特許 6653067 イオン源支持台

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6653067

(24)【登録日】2020年1月29日

(45)【発行日】2020年2月26日

(54)【発明の名称】イオン源支持台

(51)【国際特許分類】

   H01J 27/02 20060101AFI20200217BHJP

   H01J 37/08 20060101ALI20200217BHJP

   H01J 3/38 20060101ALI20200217BHJP

   G21K 5/04 20060101ALI20200217BHJP

【ＦＩ】

   H01J27/02

   H01J37/08

   H01J3/38

   G21K5/04 A

【請求項の数】5

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2017-180230(P2017-180230)

(22)【出願日】2017年9月20日

(65)【公開番号】特開2019-57385(P2019-57385A)

(43)【公開日】2019年4月11日

【審査請求日】2019年1月10日

(73)【特許権者】

【識別番号】302054866

【氏名又は名称】日新イオン機器株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100121441

【弁理士】

【氏名又は名称】西村 竜平

(74)【代理人】

【識別番号】100154704

【弁理士】

【氏名又は名称】齊藤 真大

(72)【発明者】

【氏名】丹羽 雄一

(72)【発明者】

【氏名】西村 一平

(72)【発明者】

【氏名】小野田 正敏

(72)【発明者】

【氏名】立道 潤一

【審査官】 藤本 加代子

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１６−１１０８２７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−０２３８１１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０５−０５８４６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２０１４／０１６９９２２（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 特開２００９−１８４７７５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開平０６−０３３７７３（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開２０１１−１１４９４２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｊ ２７／００−２７／２６

Ｈ０１Ｊ ３７／０４

Ｈ０１Ｊ ３７／０６−３７／０８

Ｈ０１Ｊ ３７／２４８

Ｈ０１Ｊ ３／３８

Ｇ２１Ｋ ５／０４

Ｂ６２Ｂ ３／０４

Ｂ６５Ｇ ７／００

Ｂ６５Ｇ ９／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

長尺状のプラズマ生成容器及び前記プラズマ生成容器における長手方向と直交する方向に対向する側壁に設けられた一対のローラを備えるイオン源が載置されるイオン源支持台であって、
前記イオン源が吊り下げられた状態において、前記一対のローラが転動可能に載置される一対のレールと、
前記一対のレールに前記一対のローラが載置された状態において、前記イオン源を前記レールの一端側から他端側に向かって引き込む引き込み機構とを具備するイオン源支持台。

【請求項2】

前記引き込み機構が、前記一対のレールの外側に設けられて、前記レールの一端側から他端側に向かって移動可能な移動体を有し、
前記移動体が、前記プラズマ生成容器と一体的に設けられた被接触部材に接触しながら移動する請求項１記載のイオン源支持台。

【請求項3】

前記引き込み機構が、前記イオン源を引き込む力を手動で調整できるように構成されている請求項１又は２記載のイオン源支持台。

【請求項4】

前記引き込み機構が、
前記一対のレールそれぞれの外側に前記レールに沿って設けられた一対の搬送ベルトをさらに有し、
前記一対の搬送ベルトそれぞれに前記移動体が取り付けられている請求項２又は請求項２を引用する請求項３に記載のイオン源支持台。

【請求項5】

前記移動体が、上向きに開口した収容凹部を有しており、
前記一対のローラが前記一対のレールに載置されることにより、前記被接触部材が、前記開口を介して前記収容凹部に収容される請求項２又は請求項２を引用する請求項３或いは４のうち何れか一項に記載のイオン源支持台。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、イオン源を支持するイオン源支持台に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来のイオン源支持台としては、特許文献１に示すように、イオンビーム照射装置などの装置本体から取り外したイオン源を載置して搬送するためのものがある。この特許文献１には、高さ寸法の大きいイオン源を安定な状態で搬送すべく、起立姿勢にあるイオン源を倒伏させて高さ寸法の小さくなった倒伏姿勢で支持することが記載されている。

【0003】

具体的には、イオン源がイオン引き出し口を挟むように設けられた一対のローラを備えるものであり、イオン源支持台には一対のローラが転動可能に載置される一対のレールを設けてある。
そして、イオン源を装置本体から取り外す際に、イオン源の重心よりも後ろ側にワイヤを取り付けて吊り下げることでイオン源を前傾姿勢にして、その前傾姿勢でローラをレールに載置する。これにより、ローラをレールに載置した後は、イオン源を徐々に下げることで、イオン源は自重で前方に倒伏していき倒伏姿勢となる。

【0004】

しかしながら、上述したようにイオン源を吊り下げたままローラをレールに載置しようとすると、例えばイオン源が揺れて不安定な状態となり、ローラとレールとの位置ずれが起きる恐れがある。位置ずれが起きた状態でローラをレールに載置してしまうと、ローラがレールから脱輪して、イオン源がイオン源支持台から転げ落ち、イオン源やイオン源支持台が破損したり、イオン源支持台の周りで人災が発生する恐れがある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１６−１１０８２７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

そこで本発明は、上記問題点を解決すべくなされたものであって、イオン源支持台に載置したイオン源を安定な状態で倒伏姿勢にできるようにすることをその主たる課題とするものである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

すなわち本発明に係るイオン源支持台は、長尺状のプラズマ生成容器及び前記プラズマ生成容器における長手方向と直交する方向に対向する側壁に設けられた一対のローラを備えるイオン源が載置されるものであり、前記イオン源が吊り下げられた状態において、前記一対のローラが転動可能に載置される一対のレールと、前記一対のレールに前記一対のローラが載置された状態において、前記イオン源を前記レールの一端側から他端側に向かって引き込む引き込み機構とを具備することを特徴とするものである。
なお、ここでいう「一端側から他端側に向かって引き込む」とは、引き込む方向がレールの一端側から他端側に向かう方向であることを意味しており、必ずしもレールの一端側にローラを載置したり、イオン源をレールの他端側に到達するまで引き込んだりする必要はない。

【0008】

このように構成されたイオン源支持台であれば、一対のレールに一対のローラが載置された状態で、引き込み機構がイオン源をレールの一端側から他端側に向かって引き込むので、吊り下げられたイオン源が仮に不安定な状態であったとしても、イオン源を引き込む際にはイオン源を安定な状態にすることができる。これにより、イオン源を安定な状態で倒伏姿勢にすることが可能となり、イオン源を安定な姿勢で搬送することができる。

【0009】

前記引き込み機構が、前記一対のレールの外側に設けられて、前記レールの一端側から他端側に向かって移動可能な移動体を有し、前記移動体が、前記プラズマ生成容器と一体的に設けられた被接触部材に接触しながら移動することが好ましい。
このような構成であれば、移動体が一対のレールの外側に位置するので、例えば被接触部材に移動体が接触しているかなどといった作業状況を、作業者はレールの外側から確認することができ、レールの内側に入ることなく安全に作業を進めることができる。

【0010】

仮に引き込み機構がイオン源を一定の引き込み力で引き込むように構成されている場合、イオン源がバランスを崩した状態で引き込み機構によって引き込まれると、ローラがレールに噛むことがあり、その状態からさらに一定の引き込み力でイオン源を引き込もうとすれば、ローラが脱輪してイオン源が転倒する恐れがある。
そこで、前記引き込み機構が、前記イオン源を引き込む力を手動で調整できるように構成されていることが好ましい。
このような構成であれば、危険が生じそうなときに作業者の判断でイオン源を引き込むことを止めることができ、事故を未然に防ぐことができる。

【0011】

具体的な実施態様としては、前記引き込み機構が、前記一対のレールそれぞれの外側に前記レールに沿って設けられた一対の搬送ベルトをさらに有し、前記一対の搬送ベルトそれぞれに前記移動体が取り付けられている構成が挙げられる。

【0012】

前記移動体が、上向きに開口した収容凹部を有しており、前記一対のローラが前記一対のレールに載置されることにより、前記被接触部材が、前記開口を介して前記収容凹部に収容されることが好ましい。
このような構成であれば、一対のローラを一対のレールに載置するだけで、被接触部材と移動体とを接触させることができる。

【発明の効果】

【0013】

このように構成した本発明によれば、装置本体から取り外されたイオン源をイオン源支持台に載置させて、安定な状態で倒伏姿勢にすることができる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】本実施形態のイオン照射装置の全体構成を模式的に示す図。

【図2】同実施形態のイオン源を模式的に示す図。

【図3】同実施形態のイオン源支持台を模式的に示す図。

【図4】同実施形態のイオン源搬送システムの動作を説明する図。

【発明を実施するための形態】

【0015】

本発明に係るイオン源支持台の一実施形態について説明する。

【0016】

本実施形態のイオン源支持台Ｘは、イオン照射装置１００を構成するイオン源１０１を支持するものであり、イオン源１０１を所定の位置へ搬送するために用いられる。

【0017】

まず、イオン照射装置１００について図１を参照しながら説明する。
イオン照射装置１００は、例えば半導体製造に用いられるものであり、質量分離器１０３や分離スリット１０４などを備えた装置本体１０２と、装置本体１０２に対して着脱可能なイオン源１０１とを備え、イオン源１０１から引き出されたイオンビームをホルダ１０５に保持されているウエハＷに照射するものである。

【0018】

イオン源１０１は、リン、ヒ素、ボロン等の所定のイオンを含むイオンビームを発生させて装置本体１０２へ射出するものであり、具体的には図２に示すように、内部でプラズマが生成される長尺状のプラズマ生成容器１０と、プラズマ生成容器１０に形成された引出し口Ｏからイオンビームを引き出す複数の電極からなる引出電極系（不図示）と、プラズマ生成容器１０に連結されるとともに引出電極系を保持する電極保持部材２０とを備えている。

【0019】

プラズマ生成容器１０は、熱電子を放出するフィラメント（不図示）が挿入されており、このフィラメントから放出された電子によってプラズマ生成容器１０内に導入されたイオン源ガスが電離してプラズマが生成されるように構成されている。
本実施形態のプラズマ生成容器１０は、図２に示すように、例えば直方体形状をなすものであり、装置本体１０２にイオン源１０１が取り付けられた状態において縦長形状となる。
プラズマ生成容器１０の一側面１１ａ（以下、前面１１ａという）には、上述した引出し口Ｏが長尺状に形成されており、この前面１１ａには、複数のボルト孔１３を有したフランジ部１２が設けられている。

【0020】

引出電極系（不図示）は、プラズマ生成容器１０内で生成されたプラズマから電界の作用でイオンビームを加速させて引き出すものであり、例えば加速電極、引出電極、抑制電極、接地電極などから構成されている。ここでの引出電極系は、上述した引出し口Ｏの近傍に配置されており、引出し口Ｏからリボン状のイオンビームを引き出す。

【0021】

電極保持部材２０は、上述した複数の電極が内部に設けられた筒状体であり、一端面２１ａが上述したプラズマ生成容器１０の前面１１ａに取り付けられるとともに、他端面２１ｂが装置本体１０２の取付面（不図示）に取り付けられる。なお、装置本体１０２の取付面は、質量分離器１０３側の面であり、例えばイオンビームの輸送経路を構成する真空容器（不図示）の端面である。また、電極保持部材２０は筒状のものに限らず、その形状は種々変更して構わない。

【0022】

より具体的に説明すると、電極保持部材２０の一端面２１ａ及び他端面２１ｂには複数のボルト孔２３を有したフランジ部２２が設けられており、プラズマ生成容器１０の前面１１ａのボルト孔１３と電極保持部材２０の一端面２１ａのボルト孔２３とにボルトを通すことで、プラズマ生成容器１０と電極保持部材２０とが連結される。また、装置本体１０２の取付面のボルト孔（不図示）と電極保持部材２０の他端面２１ｂのボルト孔２３とにボルトを通すことで、装置本体１０２と電極保持部材２０とが連結される。
これにより、イオン源１０１は、所定の取付姿勢で装置本体１０２に取り付けられる。

【0023】

本実施形態の取付姿勢は、図１及び２に示すように、イオン源１０１が鉛直方向に沿って起立した姿勢であり、言い換えればプラズマ生成容器１０の長手方向と鉛直方向とが平行になる姿勢である。

【0024】

本実施形態のイオン源１０１は、装置本体１０２に取り付けられた状態において、プラズマ生成容器１０の下側に設けられた下側ローラ３１と、プラズマ生成容器１０の上側に設けられた上側ローラ３２とをさらに具備している。

【0025】

ここでは、一対の下側ローラ３１が、引出し口Ｏを長手方向と直交する方向から挟むように配置されるとともに、一対の上側ローラ３２が、引出し口Ｏを長手方向と直交する方向から挟むように配置されている。つまり、下側ローラ３１は、前面１１ａと直交するとともに長手方向に沿って延びる対向側面１１ｂそれぞれに設けられており、上側ローラ３２も同様に対向側面１１ｂそれぞれに設けられている。

【0026】

一対の下側ローラ３１は、いずれもプラズマ生成容器１０の底面１１ｃから等しい高さであり、且つ、前面１１ａから等しい距離となるように配置されている。

【0027】

一対の上側ローラ３２は、いずれも下側ローラ３１から長手方向に沿って上方に等しい距離離間し、且つ、一対の上側ローラ３２の離間距離が一対の下側ローラ３１の離間距離と等しくなるように配置されている。

【0028】

本実施形態では、図１に示すように、イオン源１０１が装置本体１０２に取り付けられた状態において、下側ローラ３１、上側ローラ３２、及びイオン源１０１の重心Ｇが鉛直方向に沿って直線状に配置されている。

【0029】

なお、各下側ローラ３１及び各上側ローラ３２は、それぞれローラ支持部材Ｈに転動可能に支持されており、ローラ支持部材Ｈを介してプラズマ生成容器１０の対向側面１１ｂに取り付けられている。

【0030】

次に、本実施形態のイオン源支持台Ｘについて、図３を参照しながら説明する。

【0031】

イオン源支持台Ｘは、装置本体１０２から取り外されて吊り下げられた姿勢（以下、起立姿勢という）のイオン源１０１が載置されて、起立姿勢よりも重心Ｇの低い倒伏姿勢でイオン源１０１を支持するものである。

【0032】

具体的にイオン源支持台Ｘは、図３に示すように、台車４と、台車４に設けられた一対のレール５とを具備している。

【0033】

台車４は、枠体４１と、枠体４１に取り付けられた複数の車輪４２とを備えている。各車輪４２は、枠体４１の下面に取り付けられるとともに、例えば装置本体１０２が配置される床面やイオン源１０１を搬送するための専用の床面を転動するものである。

【0034】

一対のレール５は、枠体４１の上面に設けられており、水平方向に沿って互いに平行に延びる水平レールである。
より具体的には、各レール５の離間距離は、一対の下側ローラ３１の離間距離及び一対の上側ローラ３２の離間距離と等しく、各レール５の長さは、下側ローラ３１と上側ローラ３２との離間距離よりも長い。
また、これらのレール５の両端部には、下側ローラ３１及び上側ローラ３２がレール５から転落することを防ぐストッパ５１が設けられている。

【0035】

然して、本実施形態のイオン源支持台Ｘは、図３及び図４に示すように、一対のレール５に一対の下側ローラ３１が載置された状態で、イオン源１０１をレールの一端側Ａから他端側Ｂに向かって引き込む引き込み機構６をさらに備えている。

【0036】

この引き込み機構６は、イオン源１０１を引き込み力をイオン源１０１における重心Ｇよりも下方に作用させるものであり、一対の下側ローラ３１をレール５上で一端側Ａから他端側Ｂに向かって転動させるとともに、イオン源１０１を起立姿勢から倒伏させて倒伏姿勢とする機能を備えている。

【0037】

具体的に引き込み機構６は、レール５の一端側Ａから他端側Ｂに向かって移動可能な移動体６１と、移動体６１を移動させる駆動部６２とを備えており、移動体６１がプラズマ生成容器１０と一体的に設けられた被接触部材Ｚに接触しながらレール５の一端側Ａから他端側Ｂに向かって移動することで、イオン源１０１を引き込むように構成されている。

【0038】

被接触部材Ｚは、イオン源１０１の一部又はイオン源１０１に取り付けられた部材であり、本実施形態では図２に示すように、一対の被接触部材Ｚがイオン源１０１に外付けされている。
具体的に被接触部材Ｚは、一対の下側ローラ３１から外側に向かって延びており、ここでは下側ローラ３１を回転可能に支持するローラ支持部材Ｈに取り付けられて、下側ローラ３１の軸方向に沿って延びる円柱状のものである。

【0039】

移動体６１は、図３に示すように、上向きに開口した収容凹部６１Ｓが形成された例えば樹脂製のブロック状をなすものであり、この収容凹部６１Ｓに上述した被接触部材Ｚが収容される。
収容凹部６１Ｓの深さ寸法は、少なくとも被接触部材Ｚの直径よりも大きく設定されており、これにより被接触部材Ｚは、開口６１Ｏよりも上方に突出することなく収容凹部６１Ｓに収容される。

【0040】

本実施形態の引き込み機構６は、イオン源１０１を手動で引き込むことができるように構成されており、ここでは上述した引き込み力を手動で調整できるように構成されている。なお、ここでいう引き込み力の調整とは、引き込み力の大きさを調整することのみならず、引き込み力の方向（つまり、引き込むか押し込むか）を調整することも含まれる。

【0041】

具体的に引き込み機構６は、駆動部６２によって移動体６１を手動で移動できるように構成されている。より詳細に説明すると、本実施形態の駆動部６２は、移動体６１が取り付けられる搬送ベルト６２１と、搬送ベルト６２１を手動で動かすためのハンドル６２２とを備えている。

【0042】

ここでは一対の搬送ベルト６２１が各レール５の外側に設けられており、これらの搬送ベルト６２１は、複数のギアやリンク部材等からなるリンク機構６３により双方が連動するように構成されている。
具体的に搬送ベルト６２１は、各レール５に沿って設けられた無端ベルト状の所謂タイミングベルトであり、レール５に沿った長さがレール５の長さとほぼ等しいか、それよりも若干長いものである。

【0043】

ハンドル６２２は、一方の搬送ベルト６２１とギア等（不図示）を介して連結されており、ここでは操作性や安全性に鑑みて、枠体４１の上面におけるイオン源１０１の引き込み側、すなわちレール５の他端側Ｂに設けてある。
そして、例えばハンドル６２２を正方向（例えば時計回り）に回転させることで、搬送ベルト６２１によって移動体６１がレール５の一端側Ａから他端側Ｂに搬送され、ハンドル６２２を逆方向（例えば反時計回り）に回転させることで、搬送ベルト６２１によって移動体６１がレール５の他端側Ｂから一端側Ａに搬送される。

【0044】

本実施形態では、ハンドル６２２を正方向に回転させて、移動体６１をレール５の一端側Ａから他端側Ｂに搬送することでイオン源１０１に正の引き込み力が作用し、その力はハンドル６２２の回転速度を速くするほど大きくなり、回転速度を遅くするほど小さくなる。一方、ハンドル６２２を逆方向に回転させて、移動体６１をレール５の他端側Ｂから一端側Ａに搬送することでイオン源１０１に負の引き込み力（つまり、押し込む力）が作用し、その力は回転速度を速くするほど大きくなり、回転速度を遅くするほど小さくなる。

【0045】

また、この引き込み機構６は、イオン源１０１に引き込み力が作用する引き込み状態と、イオン源１０１に引き込み力が作用させない停止状態とを、手動で切替可能に構成されている。具体的には、ハンドル６２２を回転させることでイオン源１０１に引き込み力が作用し、ハンドル６２２を操作しなければイオン源１０１には引き込み力が作用しない。

【0046】

このように構成されたイオン源支持台Ｘは、図４に示すように、装置本体１０２から取り外したイオン源１０１を吊り下げる吊り下げ機構Ｙとともに、イオン源１０１を搬送する搬送システム２００を構築している。
なお、吊り下げ機構Ｙは、イオン源１０１を鉛直方向及び水平方向に移動可能に吊り下げるものであり、ここでは水平方向に移動可能なチェーンブロックを利用したものである。吊り下げ機構Ｙとしては、電動クレーンを利用したものであっても良い。

【0047】

次に、上述した搬送システム２００の動作について図４を参照しながら説明する。

【0048】

始めに、装置本体１０２に取り付けられているイオン源１０１を取り外して、所望の場所に搬送する場合について説明する。

【0049】

まず、イオン源１０１が装置本体１０２に取り付けられている状態において、イオン源支持台Ｘをイオン源１０１の近傍に移動させる。

【0050】

次に、チェーンブロックのチェーンをイオン源１０１に掛けた状態で、例えばユーザが装置本体１０２と電極保持部材２０とを連結しているボルトを抜き、イオン源１０１を装置本体１０２から取り外す。これにより、プラズマ生成容器１０と電極保持部材２０とが一体的に装置本体１０２から取り外されて、イオン源１０１は吊り下げ機構Ｙによって吊り下げられ、起立姿勢となる（図４ａ）。
本実施形態では、取付姿勢を保持したままイオン源１０１を吊り下げるべく、つまり取付姿勢と起立姿勢とを同じ姿勢にすべく、チェーンを例えば上側ローラ３２を支持するローラ支持部材Ｈそれぞれに掛け、イオン源１０１を重心Ｇの真上から吊り下げる。なお、チェーンは、プラズマ生成容器１０に取り付けても良い。

【0051】

続いて、吊り下げられたイオン源１０１を必要に応じて旋回や水平移動させ、イオン源１０１をイオン源支持台Ｘの上方に移動させる。より詳細には、一対の下側ローラ３１それぞれが一対のレール５の一端側Ａの上方に位置するように、イオン源１０１を移動させる。

【0052】

そして、イオン源１０１を徐々に降ろして、一対の下側ローラ３１を一対のレール５の一端側Ａに載置させる（図４ｂ）。このとき、下側ローラ３１がレール５に載置されることで、下側ローラ３１から外側に延びる被接触部材Ｚが移動体６１の収容凹部６１Ｓに収容されるように、予め移動体６１をレール５の一端側Ａに配置しておく。

【0053】

一対の下側ローラ３１を一対のレール５の一端側Ａに載置させた後、被接触部材Ｚが移動体６１の収容凹部６１Ｓに収容されたことを確認して、引き込み機構６によってイオン源１０１をレール５の一端側Ａから他端側Ｂに引き込む。本実施形態では、作業者がハンドル６２２を例えば正方向に回転させることで、移動体６１をレール５の一端側Ａから他端側Ｂに向かって移動させる（図４ｃ）。

【0054】

このように移動体６１が被接触部材Ｚに接触しながらレール５の一端側Ａから他端側Ｂに移動することにより、下側ローラ３１がレール５上を一端側Ａから他端側Ｂに向かって転動し、上側ローラ３２がレール５に近づきながら、イオン源１０１は起立姿勢から徐々に傾く。

【0055】

そして、一対の上側ローラ３２がレール５に載置されると、下側ローラ３１及び上側ローラ３２の双方がレール５に載置された状態となり、イオン源１０１は倒伏姿勢となる。なお、本実施形態では、倒伏姿勢において引出し口Ｏが下方を向いた状態となる。

【0056】

この倒伏姿勢のままクレーンのフックを外し、例えば作業者が台車４を移動させることで、イオン源１０１を安定な状態で所望の位置に搬送させることができる。

【0057】

続いて、イオン源１０１を装置本体１０２に取り付ける場合について説明する。

【0058】

まず、イオン源支持台Ｘに載置されているイオン源１０１を装置本体１０２の近傍に移動させる。なお、このときのイオン源１０１は倒伏姿勢である。

【0059】

次に、イオン源１０１にチェーンブロックのチェーンを掛けて、イオン源１０１を持ち上げる。これにより、上側ローラ３２が、レール５から離間するとともに、下側ローラ３１がレール５上を他端側Ｂから一端側Ａに向かって転動する。そして、下側ローラ３１がレール５から離間して、イオン源１０１は吊り下げられて起立姿勢となる。
このとき、起立姿勢と取付姿勢とを同じ姿勢にすべく、つまりイオン源１０１を鉛直方向に沿って起立させるべく、チェーンを例えば上側ローラ３２を支持するローラ支持部材Ｈそれぞれに掛けるなどして、イオン源１０１を重心Ｇの真上から吊り下げる。なお、チェーンは、プラズマ生成容器１０に取り付けても良い。

【0060】

続いて、吊り下げられたイオン源１０１を必要に応じて旋回や水平移動や上下移動させて、装置本体１０２に近接させ、装置本体１０２と電極保持部材２０とをボルトにより連結する。これにより、イオン源１０１は起立姿勢を保持したまま装置本体１０２に取り付けられる。

【0061】

このように構成された本実施形態に係るイオン源支持台Ｘであれば、一対のレール５に一対の下側ローラ３１が載置された状態で、引き込み機構６がイオン源１０１をレール５
の一端側Ａから他端側Ｂに向かって引き込むので、吊り下げられたイオン源１０１が仮に不安定な状態であったとしても、イオン源１０１を引き込む際にはイオン源１０１を安定な状態にすることができる。これにより、イオン源１０１を安定な状態で倒伏姿勢にすることが可能となり、イオン源１０１を安定な姿勢で搬送することができる。

【0062】

ところで、装置本体１０２から取り外されたイオン源１０１が例えば前傾姿勢となるように吊り下げる場合、取り外し時にイオン源１０１が傾いてイオン源１０１と装置本体１０２とが擦れてしまい、イオン源１０１や装置本体１０２が傷ついてしまう。また、イオン源１０１を装置本体１０２から取り外す際に、イオン源１０１と装置本体１０２とを締結するボルト等に負荷がかかってしまい、ボルト等が破損する恐れがある。
一方、前傾姿勢で吊り下げられたイオン源１０１を装置本体１０２に取り付ける際には、イオン源１０１を装置本体１０２に押さえつけながらボルト等で締結することとなり、作業が大掛かりになるうえ、取付時もボルト等に負荷がかかって破損する恐れがある。

【0063】

こうした問題を避けるためには、装置本体１０２からイオン源１０１を取り外す際に、イオン源１０１を極力傾けずに取付姿勢のまま取り外すことが好ましいが、一方で取付姿勢のままイオン源１０１をイオン源支持台Ｘに載置すると、イオン源１０１がレール５の一方側Ａ又は他方側Ｂのどちらに倒れるか分からず危険である。

【0064】

これに対して、本実施形態のイオン源支持台Ｘであれば、一対のレール５に一対の下側ローラ３１が載置された状態で、引き込み機構６がイオン源１０１をレール５の一端側Ａから他端側Ｂに向かって引き込むので、装置本体１０２から取り外されたイオン源１０１を傾けずに取付姿勢のままイオン源支持台Ｘに載置したとしても、イオン源１０１を確実にレールの一方側に倒伏させることができる。
これにより、装置本体１０２からイオン源１０１を取り外す際にイオン源１０１を傾ける必要がないので、取り外し時にイオン源１０１と装置本体１０２とが擦れてしまうことや、ボルト等に負荷がかかることを防ぐことができる。
さらに、装置本体１０２にイオン源１０１を取り付ける際は、イオン源１０１を装置本体１０２に無理やり押さえつける必要がなく、作業が大掛かりになったり、ボルト等に負荷がかかったりすることを防ぐことができる。

【0065】

また、移動体６１が一対のレール５の外側に位置するので、例えば被接触部材Ｚに移動体６１が接触しているかなどといった作業状況を、作業者はレール５の外側から確認することができ、レール５の内側に入ることなく安全に作業を進めることができる。

【0066】

加えて、引き込み機構６がイオン源１０１を手動で引き込む力を調整できるように構成されているので、例えばイオン源１０１がバランスを崩したときなど、危険が生じそうなときに作業者の判断でイオン源１０１を引き込むことを止めたり、ハンドルを逆回転させてイオン源を押し戻したりすることができる。これにより、下側ローラ３１がレール５から脱輪したりイオン源１０１が転倒したりする事故を未然に防ぐことができる。

【0067】

なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。

【0068】

例えば、前記実施形態の引き込み機構は、タイミングベルトを利用して、移動体を搬送ベルトにより搬送するように構成されたものであったが、移動体をレールの一端側から他端側に移動させる構成であれば適宜可能であり、具体的には、引き込み機構にスプリングバランサやウィンチ等を利用した構成が挙げられる。

【0069】

具体的に説明すると、スプリングバランサやウィンチは、ワイヤの先端に設けられたフック（取付部）と、フックを引っ張る本体部とを備えており、フックが移動体であり、本体部が駆動部である。
より詳細には、フックを例えばプラズマ生成容器に引っ掛けることにより、その引っ掛けられた部分が被接触部材となる。これにより、フックは被接触部に接触しながらレールの一端側から他端側に移動する移動体として機能する。
そして、本体部を例えば台車の他端側に固定しておき、レールの一端側に下側ローラが載置された状態で、本体部によってフックを引っ張ることで、イオン源を一端側から他端側に引き込むことができる。なお、本体部は、必ずしも台車に固定させておく必要はなく、レールの他端側に位置している部材や床面などに固定しておけば良い。

【0070】

また、引き込み機構は、前記実施形態では手動で移動体を移動できるように構成されていたが、モータ等を用いて移動体を自動で移動できるように構成されていても良いし、手動自動に関わらず移動体の移動速度の変速比を切り替える変速機を備えていても良い。

【0071】

さらに、引き込み機構は、イオン源をレールの一端側から他端側に押し込むものであっても良い。

【0072】

前記実施形態では、イオン源が装置本体に取り付けられている状態において、下側ローラ、上側ローラ、及びイオン源の重心が鉛直方向に沿って配置されたものとして説明したが、必ずしも全てが鉛直方向に沿って配置されている必要はなく、例えば下側ローラや上側ローラが鉛直方向に沿って重心からずれていても良い。
このようなイオン源であっても、イオン源の重心の真上にチェーンを取り付ければ、取付姿勢を保ったままイオン源を装置本体から取り外すことができ、その後は前記実施形態と同様の作業により、イオン源を倒伏姿勢にすることができる。

【0073】

前記実施形態では、起立姿勢と取付姿勢とが同じ姿勢である場合について説明したが、例えば装置本体から取り外されたイオン源を取付姿勢よりも前傾した姿勢で吊り下げても良いし、このように前傾姿勢で吊り下げたイオン源を鉛直方向に沿って起立させた後、イオン源支持台に載置するようにしても良い。

【0074】

前記実施形態では、下側ローラをレールの一端側に載置した状態でイオン源をレールの一端側から他端側に向かって引き込んでいたが、例えばイオン源１０１の長手方向よりも十分に長いレールを用意して、下側ローラをレールの中央部や他端側に載置した状態で、イオン源をレールの一端側から他端側に向かって引き込んでも良い。
さらに、長いレールを用いた場合は、１台のイオン源支持台に２つ以上のイオン源を載置しても良い。

【0075】

前記実施形態の被接触部材は、下側ローラから外側に延びるものであったが、例えばプラズマ生成容器の対向側面から外側に延びるものであっても良いし、電極保持部材の側面から外側に延びるものであっても良い。

【0076】

前記実施形態では、下側ローラ及び上側ローラが、対向側面に設けられていたが、前面と前面の反対側の背面とに設けられていても良いし、電極保持部材に設けられていても良い。また、ローラの数は前記実施形態に限られず、例えば上側ローラと下側ローラとの間に一対の中間ローラを設けるようにしても良い。

【0077】

前記実施形態では、イオン源支持台が、プラズマ生成容器と、引出電極系と、電極保持部材とを備えたイオン源を支持するものとして説明していたが、イオン源支持台は、引出電極系や電極保持部材を備えていないイオン源、すなわちプラズマ生成容器を支持するものであっても良い。

【0078】

その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。

【符号の説明】

【0079】

Ｘ ・・・イオン源支持台
１００・・・イオン照射装置
１０１・・・イオン源
１０２・・・装置本体
１０ ・・・プラズマ生成容器
３１ ・・・下側ローラ
３２ ・・・上側ローラ
６ ・・・引き込み機構
６１ ・・・移動体
６２ ・・・搬送ベルト
Ｚ ・・・被接触部材

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】