特許 6649819 液晶光変調素子ユニット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6649819

(24)【登録日】2020年1月21日

(45)【発行日】2020年2月19日

(54)【発明の名称】液晶光変調素子ユニット

(51)【国際特許分類】

   G02F 1/13 20060101AFI20200210BHJP

   G02B 5/00 20060101ALI20200210BHJP

   G02B 21/06 20060101ALI20200210BHJP

【ＦＩ】

   G02F1/13 505

   G02B5/00 Z

   G02B21/06

【請求項の数】6

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2016-49526(P2016-49526)

(22)【出願日】2016年3月14日

(65)【公開番号】特開2017-167192(P2017-167192A)

(43)【公開日】2017年9月21日

【審査請求日】2018年11月1日

(73)【特許権者】

【識別番号】000001960

【氏名又は名称】シチズン時計株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100126583

【弁理士】

【氏名又は名称】宮島 明

(72)【発明者】

【氏名】横山 正史

【審査官】 廣田 かおり

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１５−０７５７２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１２／１２４６３４（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２０１１−２４２７１２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−２７０７１７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０２Ｆ １／１３

Ｇ０２Ｂ ２１／０６

Ｇ０３Ｂ １１／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

筐体と、該筐体に光軸を回転軸として回転可能に設置された液晶光変調素子と、を有する液晶光変調素子ユニットであって、
前記液晶光変調素子は、前記液晶光変調素子の光変調領域の外側に第１の接続電極を有し、
前記筐体は、前記第１の接続電極と当接する第２の接続電極と、を備え、
前記第１の接続電極と第２の接続電極のうち、少なくとも一方は、前記光軸を中心とする同心円上に形成された円弧状の電極である
ことを特徴とする液晶光変調素子ユニット。

【請求項2】

前記第２の接続電極は、前記第１の接続電極と前記第２の接続電極との当接方向に弾性を有する
ことを特徴とする請求項１に記載の液晶光変調素子ユニット。

【請求項3】

前記筐体は、回転位置調整機構部を備え、
前記回転位置調整機構部は、前記液晶光変調素子の前記光変調領域に対応する位置に開口部を有し、前記液晶光変調素子と一体で回転する
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の液晶光変調素子ユニット。

【請求項4】

前記液晶光変調素子の回転範囲を規制する回転規制手段が、前記液晶光変調素子を収納する液晶ホルダに備えた凸部、及び前記液晶ホルダを支える液晶ホルダ押えのストッパ部に、それぞれ設けられていることを特徴とする請求項１から３のいずれか一つに記載の液晶光変調素子ユニット。

【請求項5】

前記液晶光変調素子は、側面に液晶の封孔口を有し、
前記第１の接続電極は、前記同心円状における前記封孔口に対応する箇所を除いた領域に形成する
ことを特徴とする請求項１から４のいずれか一つに記載の液晶光変調素子ユニット。

【請求項6】

前記第１の接続電極と前記第２の接続電極とを当接する方向に押圧する押圧機構部を有する
ことを特徴とする請求項１から５のいずれか一つに記載の液晶光変調素子ユニット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、透過する光の位相制御が可能な液晶光変調素子を有する液晶光変調素子ユニットに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、レーザ顕微鏡、光ピックアップ装置、レーザ加工機など、光を対象物に照射することにより、その対象物の形状などの情報を検出したり、その対象物に何らかの変化を生じさせる光学装置が利用されている。このような光学装置に、例えば、液晶からなる液晶光変調素子を有する液晶光変調素子ユニットを組み込み、波面収差を補償する技術が提案されている。

【0003】

液晶光変調素子を光学装置内に配置して、光学系で生じる波面収差をキャンセルさせる位相分布をその液晶光変調素子を通る光束に与えることで、波面収差を補償することもよく知られている。

【0004】

上記の、この特性を発揮するには、光学装置光源の直線偏光の偏光面と、液晶光変調素子の液晶の配向方向を合わせるアライメント調整を要し、液晶光変調素子を回転する回転機構を設けてアライメント調整をする液晶光変調素子ユニットが提案されている（例えば、特許文献１参照。）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１５−７５７２１号公報（第９頁、図６）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、特許文献１に示した従来技術において、アライメント調整が液晶光変調素子ユニット全体を回転する構成であるため、液晶光変調素子を電気的に駆動する液晶光変調素子ユニットの外部接続用のコネクタ及びケーブルの出っ張る方向によっては、測定や観察の邪魔となることが多く操作性に問題があった。

【0007】

そこで、本発明は、これらの問題を解決するためになされたものであり、液晶光変調素子ユニットのコネクタ及びケーブルを所定の位置に配置して動かさずに、光学装置光源の直線偏光の偏光面と、液晶光変調素子ユニットの液晶光変調素子の配向方向を合わせるアライメント調整が可能な液晶光変調素子ユニットを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記目的を達成するために、本発明の光変調モジュールは、以下の構造を採用する。

【0009】

筐体と、筐体に光軸を回転軸として回転可能に設置された液晶光変調素子と、を有する液晶光変調素子ユニットであって、液晶光変調素子は、液晶光変調素子の光変調領域の外側に第１の接続電極を有し、筐体は、第１の接続電極と当接する第２の接続電極と、を備え、第１の接続電極と第２の接続電極のうち、少なくとも一方は、光軸を中心とする同心円上に形成された円弧状の電極であることを特徴とする。

【0010】

本発明に係る液晶光変調素子ユニットにおける第２の接続電極は、上記構成に加えて、第１の接続電極と第２の接続電極との当接方向に弾性を有していてもよい。

【0011】

本発明に係る液晶光変調素子ユニットにおける筐体は、回転位置調整機構部を備え、回転位置調整機構部は、液晶光変調素子の光変調領域に対応する位置に開口部を有し、液晶光変調素子と一体で回転してもよい。

【0012】

本発明に係る液晶光変調素子ユニットは、液晶光変調素子の回転範囲を規制する回転規制手段が、前記液晶光変調素子を収納する液晶ホルダに備えた凸部、及び前記液晶ホルダを支える液晶ホルダ押えのストッパ部に、それぞれ設けられていてもよい。

【0013】

本発明に係る液晶光変調素子ユニットにおける液晶光変調素子は、側面に液晶の封孔口を有し、第１の接続電極は、同心円状における封孔口に対応する箇所を除いた領域に形成してもよい。

【0014】

本発明に係る液晶光変調素子ユニットは、第１の接続電極と第２の接続電極とを当接する方向に押圧する押圧機構部を有していてもよい。

【発明の効果】

【0015】

以上のように、液晶光変調素子ユニットの外部接続用のコネクタ及びケーブルを光学装置の測定や観察の邪魔とならない位置に配置し固定したまま、液晶光変調素子ユニットの筐体内部に設置された液晶光変調素子の配向方向を光軸回りに回転するアライメント調整が可能であり、光学装置の波面収差補正を容易に行なうことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】本発明の液晶光変調素子ユニットの第１の実施形態の斜視図である。

【図2】本発明の液晶光変調素子ユニットの第１の実施形態を説明するための分解斜視図である。

【図3】本発明の液晶光変調素子ユニットの第１の実施形態を説明するための断面図である。

【図4】本発明の液晶光変調素子の第１の実施形態を説明するための平面図である。

【図5】本発明の液晶光変調素子ユニットの図３の部分詳細断面図である。

【図6】本発明の液晶光変調素子ユニットの第１の実施形態を説明するための底面図である。

【図7】本発明の液晶光変調素子ユニットの第１の実施形態の変形例を説明するための底面図である。

【図8】本発明の液晶光変調素子の第２の実施形態を説明するための平面図である。

【図9】本発明の液晶光変調素子ユニットの第２の実施形態を説明するための分解斜視図である。

【図10】本発明の液晶光変調素子ユニットの第２の実施形態の図３と同様の部分詳細断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

本発明の液晶光変調素子ユニットは、顕微鏡等の光学装置に取り付けられ、光学装置の光学系の波面収差の補正を可能とするものであって、液晶光変調素子ユニットの取り付け状態を保持したまま、アライメント調整を可能とすることを特徴とする。

【0018】

以下、図面を用いて液晶光変調素子ユニットを詳述する。
図１〜図６を用いて液晶光変調素子ユニットの第１の実施形態を説明する。次に、図７を用いて液晶光変調素子ユニットの回転規制手段の変形例を説明する。

【0019】

［液晶光変調素子ユニットの第１の実施形態の全体構成の説明：図１〜図３］
はじめに、図１〜図３を用いて、液晶光変調素子ユニットの全体構成を説明する。
図１は、液晶光変調素子ユニットの外観を示す斜視図であり、図２は、この液晶光変調素子ユニットの分解斜視図であり、図３は、液晶光変調素子ユニットの光軸を通る筐体長手方向の断面図である。なお、各図において同一の構成部材には同一の番号を付して、重複する説明は省略する。

【0020】

図１に示すように、液晶光変調素子ユニット１は、光軸Ｚに沿って入射する光学装置の直線偏光の偏光Ｖが筐体１０と液晶ホルダ押え４０に挟持された液晶光変調素子２０を透過し、位相変調制御された位相変調光Ｗを出射する。

【0021】

そして、液晶光変調素子ユニット１は、位相変調を可能とするために光学装置の直線偏光の偏光方向と液晶光変調素子の配向方向を一致させるアライメント調整機能と、入射光を位相変調するために液晶光変調素子を制御する外部制御回路に接続する機能を有する。

【0022】

アライメント調整のために、ノブ３１を矢印Ａあるいは矢印Ｂ方向に回動させたときに、液晶光変調素子２０が光軸Ｚを中心に回動できるようになっている。つまり、液晶光変調素子２０の配向方向を光軸Ｚを中心に回転させることができる。
また、位相変調のために、液晶光変調素子２０は上述のアライメント調整を行ったとしてもコンタクトプローブ５０の一端と電気的に接続されるようになっており、コンタクトプローブ５０の他端側は回路基板６０、コネクタ６１、ケーブル６２と電気的に接続されており、外部制御回路に電気的な接続が可能となっている。
すなわち、液晶光学素子２０をアライメント調整のために回動できるとともに、外部制御回路に接続される固定配置されたコンタクトプローブ５０及び回路基板６０と電気的に接続できる構成としているため、光学装置への液晶光変調素子ユニット１の組み込みに当たって、外部の制御回路に接続するために突出するコネクタ６１やケーブル６２の配回しがアライメント調整や光学装置の操作の邪魔にならない構成とすることが可能となっている。

【0023】

図２、図３に示すように、液晶光変調素子ユニット１は、主には、上述した回路基板６０と、コンタクトプローブ５０と、筐体１０と、液晶光変調素子２０と、液晶ホルダ３０と、液晶ホルダ押え４０から構成され、液晶光変調素子２０は第１の接続電極である接続電極２５を、筐体１０は第２の接続電極であるコンタクトプローブ５０をそれぞれ有している。図２において筐体１０は、部分断面の箇所を表示する。

【0024】

筐体１０は、液晶光変調素子２０を格納し、液晶光変調素子２０と電気的な接続をするためのコンタクトプローブ５０と回路基板６０を搭載可能な構成であり、開口部１１、凹部１２、コンタクトプローブ孔１３、ネジ孔１４を有する。
開口部１１は、筐体１０上に形成された孔であって、光軸Ｚを中心とする同心円の形状をしており、光学装置の偏光Ｖが光軸Ｚに沿って入射可能となっている。
凹部１２は、筐体１０の内面に形成されており、光軸Ｚを中心とする同心円状の下面側に開いた構造となっている。この凹部１２は、液晶ホルダ３０の収納可能な凹部であって、液晶ホルダ３０を光軸Ｚ回りに回動可能に嵌合することができる。
コンタクトプローブ孔１３は、液晶光変調素子２０に形成された第１の接続電極である接続電極２５と第２の接続電極であるコンタクトプローブ５０とを電気的に接続可能になる位置に形成されている。コンタクトプローブ５０は、このコンタクトプローブ孔１３によって位置決めされ、接着することによって、液晶光変調素子２０の接続電極２５に接触可能な位置に配置される。
ネジ孔１４は、回路基板６０をネジ６３でネジ止めし、そして、液晶ホルダ押え４０をネジ４４でネジ止めするネジ孔である。

【0025】

液晶光変調素子２０は、円板状であって、円板状の上下の透明基板２１、２２とシールで形成された空間に液晶が充填され、封孔口を封孔部材２４で封止されている。透明基板２１、２２の液晶が充填されている側には透明電極による液晶駆動電極が形成されており、例えば液晶駆動電極をラビング処理などの公知技術を用いることによって、液晶の初期配向方向を揃えることができる。図２においては、配向方向を矢印Ｃで示している。液晶光変調素子２０の矢印Ｃの配向方向は、封孔口方向に形成されるのが望ましい。

【0026】

下側の透明基板２２は、上側の透明基板２１より外径が大きく、その外周縁に液晶を駆動する外部引き出し電極として、例えば、インジウム錫酸化物膜などの透明導電膜からなる接続電極２５が複数本、円板の中心の光軸Ｚを中心軸として円弧状に形成されている。この接続電極２５は、第１の接続電極であり、上述した基板２１、２２に形成された液晶駆動電極とそれぞれ接続されている。そして、この接続電極２５は、上述したように、筐体１０の孔１３に位置決め配置されたコンタクトプローブ５０と接触し外部制御回路との電気的な接続が可能となる。

【0027】

液晶ホルダ３０は、上述した筐体１０の凹部１２と嵌合する円盤形状であって、筐体１０と対面する側に光軸Ｚを中心とする同心円状の凹部３２を有し、さらに液晶ホルダ３０を貫通する開口部３３を有している。また、液晶ホルダ３０は光軸Ｚを中心に回動できるようにノブ３１を取付可能なネジ孔を有する。
凹部３２には、液晶光変調素子２０が収納固着される。固着手段は押さえ部材や接着剤などを用いることができるが、接着する場合は、液晶光変調素子２０を着脱可能な接着力としておくのが好ましい。ここでは一例として、液晶光変調素子２０は、封孔部材２４とノブ３１の取付け方向とを同じにして収納固着される。
開口部３３は、光軸Ｚを中心とする同心円状の孔であり液晶光学素子２０によって光変調された位相変調光Ｗを出射できるように、液晶光学素子２０の光変調領域に対応する大きさの開口形状で形成されている。
ノブ３１は、ネジの段付き形状であって、液晶ホルダ３０にネジ止めするネジ部３１１と、指先で操作のしやすい大きさの径のネジ頭で形成されている。

【0028】

液晶ホルダ押え４０は、液晶ホルダ３０が筐体１０から外れないように押さえる役割をする部品であり、筐体１０のネジ孔１４に対応する位置に開口を有し、下面側から、ネジ４４で筐体１０のネジ孔１４にネジ止めされる。また、液晶ホルダ押え４０は、位相変調光Ｗが通過できるように半円状の切り欠き部４１と、ノブ３１の回動領域を制限するストッパ部４２とを有している。

【0029】

上述した回路基板６０と、コンタクトプローブ５０と、筐体１０と、液晶光変調素子２０と、液晶ホルダ３０と、液晶ホルダ押え４０とを組み立てたときの断面の構成について図３を用いて説明する。図３に示すように、液晶ホルダ３０は、筐体１０の凹部１２に嵌合収納され、液晶ホルダ押え４０で摺動可能に挟持され、光軸Ｚを中心としてノブ３１で矢印Ａあるいは矢印Ｂ方向（図１参照）に回動可能に構成されている。すなわち、液晶ホルダ３０は、ノブ３１によって光軸Ｚを中心として液晶光変調素子２０の配向方向を回転し、アライメント調整が可能な回転位置調整機構部を形成している。

【0030】

筐体１０に位置決め固着されたコンタクトプローブ５０は、液晶光変調素子２０の下側の透明基板２２に形成された接続電極２５を弾性的に押圧し電気的な接続を可能とし、その押圧力は液晶ホルダ押え４０で支えられている。コンタクトプローブ５０にバネピンを用いて、接続電極２５に対して押圧力をもたせる構造としてもよい。

【0031】

したがって、光学装置の偏光Ｖは、筐体１０の開口部１１を通過し、液晶光変調素子２０を透過して外部制御回路からの制御信号で位相変調した位相変調光Ｗに変換し、液晶光
変調素子２０と一体で回動する液晶ホルダ３０の開口部３３を通過し、そして、液晶ホルダ押え４０の切り欠き部４１を通過する光路を形成している。

【0032】

［液晶光変調素子と接点機構の説明：図４、図５］
次に、液晶光変調素子ユニットの外部接続用ケーブルの位置を固定したまま、液晶光変調素子を光軸回りに回転するアライメント調整を可能とする接点機構について説明する。
図４は、液晶光変調素子２０の平面図であり、図５は、図３に示す液晶光変調素子ユニット１のコンタクトプローブ５０と液晶光変調素子２０の接点部分のＤ部の詳細断面図である。なお、液晶光変調素子２０を構成する各層の構造は公知で有るので詳細な説明は省略する。

【0033】

図４に示すように、液晶光変調素子２０は、上述したように、円板状の上下の透明基板２１、２２とシール２３で形成された空間に液晶が充填され、封孔口を封孔部材２４で封止されて形成されている。液晶光変調素子２０の光変調領域２６は、少なくともシール２３の内側に形成されている。液晶光変調素子２０の外周縁には第１の接続電極である接続電極２５が外部引き出し電極として円弧状に形成されている。この接続電極２５の円弧の中心軸は光変調領域２６の光軸Ｚと同軸であり、かつ、筐体１０の開口部１１と液晶ホルダ３０の開口部３３の光軸Ｚとも同軸となるように形成されている。また、接続電極２５は、光変調領域２６に形成された液晶駆動電極とそれぞれ接続されており、接続電極２５に電圧を印加することによって液晶を駆動することができる。光変調領域２６内において矢印Ｃで示す液晶の配向方向は、封孔口と一致する方向が望ましい。

【0034】

液晶光変調素子は光軸Ｚに対して点対称の液晶駆動電極を有しており、液晶のある配向方向に対して、液晶光変調素子を１８０度回転させたときに得られる位相変調プロファイルは同じであるため、アライメント調整に必要な液晶光変調素子２０の光軸Ｚ回りの最大回転角度が１８０度であるが、それ以上の角度分の接続電極２５を形成してもよく、図４においては、光軸Ｚを中心軸として円弧状に形成された複数の接続電極２５は、封孔口の部分を除いて２７０度近くの円弧状に形成されている。すくなくとも、液晶光変調素子を回転させたときに同じ位相変調プロファイルを得られる回転角度の分だけ接続電極２５を形成すればよい。

【0035】

図５に示すように、第２の接続電極としてコンタクトプローブ５０が下側の透明基板２２に形成された接続電極２５に当接する。そして、上述したように、コンタクトプローブ５０は、接続電極２５との接触を確実にするためその当接方向に弾性を持って押圧する構成を備えており、その押圧の力を液晶光変調素子２０、液晶ホルダ３０を介して液晶ホルダ押え４０で支える構成を形成している。すなわち、液晶ホルダ押え４０は、コンタクトプローブ５０が接続電極２５に当接する方向に押圧する力を支持する押圧機構部を形成する。

【0036】

そして、接続電極２５は、下側の透明基板２２に光軸Ｚを中心として円弧状に形成されているから、図１で説明したように、ノブ３１によって液晶ホルダ３０を矢印Ａあるいは矢印Ｂ方向に回動しても、接続電極２５の半径方向の位置が不変で、コンタクトプローブ５０との相対位置が変わらず確実な電気的な接続を可能としている。

【0037】

したがって、液晶光変調素子ユニット１は、ケーブル６２を操作の邪魔とならない位置に固定されるように配置して、ノブ３１だけを矢印Ａあるいは矢印Ｂ方向に回動して容易なアライメント調整が可能となり、調整後の光学装置での測定や観察の操作性も容易となる。ノブ３１の代わりにモータを配置して、筐体１０の内部から液晶ホルダ３０を回転できるようにすれば、ノブ３１による配置上の影響もなくすことができる。

【0038】

［液晶光変調素子ユニットの第１の実施形態の回転規制手段の説明：図６］
次に、液晶光変調素子の回転規制手段について説明する。
図６は、液晶光変調素子ユニット１の下面側からみた底面の平面図である。

【0039】

図６に示した第１の実施形態の液晶光変調素子ユニット１は、上述したように、液晶光変調素子２０の矢印Ｃで示す配向方向を光学装置の直線偏光の偏光面に一致するように、液晶ホルダ３０のノブ３１を矢印Ａあるいは矢印Ｂ方向に回転してアライメント調整を可能としている。

【0040】

このアライメント調整おける液晶ホルダ３０の可動角度範囲は、最大で１８０度の回転角度であるから、点線で示したノブ３１の頭が液晶ホルダ押え４０のストッパ部４２に当接する回転規制手段で、１８０度の最大可動範囲が形成される。

【0041】

そして、ノブ３１の方向に液晶光変調素子２０の封孔口を合わせて、液晶光変調素子２０を液晶ホルダ３０に収納固着することによって、点線で示したノブ３１の頭がストッパ部４２に当接する位置に達したとしても、コンタクトプローブ５０の接触領域５１に封孔部材２４（図２参照）が干渉することなく、液晶光変調素子２０にダメージを与える危険がない。

【0042】

［液晶光変調素子ユニットの回転規制手段の変形例の説明：図７］
次に、液晶光変調素子の回転規制手段の第１の実施形態の変形例について説明する。
図７は、図６と同様に、液晶光変調素子ユニット２の底面の平面図である。

【0043】

この変形例の第１の実施形態と異なる点は、液晶ホルダ押え４０にノブ３１が回動する軌跡に沿って、溝４３が形成されている点である。

【0044】

図７に示すように、液晶光変調素子ユニット２は、液晶ホルダ押え４０に段付きネジであるノブ３１のネジ部３１１の径に相当する幅の溝４３が形成され、ノブ３１が溝４３に沿って矢印Ａあるいは矢印Ｂ方向に回動する構造で形成されている。そして、第１の実施形態と同様に、点線で示したノブ３１のネジ部３１１（図２参照）が溝４３の両端で当接する回転規制手段となり、ノブ３１の最大可動範囲が１８０度に形成されている。したがって、第１の実施形態と同様に、コンタクトプローブ５０の接触領域５１に封孔部材２４（図２参照）が干渉することなく、液晶光変調素子２０にダメージを与える危険がない。

【0045】

更に、アライメント調整後に、ノブ３１のネジを締め付けることによって、ノブ３１を含め液晶ホルダ３０と液晶ホルダ押え４０をクランプすることが可能で、誤ってノブ３１に触れたとしても、液晶ホルダ３０が動くことなく、アライメント調整が狂うこともない。

【0046】

［液晶光変調素子ユニットの第２の実施形態の説明：図８〜図１０］
次に、図８から図１０を用いて第２の実施形態を説明する。
第２の実施形態は、光軸Ｚを中心として回動する液晶光変調素子に形成される第１の接続電極を円弧状の接続電極とするのではなく、固定した筐体に形成する第２の接続電極を円弧状とする点が第１の実施形態と異なり、他の構成は全く同一である。
図８は、液晶光変調素子の平面図であり、図９は、液晶光変調素子ユニットの分解斜視図で、図２で示した分解斜視図の上下を逆にした図であり、図１０は、図５で示した接点部分と同様の詳細断面図である。なお、各図において同一の構成部材には同一の番号を付して、重複する説明は省略する。

【0047】

図８に示すように、第２の実施形態の液晶光変調素子２０Ａは、図４で示した液晶光変
調素子２０と接続電極の形状が異なるだけで、他は全く同一である。すなわち、液晶光変調素子２０Ａの下側の透明基板２２の外周縁に液晶を駆動するための第１の接続電極として端子電極２５Ａ、２５Ｂが端子形状で形成されており、その配置は光軸Ｚを中心として封孔部材２４と対称の位置に形成されている。半径方向外側の端子電極２５Ｂは、内側の端子電極２５Ａの半径方向に相当する位置を絶縁膜２５Ｃで覆われ、後述する筐体１０Ａに形成される円弧電極による電気的な短絡を防止している。

【0048】

図９に示すように、液晶光変調素子ユニット３は、筐体１０Ａの凹部１２に、光軸Ｚを中心として、同心円で円弧状の溝１４がコンタクトプローブ孔１３（図２参照）に一致する位置に形成され、その溝１４に第２の接続電極である導電性ゴム１５が嵌めこまれ固着されている。したがって、同心円で円弧状に形成された導電性ゴム１５が光軸Ｚを中心として回動する液晶光変調素子２０Ａの端子電極２５Ａ、２５Ｂの軌跡と一致して当接し、電気的接続を可能としている。そして、導電性ゴム１５の円弧の開口角度はアライメント調整範囲の１８０度以上の角度で形成されることが望ましい。

【0049】

図１０に示すように、筐体１０Ａの円弧状の溝１４に嵌めこまれた導電性ゴム１５の第２の接続電極が下側の透明基板２２に形成された端子電極２５Ａ、２５Ｂに当接する。そして、導電性ゴム１５は、端子電極２５Ａ、２５Ｂとの接触を確実にするため、当接方向にゴム弾性で押圧し、その押圧の力を液晶光変調素子２０Ａの下側の透明基板２２、液晶ホルダ３０を介して液晶ホルダ押え４０で支える構成を形成している。すなわち、液晶ホルダ押え４０は、導電性ゴム１５が端子電極２５Ａ、２５Ｂに当接する方向に押圧する力を支持する押圧機構部を形成する。
そして、外部制御回路からの制御信号は、ケーブル、コネクタ、回路基板、そして、コンタクトプローブ５０と導電性ゴム１５を経由して端子電極２５Ａ、２５Ｂから液晶光変調素子２０Ａに伝達され、位相変調制御される。

【0050】

液晶光変調素子ユニット３は、筐体１０Ａに固定配置した円弧状の接続電極の導電性ゴム１５と、液晶光変調素子２０Ａの端子電極２５Ａ、２５Ｂが当接して接続するので、液晶光変調素子ユニットを固定したまま、液晶光変調素子を回転しても電気的な接続が保たれ、アライメント調整が可能であり、光学装置の波面収差補正を容易に行なうことが可能となる。

【0051】

したがって、本発明の液晶光変調素子ユニットは、外部接続用のコネクタ及びケーブルを光学装置の測定や観察の邪魔とならない位置に配置し固定したまま、液晶光変調素子の配向方向を光軸回りに回転するアライメント調整が容易であり、光学装置の波面収差補正を容易に行なうことが可能となり、その後の光学装置での測定や観察の操作性も容易となる。

【0052】

なお、液晶光変調素子の透明基板を円板状として説明を行ったが、これに限定されず、矩形形状でもよいし、六角形の形状や八角形の形状としてもよい。このとき、液晶ホルダにおける凹部の形状を液晶光変調素子が収まるようにしておけばよい。

【0053】

なお、本発明は、上述した液晶光変調素子ユニットの実施例に限定されることはなく、それらの全てを行う必要もなく、特許請求の範囲の各請求項に記載した内容の範囲で種々に変更や省略をすることができることは言うまでもない。

【符号の説明】

【0054】

１、２、３ 液晶光変調素子ユニット
１０、１０Ａ 筐体
１１ 開口部
１２ 凹部
１３ コンタクトプローブ孔
１４ 溝
１５ 導電性ゴム
２０、２０Ａ 液晶光変調素子
２１ 透明基板
２２ 透明基板
２３ シール
２４ 封口部材
２５ 接続電極
２５Ａ、２５Ｂ 端子電極
２５Ｃ 絶縁膜
２６ 光変調領域
３０ 液晶ホルダ
３１ ノブ
３２ 凹部
３３ 開口部
４０ 液晶ホルダ押え
４１ 切り欠き部
４２ ストッパ部
４３ 溝
４４ ネジ
５０ コンタクトプローブ
５１ 接触領域
６０ 回路基板
６１ コネクタ
６２ ケーブル
６３ ネジ
３１１ ネジ部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】