まれ、第１中空回動軸には、第１中空回動軸の径方向で貫通するように、かつ、第１中空回動軸の周方向を長手方向とするスリット状の切欠き部が形成され、切欠き部は、第２中空回動軸の上端よりも上側に配置され、第２ハンドの支持部の内部に配置されるエアシリンダ用の空気配管および第２ハンドの支持部の内部に配置される検知機構用の配線は、第１中空回動軸の内周側を通過した後、切欠き部を通過して第２ハンドの基端側部分の内部に引き込まれ、第３中空回動軸および第４中空回動軸には、第３ハンドの内部に通じる空気孔が形成され、第４中空回動軸には、第４ハンドの内部に通じる空気孔が形成されている。

【0014】

このように構成すると、第１中空回動軸の内周側を利用して、第１ハンドの基端側部分の内部へエアシリンダ用の空気配管および検知機構用の配線を引き回すことが可能になる。また、第１中空回動軸の内周側を利用するとともに第１中空回動軸に形成される切欠き部を利用して、第２ハンドの基端側部分の内部へエアシリンダ用の空気配管および検知機構用の配線を引き回すことが可能になる。さらに、第３中空回動軸および第４中空回動軸に形成される空気孔によって第３ハンドの内部に通じる空気の通り道を形成することが可能になり、その結果、第３ハンドの吸引孔から空気を吸引することが可能になる。また、第４中空回動軸に形成される空気孔によって第４ハンドの内部に通じる空気の通り道を形成することが可能になり、その結果、第４ハンドの吸引孔から空気を吸引することが可能になる。したがって、第１ハンドおよび第２ハンドの保持部が吸引型の保持部となっており、第３ハンドおよび第４ハンドの保持部がグリップ型の保持部となっている場合と比較して、アームと４個のハンドとの連結部分の構成を簡素化することが可能になる。

【発明の効果】

【0015】

以上のように、本発明では、産業用ロボットが組み込まれて使用される半導体製造システム等の製造システムのタクトタイムを短縮することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの平面図である。

【図2】図１に示す産業用ロボットの側面図である。

【図3】図２に示す産業用ロボットの手首部の断面図である。

【図4】図１に示す第１ハンドの先端側部分の構成を説明するための平面図である。

【図5】図４のＥ部の拡大図である。

【図6】図３に示す第４中空回動軸の一部分の断面図である。

【図7】図３に示す軸支持部材の断面図である。

【図8】図７のＦ−Ｆ方向から軸支持部材の一部を示す図である。

【図9】図１に示す産業用ロボットの動作を説明するための平面図である。

【図10】図１に示す産業用ロボットの動作を説明するための平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

【0018】

（産業用ロボットの概略構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の平面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の側面図である。図３は、図２に示す産業用ロボット１の手首部１１の断面図である。

【0019】

本形態の産業用ロボット１は、搬送対象物としての半導体ウエハ２を搬送するための水平多関節型ロボットである。この産業用ロボット１は、半導体ウエハ２が搭載される４個のハンド３〜６と、４個のハンド３〜６が回動可能に連結されるアーム７と、アーム７の基端側が回動可能に連結される本体部８とを備えている。以下の説明では、産業用ロボット１を「ロボット１」とし、半導体ウエハ２を「ウエハ２」とする。

【0020】

４個のハンド３〜６は、４個のハンド３〜６の基端側が上下方向で重なるようにアーム７の先端側に連結されている。以下、４個のハンド３〜６を区別して表す場合には、４個のハンド３〜６のうちの一番上に配置されるハンド３を「第１ハンド３」とし、上から二番目に配置されるハンド４を「第２ハンド４」とし、上から三番目に配置されるハンド５を「第３ハンド５」とし、一番下に配置されるハンド６を「第４ハンド６」とする。本形態では、第１ハンド３と第２ハンド４とによって第１ハンド対が構成されており、第３ハンド５と第４ハンド６とによって第２ハンド対が構成されている。

【0021】

本体部８は、略四角柱状に形成されている。本体部８の内部には、アーム７を昇降させるアーム昇降機構（図示省略）が収納されている。アーム７は、第１アーム部９と第２アーム部１０とから構成されている。第１アーム部９および第２アーム部１０は、中空状に形成されている。第１アーム部９の基端側は、本体部８に回動可能に連結されている。第２アーム部１０の基端側は、第１アーム部９の先端側に回動可能に連結されている。また、ロボット１は、本体部８に対して第１アーム部９を回動させる第１アーム駆動機構（図示省略）と、第１アーム部９に対して第２アーム部１０を回動させる第２アーム駆動機構（図示省略）とを備えている。

【0022】

４個のハンド３〜６は、第２アーム部１０の先端側に回動可能に連結されている。ハンド３〜６と第２アーム部１０との連結部は、手首部１１となっている。ハンド３〜６は、アーム７に対して個別に回動可能となっている。また、ハンド３〜６は、上下方向から見たときに共通の回動中心Ｃ１（図１参照）を中心に回動可能となっている。本体部８と第１アーム部９と第２アーム部１０とハンド３〜６とは、上下方向において、下側からこの順番で配置されている。

【0023】

また、ロボット１は、第１ハンド３を回動させる第１ハンド駆動機構と、第２ハンド４を回動させる第２ハンド駆動機構と、第３ハンド５を回動させる第３ハンド駆動機構と、第４ハンド６を回動させる第４ハンド駆動機構とを備えている。第１ハンド駆動機構は、モータ１２を備えている。第２ハンド駆動機構は、モータ１３を備えている。また、第３ハンド駆動機構は、モータ１４を備え、第４ハンド駆動機構は、モータ１５を備えている。

【0024】

モータ１２、１３は、第１アーム部９と本体部８との連結部分に配置されている。また、モータ１２とモータ１３とは、隣り合うように配置されている。モータ１４、１５は、第２アーム部１０の基端側の内部に配置されている。また、モータ１４とモータ１５とは、隣り合うように配置されている。本形態では、モータ１２、１３が第１アーム部９の基端側に配置されているため、本体部８に対する第１アーム部９の回動時のイナーシャを低減することが可能となっている。また、本形態では、モータ１４、１５が第２アーム部１０の基端側に配置されているため、第１アーム部９に対する第２アーム部１０の回動時のイナーシャを低減することが可能となっている。

【0025】

また、第１ハンド駆動機構は、モータ１２の動力を第１ハンド３に伝達するためのプーリ１６およびベルト１７（図３参照）等を備えている。同様に、第２ハンド駆動機構は、モータ１３の動力を第２ハンド４に伝達するためのプーリ１８およびベルト１９（図３参照）等を備え、第３ハンド駆動機構は、モータ１４の動力を第３ハンド５に伝達するためのプーリ２０およびベルト２１（図３参照）等を備え、第４ハンド駆動機構は、モータ１５の動力を第４ハンド６に伝達するためのプーリ２２およびベルト２３（図３参照）等を備えている。

【0026】

（第１ハンドおよび第２ハンドの構成）
図４は、図１に示す第１ハンド３の先端側部分の構成を説明するための平面図である。図５は、図４のＥ部の拡大図である。

【0027】

第１ハンド３および第２ハンド４は、上下方向から見たときに屈曲するように形成されている。具体的には、第１ハンド３および第２ハンド４は、上下方向から見たときに所定の角度で１回屈曲するように形成されている。また、第１ハンド３および第２ハンド４は、上下方向から見たときに所定の軸線を対称軸とする略線対称に形成されている。すなわち、上下方向から見たときの第１ハンド３の屈曲方向と第２ハンド４の屈曲方向とは逆方向となっている。

【0028】

第１ハンド３は、基端側部分３ａと先端側部分３ｂとによって構成されている。また、第１ハンド３は、上下方向から見たときに基端側部分３ａと先端側部分３ｂとのなす角度が鈍角となるように、１回屈曲しており、全体として略Ｌ形状（あるいは略「く」の字形状）に形成されている。先端側部分３ｂは、ウエハ２が搭載される搭載部としてのウエハ搭載部３ｃと、ウエハ搭載部３ｃを支持する支持部３ｄとから構成されている。支持部３ｄは、基端側部分３ａとウエハ搭載部３ｃとの間に配置されており、基端側部分３ａとウエハ搭載部３ｃと繋いでいる。ウエハ搭載部３ｃの先端側は、二股状に形成されており、上下方向から見たときのウエハ搭載部３ｃの形状は、略Ｙ形状となっている。ウエハ搭載部３ｃは、平板状に形成されている。基端側部分３ａおよび支持部３ｄは、中空状に形成されている。また、基端側部分３ａの内部は、支持部３ｄの内部に通じている。

【0029】

同様に、第２ハンド４は、基端側部分４ａと先端側部分４ｂとによって構成されている。また、第２ハンド４は、上下方向から見たときに基端側部分４ａと先端側部分４ｂとのなす角度が鈍角となるように、１回屈曲しており、全体として略Ｌ形状（あるいは略「く」の字形状）に形成されている。先端側部分４ｂは、ウエハ２が搭載される搭載部としてのウエハ搭載部４ｃと、ウエハ搭載部４ｃを支持する支持部４ｄとから構成されている。支持部４ｄは、基端側部分４ａとウエハ搭載部４ｃとの間に配置されており、基端側部分４ａとウエハ搭載部４ｃと繋いでいる。ウエハ搭載部４ｃは、ウエハ搭載部３ｃと同形状に形成されている。基端側部分４ａおよび支持部４ｄは、中空状に形成されている。また、基端側部分４ａの内部は、支持部４ｄの内部に通じている。

【0030】

第１ハンド３および第２ハンド４は、ウエハ２を保持する保持部３０を備えている。保持部３０は、図４に示すように、ウエハ２の端面（外周面）が当接する当接面３１ａを有する端面当接部材３１と、ウエハ２の端面が当接面３１ａに押し付けられるようにウエハ２を押す押付機構３２とを備えるグリップ型の保持部である。端面当接部材３１は、二股状に形成されるウエハ搭載部３ｃ、４ｃの先端側の上面に固定されている。すなわち、ウエハ搭載部３ｃ、４ｃには、２個の端面当接部材３１が固定されている。なお、ウエハ搭載部３ｃ、４ｃの基端側の上面の２箇所には、ウエハ２が載置されるウエハ載置部材３３が固定されており、ウエハ２は、端面当接部材３１とウエハ載置部材３３とに搭載される。

【0031】

押付機構３２は、当接面３１ａに向かってウエハ２の端面（外周面）を押す押付部３４と、押付部３４を駆動するエアシリンダ３５と、押付部３４の動きを検知する検知機構３６とを備えている。押付部３４は、ウエハ２の端面に接触するローラ３７と、ローラ３７を回転可能に保持するローラ保持部材３８とを備えている。検知機構３６は、ローラ保持部材３８に固定される検知板３９と、２個のセンサ４０とを備えている。

【0032】

ローラ保持部材３８は、細長い略直方体状に形成されている。ローラ保持部材３８の基端側は、エアシリンダ３５のロッドに固定されている。ローラ３７は、ローラ保持部材３８の先端側に保持されている。このローラ３７は、上下方向を回転の軸方向として回転可能となっている。押付部３４は、図５の二点鎖線で示すようにローラ３７がウエハ２の端面に接触して当接面３１ａに向かってウエハ２を押し付ける押付位置と、図５の実線で示すようにローラ３７がウエハ２の端面から離れるように退避する退避位置との間で直線的に移動する。

【0033】

センサ４０は、互いに対向するように配置される発光素子と受光素子とを有する透過型の光学式センサである。検知板３９には、センサ４０の発光素子と受光素子との間を遮るための遮光部３９ａが形成されている。押付部３４が押付位置にあるときには、２個のセンサ４０のうちの一方のセンサ４０の発光素子と受光素子との間が遮光部３９ａによって遮られ、押付部３４が退避位置にあるときには、２個のセンサ４０のうちの他方のセンサ４０の発光素子と受光素子との間が遮光部３９ａによって遮られる。

【0034】

エアシリンダ３５は、中空状に形成される支持部３ｄ、４ｄの内部に配置されている。ローラ保持部材３８は、ローラ保持部材３８の先端側の一部分を除いて、支持部３ｄ、４ｄの内部に配置されており、検知板３９は、支持部３ｄ、４ｄの内部に配置されている。また、センサ４０は、支持部３ｄ、４ｄの内部に配置されている。すなわち、検知機構３６は、支持部３ｄ、４ｄの内部に配置されている。なお、図５に示すように、支持部３ｄ、４ｄの内部には、直線的に移動するローラ保持部材３８を案内するためのガイドレール４１が固定されている。ガイドレール４１には、ローラ保持部材３８の下面側に固定されるガイドブロック４２が係合している。

【0035】

（第３ハンドおよび第４ハンドの構成）
第３ハンド５および第４ハンド６は、第１ハンド３および第２ハンド４と同様に、上下方向から見たときに屈曲するように形成されている。すなわち、第３ハンド５および第４ハンド６は、上下方向から見たときに所定の角度で１回屈曲するように形成されている。また、第３ハンド５および第４ハンド６は、上下方向から見たときに所定の軸線を対称軸とする略線対称に形成されており、上下方向から見たときの第３ハンド５の屈曲方向と第４ハンド５の屈曲方向とは逆方向となっている。

【0036】

第３ハンド５は、基端側部分５ａと先端側部分５ｂとによって構成されている。また、第３ハンド５は、上下方向から見たときに基端側部分５ａと先端側部分５ｂとのなす角度が鈍角となるように、１回屈曲しており、全体として略Ｌ形状（あるいは略「く」の字形状）に形成されている。先端側部分５ｂは、ウエハ２が搭載されるウエハ搭載部５ｃと、ウエハ搭載部５ｃを支持する支持部５ｄとから構成されている。支持部５ｄは、基端側部分５ａとウエハ搭載部５ｃとの間に配置されており、基端側部分５ａとウエハ搭載部５ｃと繋いでいる。

【0037】

同様に、第４ハンド６は、基端側部分６ａと先端側部分６ｂとによって構成されている。また、第４ハンド６は、上下方向から見たときに基端側部分６ａと先端側部分６ｂとのなす角度が鈍角となるように、１回屈曲しており、全体として略Ｌ形状（あるいは略「く」の字形状）に形成されている。先端側部分６ｂは、ウエハ２が搭載されるウエハ搭載部６ｃと、ウエハ搭載部６ｃを支持する支持部６ｄとから構成されている。支持部６ｄは、基端側部分６ａとウエハ搭載部６ｃとの間に配置されており、基端側部分６ａとウエハ搭載部６ｃと繋いでいる。

【0038】

第３ハンド５は、中空状に形成されている。すなわち、基端側部分５ａ、ウエハ搭載部５ｃおよび支持部５ｄは、基端側部分５ａの内部とウエハ搭載部５ｃの内部と支持部５ｄの内部とが通じる中空状に形成されている。同様に、第４ハンド６は、中空状に形成されている。すなわち、基端側部分６ａ、ウエハ搭載部６ｃおよび支持部６ｄは、基端側部分６ａの内部とウエハ搭載部６ｃの内部と支持部６ｄの内部とが通じる中空状に形成されている。

【0039】

第３ハンド５および第４ハンド６は、ウエハ２を保持する保持部４５を備えている。保持部４５は、ウエハ２を吸引して保持する吸引孔４６（図１参照）を備えている。すなわち、第３ハンド５および第４ハンド６は、吸引型の保持部４５を備えており、ウエハ２を吸引して保持する。吸引孔４６は、ウエハ搭載部５ｃ、６ｃの先端側に形成されている。この吸引孔４６は、中空状に形成されるウエハ搭載部５ｃ、６ｃの内部から上側へ貫通するように形成されている。ウエハ搭載部５ｃに形成される吸引孔４６には、後述の空気配管６４の一端が繋がっている。ウエハ搭載部６ｃに形成される吸引孔４６には、後述の空気配管６２の一端が繋がっている。

【0040】

（手首部の構成）
図６は、図３に示す中空回動軸５４の一部分の断面図である。図７は、図３に示す軸支持部材５５の断面図である。図８は、図７のＦ−Ｆ方向から軸支持部材５５の一部を示す図である。

【0041】

手首部１１には、図３に示すように、中空状に形成される第１中空回動軸としての中空回動軸５１と、中空状に形成され中空回動軸５１の外周側に配置されるとともに中空回動軸５１と同軸上に配置される第２中空回動軸としての中空回動軸５２と、中空状に形成され中空回動軸５２の外周側に配置されるとともに中空回動軸５１と同軸上に配置される第３中空回動軸としての中空回動軸５３と、中空状に形成され中空回動軸５３の外周側に配置されるとともに中空回動軸５１と同軸上に配置される第４中空回動軸としての中空回動軸５４とが配置されている。

【0042】

中空回動軸５１〜５４は、細長い略円筒状に形成されており、中空回動軸５１〜５４の軸方向と上下方向とが一致するように配置されている。また、中空回動軸５１〜５４は、上下方向から見たときに共通の回動中心Ｃ１を中心に回動可能となっている。中空回動軸５１の長さは、中空回動軸５２の長さよりも長くなっている。また、中空回動軸５２の長さは、中空回動軸５３の長さよりも長くなっており、中空回動軸５３の長さは、中空回動軸５４の長さよりも長くなっている。また、中空回動軸５１の上端、中空回動軸５２の上端、中空回動軸５３の上端および中空回動軸５４の上端は、上側からこの順番で配置され、中空回動軸５１の下端、中空回動軸５２の下端、中空回動軸５３の下端および中空回動軸５４の下端は、下側からこの順番で配置されている。

【0043】

中空回動軸５１の上端には、第１ハンド３の基端側部分３ａの下面側が固定され、中空回動軸５２の上端には、第２ハンド４の基端側部分４ａの下面側が固定され、中空回動軸５３の上端には、第３ハンド５の基端側部分５ａの下面側が固定され、中空回動軸５４の上端には、第４ハンド６の基端側部分６ａの下面側が固定されている。中空回動軸５１の下端側には、プーリ１６が固定され、中空回動軸５２の下端側には、プーリ１８が固定され、中空回動軸５３の下端側には、プーリ２０が固定され、中空回動軸５４の下端側には、プーリ２２が固定されている。

【0044】

図３に示すように、プーリ１６、１８、２０、２２は、第２アーム部１０の先端側の内部に配置されている。すなわち、中空回動軸５１〜５４の下端側部分は、第２アーム部１０の先端側の内部に配置されている。第２アーム部１０の先端側には、円筒状に形成され中空回動軸５４の外周側に配置されるとともに中空回動軸５１と同軸上に配置される軸支持部材５５が固定されている。軸支持部材５５は、第２アーム部１０の上面側に固定されている。

【0045】

第１ハンド３の基端側部分３ａの下面側には、中空状に形成される基端側部分３ａの内部が中空回動軸５１の内周側に通じるように貫通孔３ｅが形成されており、基端側部分３ａの内部と中空回動軸５１の内周側とは、貫通孔３ｅを介して繋がっている。第２ハンド４の基端側部分４ａには、上下方向に貫通する貫通孔４ｅが形成されている。貫通孔４ｅには、中空回動軸５１の上端側部分が挿通されている。第３ハンド５の基端側部分５ａには、上下方向に貫通する貫通孔５ｅが形成されている。貫通孔５ｅには、中空回動軸５１、５２の上端側部分が挿通されている。第４ハンド６の基端側部分６ａには、上下方向に貫通する貫通孔６ｅが形成されている。貫通孔６ｅには、中空回動軸５１〜５３の上端側部分が挿通されている。

【0046】

第２ハンド４の貫通孔４ｅに挿通される中空回動軸５１の上端側部分には、中空回動軸５１の径方向で中空回動軸５１を貫通するように形成されるとともに中空回動軸５１の周方向を長手方向とするスリット状の切欠き部５１ａが形成されている。この切欠き部５１ａは、中空回動軸５２の上端よりも上側に配置されている。基端側部分４ａの内部には、管状に形成される管状部材５６が固定されている。管状部材５６は、管状部材５６の軸方向と中空回動軸５１の径方向とが一致するように配置されており、管状部材５６の一端側部分は、中空回動軸５１の径方向において切欠き部５１ａに挿通されている。管状部材５６の一端は、中空回動軸５１の内周面よりも内周側に配置されている。

【0047】

軸支持部材５５には、軸支持部材５５の下端面から軸支持部材５５の内周面に通じる２個の空気孔５５ａ、５５ｂが形成されている。空気孔５５ａ、５５ｂは、軸支持部材５５の下端面の外周側部分から上側に向かって形成される縦孔と、この縦孔の上端から軸支持部材５５の内周面に向かって形成される横孔とから構成されている。図７、図８に示すように、空気孔５５ａと空気孔５５ｂとは、軸保持部材５５の周方向においてずれている。また、空気孔５５ａの横孔と空気孔５５ｂの横孔とは上下方向においてずれている。

【0048】

図３に示すように、空気孔５５ｂの下端には継手５７が固定されており、継手５７には、空気配管５８の一端が接続されている。空気配管５８の他端は、たとえば、本体部８の内部に配置される空気の吸引手段（図示省略）に接続されている。同様に、空気孔５５ａの下端にも継手（図示省略）が固定されており、この継手には、空気配管（図示省略）の一端が接続されている。この空気配管の他端は、たとえば、本体部８の内部に配置される空気の吸引手段（図示省略）に接続されている。

【0049】

図７に示すように、軸支持部材５５の内周面には、空気孔５５ａの横孔が通じる円環状の空気溝５５ｃと、空気孔５５ｂの横孔が通じる円環状の空気溝５５ｄとが形成されている。また、軸支持部材５５の内周面の、空気溝５５ｃの上側、空気溝５５ｄの下側、および、空気溝５５ｃと空気溝５５ｄとの間には、Ｏリング５９が配置される円環状のシール配置溝５５ｅが形成されている。このＯリング５９は、空気溝５５ｃ、５５ｄからの空気の漏れを防止する機能を果たしている。

【0050】

中空回動軸５４には、中空回動軸５４の外周面から中空回動軸５４の内周面に通じる空気孔５４ａが形成されている。空気孔５４ａは、上下方向において空気溝５５ｃと同じ高さに配置されており、中空回動軸５４の外周面に形成される空気孔５４ａの一端は、空気溝５５ｃに通じている。図６に示すように、中空回動軸５４の内周面には、空気孔５４ａの他端が通じる円環状の空気溝５４ｂが形成されている。また、中空回動軸５４の内周面の、空気溝５４ｂの上側、および、空気溝５４ｂの下側には、Ｏリング５９が配置される円環状のシール配置溝５４ｃが形成されている。このＯリング５９は、空気溝５４ｂからの空気の漏れを防止する機能を果たしている。

【0051】

また、中空回動軸５４には、中空回動軸５４の外周面から中空回動軸５４の上端面に通じる空気孔５４ｄが形成されている。空気孔５４ｄは、中空回動軸５４の外周面から中空回転軸５４の径方向の内側に向かって形成される横孔と、この横孔の径方向内側端から上側に向かって形成される縦孔と、この縦孔の上端から径方向の外側に向かって形成される横孔と、この横孔の径方向外側端から中空回動軸５４の上端面に向かって形成される縦孔とから構成されている。図６に示すように、空気孔５４ａと空気孔５４ｄとは、回動中心軸５４の周方向においてずれている。

【0052】

空気孔５４ｄの、中空回動軸５４の外周面から中空回転軸５４の径方向の内側に向かって形成される横孔は、上下方向において空気溝５５ｄと同じ高さに配置されており、中空回動軸５４の外周面に形成されるこの横孔の一端は、空気溝５５ｄに通じている。空気孔５４ｄの上端には、継手６１が固定されている。継手６１は、第４ハンド６の基端側部分６ａの内部に配置されている。継手６１には、空気配管６２の一端が接続されている。空気配管６２の他端は、ウエハ搭載部６ｃに形成される吸引孔４６に接続されており、空気配管６２は、第４ハンド６の内部で引き回されている。

【0053】

中空回動軸５３には、中空回動軸５３の外周面から中空回動軸５３の上端面に通じる空気孔５３ａが形成されている。空気孔５３ａは、中空回動軸５３の外周面から中空回転軸５３の径方向の内側に向かって形成される横孔と、この横孔の径方向内側端から上側に向かって形成される縦孔と、この縦孔の上端から径方向の外側に向かって形成される横孔と、この横孔の径方向外側端から中空回動軸５３の上端面に向かって形成される縦孔とから構成されている。

【0054】

空気孔５３ａの、中空回動軸５３の外周面から中空回転軸５３の径方向の内側に向かって形成される横孔は、上下方向において空気溝５４ｂと同じ高さに配置されており、中空回動軸５３の外周面に形成されるこの横孔の一端は、空気溝５４ｂに通じている。空気孔５３ａの上端には、継手６３が固定されている。継手６３は、第３ハンド５の基端側部分５ａの内部に配置されている。継手６３には、空気配管６４の一端が接続されている。空気配管６４の他端は、ウエハ搭載部５ｃに形成される吸引孔４６に接続されており、空気配管６４は、第３ハンド５の内部で引き回されている。

【0055】

第１ハンド３の支持部３ｄの内部に配置されるエアシリンダ３５用の２本の空気配管７１および支持部３ｄの内部に配置される検知機構３６用の配線（具体的には、センサ４０用の配線）７２は、中空回動軸５１の内周側を通過して第１ハンド３の基端側部分３ａの内部に引き込まれている。具体的には、本体部８から引き出されて、アーム７の内部を通過した空気配管７１および配線７２は、中空回動軸５１の下端から上端に向かって中空回動軸５１の内周側を通過するとともに、貫通孔３ｅを通過して基端側部分３ａの内部に引き込まれている。また、基端側部分３ａの内部に引き込まれた空気配管７１および配線７２は、基端側部分３ａの内部を通過して支持部３ｄの内部まで引き回されている。なお、２本の空気配管７１のうちの一方の空気配管７１は、給気用の配管であり、他方の空気配管７１は、排気用の配管である。また、図４、図５では、配線７２の図示を省略している。

【0056】

第２ハンド４の支持部４ｄの内部に配置されるエアシリンダ３５用の２本の空気配管７３および支持部４ｄの内部に配置される検知機構３６用の配線（具体的には、センサ４０用の配線）７４は、中空回動軸５１の内周側を通過した後、管状部材５６を通過して第２ハンド４の基端側部分４ａの内部に引き込まれている。すなわち、空気配管７３および配線７４は、中空回動軸５１の内周側を通過した後、切欠き部５１ａを通過して第２ハンド４の基端側部分４ａの内部に引き込まれている。

【0057】

具体的には、本体部８から引き出されて、アーム７の内部を通過した空気配管７３および配線７４は、中空回動軸５１の下端から上端側に向かって中空回動軸５１の内周側を通過するとともに、管状部材５６を通過して基端側部分４ａの内部に引き込まれている。また、基端側部分４ａの内部に引き込まれた空気配管７３および配線７４は、基端側部分４ａの内部を通過して支持部４ｄの内部まで引き回されている。なお、２本の空気配管７３のうちの一方の空気配管７３は、給気用の配管であり、他方の空気配管７３は、排気用の配管である。

【0058】

上述のように、軸支持部材５５には、空気孔５５ａと、空気孔５５ａの横孔が通じる空気溝５５ｃとが形成されている。また、中空回動軸５４には、空気溝５５ｃと同じ高さに配置される空気孔５４ａと、空気孔５４ａが通じる円環状の空気溝５４ｂとが形成されている。さらに、中空回動軸５３には、空気孔５３ａが形成され、空気孔５３ａの、中空回動軸５３の外周面から中空回転軸５４の径方向の内側に向かって形成される横孔は、上下方向において空気溝５４ｂと同じ高さに配置されている。また、空気孔５３ａの上端には、第３ハンド５の基端側部分５ａの内部に配置される継手６３が固定されている。

【0059】

このように、中空回動軸５３、５４および軸支持部材５５には、基端側部分５ａの内部に通じる空気孔５３ａ、５４ａ、５５ａが形成されている。また、空気孔５５ａの下端には、継手および空気配管を介して空気の吸引手段が接続され、空気孔５３ａの上端は、継手６３および空気配管６４を介して、ウエハ搭載部５ｃに形成される吸引孔４６に繋がっており、空気孔５３ａ、５４ａ、５５ａ、空気溝５４ｂ、５５ｃ、継手６３および空気配管６４等によって、ウエハ搭載部５ｃに形成される吸引孔４６でウエハ２を吸引するための空気の吸引路（通り道）が形成されている。

【0060】

また、上述のように、軸支持部材５５には、空気孔５５ｂと、空気孔５５ｂの横孔が通じる空気溝５５ｄとが形成されている。また、中空回動軸５４には、空気溝５５ｄと同じ高さに配置される横孔を有する空気孔５４ｄが形成されている。さらに、空気孔５４ｄの上端には、第４ハンド６の基端側部分６ａの内部に配置される継手６１が固定されている。このように、中空回動軸５４および軸支持部材５５には、基端側部分６ａの内部に通じる空気孔５４ｄ、５５ｂが形成されている。また、空気孔５５ｂの下端には、継手５７および空気配管５８を介して空気の吸引手段が接続され、空気孔５４ｄの上端は、継手６１および空気配管６２を介して、ウエハ搭載部６ｃに形成される吸引孔４６に繋がっている。すなわち、空気孔５４ｄ、５５ｂ、空気溝５５ｄ、継手５７、６１および空気配管５８、６２等によって、ウエハ搭載部６ｃに形成される吸引孔４６でウエハ２を吸引するための吸引路（通り道）が形成されている。

【0061】

なお、本形態では、空気溝５５ｃの上側、空気溝５５ｄの下側、および、空気溝５５ｃと空気溝５５ｄとの間に配置される３個のＯリング５９と、空気溝５５ｃ、５５ｄとによって、回動中心軸５４と軸支持部材５５との間にロータリージョイント６６が形成されている。また、空気溝５４ｂの上下の両側に配置される２個のＯリング５９と、空気溝５４ｂとによって回動中心軸５４と回動中心軸５３との間にロータリージョイント６７が形成されている。

【0062】

（産業用ロボットの概略動作）
図９、図１０は、図１に示すロボット１の動作を説明するための平面図である。

【0063】

本形態のロボット１は、半導体製造システムに組み込まれて使用される。たとえば、ロボット１は、半導体製造システムの入り口に配置されている。この場合、ロボット１は、ウエハ２が所定のピッチで上下方向に重なるように収容されるカセット８１と、ウエハ２が上下方向で重ならないように配置される処理装置８２との間でウエハ２を搬送する。

【0064】

具体的には、ロボット１は、図９（Ａ）、（Ｂ）に示すように、処理装置８２で処理される前の処理前の２枚のウエハ２を第１ハンド３および第２ハンド４によってカセット８１から同時に搬出する。また、ロボット１は、２枚のウエハ２を第１ハンド３および第２ハンド４によってカセット８１から搬出した直後に、図９（Ｃ）に示すように、処理装置８２で処理された後の処理後の２枚のウエハ２を第３ハンド５および第４ハンド６によってカセット８１へ同時に搬入する。第１ハンド３および第２ハンド４がカセット８１からウエハ２を搬出するときには、第１ハンド３の先端側と第２ハンド４の先端側とが上下方向で重なっている。また、第３ハンド５および第４ハンド６がカセット８１にウエハ２を搬入するときには、第３ハンド５の先端側と第４ハンド６の先端側とが上下方向で重なっている。

【0065】

また、ロボット１は、図１０（Ａ）に示すように、処理装置８２で処理された後の処理後の２枚のウエハ２を第３ハンド５および第４ハンド６によって処理装置８２から同時に搬出する。また、ロボット１は、２枚のウエハ２を第３ハンド５および第４ハンド６によって処理装置８２から搬出した直後に、図１０（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、処理装置８２で処理される前の処理前の２枚のウエハ２を第１ハンド３および第２ハンド４によって処理装置８２へ同時に搬入する。第３ハンド５および第４ハンド６が処理装置８２からウエハ２を搬出するときには、第３ハンド５の先端側と第４ハンド６の先端側とが上下方向で重なっていない。第１ハンド３および第２ハンド４が処理装置８２にウエハ２を搬入するときには、第１ハンド３の先端側と第２ハンド４の先端側とが上下方向で重なっていない。

【0066】

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態のロボット１は、アーム７の先端側に連結される４個のハンド３〜６を備えており、４個のハンド３〜６は、アーム７に対して個別に回動可能となっている。そのため、本形態では、上述のように、処理装置８２で処理される前の処理前の２枚のウエハ２を第１ハンド３および第２ハンド４を用いてカセット８１から同時に搬出した直後に、処理装置８２で処理された後の処理後の２枚のウエハ２を第３ハンド５および第４ハンド６を用いてカセット８１へ同時に搬入することができる。また、本形態では、上述のように、第３ハンド５および第４ハンド６を用いて処理後の２枚のウエハ２を処理装置８２から同時に搬出した直後に、第１ハンド３および第２ハンド４を用いて処理前の２枚のウエハ２を処理装置８２へ同時に搬入することができる。したがって、本形態では、ロボット１が組み込まれて使用される半導体製造システムのタクトタイムを短縮することが可能になる。

【0067】

ここで、一般に、カセット８１の中でのウエハ２の配置位置精度は要求されないが、処理装置８２の中でのウエハ２の配置位置精度は要求される。すなわち、カセット８１に対してウエハ２を精度良く搬入する必要はないが、処理装置８２に対してウエハ２を精度良く搬入する必要がある。本形態では、ウエハ２の端面が当接する当接面３１ａを有する端面当接部材３１と、ウエハ２の端面が当接面３１ａに押し付けられるようにウエハ２を押す押付機構３２とを有するグリップ型の保持部３０を備えた第１ハンド３および第２ハンド４によって、ウエハ２がカセット８１から搬出されるとともに処理装置８２に搬入されている。そのため、本形態では、処理装置８２に搬入されるウエハ２を第１ハンド３および第２ハンド４に精度良く搭載することが可能になり、その結果、処理装置８２に対してウエハ２を精度良く搬入することが可能になる。

【0068】

また、吸引型の保持部４５の場合、グリップ型の保持部３０と比較して、第３ハンド５および第４ハンド６に搭載されるウエハ２の位置精度は低下するが、グリップ型の保持部３０のように、手首部１１において２本の空気配管７１、７３および配線７２、７４を引き回す必要がないため、手首部１１の構成を簡素化することが可能になる。本形態では、第３ハンド５および第４ハンド６が吸引型の保持部４５を備えているため、第３ハンド５および第４ハンド６がグリップ型の保持部３０を備えている場合と比較して、手首部１１の構成を簡素化することが可能になる。また、本形態では、吸引孔４６を有する吸引型の保持部４５を備えた第３ハンド５および第４ハンド６によって、ウエハ２が、処理装置８２から搬出されるとともに、カセット８１に搬入されているが、カセット８１では、ウエハ２の搬入位置精度が要求されないため、カセット８１へのウエハ２の搬入位置に起因する問題は生じにくい。

【0069】

また、本形態では、グリップ型の保持部３０を有する第１ハンド３および第２ハンド４が、吸引型の保持部４５を有する第３ハンド５および第４ハンド６よりも上側に配置されており、中空回動軸５１の内周側を利用して空気配管７１、７３および配線７２、７４が引き回されているため、第３ハンド５および第４ハンド６が第１ハンド３および第２ハンド４よりも上側に配置されている場合と比較して、手首部１１の構成を簡素化することが可能になる。

【0070】

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

【0071】

上述した形態では、第１ハンド３および第２ハンド４がグリップ型の保持部３０を備え、第３ハンド５および第４ハンド６が吸引型の保持部４５を備えているが、第１ハンド３および第２ハンド４が吸引型の保持部４５を備え、第３ハンド５および第４ハンド６がグリップ型の保持部３０を備えていても良い。また、上述した形態では、モータ１４、１５は、第２アーム部１０の基端側の内部に配置されているが、モータ１４、１５は、第１アーム部９の内部に配置されても良い。

【0072】

上述した形態では、アーム７は、第１アーム部９および第２アーム部１０の２個のアーム部によって構成されているが、アーム７は、３個以上のアーム部によって構成されても良い。また、上述した形態では、ロボット１は、ウエハ２を搬送するためのロボットであるが、ロボット１は、液晶用のガラス基板等の他の搬送対象物を搬送するロボットであっても良い。

【符号の説明】

【0073】

１ ロボット（産業用ロボット）
２ ウエハ（半導体ウエハ、搬送対象物）
３ ハンド（第１ハンド、第１ハンド対の一部）
３ａ 基端側部分（第１ハンドの基端側部分）
３ｃ 搭載部
３ｄ 支持部
４ ハンド（第２ハンド、第１ハンド対の一部）
４ａ 基端側部分（第２ハンドの基端側部分）
４ｃ 搭載部
４ｄ 支持部
５ ハンド（第３ハンド、第２ハンド対の一部）
５ａ 基端側部分（第３ハンドの基端側部分）
６ ハンド（第４ハンド、第２ハンド対の一部）
６ａ 基端側部分（第４ハンドの基端側部分）
７ アーム
８ 本体部
３０ 保持部
３１ 端面当接部材
３１ａ 当接面
３２ 押付機構
３４ 押付部
３５ エアシリンダ
３６ 検知機構
４５ 保持部
４６ 吸引孔
５１ 中空回動軸（第１中空回動軸）
５１ａ 切欠き部
５２ 中空回動軸（第２中空回動軸）
５３ 中空回動軸（第３中空回動軸）
５３ａ 空気孔
５４ 中空回動軸（第４中空回動軸）
５４ａ、５４ｄ 空気孔
７１ 空気配管（第１ハンドの支持部の内部に配置されるエアシリンダ用の空気配管）
７２ 配線（第１ハンドの支持部の内部に配置される検知機構用の配線）
７３ 空気配管（第２ハンドの支持部の内部に配置されるエアシリンダ用の空気配管）
７４ 配線（第２ハンドの支持部の内部に配置される検知機構用の配線）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】