特許 6649944 Ｘ線光学系による試料の走査方法及び試料走査用装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6649944

(24)【登録日】2020年1月21日

(45)【発行日】2020年2月19日

(54)【発明の名称】Ｘ線光学系による試料の走査方法及び試料走査用装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 23/20016 20180101AFI20200210BHJP

【ＦＩ】

   G01N23/20016

【請求項の数】15

【全頁数】29

(21)【出願番号】特願2017-507980(P2017-507980)

(86)(22)【出願日】2015年8月13日

(65)【公表番号】特表2017-527794(P2017-527794A)

(43)【公表日】2017年9月21日

(86)【国際出願番号】EP2015068637

(87)【国際公開番号】WO2016023975

(87)【国際公開日】20160218

【審査請求日】2018年7月17日

(31)【優先権主張番号】102014216081.2

(32)【優先日】2014年8月13日

(33)【優先権主張国】DE

(31)【優先権主張番号】102014219601.9

(32)【優先日】2014年9月26日

(33)【優先権主張国】DE

(73)【特許権者】

【識別番号】515222687

【氏名又は名称】ブルーカー ナノ ゲーエムベーハー

【氏名又は名称原語表記】ＢＲＵＫＥＲ ＮＡＮＯ ＧＭＢＨ

(74)【代理人】

【識別番号】110001139

【氏名又は名称】ＳＫ特許業務法人

(74)【代理人】

【識別番号】100130328

【弁理士】

【氏名又は名称】奥野 彰彦

(74)【代理人】

【識別番号】100130672

【弁理士】

【氏名又は名称】伊藤 寛之

(72)【発明者】

【氏名】ヴァルトシュレーガー， ウルリッヒ

【審査官】 佐藤 仁美

(56)【参考文献】

【文献】 特開昭６１−０３５３０４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２０００−５０２１８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０６−２６５４８５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１４／０５４４１７（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 米国特許出願公開第２００６／０２４５５４８（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 特開平０６−１３０１９４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

ＩＰＣ

Ａ６１Ｂ ６／００− ６／１４、

Ｇ０１Ｎ ２３／００−２３／２２７６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

試料にＸ線を照射するためのＸ線光学系を用いて、前記試料を走査する方法であって、
工程（ａ）と、工程（ｂ）と、工程（ｃ）とを備え、
前記工程（ａ）では、第１旋回軸回りに前記Ｘ線光学系を旋回させることによって、前記Ｘ線光学系の射出点（１０８）によって規定される、前記試料の中の測定点を第１走査方向へ移動し、
前記射出点（１０８）は、射出焦点（１０８）であり、
前記工程（ｂ）では、前記第１走査方向（９２）に沿って、少なくとも２つの測定点（１０６）で試料（９９）から発する放射線（１０７ｂ）を検出し、
前記工程（ｃ）では、検出された放射線（１０７ｂ）と関連する測定値を結びつけて、全体走査をなす、
方法。

【請求項2】

前記工程（ｂ）のあとに以下の工程を含む、請求項１に記載の方法。
・前記Ｘ線光学系（１００）を第２旋回軸（３７６）回りに旋回させることによって、前記試料（９９）の測定点（１０６）を第２走査方向（９３）に移動する工程
・前記工程（ａ）及び（ｂ）を繰り返す工程

【請求項3】

前記第１旋回軸（３３６）又は前記第２旋回軸（３７６）の少なくとも１つが、前記Ｘ線光学系（１００）の入射点（１０４）を通る、請求項１又は請求項２に記載の方法。

【請求項4】

前記方法は、前記試料（９９）を前記第１走査方向（９２）又は前記第２走査方向（９３）の少なくとも１つの方向に移動する工程を含む、請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の方法（９０）。

【請求項5】

前記試料（９９）を走査するための装置（９６）であって、
Ｘ線光学系（１００）と、ゴニオメータ（３００）と、アクチュエータ（１１７）と、制御デバイス（９７）とを備え、
前記Ｘ線光学系（１００）は、射出点（１０８）を有し、前記射出点（１０８）は、射出焦点であり、
前記Ｘ線光学系（１００）は、前記試料（９９）にＸ線（１０７ａ）を照射するためのものであり、
前記ゴニオメータ（３００）は、前記Ｘ線光学系（１００）に接続されたゴニオメータ（３００）であって、前記Ｘ線光学系（１００）を第１旋回軸（３３６）回りに旋回させるように構成されたものであり、
前記アクチュエータ（１１７）は、前記ゴニオメータ（３００）を作動させるように構成された少なくとも１つものであり、
前記制御デバイス（９７）は、請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の方法（９０）を実施するように構成されたものである、
装置。

【請求項6】

前記ゴニオメータ（３００）が、前記Ｘ線光学系（１００）を第２旋回軸（３７６）回りに旋回させるように構成されている、請求項５に記載の装置（９６）。

【請求項7】

前記Ｘ線光学系（１００）が、Ｘ線レンズ、キャピラリーレンズ、又はポリキャピラリーレンズである、請求項５又は請求項６に記載の装置（９６）。

【請求項8】

前記アクチュエータ（１１７）は、電気モータ、リニアモータ又は圧電素子を含む、請求項５〜請求項７のいずれか一項に記載の装置（９６）。

【請求項9】

前記ゴニオメータが、少なくとも１つの台形ガイド（３２０、３６０）を備える、請求項５〜請求項８のいずれか一項に記載の装置（９６）。

【請求項10】

前記少なくとも１つの台形ガイド（３２０、３６０）は、一対の連結部材（３２６、３６６）（３２０、３６０）によって連結されている第１対向部材（３２２、３６２）と第２対向部材（３２４、３６４）とを含む、請求項９に記載の装置（９６）。

【請求項11】

２つの台形ガイド（３２０、３６０）を備えている装置（９６）であって、
前記各ガイド（３２０、３６０）の前記第２対向部材（３２４、３６４）と前記第１旋回軸（３３６）との間に前記第１対向部材（３２２、３６２）が配置され、
前記第１対向部材（３２２、３６２）は、前記台形ガイド（３２０、３６０）の前記第２対向部材（３２４、３６４）と第１旋回軸（３３６）の間に配置され、
少なくとも２つの台形ガイドの、前記第１対向部材（３２２、３６２）のうちの２つ又は前記第２対向部材（３２４、３６４）のうちの２つは、互いに固定して接続されているか又は一体型の構造体となる、
請求項１０に記載の装置（９６）。

【請求項12】

前記第１台形ガイド（３２０）の前記第１対向部材（３２２）は、Ｘ線光学系（１００）に固定して接続され、
前記第１台形ガイド（３２０）の前記第２対向部材（３２４）は、前記第２台形ガイド（３６０）の第２対向部材（３６４）に固定して接続されているか、又は前記第２台形ガイドと一体型の構造体となり、
第２台形ガイド（３６０）の第１対向部材（３６２）は、前記装置（９６）を固定するためのものである、
請求項１０又は請求項１１に記載の装置（９６）。

【請求項13】

前記ゴニオメータ（３００）が、前記台形ガイド（３２０、３６０）の少なくとも１つが、湾曲ベアリング（３６６）を備える、請求項９〜請求項１２の少なくとも一項に記載の装置（９６）。

【請求項14】

前記台形ガイド（３２０、３６０）は、入れ子構造を有する、請求項９〜請求項１３のいずれか一項に記載の装置（９６）。

【請求項15】

前記ゴニオメータ（３００）が一体型の構成を有する、請求項５〜請求項１４のいずれか一項に記載の装置（９６）。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、試料にＸ線を照射するためのＸ線光学系によって試料を走査する方法に関する。 本発明は、試料を走査するための装置にも関し、この装置はＸ線光学系を含む。

【背景技術】

【0002】

従来技術によれば、Ｘ線光学系は、測定装置内でＸ線管の焦点に位置を調整され、所望の方向に一直線に配置される。Ｘ線光学系の一例は、ポリキャピラリーＸ線レンズである。ポリキャピラリーＸ線レンズは、入射焦点及び射出焦点を含む。

【0003】

測定装置の基本的な調整において、入射焦点は、Ｘ線管上の１つの焦点となる。前記焦点は、陽極に電極ビームを照射することによって生成され、これによりＸ線が生成される。前記入射焦点が、前記焦点スポットと一直線になるので、照射されるＸ線の最大量を試料の検査に用いることができる。

【0004】

前記試料を走査するために、Ｘ線光学系の射出焦点は、前記試料上に配置される。試料台を実際に走査するプロセスにおいて、前記試料は前記試料台に配置され、２つの異なる方向（ｘ及びｙ方向）に移動され、前記試料はこれらの方向に沿って分析される。これは、ラスタ走査とも呼ばれる。

【発明の概要】

【解決しようとする課題】

【0005】

本発明の目的は、試料を走査するための改良された方法及び改良された装置を提供することである。

【0006】

この目的は、独立項の特徴を有する方法及び装置によって達成される。本発明のさらに好ましい実施形態は、従属項に記載された他の特徴によって示される。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明によれば、試料にＸ線を照射するためのＸ線光学系を用いて、前記試料を走査する方法であって、工程（ａ）と、工程（ｂ）と、工程（ｃ）とを備え、前記工程（ａ）では、第１旋回軸回りに前記Ｘ線光学系を旋回させることによって、前記Ｘ線光学系の射出点（１０８）によって規定される、前記試料の中の測定点を第１走査方向へ移動し、前記工程（ｂ）では、前記第１走査方向（９２）に沿って、少なくとも２つの測定点（１０６）で試料（９９）から発する放射線（１０７ｂ）を検出し、前記工程（ｃ）では、検出された放射線（１０７ｂ）と関連する測定値を結びつけて、全体走査をなす、方法が提供される。

【0008】

したがって、本発明によれば、前記試料の走査（ラスタ走査）のために、Ｘ線光学系を旋回させることによって、試料の測定点の移動が行われる。前記測定点、特にその位置、大きさ及び形状からなる群のうち少なくとも１つは、Ｘ線光学系から放射されるＸ線によって規定される。走査とは、前記試料内の測定点に応じた特性、特に材料特性の計量的検出のことである。すなわち、走査とは、空間的に分解されたデータの取得のことである。少なくとも第１走査方向（しばしば速い方向／軸とも呼ばれる）で、前記試料から放射される放射線の検出のために、前記試料が配置される試料台をさらに動かす必要はない。これにより、より速い走査速度が達成される。

【0009】

Ｘ線光学系は、Ｘ線照射のビーム経路に影響を及ぼす一般的な手段である。前記旋回は、旋回軸回りにＸ線光学系が旋回軸回りに少なくともある程度まで旋回する。この場合、「旋回軸回りに少なくともある程度まで旋回する」とは、回転運動、又は回転運動と並進運動との組み合わせである。しかしながら、ゴニオメータは、Ｘ線光学系の旋回角は典型的には非常に小さいため、走査方向に沿った並進運動との関係では、（旋回静止している）旋回軸から遠ざかるか、又は旋回軸に向かう入射点の並進運動は、無視することができる。

【0010】

試料から発する放射線は、旋回中又は個々の（部分的な）旋回運動後に検出される。試料から発する放射線は、例えば放射され、反射され、又は伝達された放射線であることができる。これは、電磁放射、例えばＸ線又は粒子線（電子ビーム）を含みうる。前記発する放射線は、Ｘ線光学系を離れたＸ線を測定点に照射した結果である。

【0011】

さらに、測定値、検出された放射線に相関するもの、ひいては検出された放射線に依存するものは結合されて全体走査をなす。ここでは、全体走査は、（多次元の）データセットとすることができ、例えば、光学的に出力することができる。

【0012】

測定値を結合して全体走査をなすことは、測定点による空間分解能を考慮して行われる。したがって、前記全体走査は、位置依存性の試料情報を構成する。これは、試料から放射される放射の空間的に分解された検出によって先行される。言い換えれば、検出された放射線に相関する測定値が組み合わされて全体走査が形成され、放射線が検出された場所（測定点、又は測定値の位置情報）の情報と測定値を結び付けている。位置情報は、例えば、少なくとも１つの角度関数の適用を介して、Ｘ線光学系の旋回の旋回角の関数として決定することができる。「空間的に分解された」とは、試料の走査すべき試料面内の空間分解能を意味する。例えば、試料の表面に沿って、特にｘ、ｙ座標の形で存在する。したがって、Ｘ線光学系を旋回させることによる試料の走査（たとえば、ラスタ走査）が可能になる。

【0013】

好ましくは、前記工程（ｂ）のあとに、前記Ｘ線光学系（１００）を第２旋回軸（３７６）回りに旋回させることによって、前記試料（９９）の測定点（１０６）を第２走査方向（９３）に移動する工程、及び前記工程（ａ）及び（ｂ）を繰り返す工程を含む。

【0014】

つまり、試料中の測定点の移動は、Ｘ線光学系を旋回させることによって第２走査方向にも生じる。第２走査方向は、第１走査方向とは異なる。さらに、第１旋回軸も第２旋回軸とはまた異なる。次に、第１旋回軸の周りでＸ線光学系を旋回させることによって、第１走査方向におけるＸ線光学系の射出点によって規定される試料中の測定点の移動が生じる。第１走査方向は負の符号を有する場合には、Ｘ線光学系は第１走査方向に沿って逆旋回される。次に、第１走査方向に沿って少なくとも２つの測定点で試料から発する放射線の検出が行われる。第１走査方向に検出された放射線は、検出された「ライン」と呼ぶことができる。このようにして、ラインは正又は負の第１走査方向において交互に検出され、特に速い走査が達成されることを可能にする。

【0015】

あるいは、第２走査方向への移動の前、後、又はその間に、Ｘ線光学系は負の第１走査方向に逆旋回される。このようにして折り返しが行われる。次に、測定点は正の第１走査方向に移動され、試料から発する放射線は正の第１走査方向に沿って少なくとも２つの測定点で検出される。第１走査方向に沿って検出された各ラインが走査された後の折り返しにより、機械的誤差が抑制される。

【0016】

測定点の移動及び発する放射線の検出は、連続的に又は不連続的に（徐々に）行うことができる。連続的な移動及び検出により、発する放射線は、測定点が移動している間に検出される。このようにして、工程（ａ）及び（ｂ）が同時に行われる。検出された放射線と相関する測定値を対応する位置データに割り当てることによって、その後、全体走査の個々の測定点を規定することができる。しかし、測定点が最初に移動して、その後放射線が検出される。したがって、工程（ａ）は、工程（ｂ）の前に実施される。

【0017】

本発明に関連して、原点と、これから広がるｘ軸、ｙ軸及びｚ軸とを含む空間的に固定された３次元の直交座標系が参照される。それぞれの個々の軸は、他の軸に直交して配置される。

【0018】

本出願において、特に断らない限り、「方向」という用語は符号に関係なく空間的に固定された（静止した）方向を示す。第１走査方向は特にｘ方向に延び、第の２走査方向はさらにｙ方向に延びる。両方の走査方向は、したがって、互いに直角している。

【0019】

第１走査方向（ｘ方向）は、正又は負の第１走査方向（ｘ軸）の方向を向く方向を指す。

【0020】

第２走査方向（ｙ方向）は、正又は負の第２走査方向（ｙ軸）の方向を向く方向を指す。

【0021】

ｚ方向は、正又は負のｚ軸の方向を向く方向を指す。

【0022】

ｚ方向は、Ｘ線光学系の開始位置における、旋回の中間点におけるＸ線光学系の光軸の方向を指す。

【0023】

第１及び第２走査方向は、特に、ｘ、ｙ面とも呼ばれることができる試料面内に広がる。試料面は、特に、ｚ方向に対して直角に広がる。第１及び第２旋回軸は、特に、試料面（及び／又は試料台）に対して平行に延びている

【0024】

第１旋回軸は、特に第１旋回方向に対して直角に延びる。さらに、第２旋回軸は、特に第２旋回方向に対して直角に延びる。第１及び第２旋回軸は、特に、互いに直角に配置される。第２旋回軸は、特に第１旋回軸と交差する。

【0025】

好ましくは、前記第１旋回軸（３３６）又は前記第２旋回軸（３７６）の少なくとも１つが、前記Ｘ線光学系（１００）の入射点（１０４）を通る。したがって、陽極（Ｘ線管）の焦点上の入射点の最適な調整により、少なくとも１つの旋回軸が焦点を通過する。これは、Ｘ線光学系の旋回中に、Ｘ線光学系を通って導かれる放射線の強度が維持されることを保証する。したがって、Ｘ線光学系が旋回されるとき、試料を照射するために使用されるＸ線の強度の損失は本質的に発生しない。

【0026】

好ましくは、Ｘ線光学系の旋回中の最大旋回角は±５度（したがって合計１０度）、特に最大±３度（したがって合計６度）、好ましくは最大で±３度 ±２度（したがって合計４度）である。これにより、測定点を規定するＸ線光学系の射出点が、Ｘ線光学系の旋回中にｚ方向にわずかしか移動しないことが保証される。 このようにして、試料内の測定点のｚ方向への移動が低減され、又は試料のある位置の外に入射点がずれることが防止される。射出点のｚ方向の移動は、０４ｍｍ以下、好ましくは０２ｍｍ以下、特に好ましくは０１ｍｍ以下である。

【0027】

さらに、この方法は、試料を第１走査方向及び第２走査方向の少なくとも１つを移動させる工程を含む。Ｘ線光学系を同時に回転させずに試料を移動させると、測定点は同じ点の静止座標系のままであるが、試料は測定点に対して移動する。したがって、一方では、例えば、Ｘ線光学系を第１旋回軸回りに旋回させることによって測定点を第１走査方向にのみ移動させることができ、その一方で、試料の移動によって試料に対する第２走査方向の測定点の移動が生じる。さらに、試料に対する測定点の比較的大きな移動は、試料の移動によって起こり得るのに対して、測定点の比較的小さな移動は、Ｘ線光学系の旋回によって起こり得る。

【0028】

本発明によれば、前記試料（９９）を走査するための装置（９６）であって、Ｘ線光学系（１００）と、ゴニオメータ（３００）と、アクチュエータ（１１７）と、制御デバイス（９７）とを備え、前記Ｘ線光学系（１００）は、前記試料（９９）にＸ線（１０７ａ）を照射するためのものであり、前記ゴニオメータ（３００）は、前記Ｘ線光学系（１００）に接続されたゴニオメータ（３００）であって、前記Ｘ線光学系（１００）を第１旋回軸（３３６）回りに旋回させるように構成されたものであり、前記アクチュエータ（１１７）は、前記ゴニオメータ（３００）を作動させるように構成された少なくとも１つものであり、前記制御デバイス（９７）は、前記試料を走査する方法（９０）を実施するように構成されたものである、装置が提供される。

【0029】

Ｘ線光学系は、ｚ方向の開始位置に整列させることができ、第１旋回軸は、ｚ方向とは異なる方向に延びる。Ｘ線光学系は、例えは、噛み合い及び摩擦による嵌合の少なくとも１つで、好ましくはねじ込み接続による形状により、ゴニオメータに機械的に接続することができる。少なくとも１つのアクチュエータによって、Ｘ線光学系は、少なくとも１つの旋回軸回りに旋回することができる。これに特に適したゴニオメータは、ＰＣＴ／ＥＰ２０１４／０５２８５２に記載されており、その内容はこの出願に組み込まれている。 さらに、前記装置は、試料から発する放射線を検出するように構成された検出器を備えることができる。

【0030】

少なくとも１つの旋回軸は、装置の構造的特性によって予め定められる仮想的で非物理的な旋回軸を指す。Ｘ線光学系は、ゴニオメータによって少なくとも近似的に前記旋回軸回りに旋回させることができる。

【0031】

試料を移動するための装置は、第１走査方向及び第２走査方向の少なくとも一つに向けて構成されていることが好ましい。この目的のために、装置は、第１走査方向及び第２走査方向の少なくとも１つに移動可能な試料台を備えていることがさらに好ましく、例えば、試料ホルダー用の台座を備える。

【0032】

ゴニオメータが、Ｘ線光学系を第２旋回軸回りに旋回するように構成されていることが特に好ましい。これにより、Ｘ線光学系を第２旋回軸回りに旋回させることによって、第２走査方向に試料中の測定点を移動することができる。第１走査方向及び第２走査方向に測定するための移動可能な試料台を省くことができる。

【0033】

Ｘ線光学系は、好ましくはＸ線レンズ、さらに好ましくはキャピラリーレンズ、特に好ましくはポリキャピラリーレンズを含む。ポリキャピラリーレンズは、Ｘ線管の焦点内のＸ線を検出し、これらを試料の測定点に束ねるのに特に適している。

【0034】

前記Ｘ線光学系は、入射点及び射出点を備えることができる。入射点は、Ｘ線光学系に関連して決定され、それゆえ所定の空間的な位置を有している入射側の点である。前記入射点は、典型的にはＸ線光学系から間隔を置いて配置され、したがってビーム伝播に関してＸ線光学系の上流にある。同様に、射出点は、Ｘ線光学系に対して決定され、それゆえ所定の空間的位置を有する出射側点である。前記射出点はまた、典型的には、Ｘ線光学系から間隔を置いて配置されるため、ビーム伝搬に関してＸ線光学系の下流にある。

【0035】

入射点及び射出点は、Ｘ線光学系のＸ線光学特性によって決定することができる。好ましくは、入射点は入射焦点であり、射出点は射出焦点である。さらに、入射点及び射出点は、例えば、Ｘ線光学系の特性によって部分的にのみ決定される点であってもよい。例として、入射点及び射出点が１つのレンズ軸上、例えばＸ線光学系の対称軸（したがって中心軸）上に配置されているが、Ｘ線光学系から前記入射点及び射出点までの距離は、実際のＸ線光学系によっては決定されない。Ｘ線光学系から前記入射点及び射出点までの距離は、さらなる考慮事項（例えば、環境パラメータによって影響を受ける）に基づいて、又は必要に応じて決定することができる。原則として、用途に応じて、入射点と射出点（調整前のＸ線光学系に関連して決定された位置を含む）として、任意の入射側及び出射側の点を選択することができる。

【0036】

Ｘ線レンズは、その入射点として入射焦点を有し、射出点として射出焦点を有する。キャピラリーレンズは、少なくとも１つの内部キャピラリー、好ましくは複数のキャピラリーを有する。キャピラリーレンズの管は、典型的には、前記管を介して、全反射を用いて、通過するＸ線が入射焦点を通り、射出焦点に導かれるように配置され、形成される。

【0037】

Ｘ線光学系は、好ましくはＨＯＰＧ（高度に配向された熱分解黒鉛）光学系又はＨＡＰＧ（高度に焼き鈍しされた熱分解黒鉛）光学系である。この場合にも、入射点は入射焦点であり、射出点は射出焦点である。

【0038】

楕円形のモノキャピラリーであるＸ線光学系が好まれる。前記楕円形のモノキャピラリーは、入射点として光源焦点を含み、射出点として射出焦点を含む。

【0039】

さらに、Ｘ線光学系は、好ましくは、円筒状のモノキャピラリーである。円筒形のモノキャピラリーの入射点及び射出点は、Ｘ線光学系に関連して決定された空間的位置を有する入射側及び出射側の点（Ｘ線光学系に対して既に一般的に決定されているように）である。好ましくは、少なくとも入射点は、モノキャピラリーの対称軸上にある。

【0040】

アクチュエータは、好ましくは電気モータ、さらに好ましくはリニアモータ、又はピエゾ素子を備える。安価な電気モータは、最も多様な設計で利用可能である。ピエゾ素子は、特に比較的小さな調整経路で高い精度であることを特徴とする。

【0041】

ゴニオメータは、少なくとも１つの台形ガイドを備えることが好ましい。前記台形ガイドは、特に二等辺三角形であることがさらに好ましい。「二等辺三角形」及び「台形」という用語は、平行四辺形ガイドと同様のガイドの機能的形状を指し、必ずしもガイドの光学的外観とは関係がない。ゴニオメータが２つの台形ガイドを備える場合、前記２つの台形ガイドは、第１台形ガイド及び第２台形ガイドと呼ぶことができる。

【0042】

比較的に低コストで場所もとらない及び台形ガイドによって、Ｘ線光学系の旋回運動が少なくともある程度の範囲で実施されることができる。台形ガイド機構を通じて、旋回運動に則って、Ｘ線光学系は、これよりも相対的に小さな並進運動をする。両方の旋回方向の並進運動を可能な限り等しくかつ小さく保つために、開始位置は、ガイドが二等辺三角形、台形形状を描くように選択することができる。Ｘ線光学系の旋回中、台形ガイドの２つの側面は、依然として開始位置に平行に、互いに向かってわずかに旋回される。したがって、台形ガイドは、一般に、等しい長さの一対の対向する辺を有する長方形ガイドと呼ぶこともできる。

【0043】

実際には、Ｘ線光学系の旋回中に、台形ガイド機構に起因するＸ線光学系の並進運動は無視する。そのためには、旋回角は好ましくは±５度以下、さらに好ましくは±３度以下、特に好ましくは±２度以下である。旋回軸線に対する入射点の平行は、好ましくは最大±０２ｍｍ／度、さらに好ましくは最大±０１ｍｍ／度である。ゴニオメータの動きの間に静止している対向部材に対して（そして開始位置から始まって）接続部材の回転は、好ましくは最大±５度、さらに好ましくは最大±３度、特に好ましくは最大±２度である。旋回が小さければ小さいほど、入射点と焦点との間の並進運動の量が少なくなり、その結果、入射点を調整する必要がなくなる。

【0044】

少なくとも１つの台形ガイドが、一対の（好ましくは連接された）接続部材によって接続された第１対向部材及び第２対向部材を備えることが好ましい。連接接続部は、湾曲ベアリングによって形成されることがさらに好ましい。理想的な機能のために、２つの接続部材は、２つの接続部の間に、前記対向部材と等しい長さで存在する。しかし、回転軸に面している対向部材の側部までの距離は、他の対向部材の側部の対応する距離よりも、接続部材の接続部の間より短い。

【0045】

台形ガイドは、以下のように形成されている。第１接続面は、旋回軸に平行に、第１対向部材の側部の連接接続部を通って延びている。同様に、第２接続面は、旋回軸に平行に、第２対向部材の側部の連接接続部を通って延びている。第１接続面は、旋回軸と第２接続面との間に配置される。さらに、別の面が対向部材に接続する第１接続部材の端部を通り抜け、その交差線の両方が旋回軸の方向に接続面と平行に並んでいる。さらに別の面は、第２接続部材の端部を貫通し、対向部材と接続し、その交差線は、旋回軸の内側方向の接続面と平行に並んでいる。第１接続面に沿って、接続部材を通る前記２つの面の間の第１距離は、第２接続面に沿った前記２つの面の間の第２距離よりも小さい。さらに、第１対向部材と連結している第１接続部材の連接接続部と第２対向部材との間の、第１接続部材を通る第１接続面に沿った距離は、第２接続部材の対応する距離に等しい。「従来の」ヒンジでは、接続面は連接接続部の回転軸線を通って、回転軸線は旋回軸方向に延びている。連接接続部は、湾曲ベアリングであることが好ましい。湾曲ベアリングとの接続面は、湾曲ベアリングを通って、好ましくは湾曲ベアリングの端部を通って、接続部材から離れるように延びている。

【0046】

開始位置では、２つの接続面は、通常、互いに平行に配置される。４つの面を横方向から見て直線とみなせば、これらの４つの面は、二等辺三角形、台形を形成する。

【0047】

ゴニオメータが動いている間、２つの接続部材と２つの対向部材との間の角度が変化する。このようにして、一方の対向部材は、他方の対向部材に連動してゴニオメータの動きが実行される。

【0048】

本発明の好ましい実施形態によれば、以下の構成を含む、第１旋回軸回りにＸ線光学系が少なくともある程度旋回するための第１台形ガイドが提供される。
第１対向部材と、
第２対向部材と、
２つの対向部材を接続する１対の接続部材と、を備える。
第１旋回軸の延長方向に沿って延びる第１接続面内の一対の接続部材である接続部材は、いずれの場合も、それぞれ少なくとも第１端部を介して第１対向部材と接続される。
第１旋回軸の延長方向に沿って延びる第１接続面の側に配置された（第１台形ガイドの領域内の）第２接続面内の一対の接続部材である接続部材は、第１接続面の第１旋回軸に対向する第１接続面から離れて配置され、いずれの場合も、それぞれ少なくとも第２端部を介して第２対向部材と接続される。
第１接続面に沿って、かつ第１旋回軸に対して直角の方向に、一方の接続部材の少なくとも１つの第１端部は、第２接続面に沿った方向に、他方の接続部材の少なくとも１つである第１端部までの間の第１距離を有し、一方の接続部材の少なくとも１つの第２端部は、第１旋回軸に対して直角に、他方の接続部材の少なくとも１つである第２端部までの間の第２距離を有し、第１距離は第２距離より小さい。
第１旋回軸に対して直角に延びる面方向に沿って、それぞれの少なくとも１つの第１端部から、それぞれの接続部材の少なくとも１つの第２端部までの距離は、それぞれ等しい。
第１台形ガイドは、その対向部材の１つを介して受入部材と自動的に接続され、したがって、第１旋回軸回りにするＸ線光学装置のある程度の回転は、他方の対向部材に連動して受入部材が自動的に接続された対向部材の旋回によって自動的に実現される。

【0049】

本発明のさらに好ましい実施形態は、以下の構成を含む、第２旋回軸回りにＸ線光学系が少なくともある程度旋回するための第２台形ガイドが提供される。
第１対向部材と、
第２対向部材と、
２つの対向部材を接続する１対の接続部材とを備える。
第２旋回軸の延長方向に沿って延びる第１接続面内の一対の接続部材である接続部材は、いずれの場合も、それぞれ少なくとも第１端部を介して第１対向部材と接続される。
第２旋回軸の延長方向に沿って延びる第２接続面の側に配置された（第２台形ガイドの領域内の）第１接続面内の一対の接続部材である接続部材は、第１接続面の第２旋回軸に対向する第１接続面から離れて配置され、いずれの場合も、それぞれ少なくとも第２端部を介して第２対向部材と接続されている。
第１接続面に沿って、かつ第２旋回軸に対して直角の方向に、一方の接続部材の少なくとも１つの第１端部は、第２接続面に沿った方向に、他方の接続部材の少なくとも１つである第１端部までの間の第１距離を有し、一方の接続部材の少なくとも１つの第２端部は、第１旋回軸に対して直角に、他方の接続部材の少なくとも１つである第２端部までの間の第２距離を有し、第１距離は第２距離より小さい。
第２旋回軸に対して直角に延びる面方向に沿って、それぞれの少なくとも１つの第１端部から、それぞれの接続部材の少なくとも１つの第２端部までの距離は、それぞれ等しい。
第１台形ガイドは、その対向部材の１つを介して受入部材と自動的に接続され、したがって、第１旋回軸回りにするＸ線光学装置のある程度の回転は、他方の対向部材に連動して受入部材が自動的に接続された対向部材の旋回によって自動的に実現される。

【0050】

第１接続面は、それぞれの旋回軸から少し離れて延びている。１つの面に沿って延びる方向とは、前記面に対して平行に延びる方向を示すと理解することもできる。

【0051】

したがって、対向部材のうちの１つは、台形ガイドの一部であり、前記台形ガイドは、それぞれの旋回軸回りに動く対向部材に連動して旋回運動を行うことができる。受入部材は、平行に移動される対向部材に自動的に接続されており、一体的に接続されていることが好ましい。一対の接続部材である接続部材は、２つの対向部材をお互いに接合する機関である。

【0052】

接続部材は、接続部材の端部で対向部材と接合されている。この接合は、少なくともある程度、対向部材に連動して接続部材の回転が可能になるように行われる。ここでいう回転には、回転成分及び平行成分を含むことができる。ここで、回転成分は、旋回軸に平行な方向を示すベクトルを含む。ここで、ベクトルは、回転が行われる面に対して直角である。

【0053】

接続部材は、少なくとも第１端部及び第２端部を備える。各接続部材ごとに複数の第１及び第２少なくとも１つの端部がある場合、第１端部及び第２少なくとも１つの端部は、前記ガイドのそれぞれの旋回軸の方向にずれて配置される。したがって、それぞれの接続部材の第１端部及び第２端部は、両方とも同じ面内にある。したがって、当該面は、それぞれの旋回軸の方向に同様に延びている。

【0054】

開始位置において、それぞれの台形ガイドの第１及び第２接続面は、通常、互いに平行に配置される。したがって、台形は対称な等脚台形の外観を有する。

【0055】

装置は、好ましくは２つの台形ガイドを備え、第１対向部材は、それぞれのガイドの第２対向部材と第１旋回軸との間に配置され、少なくとも２つのガイドの第１対向部材のうちの２つ又は第２対向部材のうちの２つは、互いに全く動かないように接続されているか、又は一体となっている。したがって、第１対向部材は、第１回転軸に対向する側に配置され、第２対向部材は、第１回転軸に対向する側に配置される。したがって、２つの台形ガイドは、それぞれの第１又は第２対向部材を介して互いに接続されるか、又は２つの台形ガイドの両方が１つの第１又は第２対向部材に接続される。これにより、２つのガイドを省スペースでコンパクトに入れ子構造にすることができる。互いに全く動かないように接続されていない、又は一体型の実施形態を有さない台形ガイドの２つの対向部材は、典型的には、接続されていない対向部材の接続面の１つと直角の方向に隙間を空けて配置され、これらの間の連動した動きを可能にする。

【0056】

好ましくは、
第１台形ガイドの第１対向部材は、Ｘ線光学系に全く動かないように接続され、
第１台形ガイドの第２対向部材は、第２台形ガイドの第２対向部材に全く動かないように接続されているか、又は第２台形ガイドの第２対向部材と一体となっており、
第２台形ガイドの第１対向部材は、装置を固定するためのものである。

【0057】

この実施形態は、ゴニオメータのコンパクトな設計をもたらす。Ｘ線光学系との不動の接続は、典型的には取り外し可能である。

【0058】

複数の台形ガイドは、Ｘ線光学系が一対の接続部材のそれぞれの２つの接続部材の間でおおよそ中央に位置するように、お互いに連動して配置されることが好ましい。一対の接続部材の接続部材の間に、Ｘ線光学装置を中央に配置することより、コンパクトな配置が達成される。この目的のために、ゴニオメータ（好ましくは、少なくとも１つの台形ガイド）は、当該ゴニオメータを通り抜けることができる開口部を有することができ、その中にＸ線光学系が配置される。

【0059】

好ましくはゴニオメータが、さらに好ましくは少なくとも１つの台形ガイドが、湾曲ベアリングを含む。ソリッド・ステート・ヒンジは、分離トルクをなくすことを特徴とする。したがって、特に台形ガイドと組み合わせた本発明の方法は大きく改善され、その結果、低振動で正確な旋回を行うことができる。湾曲ベアリングは、特に、「従来の」機構と比較して部品点数の削減を可能にする。

【0060】

湾曲ベアリングは、好ましくは平坦な構造であり、台形のガイドの主表面（最大表面積を有する面）は、おおよそ１つの特定の方向を向き、それぞれの接続面に沿ってかつ旋回軸に対して直角に広がっている。言い換えれば、湾曲ベアリングは、それぞれの接続面に対して直角に、かつそれぞれの旋回軸の方向に延び、面に沿った主な延長部と共に広がっている。したがって、それぞれの接続面に沿った、旋回軸に直角な方向への湾曲ベアリングの可撓性は、他の方向への可撓性よりも小さい。これにより、比較的わずかな力で所望の方向に特定の曲げが可能になる。接続部材は、好ましくは、湾曲ベアリングに連動しておおよそ固定されている。

【0061】

好ましくは、台形ガイドは入れ子構造を有する。さらに好ましくは、台形ガイドは、同軸の入れ子構造を有する。好ましくは、台形ガイドは、中空シリンダ形状とすることができる。さらに、前記ガイドの少なくとも１つは、他のガイドの少なくとも１つが配置される開口部を含むことができる。

【0062】

本発明の好ましい実施形態は、２つの台形ガイドが、回転できる入れ子構造を有することである。前記ガイドは、Ｘ線光学系の（光学）軸回りに、好ましくはＸ線レンズのレンズ軸（例えば、入射点と射出点を結ぶ接続線）回りに互いに連動して回転して配置される。前記ガイドは、好ましくは内側のガイドが外側のガイドの複数の接続部材の間に配置されるような入れ子構造を有する。この結果、非常にコンパクトな設計の装置が得られる。

【0063】

好ましくは、ゴニオメータは一体型の構成を有する。前記一体型の構成は、例えば、旋削、フライス削り、穿孔及びワイヤ侵食からなる群から選ばれる少なくとも１つの方法によって形成することができる。前記方法は、低コストでの生産を可能にし、この方法を通して、装置は従来の調整器よりもコスト上の利点を得ることができる。

【0064】

好ましくは、アクチュエータは、以下のように設計されている。
前記第１台形ガイドの前記第１対向部材に第１駆動力を導入することを含み、前記第１枢動力は、前記第１走査方向の成分を含み（その結果、Ｘ線光学系を第１旋回軸回りにある程度回転させることができる）、さらに好ましくは、アクチュエータは、以下のように設計されている。
第１台形ガイドの第１対向部材に第２枢動力を導入することを含み、前記第２駆動力は、前記第２走査方向の成分を含み（第２旋回軸回りにＸ線光学系をある程度の旋回され得る結果として）、前記第２駆動力は第１台形ガイドの接続部材を介して第１及び第２台形ガイドの第２対向部材に導かれる。

【0065】

これにより、ゴニオメータの一方の側だけが省スペース化される。成分の量は、それぞれの調整力の量におおよそ対応することが好ましい。

【0066】

前記調整力は、第１対向部材の旋回を引き起こす。それぞれのアクチュエータは、例えば、走査方向に対して正の向きにゴニオメータを旋回させるための第１対向部材に対して正の向きの圧縮力、及び走査方向に対して負の方向にゴニオメータを旋回させるための対向部材上のけん引力を印加する。アクチュエータの力、及び湾曲ベアリングの弾性回復力は、少なくとも互いに補償するか、又は過補償することができる。

【0067】

前記装置のｚ方向の好ましい長さは、３０ｍｍ〜１５０ｍｍであり、さらに好ましくは４０ｍｍ〜７０ｍｍであり、好ましい直径はｚ方向に対しておおよそ垂直に２０ｍｍ〜１００ｍｍ、さらに好ましくは３０ｍｍ〜５０ｍｍである。

【0068】

本発明は、添付図面を用いた例示的な実施形態によって以下に説明される。これらは次のとおりである。

【図面の簡単な説明】

【0069】

【図1】装置の断面図である。

【図2】装置の断面図の詳細図である。

【図3】平行移動機構の正面図である。

【図4】平行移動機構の側面図である。

【図5】平行移動機構の第１斜視図である。

【図6】平行移動機構の第２斜視図である。

【図7】ゴニオメータの正面図である。

【図8】ゴニオメータの側面図である。

【図9】ゴニオメータの第１斜視図である。

【図10】ゴニオメータの第２斜視図である。

【図11】好ましい実施形態によるプロセスフローを示す図である。

【図12】プロセスフローの概略図である。

【図13】試料中の測定点の説明である。

【図14】測定グリッドである。

【発明を実施するための形態】

【0070】

Ｘ線光学装置１００によって試料９９を走査するための本発明による方法は、図１１〜図１４及び関連する図の説明によって説明される。

【0071】

図１は、本発明の好ましい実施形態である装置９６の、Ｙ軸の負の方向からＹ軸に対向して見た断面図である。中央に十字を持つ円は、矢印の方向に見える矢印を表し、一方、中央に点を持つ円は、矢印とは反対の方向の視点を表す。

【0072】

装置９６は、試料９９にＸ線を照射するためのＸ線光学系１００、例えばキャピラリーレンズ１００（ポリキャピラリーレンズ）を含む。さらに、装置９６は、Ｘ線光学系１００に接続されたゴニオメータ３００を含み、ゴニオメータ３００は、第１旋回軸３３６回りにＸ線光学系１００を旋回できるように構成されている。装置９６は、さらに、ゴニオメータ３００を動作させるように構成された少なくとも１つのアクチュエータ１１７、例えば電気モータ、及び少なくとも１つのアクチュエータ１１７を制御する制御デバイス９７を備える。

【0073】

ゴニオメータ３００は、第２旋回軸３７６回りにＸ線光学系１００を旋回できるように構成することができる。

【0074】

ゴニオメータ３００は、Ｘ線光学系１００の空間的整列のために特に有利に設計されたデバイス９８の一部とすることができ、以下に詳しく説明する。

【0075】

デバイス９８は、第１収容部１１８、第２収容部１１９、及び（装置９６を固定するための）ホルダー１２０を有する収容内に配置することができる。装置９６は、横断面にはないレンズ収納の中にキャピラリーレンズ１００をさらに備える。

【0076】

前記デバイス９８及び前記レンズ１００は、典型的には、減圧（不完全真空）を伴う領域で操作される。典型的には、第１収納部１１８の外面に沿って真空状態に封止される。ここで、ホルダー１２０は、真空の外側に配置される。第２収納部１１９のデバイスに面する側部は、真空の側にあり、他方の側部は真空の外側にある。したがって、少なくとも１つのアクチュエータ１１７は、真空の外側に配置される。さらに、平行移動機構２００の動作のための調整部材１１４（例えば、微細なねじ機構）は、真空の外側から操作することができる。調整部材１１４及び少なくとも１つのアクチュエータ１１７の調節力に対する反力は、弾性部材１１５によって加えることができる。調整部材１１４及び弾性部材１１５は、第２収納部１１９内のグリースを使用して封止されることができる。

【0077】

可視調節部材１１４によって、デバイス９８は、第１平行移動方向２２１の平行移動が行われるように操作することができる。さらに、アクチュエータ１１７によって、レンズ１００の第１旋回軸３３６（黒丸として示されている）回りに少なくともある程度旋回することができる。レンズ１００の旋回によって生じるレンズ１００のｚ方向への移動は、通常は無視することができる。別の調節部材（図示せず）によって、第２平行移動方向２６１（黒丸として投影されて示されている）における平行移動が実行され得るように、デバイス９８を操作することができる。さらに、別のアクチュエータ（図示せず）によって、レンズ１００を第２旋回軸３７６回りに少なくともある程度旋回させることができる。

【0078】

図示されている例では、２つの平行移動方向２２１、２６１、及び２つの旋回軸３３６、３７６は、ｘ、ｙ方向に延び、それゆえｘ、ｙ面内に延びる。

【0079】

具体的には、図示されたように、第１平行移動方向２２１及び第２旋回軸３７６は、ｘ方向、第２平行移動方向２６１及び第１旋回軸３３６を、ｙ方向に延在することができる。したがって、２つの平行移動方向２２１、２６１、及び２つの旋回軸３３６、３７６は、互いに直角になることができる。

【0080】

図示されている開始位置では、レンズ１００は、ｚ方向に受入部材１１０によって整列され、ｚ方向に互いに間隔を置いて配置された入射点１０４及び射出点１０８を含む。図示されているＸ線光学系１００はキャピラリーレンズ１００を含むので、光学的入口点１０４は入射焦点１０４であり、射出点１０８は射出焦点１０８である。したがって、Ｘ線光学系１００の１つの軸１０１は、図示されている前記レンズのレンズ軸１０１の場合には、ｚ方向に整列され、レンズ１００はｚ方向にはＸ線が通過可能である。さらに、レンズ１００の入射焦点１０４は、２つの旋回軸３３６、３７６の交点にある受容部材１１０によって位置が決められている。第２収納部１１９内の窓１２２は、Ｘ線をほとんど干渉なしに通過させつつ、真空封止をすることができる。

【0081】

入射焦点１０４を第１所定の点１０２（例えば陽極の焦点）に調整する前に、入射焦点１０４が第１所定の点１０２からｚ方向にずれているかどうかのチェックが最初に行われる。必要であれば、わずかなずれは、受入部材１１０とレンズ１００との間の位置１２４にある様々な厚さのスペーサ（図示せず）によって、他の調整をする前に補正することができる。

【0082】

前記調整のために、最初に、平行移動２２１、２６１の入射焦点１０４は、所定の点１０２に調整され、それにより所定の点１０２と一致させられる。ここで、旋回軸３３６、３７６は、入射焦点１０４と一緒に移動されるので、旋回軸３３６、３７６の交点も所定の点に応じて移動する。このようにして、レンズ１００の旋回軸３３６、３７６回りのその後の旋回において、入射焦点１０４は所定の点１０２に調整されたままであることが保証される。

【0083】

射出焦点１０８を試料中の測定点に調整するために、射出焦点１０８と試料中の所望の測定点との間の距離は、ほとんどゼロに等しくなるまで減少される。これは、例えば、試料テーブルをｚ方向に調整することによって実施することができる。前記調整の結果、入射焦点は所定点１０４に調整され、射出焦点１０８は中央の測定点１０５に調整される。

【0084】

装置９６と旋回軸３３６、３７６との間に示される距離、２つの焦点１０４、１０８との間に示される距離、及び所定の点１０２と中央の測定点１０５との間に示される距離は、図中には正確には示されていない。

【0085】

図２は、図１に図示されている装置９６の断面図の詳細図である。Ｘ線光学系１００の空間的整列のためのデバイス９８は、既に説明したように、たいていの場合、平行移動機構２００及びゴニオメータ３００を含む。

【0086】

平行機構２００は、レンズ１００を第１平行移動方向２２１に平行移動させる第１平行機構２２０と、レンズ１００を第２平行移動方向２６１に平行移動させる第２平行機構２６０とを備える。
図示されたように、２つの機構は、第１平行四辺形ガイド２２０及び第２平行四辺形ガイド２６０として機能することができる。

【0087】

ゴニオメータ３００は、第１旋回軸３３６回りにレンズ１００を少なくともある程度旋回させるための第１ゴニオメータ３２０、及び第２旋回軸３７６回りにレンズ１００を少なくともある程度旋回させるための第２ゴニオメータ３６０を備える。図示されたように、これらの２つの機構３２０、３６０は、第１対称台形ガイド３２０及び第２対称台形ガイド３６０として機能することができる。「対称台形ガイド」は、平行四辺形ガイドと同様に、ガイドの機能的な配置（図示された開始位置にある）を指し、必ずしもガイドの光学的外観を指すものではない。

【0088】

図２から分かるように、ゴニオメータ３００は、開始位置において、平行移動機構２００とレンズ軸１０１との間に同軸に配置することができることが好ましい。

【0089】

いずれの場合でも、機構２２０、２６０、３２０、３６０は、旋回軸３３６、３７６と第２対向部材２２４、２６４、３２４、３６４との間に配置された第１対向部材２２２、２６２、３２２、３６２を備える。

【0090】

具体的には、第１平行四辺形ガイド２２０は、２つの接続部材２２６によって共に接続された第１対向部材２２２と第２対向部材２２４とを備える。第２平行四辺形ガイド２６０は、２つの接続部材２６６によって互いに接続された第１対向部材２６２及び第２対向部材２６４を備える。２つの接続部材２６６のうち、図２では、レンズ１００の後ろに広がるもの１つのみが図示されている。図示されているように、２つの第２対向部材２２４、２６４は、互いに一体的に接続することができ、したがって、１つの対向部材として機能する。加えて、第１対向部材２６２は、第２収納部１１９内の前記デバイスを固定する役目を果たす。これは、一例として、ねじ込み接続（図示されていない）によって行うことができる。２つの第１対向部材２２２、２６２の間には、ギャップ１１２が存在する。その結果、第１対向部材２２２、２６２の間の連動が可能になる。

【0091】

第１台形ガイド３２０は、第１対向部材３２２と第２対向部材３２４とを備え、それらは２つの接続部材３２６によって互いに接続されている。第２台形ガイド３６０は、第１対向部材３６２と第２対向部材３６４とを備え、それらは２つの接続部材３６６によって互いに接続されている。２つの接続部材３６６のうち、図２ではレンズ１００の後ろで、かつ接続部材２６６の前に広がるもの１つのみが図示されている。図示されるように、２つの第２対向部材３２４、３６４は、互いに一体的に接続されてよく、したがって、１つの対向部材として機能する。第１対向部材３２２は、受入部材１１０と一体化として機能し、それゆえレンズ１００を受け取り固定する役目を果たす。この例では、レンズ１００は、ねじ込み接続部１２６によって受容部材１１０にねじ込まれる。２つの第１対向部材３２２、３６２の間には、間隙１１２が存在し、第１対向部材３２２、３６２の間の連動が可能になる。

【0092】

平行移動機構２００は、第１対向部材２２２及び第１対向部材３６２を介してゴニオメータ３００と接続され、これらは連動しない。この例では、これらは一緒にねじ止めされている。

【0093】

したがって、本体系によれば、第１対向部材２２２、２６２、３２２、３６２は、旋回軸３３６、３７６と第２対向部材２２４、２６４、３２４、３６４との間に配置される。言い換えれば、第２対向部材２２４、２６４、３２４、３６４は、第１対向部材２２２、２６２、３２２、３６２から正のｚ方向に間隔を置いて配置されている。

【0094】

接続部材２２６、２６６、３２６、３６６と対向部材２２２、２６２、３２２、３６２、２２４、２６４、３２４、３６４との間の接続は、湾曲ベアリング１１６を用いられることが好ましい。これらの図の説明は、上記の接続をより詳細に説明する。

【0095】

湾曲ベアリング１１６を使用することにより、平行移動機構２００とゴニオメータ３００の両方が一体型の構成となることができる。

【0096】

図３は、平行移動機構２００の正面図であり、ｙ軸の負の方向にｙ軸に対向して見た図である。図３において、第１平行四辺形ガイド２２０の第１対向部材２２２は、第２平行四辺形ガイド２６０の第１対向部材２６２によって一部が隠されているので、第１対向部材２２２、２６２の間のギャップ１１２（図４参照）は、一部しか見えない。
図４は、平行移動機構２００をｘ軸方向、すなわち正のｘ方向に見た側面図である。

【0097】

湾曲ベアリング１１６は、接続部材２２６、２６６を対向部材２２２、２６２、２２４、２６４に接続し、当該接続は、接続部材２２６、２６６の、少なくとも１つの第１端部２３２、２７２と（図示されている例では、２つの端部２３２、２７２の両方）、少なくとも１つの第２端部２３４、２７４（図示されている例では、２つの端部２３４、２７４の両方）とを介して行われる。湾曲ベアリング１１６は、それぞれの平行移動方向２２１、２６１に曲げるための力が、他の空間方向よりもだいたいの場合小さくなるように、その曲げ強度又は弾性が決められている。

【0098】

第１平行四辺形ガイド２２０において、接続部材２２６は、第１平行移動方向２２１に沿って延びる第１接続面２２８において、２つの第１端部２３２を介して、第１対向部材２２２に接続される。この図示された例において、第１接続面２２８はｘ、ｙ面である。第１接続面２２８から間隔を置いて配置され、平行な第２接続面２３０において、接続部材２２６は、２つの第２端部２３４を介して第２対向部材２２４にそれぞれ接続されている。第２対向部材２２４及び第２接続面２３０は、第１対向部材２２２及び第１接続面２２８に対して正のｚ方向にずれている。

【0099】

第１平行移動方向２２１では、一方の連結部材２２６のうちの２つの第１端部２３２は、他方の連結部材２２６のうちの２つの第１端部２３２から第１距離２４０に存在する。当該方向では、一方の接続部材２２６のうちの２つの第２端部２３４はまた、他方の接続部材２２６のうちの２つの第２端部２３４から第２距離２４２を有する。第１距離２４０は、平行四辺形ガイドを形成するため、第２距離２４２と等しい。

【0100】

この結果は、第１平行移動方向２２１の方向に沿って、かつ２つの接続面２２９、２３０に直角な面内で、接続部材２２６のそれぞれの第１端部２３２とそれぞれの第２端部２３４の間のそれぞれの距離２４４、２４６は、等しい。
接続面２２８、２３０に対して平行方向に、かつ第１平行移動方向２２１に対して直角の方向に、それぞれの接続部材２２６の２つの第１端部２３２及び２つの第２端部２３４は、したがってこの例ではｙ方向に、互いにずれている。

【0101】

第１平行移動方向２２１にレンズ１００を平行移動させるために、調整部材１１４によって第１調整力２３８が第１対向部材２２２に導入され、第１調整力２３８は、第１平行移動方向２２１の成分を含む。例示的な実施形態に示される第１調整力２３８は、正のｘ方向に（単一の）成分を含む。したがって、第１調整力２３８による湾曲ベアリング１１６の曲がりと、このような第２対向部材２２４に対する第１対向部材２２２の平行移動が、達成される。

【0102】

前記平行移動は、力の平衡が達成されたときに終了する。これは、一方では正のｘ方向に働く第１調整力２３８の、ならびに、他方では湾曲ベアリング１１６の曲げに起因する力及び弾性部材１１５によって供給され、負のｘ方向に第１対向ベアリング２３９に作用する弾性力（図示せず）の結果である。弾性部材１１５に負荷をかけることによって、負のｘ方向に平行移動もすることができる。

【0103】

第２平行四辺形ガイド２６０において、接続部材２６６は、第１接続面２６８の中で、第２平行移動方向２６１に沿って延び、２つの第１端部２７２を介していずれの場合にも第１対向部材２６２に接続される。示された例では、第１接続面２６８はｘ、ｙ面である。第１接続面２６８と平行に、第１接続面２６８と間隔を置いて配置される第２接続面２７０において、接続部材２６６は、２つの第２端部２７４を介して第２対向部材２６４に接続されている。第２対向部材２６４及び第２接続面２７０は、第１対向部材２６２及び第１接続面２６８に対して正のｚ方向にずれている。第２平行移動方向２６１において、一方の接続部材２６６の２つの第１端部２７２は、他方の接続部材２６６の２つの第１端部２７２から第１距離２８０を有する。当該方向では、一方の接続部材２６６の２つの第２端部２７４も、他方の接続部材２６６の２つの第２端部２７４から第２距離２８２を有する。第１距離２８０は、平行四辺形ガイドを形成するため、第２距離２８２に等しい。この結果、第２平行移動方向２６１の方向及び２つの接続面２６９、２７０に対して直角の面内の、接続部材２６６のそれぞれの第１端部２７２と第２端部２７４との間のそれぞれの距離２８４、２８６は、等しい。それぞれの接続部材２６６の２つの第１端部２７２及び２つの第２端部２７４は、接続面２６８、２７０に平行な方向で且つ第２平行移動方向２６１に対して直角に、それゆえにこの例ではｘ方向に、互いにずれている。

【0104】

例示的な実施形態では、平行四辺形ガイド２２０、２６０の第１接続面２２８及び２６８ならびに第２接続面２３０、２７０は同一である。

【0105】

調整部材１１４によって第２平行移動方向２６１にレンズ１００を平行移動させるために、第２調整力２７８が第１平行四辺形ガイド２２０の第１対向部材２２２に導入され、第２調整力２７８は、第２平行移動方向２６１の成分を含む。例示的な実施形態に示される第２調整力２７８は、正のｙ方向に（単一の）成分を含む。第２調整力２７８は、第１及び第２平行四辺形ガイド２２０、２６０のうちの同一の第２対向部材２２４、２６４に、第２平行移動方向２６１の曲げに強い第１平行四辺形ガイド２２０の湾曲ベアリング１１６を介して伝達される。それゆえ、第２調整力２７８によって、第２平行四辺形ガイド２６０の湾曲ベアリング１１６曲がり、したがって第２対向部材２６４に対する第２対向部材２６４の第２平行移動方向２６１の平行移動が達成される。

【0106】

前記平行移動は、第２平行移動方向２６１における力の平衡が達成されたときに終了する。これは、一方では正のｙ方向に作用する第２調整力２７８の、ならびに、他方では湾曲ベアリング１１６の曲げに起因する力及び弾性部材１１５によって供給され、負のｙ方向に第１対向ベアリング２７９に作用する弾性力（図示されていない）の結果である。弾性部材１１５に負荷をかけることによって、負のｙ方向の平行移動も行うことができる。

【0107】

詳細Ｃ及びＤでは、湾曲ベアリング１１６が詳細に図示されている。湾曲ベアリング１１６は、対向部材２２２、２２４、２６２、２６４及び接続部材２２６、２６６に対しての回転移動が必要に応じて含まれることを破線で示している。

【0108】

図５及び図６は、平行移動機構２００の斜視図である。レンズ軸１０１と平行移動機構２００が同軸構造であることがはっきりと見える。さらに、平行移動機構２００及びデバイス９８全体を通り抜ける開口部１３４が見える。開口部１３４は、ゴニオメータ３００を受け入れる役目を果たす。さらに、第２収納部１１９内の平行移動機構２００及びデバイス９８を固定する役目を果たすねじ穴１３０が、第１対向部材２６２（図６）の中に見える。第１対向部材２２２（図５）の貫通孔１３２は、平行移動機構２００をゴニオメータ３００に接続する役目を果たす。第１対向部材２６２（図６）の貫通孔１３２によって、第１対向部材２６２にねじを通すことができ、それらのねじ頭を第１対向部材２２２内に収容することができる。平行移動機構２００は、後述するゴニオメータ３００と同様に、１つの部品として構成されている。

【0109】

図７は、負のｙ方向にｙ軸に対して対向して見たゴニオメータ３００の正面図である。この図において、第１対称台形ガイド３２０の第１対向部材３２２は、第２対称台形ガイド３６０の第１対向部材３６２によって一部が隠されており、第１対向部材３２２と３６２との間のギャップ１１２（特に図８参照）が一部しか見えない。図８は、ｘ軸の方向に、すなわち正のｘ方向に見たゴニオメータ３００の側面図である。

【0110】

湾曲ベアリング１１６は、接続部材３２６、３６６を対向部材３２２、３６２、３２４、３６４、３６６に接続する。当該接続は、少なくとも１つの第１端部３３２、３７２（図示されている例では、２つの端部３３２、３７２の両方）及び少なくとも１つの第２端部３３４、３７４（図示されている例では、２つの端部３３４、３７４の両方）を介してなされている。湾曲ベアリング１１６は、第１旋回軸３３６回りに（すなわち、ｘ方向へ）、又は第２旋回軸３７６回りに（すなわち、ｙ方向へ）曲げるための力が、他の空間方向へ曲げる場合の力よりもだいたいの場合小さくなるように、その曲げ強度又は弾性が決められている。

【0111】

第１台形ガイド３２０では、第１旋回軸３３６に平行に延びる第１接続面３２８の接続部材３２６が、それぞれ第１対向部材３２２と２つの第１端部３３２を介して接続されている。同様に、第１旋回軸３３６と平行に、かつ第１接続面３２８から間隔を空けて配置されている第２接続面３３０において、接続部材３２６は、それぞれ２つの第２端部３３４を介して第２対向部材３２４に接続されている。図示された例では、第２接続面３３０はｘ、ｙ面である。さらに、図示された開始位置において、第１接続面３２８は第２接続面３３０と平行である。第２対向部材３２４及び第２接続面３３０は、第１対向部材３２２及び第１接続面３２８に対して正のｚ方向にずれている。

【0112】

第１接続面３２８に沿って、第１旋回軸３３６（この例ではｘ方向）に対して直角の方向では、一方の接続部材３２６の２つの第１端部３３２は、他方の接続部材３２６の２つの第１端部３３２に対して第１距離３４０を有する。第２接続面３３０に沿って、第１旋回軸３３６（この例ではｘ方向）に直角の方向において、一方の接続部材３２６の２つの第２端部３３４もまた、他方の接続部材３２６の２つの第２端部３３４に対して第２距離３４２を有する。第１距離３４０は、第２距離３４２より小さい。

【0113】

第１旋回軸３３６に対して直角に延びる面３２１に沿った方向では、接続部材３２６のそれぞれの第１端部３３２と第２端部３３４との間のそれぞれの距離３４４、３４６は等しい。第１旋回軸３３６の方向にあるそれぞれの接続部材３２６の２つの第１端部３３２及び２つの第２端部３３４は、それゆえ、ｙ方向に互いにずれている。

【0114】

アクチュエータ１１７によって第１旋回軸３３６回りにレンズ１００のゴニオメータの動きを実行するために、第１旋回力３３８が第１対向部材３２２に導入され、第１旋回力３３８は、第１旋回軸３３６に対して直角で第１接続面３２８に平行な成分を有する。例示的な実施形態として図示される第１枢動力３３８は、正のｘ方向に（単一の）成分を含む。したがって、第１枢動力３３８によって、第１対向部材３２２が第１旋回軸３３６回りに少なくともある程度旋回することにより、湾曲ベアリング１１６の曲げ、ひいては第１対向部材３２２のゴニオメータの動きが達成される。第２台形ガイド３６０が操作されない場合、レンズ１００は、面３２１内である程度旋回する。

【0115】

ゴニオメータの動きは、力の平衡が達成されたときに終わる。これは、一方では正のｘ方向に働く第１枢動力３３８の、ならびに、他方では湾曲ベアリング１１６の曲げに起因する力及び弾性部材１１５によって供給され、負のｘ方向に第１対向ベアリング２３９に作用する弾性力（図示せず）の結果である。結合された対向ベアリング３３９に作用する弾性部材は、傾斜位置によって、ｘ、ｙ面内の弾性力を第１カウンタ部材３２２に印加し、第１対向部材３２２は、第１駆動力３３８及び第２枢動力３７８（図８を参照）を弱める。弾性部材１１５に予め応力を加えることにより、第１旋回軸３３６回りに、対向する旋回方向へのゴニオメータの動きを確実にすることができる。

【0116】

第２台形ガイド３６０において、接続部材３６６は、第２旋回軸３７６と平行に延びる第１接続面３６８内で２つの第１端部３７２を介して、それぞれ第１対向部材３６２に接続される。図示された例では、第１接続面３６８はｘ、ｙ面である。同様に、第２旋回軸３７６と平行に延び、第１接続面３６８から間隔を空けて配置されている第２接続面３７０において、接続部材３６６は、それぞれ２つの第２端部３７４を介して第２対向部材３６４に接続されている。図示された開始位置では、第２接続面３７０は、第１接続面３６８と平行である。第２対向部材３６４及び第２接続面３７０は、第１対向部材３６２及び第１接続面３６８に対して正のｚ方向にずれている。

【0117】

第１接続面３６８に沿って延び、第２旋回軸３７６（この例ではｙ方向）に対して直角の方向では、一方の接続部材３６６の２つの第１端部３７２は、他方の接続部材３６６の２つの第１端部３７２に対して第１距離３８０を有する。第２接続面３７０に沿って、第２旋回軸３７６（この例ではｙ方向）に対して直角な方向では、一方の接続部材３６６の２つの第２端部３７４は、他方の接続部材３６６の第２端部３７４を含む。第１距離３８０は第２距離３８２より小さい。

【0118】

第２旋回軸３７６に対して直角に延びる面３６１のコースに沿った方向では、接続部材３６６のそれぞれの第１端部３７２と第２端部３７４との間のそれぞれの距離３８４、３８６は等しい。それぞれの接続部材３６６の２つの第１端部３７２と２つの第２端部３７４は、第２旋回軸３７６の方向に、すなわちこの例ではｘ方向に互いにずれている。

【0119】

さらにアクチュエータ１１７によって、第２旋回軸３７６回りにレンズ１００のゴニオメータ移動を実行するために、第２旋回力３７８が第１台形ガイド３２０の第１対向部材３２２に導入され、第２枢動力３７８は、第２旋回軸３７６に直角で、かつ第２接続面３７０に平行な成分を含む。例示的な実施形態に図示される第２旋回力３７８は、正のy方向の（単一の）成分を含む。第２枢動力３７８は、第２旋回軸３７６に対して直角、かつ第２接続面３７０に平行な方向に曲がりにくい第１台形ガイド３２０の湾曲ベアリング１１６を介して、第１及び第２台形ガイド３２０、３６０の共通の第２対向部材３２４、３６４に伝達される。したがって、第２枢動力３７８によって、第２台形ガイド３６０の湾曲ベアリング１１６が曲がり、それゆえ、第２旋回軸３７６回りの、第２対向部材３２４、３６４及び第１対向部材３２２のゴニオメータの動きが少なくともある程度達成される。第１台形ガイド３２０が操作されない場合、レンズ１００は面３６１内である程度回転する。

【0120】

さらにアクチュエータ１１７によって、第２旋回軸３７６回りにレンズ１００のゴニオメータ移動を実行するために、第２旋回力３７８が第１台形ガイド３２０の第１対向部材３２２に導入され、第２枢動力３７８は、第２旋回軸３７６に直角で、かつ第２接続面３７０に平行な成分を含む。例示的な実施形態に図示される第２旋回力３７８は、正のy方向の（単一の）成分を含む。第２枢動力３７８は、第２旋回軸３７６に対して直角、かつ第２接続面３７０に平行な方向に曲がりにくい第１台形ガイド３２０の湾曲ベアリング１１６を介して、第１及び第２台形ガイド３２０、３６０の共通の第２対向部材３２４、３６４に伝達される。したがって、第２枢動力３７８によって、第２台形ガイド３６０の湾曲ベアリング１１６が曲がり、それゆえ、第２旋回軸３７６回りの、第２対向部材３２４、３６４及び第１対向部材３２２のゴニオメータの動きが少なくともある程度達成される。第１台形ガイド３２０が操作されない場合、レンズ１００は面３６１内である程度回転する。ゴニオメータの動きは、力の平衡が達成されたときに終わる。これは、一方では正のｙ方向に働く第２駆動力３７８の、ならびに、他方では湾曲ベアリング１１６の曲げに起因する力及び弾性部材１１５によって供給され、結合された対向ベアリング３３９に作用するとりわけ負のｙ方向の弾性力（図示せず）の結果である。既に説明したように、結合された対向ベアリング３３９に作用する弾性部材１１５は、傾斜位置のために、ｘ、ｙ面内の弾性力を第１対向部材３２２に加え、第１枢動力３３８及び第２枢動力３７８を弱める。弾性部材１１５に予め応力を加えることにより、第２旋回軸３７６回りに対向する旋回方向におけるゴニオメータの動きを行うことができる。

【0121】

結合された対向ベアリング３３９の代わりに、平行移動機構２００と同様に、第２分離された対向ベアリングを使用することもできる。ゴニオメータ３００が、少なくとも１つのアクチュエータ１１７による迅速な操作に、より迅速に追従することができる変形例では、結合された対向ベアリング３３９を省略することができ、したがって弾性部材１１５を省略することができる。それぞれのアクチュエータ１１７は、ゴニオメータ３００を旋回させるために第１対向部材３２２に圧力を加え、ゴニオメータ３００を反対方向に旋回させるために対向部材３２２にけん引力を加える。アクチュエータ１１７の力と、湾曲ベアリング１１７の弾性回復力とは、互いに部分的に補償するか又は過補償することができる。

【0122】

制御デバイス９７による少なくとも１つのアクチュエータ１１７の制御は、典型的には、経路制御によって行われ、これは、調整されるべき経路（移動）がアクチュエータ１１７に依存することを意味する。

【0123】

例示的な実施形態では、台形ガイド３２０、３６０の第１接続面３２８及び３６８、ならびに第２接続面３３０、３７０は、図示の開始位置において互いに平行である。

【0124】

詳細Ｄ及びＥでは、湾曲ベアリング１１６が詳細に図示されている。 これらは、必要に応じて、対向部材３２２、３２４、３６２、３６４及び接続部材３２６、３６６への回転移動を含み、これらは、破線で示されている。

【0125】

図９及び図１０は、ゴニオメータ３００の斜視図である。レンズ軸１０１を中心とするゴニオメータ３００の同軸構造がはっきりと見える。さらに、ゴニオメータ３００及び前記デバイス９８全体を通り抜ける開口部１３４が見える。開口部１３４を介して、Ｘ線がデバイス９８を通り抜けることができる。さらに、第１対向部材３６２には、ゴニオメータ３００と平行移動機構２００とを接続するためのねじ穴１３０が見える。

【0126】

図１、図２、図５、図６、図９及び図１０に具体的に示されているように、平行移動機構２００及びゴニオメータ３００は、おおよそ中空の円筒形状を有し、互いに同軸に配置され、ゴニオメータ３００は 平行移動機構２００の中に配置されている。

【0127】

したがって、装置９６（図１及び２と対照）内では、レンズ１００は、受入部材１１０に接続され（又は受入部材１１０にねじ込まれる）、受取部材１１０は、第１台形ガイド３２０の第１対向部材３２２とともに一体として構成されている。第２台形ガイド３６０の接続部材３６６及びその湾曲ベアリング１１６によって、第２対向部材３２４、３６４は、第２台形ガイド３６０の第１対向部材３６２に接続される。第２台形ガイド３６０の第１対向部材３６２は、第１平行ガイド２２０の第１対向部材２２２に接続（又はねじ接続）されている。第１平行四辺形ガイド２２０の連結部材２２６及びその湾曲ベアリング１１６によって、第１対向部材２２２は、第１及び第２平行四辺形ガイド２２０、２６０の一体型の構成とともに第２対向部材２２４、２６４に接続される。第２台形ガイド２６０の接続部材２６６及びそれらの湾曲ベアリング１１６によって、第２対向部材２２４、２６４は、第２台形ガイド３６０の第１対向部材２６２に接続される。 そして第２平行四辺形ガイド２６０の第１対向部材２６２は、装置９６の第２収納部１１９に接続（又はねじ接続）される。

【0128】

したがって、デバイス９８を介して、一方でＸ線レンズ１００の入射焦点１０４の焦点１０２への調整が実施され、及び他方でゴニオメータ３００（双軸ゴニオメータ）の調整が実施され、構成され 第１及び第２旋回軸３３６、３７６の周りでＸ線レンズ１００を旋回させるためのものである。デバイス９８は、とりわけ、最も狭い空間及び技術的制限の下でさえも、そのコンパクトさ、真空気密性及び優れた入手容易性を特徴とする。 これは、特に、湾曲ベアリング１１６によるデバイス９８の実装によってもまた達成される。

【0129】

同軸構造により、設置スペースを最大限に活用し、デバイスの統合を容易にする。

【0130】

デバイス９８は、２つの機構（軸）のそれぞれが１つの塊とされるので、部品の数が非常に少数であること特徴とする。図示されている実施形態もまた、生産に即した設計と最適化を特徴とする。すべての励起源の励起点を相互に標準化することができる場合、多数の励起源を１つのデバイスの中で使用することもまたできる。

【0131】

以下に図１１〜図１４を用いて、本発明による方法９０を、本発明の好ましい実施形態に基づいて説明する。

【0132】

試料９９にＸ線１０７ａを照射するためのＸ線光学系１００を用いて試料９９を走査するための方法９０は、図１１に図式的に示される以下の工程を含むことができる

【0133】

最初に、工程４００において、開始測定点１０９は、Ｘ線レンズ１００の射出焦点１０８が開始測定点１０９（図１３参照）と一直線になる試料１００の隅に配置されている（図１３参照）。これは、予め設定された測定範囲の端部まで負のｘ方向に沿って、射出焦点１０８とこれと一致する測定点１０６を負の第１走査方向９２ｂに移動させることによって達成される。加えて、射出焦点１０８、すなわち一致する測定点１０６も、予め設定された測定範囲の端部まで負のｙ方向に沿って負の第２走査方向９３ｂに移動される。

【0134】

次に、試料９９から放射される放射線１０７ｂの検出の工程４０２が行われる。放射線１０７ｂは、例えば放射、反射、又は伝達されることができる。これは、電磁放射、例えばＸ線又は粒子線（電子ビーム）を含むことができる。放射線１０７ｂは、検出器９４（図１２参照）によって検出され、検出され放出された放射１０７ｂと相関する測定値とともに制御デバイス９７に伝達される。放射線１０７ｂは、Ｘ線光学系１００から放射されるＸ線１０７ａを測定点１０６に照射することによって生じる。

【0135】

ここでは、試料９９は、Ｘ線光学系１００の旋回中、及びＸ線１０７ａによるそれぞれの測定点１０６の占有後にのみ連続的に照射することができる。試料９９から発する放射線１０７ｂの検出は、同様にＸ線光学系１００の旋回中に連続的に、またそれぞれの測定点１０６の占有後にも同様に行われる。

【0136】

工程４０４において、測定点１０６は、正の第１走査方向９２ａ（図１３参照）で１刻みだけ移動される。次に、相関値の伝達と共に、試料９９から放射される放射線１０７ｂの検出の工程４０２が実行される。

【0137】

判定４０６において、正の第１走査方向９２ａにおける測定範囲の端部に達したかどうかのチェックが行われる。 そうでない場合には、測定範囲の端部に達するまで、工程４０４及び４０２が繰り返される。

【0138】

判定４０６によって測定範囲の端部に達した場合には、判定４０８が続き、正の第２走査方向９３ａにおける測定範囲の端部に達したかどうかが照会される。この場合、工程４１０に従った制御デバイス９７によって、検出された放射線と相関する測定値との結合が起こり、全体的な走査が形成される。全体走査は、例えば、モニタ（図示せず）を介して出力することができる。

【0139】

判定４０８により測定範囲の端部に達していない場合、工程４１２にしたがって、正の走査方向９３ａ（図１３参照）の方向に測定点１０６を１刻み移動した後、 工程４０２にしたがって放射線１０７ｂの検出が行われる。

【0140】

判定４０６において、正の第１走査方向９２ａにおける測定範囲の端部に達したかどうかのチェックが行われる。そうでない場合には、測定範囲の端部に達するまで、工程４０４及び４０２が繰り返される。

【0141】

判定４１６において、負の第１走査方向９２ｂにおける測定範囲の端部に達したかどうかのチェックが行われる。そうでない場合には、測定範囲の端部に達するまで、工程４１４及び４０２が繰り返される。

【0142】

判定４１６により測定範囲の端部に達した場合には、判定４０８に進み、正の第２走査方向９３ａにおける測定範囲の端部に達したかどうかを問い合わせる。この場合には、制御デバイス９７によって工程４１０に基づき全体の走査を形成するための結合が行われる。

【0143】

判定４０８によって測定範囲の端部に達していない場合、工程４１２にしたがって、正の第２走査方向９３ａの方向に測定点１０６を１刻みで移動することが行われる。次に、図１１に示す最初の工程の後にこの方法を続行する。

【0144】

この実施形態を通して、図１３による蛇行走査が達成される。

【0145】

蛇行走査の代替として、負の第１判定４０８（したがって、まだ到達していない正の第２走査方向９３ａにおける測定範囲の端部を伴う）の後の方法９０を継続することができ、測定点１０６の負の第１走査方向９２ｂの方向への移動が測定範囲の開始まで行われる点で異なる。したがって、Ｘ線光学系１００は逆旋回される。これは、工程４１２の前又は後に、測定点１０６の正の第２走査方向９３ａの方向への１刻みで移動することと実行することと、同時に行われ得る。次に、この方法は、放射線が検出される工程４０２（図１１の工程４００に続く）で継続される。次に、方法は、図１１の上部に示されているように、工程４０４、４０２及び判定４０６で継続される。したがって、正の第１走査方向９２ａにおける走査された「線」に続いて、常に折り返しが行われ、次の走査で再び正の第１走査方向９２ａに走査される。走査は常に正の第１走査方向９２ａで行われるので、機械的な不正確さに起因する測定誤差を回避することができる。

【0146】

第１旋回軸３３６及び第２旋回軸３７６の少なくとも一方は、Ｘ線光学系１００の入射点１０４を通り抜け、入射点１０４は、まず、管の焦点１０２と一直線になるようにされているので、Ｘ線レンズ１００が旋回している間、Ｘ線レンズ１００によって捕捉された放射線量１０７ａは変化しない。

【0147】

方法９０は、試料９９を第２走査方向９３に移動させる工程を含むことができる。このようにして、Ｘ線光学系１００を第２旋回軸３７６回りに旋回させることによる第２走査方向９３の測定点１０６の移動をなくすことができる。試料９９の第２走査方向９３への移動は、例えば試料台１０３を試料９９と共に負の第２走査方向９３ｂに移動させることによって行うことができる。 このようにして、測定点１０６は、正の第２走査方向９３ａに、試料９９に対して移動する。

【0148】

さらに、第１走査方向９２及び第２走査方向９３の少なくとも一方における試料９９の移動もまた、測定グリッド５０２内の試料９９上の測定点１０６を１つのグリッド領域５００から次のグリッドグリッド領域５００へ移動させるため、実行され得る。したがって、測定点１０６の１つのグリッド領域５００から次のグリッド領域５００への相対的に大きな移動は、サンプル９９の移動によって行うことができ、一方、それぞれのグリッド領域５００内でのグリッド領域５００の端部への比較的小さな移動は、Ｘ線光学系１００の旋回によって実行される。したがって、Ｘ線光学系１００の比較的大きな旋回に起因する射出焦点１０８のｚ方向への移動の結果として起こり得る測定の不正確さが抑制される。

【0149】

この方法によって、Ｘ線光学系１００を旋回させることにより、測定点１０６の非常に迅速で低振動の移動を達成することができる。これは、湾曲ベアリング１１６は、従来のヒンジとは異なり、接着摩擦を克服する際にいかなる接着摩擦も生じず、したがって、分離トルクをもたないため、特に台形ガイド３２０、３６０内の湾曲ベアリング１１６の使用によって、可能にされる

【符号の説明】

【0150】

９０ Ｘ線光学装置による試料の走査方法
９２ 第１走査方向
９２ａ 正の第１走査方向
９２ｂ 負の第１走査方向
９３ 第２走査方向
９３ａ 正の第２走査方向
９３ｂ 負の第２走査方向
９４ 検出器
９６ 装置
９７ 制御デバイス
９８ デバイス
９９ 試料
１００ Ｘ線光学系／キャピラリーレンズ
１０１ レンズ軸
１０２ 所定の点／焦点
１０３ 試料台
１０４ 入射点／入射焦点
１０５ 中央測定点
１０６ 測定点
１０７ａ （進行する）Ｘ線
１０７ｂ （発散する）放射線
１０８ 射出点／射出焦点
１０９ 測定開始点
１１０ 受取部材
１１２ ギャップ
１１４ 調整部材
１１５ 弾性部材
１１６ 湾曲ベアリング
１１７ アクチュエータ
１１８ 第１収納部
１１９ 第２収納部
１２０ ホルダー
１２２ 窓
１２４ スペーサの位置
１２６ ねじ込み接続
１２８ 窪み
１３０ ねじ穴
１３２ 貫通孔
１３４ 開口部
２００ 平行移動機構
２２０ 第１平行機構／第１平行四辺形ガイド
２２１ 第１平行移動方向
２２２ 第１対向部材
２２４ 第２対向部材
２２６ 接続部材
２２８ 第１接続面
２３０ 第２接続面
２３２ 第１端部
２３４ 第２端部
２３８ 第１調整力
２３９ 第１対向ベアリング
２４０ 第１距離
２４２ 第２距離
２４４ 第１接続部材の第１端部と第２端部との間の距離
２４６ 第２接続部材の第１端部と第２端部との間の距離
２６０ 第２平行機構／第２平行四辺形ガイド
２６１ 第２平行移動方向
２６２ 第１対向部材
２６４ 第２対向部材
２６６ 接続部材
２６８ 第１接続面
２７０ 第２接続面
２７２ 第１端部
２７４ 第２端部
２７８ 第２調整力
２７９ 第２対向部材
２８０ 第１距離
２８２ 第２距離
２８４ 第１接続部材の第１端部と第２端部との間の距離
２８６ 第２接続部材の第１端部と第２端部との間の距離
３００ ゴニオメータ
３２０ 第１ゴニオメータ／第１台形ガイド
３２１ 第１旋回軸に直角な面
３２２ 第１対向部材
３２４ 第２対向部材
３２６ 接続部材
３２８ 第１接続面
３３０ 第２接続面
３３２ 第１端部
３３４ 第２端部
３３６ 第１旋回軸
３３８ 第１枢動力
３３９ 複合カウンターベアリング
３４０ 第１距離
３４２ 第２距離
３４４ 第１接続部材の第１端部と第２端部との間の距離
３４６ 第１接続部材の第１端部と第２端部との間の距離
３６０ 第２ゴニオメータ／第２台形ガイド
３６１ 第２旋回軸に対して直角に延びる面
３６２ 第１対向部材
３６４ 第２対向部材
３６６ 接続部材
３６８ 第１接続面
３７０ 第２接続面
３７２ 第１端部
３７４ 第２端部
３７６ 第２旋回軸
３７８ 第２駆動力
３８０ 第１距離
３８２ 第２距離
３８４ 第１接続部材の第１端部と第２端部との間の距離
３８６ 第２接続部材の第１端部と第２端部との間の距離
４００ 開始測定点の占有
４０２ 放射線の検出
４０４ 第１走査方向の正の測定点の移動
４０６ 正の第１走査方向の測定範囲の端部に達したかどうかの判定
４０８ 正の第２走査方向の測定範囲の端部に達したかどうかの判定
４１０ 全体走査を形成するための結合
４１２ 正の第２走査方向における測定点の移動
４１４ 負の第１走査方向における測定点の移動
４１６ 負の第１走査方向の測定範囲の端部に達したかどうかの決定
５００ グリッドエリア
５０２ 測定グリッド

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】